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光整形>衍射光学 ~Fv&z'R wP3_RA]z 任务说明 'gd3 w~ JViglO1\ &WAO.*:y -]"=b\Q 灵活地导出制造数据: [q]"_4L0;d - 平滑的界面 T">-%-t - 量化界面 {bnNY - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 rBLkowDP* o8\@R 亮点 ;m$F~!Y 导出各种表面形状的制造数据 ]z`Y'wSxd 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Q/r0p> ?T-6|vZA E15"AO 一般界面的制造数据 bHE'R!* 3?I^D /K^ QA7SQcd, <cG .V|B 支持文件格式: [z#C&gDt - 纯文本 fo~8W`H& - ASCII码 ^ a%U *>P - 点云 opTDW) - CAD格式(例如,STL,IGES) iA*Z4FKkT wJ-G7V,) STL导出平滑界面(例如Asphere) Et~b^8$> lQQXV5NV 采样高度剖面的STL导出 0L10GJ "( G|FF x][vd^iW b9%}<w 量化界面的GDSII导出 $@d`Kz; 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 _l]`Og@Y 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 YAnt}]u!" R L/~E
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