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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 w :^b3@gd  
    fFSW\4JD=  
    任务说明 ;]<$p[m  
    #;?z<  
    y}#bCRy~.A  
    nwO;>Qr  
    灵活地导出制造数据： f$(w>B7..  
    - 平滑的界面 G=~T)e  
    - 量化界面 ;'=!Fv  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 (CuaBHR  
     6pr}A  
    亮点 {d^&$~  
     导出各种表面形状的制造数据 9D8el}uHf  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 p?Yovckm  
         XPWK"t0 1  
    tw*qlbFHv  
    一般界面的制造数据 3ck;~Ncj<  
    9O}YtX2  
    /l:3* u  
    siyJjE)}w  
    支持文件格式： o`G'E&  
    - 纯文本 mjy%xzVr6^  
    - ASCII码 yKfRwO[ j  
    - 点云 [!bTko>rSB  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） z KJ6j]m  
     zFQxW4G  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） <([o4%  
    jL`S6E?7  
    采样高度剖面的STL导出 CXA)Zl5#  
    {u9VHAXCf  
    (M5=8g%>d  
    4fpz;2%  
    量化界面的GDSII导出 oVmGZhkA@'  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 UXIq>[2Z1  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 _CI!7%  
    oSy[/Y44a  
    ChmPO|2F  
     
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