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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 |#22pq?RP  
    LUA<N:  
    任务说明 @-O%u* %J  
    7fW$jiw  
    w2V:g$~,  
    6KX/Yj~B  
    灵活地导出制造数据： 8 HD I]  
    - 平滑的界面 2-rfFqpe  
    - 量化界面 q=26($  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 TcH7!fUj  
     lkQ(?7  
    亮点 S"R(6:hkgu  
     导出各种表面形状的制造数据 2nI^fVR%\  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 j"vL$h  
         gzp]hh@4  
    VW**N}1#C  
    一般界面的制造数据 Ne}x(uRn  
    \WM"VT  
    s 5F?m  
    X>eFGCz}I  
    支持文件格式： o_.`&Q6n  
    - 纯文本 >2#F5c67  
    - ASCII码 7Dz-xM_?  
    - 点云 P5Pb2|\*  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Wtp;se@#  
     X>Y>1fI.  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 2Gn26L 5  
    1*OZu.NdK  
    采样高度剖面的STL导出 {BD G;e  
    mz3Dt>  
    %"AB\lL.  
    6FEIQ#`{  
    量化界面的GDSII导出 >'&|{s[m  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 G]gc*\4  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ")3$. '5Dg  
    6f;20dn 6  
    nZ# 0L`@"Y  
     
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