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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 ubGs/Vzye  
    l)@:T|)c  
    任务说明 G%hO\EO  
    emWGIo  
    pt!'v$G/*  
    _PB@kH#  
    灵活地导出制造数据： X8 qIia  
    - 平滑的界面 Cd~LsdKE5  
    - 量化界面 B?(4f2yE  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 }:#dV B+  
     nxRwWj57  
    亮点 };SV!'9s?~  
     导出各种表面形状的制造数据  5H.Db  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 sJ6a7A8)  
         k,_i#9 X  
    W^R'@  
    一般界面的制造数据 vfbe$4mH  
    +i)AS0?d  
    {8m1dEC^@Q  
    ks:{TA27  
    支持文件格式： (+MC<J/i  
    - 纯文本 =R9*;6?N  
    - ASCII码 %cj58zO |y  
    - 点云 W8* 2;F]  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Bcaw~WD  
     5P\N"Yjx'  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） wgZrrq/W|  
    Mo|yv[(K ,  
    采样高度剖面的STL导出 22vq=RO7Z  
    -3k;u  
    J#@lV  
    .eTk=i[N-  
    量化界面的GDSII导出 CKC0{J8g  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。  coAW9=o}  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 5B|,S1b  
    u\5g3BH  
    )Pa*+ew7  
     
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