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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 \^iPU 27H  
    0uzm@'^  
    任务说明 Efi@hdEV  
    >{i/LC^S  
    %sb)U~gP  
    l%*KBME  
    灵活地导出制造数据： ig:/60Z  
    - 平滑的界面 &Zl$7  
    - 量化界面 d3h2$EDD  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 o{yEF1,c\  
     }f)$+mi  
    亮点 2"lDKjj  
     导出各种表面形状的制造数据 )xiiTkJd5  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 E4RvVfA0F  
         *vFVXJo  
    Z]l<,m  
    一般界面的制造数据 }}XYV eI  
    @s J[<V  
    )W)m?%  
     5k.NZ  
    支持文件格式： W HO;;j  
    - 纯文本 {J q[N}  
    - ASCII码 vlth\ [  
    - 点云 DGr{x}Kq  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ";38v jIV  
     iph>"b$D  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） S(](C  
    />;1 }  
    采样高度剖面的STL导出 *]~ug%a  
    Q=J"#EFs  
    :G9+-z{Y&  
    pfgFHNH:  
    量化界面的GDSII导出 / ]_T  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 *@=in7*c  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 d_=@1 JM>  
    VTySKY+  
    S?nk9 T+  
     
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