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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 s?nj@:4  
    -;RAW1]}Y$  
    任务说明 R$MR|  
    HM"(cB(n`  
    f(K1 ,L:&7  
    */TO $ ^s  
    灵活地导出制造数据： -x J\/"A  
    - 平滑的界面 '-G,7!.,r%  
    - 量化界面 t*6C?zEAU  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 y^kC2DS   
     v]KPA.W  
    亮点 NA/Sv"7om  
     导出各种表面形状的制造数据 ;;U&mhz`  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 A,= R`m  
         CPP9=CoR37  
    5`K'2  
    一般界面的制造数据 HBk5 p>&  
    5VfpeA `  
    +l7Bu}_?  
    "[Tr"nI  
    支持文件格式： 6jl{^dI  
    - 纯文本 gKIN* Od  
    - ASCII码 Xa&:Hg<  
    - 点云 W^3'9nYU  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） f9n4/(C y  
     g)MLgjj  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） :4COPUBpPV  
    pcm1IwR`  
    采样高度剖面的STL导出 P|aSbsk:I<  
    }yCgd 5+_  
    v\kd78,  
    z]O>`50Q  
    量化界面的GDSII导出 Pp|pH|(n ,  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 gti=GmL(L  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 8[8U49V9(  
    9AQ2FD  
    a6o p  
     
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