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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 6tdI6  
    ,- HIFbXx@  
    任务说明 +X^4; &  
    D'L{wm  
    [ud|dwP"  
    ZvH{wt   
    灵活地导出制造数据： og-]tEWA1  
    - 平滑的界面 Y6VQ:glDT-  
    - 量化界面 n\ Uh  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 j'Wp  
     ct0v$ct>f  
    亮点 4VFc|g  
     导出各种表面形状的制造数据 Bp3L>AcVu  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 (6k>FSpg  
         M 9"-WIG@h  
    o!Fl]3F  
    一般界面的制造数据 0w3b~RJ  
    3h&bZ  
    a:u}d7T3e  
    l0`'5>  
    支持文件格式： }ywi"k4>  
    - 纯文本 ;3 UvkN  
    - ASCII码 s.y}U5Ty?P  
    - 点云 Dl\d_:+  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） sqG`"O4W  
     EcW1;wH  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） BKA]G)G7u!  
    q\H7& w  
    采样高度剖面的STL导出 k7Oy5$##  
    Ab g$W/(|  
    XV5`QmB9  
    MPvWCPB  
    量化界面的GDSII导出 q6&67u0  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 0yTQ{'Cc  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 HRHrSf7  
    ;*QN9T=0  
    N84qcc  
     
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