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光学测量 > 干涉测量 @$'k1f(u> NN1d?cOn 任务/系统说明 HU ]Yv+3
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 9d{iq"*R
&L}e &5 亮点 nWpqAb
vum6O 3
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B$A`- •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； $I&DAG V 0 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； /CX_@%m}e=
1iBOf8 具体要求：光源 i/;Ql, gm ],ioY*4G  jSVIO v: |@KW~YlE 具体要求：用于准直的消色差透镜 uP bvN[~t 82#7TX4 mk ?&`_X1  B3[;}8u> ju#/ {V;D ~oO>6  d5&avL\ `
MIZqHM @ 具体要求：分束器 K!^x+B| yHL 2 !  6 J[ {?,
} MBxfZ 4I 具体要求：参考光路反射镜 l; ^Id#N \C;cs&\Q  ^(7<L< H
@ht= (Jk9
 T+p ?VngF
$%9.qy\8 具体要求：测试光路反射镜 [5Zs%!Z;8N Z
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c p.c$ 具体要求：探测器 0NlC|5ma) ?m5@ 63 5  =\ ]5C !}7FC>Cx 结果：3D光线追迹 *'D(
j#& |uT|(:i84,  QiBo]`)% ^PDz"L<* 结果：场追迹 }gw
\w?/ V'TBt= !=]
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nojJGeW% 结果：移动样品的场追迹结果 -0[ ?6.(s" G3O`r8oZcJ  <u>l#weG , 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 1 FC'DH!
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