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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 MC 0TaP  
    mDGn:oRj  
    任务说明 M'`;{^<  
    ;n=. {[,  
    o]{uc,  
    E| YdcS  
    灵活地导出制造数据： 3'c\;1lhT  
    - 平滑的界面 3ZTE<zRQ  
    - 量化界面 ]J9cVp  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 k+V6,V)my  
     8,O33qwH  
    亮点 4$/i%B#ad  
     导出各种表面形状的制造数据 5!C_X5M  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 x 5dWBGH  
         [ rNXQ` /  
    ,U )"WLmY  
    一般界面的制造数据 Bb&^ {7  
    FtufuL?JS  
    KtS)'jf  
    ?Y:x[pOe  
    支持文件格式： 2>} xhQJ  
    - 纯文本 _4 6X%k  
    - ASCII码 H7+X&#s%  
    - 点云 7z\m; 1  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） RWgDD;&_[a  
     &X9Z W$C  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） c/L>>t  
    dk QaM@  
    采样高度剖面的STL导出 _qvK*nE  
    A392=:N+Q  
    I"AYWo?  
    9/SXs0  
    量化界面的GDSII导出 O_$dI*RK  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 c8)/:xxl  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 *BD=O@  
    W$JebW<z(  
    kE.x+2  
     
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