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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 ZnZ`/zNO  
    uTvck6  
    任务说明 Af XlV-v  
    HOb0\X  
    rssn'h  
    7thB1cOJ  
    灵活地导出制造数据： @f%q ,:  
    - 平滑的界面 ";*Iwd*V  
    - 量化界面 ;Y%.m3  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 !_pryNcb  
     Hq."_i{I  
    亮点 %dDwus  
     导出各种表面形状的制造数据 M2rgB%W)m  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 2>h.K/pC  
         R6E.C!EI  
    "2>_eZ#b  
    一般界面的制造数据 97\9!)`,  
    Kn4x _9  
    u 4$$0 `  
    *c' hmA s  
    支持文件格式： We:b1sZR  
    - 纯文本 3ox 0-+_  
    - ASCII码 gF8n{b  
    - 点云 M'}iIO`L  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） CSNfLGA  
     MtXTh*4  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） {3){f;b  
    E;Q ,{{#  
    采样高度剖面的STL导出 D>m!R[!o  
    N3?@CM^hHw  
    +/Qgl  
    xq\A TON  
    量化界面的GDSII导出 KV]8o'  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ~-zch=+u  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 a_amO<!   
    m+'vrxTY  
    r0fEW9wL  
     
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