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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 $"6Gv  
    n9Vr*RKM)  
    任务说明 r =]$>&  
    ^5k~ 7F.  
    L_M(Lj  
    :*t5?  
    灵活地导出制造数据： crgVedx~}  
    - 平滑的界面 hdH3Jb_hl(  
    - 量化界面 pTH5-l_f ]  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 g?u=n`k]\  
     JC/nHM  
    亮点 /HdjPxH  
     导出各种表面形状的制造数据 zkd^5A; `  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 F^?DnZs  
         bu=RU  
    B!4~A{  
    一般界面的制造数据 o;OEb  
    !';;q  
    ,=: -&~?  
    H6lZ<R{=  
    支持文件格式：  LYyud  
    - 纯文本 vLGnLpt  
    - ASCII码 *De'4r 2  
    - 点云 ` :Oje  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） HzsQ`M4cA  
     zT>BC}~.b  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） mgb+HNH%q\  
    c/l^;6O/!\  
    采样高度剖面的STL导出 YU\k D  
    Sf2xI'  
    v]}\Ns/  
    FJn.V1  
    量化界面的GDSII导出 gOm8 O,  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 TK0W=&6#A  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 !&5*H06  
    ! %N@>[  
    :BB=E'293  
     
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