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光学测量 > 干涉测量 Z 7`5x fs wZM\@ 任务/系统说明 (P2[5d|
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X }m7@r@ 亮点 PLO\L W
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|C~Sr#6)7 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； QH& %mr.S •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； Q<z)q<e
x2sN\tOh^ 具体要求：光源 {&u Rd?( 0w^jls  t@X M /=d iYkRo>3!QX 具体要求：用于准直的消色差透镜 B#J{ F BfX%|CWh -sP9E|/:'3  CoKiQUW DG_}9M!DW@ `2pO5B50  A$/KP\0Y2 [fd~nD#. 具体要求：分束器 wU bmzP. 1oB$MQoc  O:2 #_
a a4$'8s 具体要求：参考光路反射镜 2q+la|1Cr QxKAXq@)i  N0]z/}hd@
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P<8LAc$T 具体要求：测试光路反射镜 cvxIp#FbW ] OUD5T  TV <Aj"xw
X z8$Xz,O 具体要求：探测器 4 uShM0qa aWdUuid  k9cK b f@ VcP:}a< B\ 结果：3D光线追迹 y j>) {NcX }Bd_:#.mw  5Lw{0uLr KvGbDG 结果：场追迹 %@>YNPD`E DQcWq'yY^
 /\~l1.6`
@sN^BX`z 结果：移动样品的场追迹结果 b H_I7G&m u]R $]& <  vnDmFqelz 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 Q^nG0 <q+
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