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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 X#fI$9a  
    .Q7z<Q  
    任务说明 j`bOJTBE  
    eG<32$I  
    nX~sVG{Q  
    BX?Si1c  
    灵活地导出制造数据：  I2b[  
    - 平滑的界面 -7u4f y{T  
    - 量化界面 /Bc ;)~  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 q~lmOT~E  
     3OTSLF/  
    亮点 VrHFM(RNe  
     导出各种表面形状的制造数据 W,vb7v'  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ~<aCn-h0  
         9d v+u6)  
    i;cqK&P;]  
    一般界面的制造数据 ^ `!6Yax?  
    Gg_i:4F  
    '_2~8w  
    \JX8`]|&  
    支持文件格式： ?>e-6*.  
    - 纯文本 arnu|paw  
    - ASCII码 4:7z9h]  
    - 点云 ,>)/y  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 3AWg43L7  
     ZJS7#<-7o  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） y'{0|Xj  
    w zF"^CJ  
    采样高度剖面的STL导出 cxVnlgq1  
    jGId)f!)  
    4e* rBTl  
    v~j21`  
    量化界面的GDSII导出 i-$]Tg  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 [H!V  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 mIt=r_  
    }oU0J  
    J 5~bs*a8  
     
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