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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 `X`|]mWj  
    2"Y=*s  
    任务说明 BTE&7/i 21  
    FOcDBCrOe  
    , -Lv3  
    uuCVI2|  
    灵活地导出制造数据： $,T3vX]<  
    - 平滑的界面 Io_7  
    - 量化界面 z]O>`50Q  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 QkO4Td<  
     OQT i$2  
    亮点 2L1Azx  
     导出各种表面形状的制造数据 ]d&;QZ#w  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 "M]`>eixL  
         "xD5>(|^+Q  
    +6Vu]96=KC  
    一般界面的制造数据 #- d-zV*  
    +,9Mufh  
    +Pn`AV1  
    `"bp -/  
    支持文件格式： q?&JS  
    - 纯文本  q0\$wI  
    - ASCII码 Gv\fF;,R  
    - 点云 ]6HnK%  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） .>( qZEF  
     I,lzyxRP  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） wtGb 3D"am  
    +Nka,C^O"  
    采样高度剖面的STL导出 zU};|Zw  
    W@FGU  
    '}NH$ KA  
    DAd$u1  
    量化界面的GDSII导出 jY\YSQ  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Wy$Q!R=i  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 2l4`h)_q  
    W{;LI WsZ  
    n L!nzA  
     
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