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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 :mg#&MZj<  
    4J I;NN  
    任务说明 x/9`2X`~  
    yM#W,@  
    nS4~1a  
    3QXGbu}:h!  
    灵活地导出制造数据： 59EAqz[:  
    - 平滑的界面 RmzK?muk  
    - 量化界面 '{7A1yJnY%  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 QQrvT,]  
     uO":\<1#  
    亮点 ]v9<^!  
     导出各种表面形状的制造数据 Zr$PSp}  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 "bw4 {pa+  
         071w o7  
    "%}PVO!  
    一般界面的制造数据 EoOrA@N  
    @${!C\([1  
    "CZ`hx1|^  
    b!`:|!7r'  
    支持文件格式： 'z!I#Y!Y  
    - 纯文本 lGcHfW)Y  
    - ASCII码 Kvk;D ]$  
    - 点云 4vy!'r@   
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ]-ZD;kOr  
     Qs,LK(1  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ~&KfJ  
    L8ZCGW\Rr  
    采样高度剖面的STL导出 {AcKBi b  
    <'gCIIa2  
    0~FX!1;  
    SSH/q/  
    量化界面的GDSII导出 UO!OO&l!  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 <:%Iq13D  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 B!8]\D  
    &Nec(q<  
    xy|;WB  
     
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