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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 y vz2eAXa  
    "vnWq=E 2  
    任务说明 N#? Ohz  
    4)=\5wJDg1  
    hWqI*xSaJ  
    (0/)vZc  
    灵活地导出制造数据： -U/m  
    - 平滑的界面 56R)631]p  
    - 量化界面 ;'x\L<b/)  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 C/L+:b&x~  
     dJ0qg_ U&  
    亮点 Yh}F  
     导出各种表面形状的制造数据 Z>#MTxU(  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 CH/*MA  
         &\0V*5tI  
    |:?JSi0  
    一般界面的制造数据 D3+UV+&R/  
    ve|`I=?2  
    W~&PGmRI  
    M;i4ss,}!  
    支持文件格式： ix=H=U]Q{  
    - 纯文本 I3ZbHb-)_,  
    - ASCII码 4vk^=  
    - 点云 #n_uELE  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） =<M7t*!  
     TdAHw @(  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） yb(zyGe  
    ~!w()v n  
    采样高度剖面的STL导出 E"P5rT  
    zkt+"P{az[  
    ,^_aqH  
    `jur`^S|  
    量化界面的GDSII导出 1JU1XQi  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 nPj+mg  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 G 39  
    mne=9/sE"  
    cO#e AQf7  
     
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