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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 &/WM:]^?0)  
    >z\IO  
    任务说明 T[|#DMg$F  
    apk,\L@sZ  
    5;0w({1l  
    C LaQE{  
    灵活地导出制造数据： fYk>LW  
    - 平滑的界面 #!R>`l(S  
    - 量化界面 e`qrafa  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 /\/^= j  
      *XhlIQ  
    亮点 c{/R?<  
     导出各种表面形状的制造数据 I </P_:4G  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 UGO;5!  
         d,(y$V+  
    -`k>(\Q< d  
    一般界面的制造数据 F0U %m   
    R xITMt  
    N^rpPq  
    p<r<Y %  
    支持文件格式： hc|A:v)]  
    - 纯文本 @ar%`+_  
    - ASCII码 f1_;da  
    - 点云 eA!Z7 '  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 7@;*e=v  
     8IlUbj  
    STL导出平滑界面（例如Asphere）  <J;O$S  
    3<r7"/5  
    采样高度剖面的STL导出 o&1mX  
    eVfD&&@  
    , lR(5ZI  
    *m"9F'(Sd  
    量化界面的GDSII导出 as:l1S   
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 _s^tL2Pc  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 {S=<(A @  
    f 3H uT=n  
    U7x  
     
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