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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 : Dlk `?  
    jTIn@Q  
    任务说明 Ws@s(5r  
    fE iEy%o  
    j.*}W4`Q_  
    bx> D  
    灵活地导出制造数据： <Th.}=  
    - 平滑的界面 x$*OglaS  
    - 量化界面 O!jCQ{ T  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Qp}<8/BM\  
     }^t?v*kcA  
    亮点 L\5n!(,0  
     导出各种表面形状的制造数据 UF tTt`N2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 o/#e y  
         f QdQ[  
    z\, w$Ef+  
    一般界面的制造数据 lK0coj1+  
    t<-Iiq+tL  
    ~rD* Y&#.  
    QQcJUOxT9  
    支持文件格式： vnE,}(M  
    - 纯文本 SrxX-Hir  
    - ASCII码 dJk.J9Z  
    - 点云 BTB,a$P/  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） % rkUy?=vu  
     IlY,V  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） lxbZM9A2  
    5we1q7  
    采样高度剖面的STL导出 V'8 (}(s/  
    Wjp<(aY[  
    `#~@f!';  
    7J\I%r  
    量化界面的GDSII导出 X@B+{IFC  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 |oX l+&u  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 @E1N9S?>  
    3.soCyxmc  
    Zu!3RN[lp?  
     
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