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光学测量＞显微 B:R7[G;1 -D.B J( 任务/系统视图 ]be 0I) pgLzFY['  N7RG5 ? ~frPV8^DP 亮点 -s?dzX N} .Q%&6:  .ruz l(6
Pj1K 显微镜系统中光栅的全矢量分析 wiK@o$S- 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 rR),~ @]sL 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 Nqo#sBS .N-'; %8 说明：光源 mVc'%cPaw zm;*:]S  !Vp,YN+yN Egjk^:@  hJ$C%1; . ,d$%lN 说明：透镜系统 3isXgp8 VOo wA^  xVh\GU855 说明：样品结构 ]ut-wqb{p zd6Qw-D7x  Nj3^"} V M2zos(8g 说明：探测器 M<M# < kD HwV gT "  OI]K_ m3
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 M'>D[5;N~ ]P}K3tN%] 结果：3D光线追迹 ,
$D&WH r[UyI3(i^  (to/9 OrG *$4A|EA V  0T{c:m~QXe 98b9%Z'2f 结果：光线追迹 >zf Zw"mEP z6L >!=  QBPvGnb DO1N`7@o 结果：光线追迹衍射级数 TYJnQ2m r:8]\RU  ~H yyq- 0]2B-o"kI 结果：场追迹采样平面 NZ%~n:/V# upEPv
.h  H [_uVv;}6 s:m<(8WRw 结果：场追迹焦平面 NbdMec ^]sMy7X0IK  3 q.[ -.q Fgc:6<MGM 结果：减小光栅周期 \$~ oH3m&
S\{^LVXTMd 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 S '%cf7Z
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