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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 ~Fv&z'R  
    wP3_RA]z  
    任务说明 'gd3 w~  
    JViglO1\  
    &WAO.*:y  
    -]"=b\Q  
    灵活地导出制造数据： [q]"_4L0;d  
    - 平滑的界面 T">-%-t  
    - 量化界面 {bnNY  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 rBLkowDP*  
     o8\@R  
    亮点 ;m$F~!Y  
     导出各种表面形状的制造数据 ]z`Y'wSxd  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Q/r0p>  
         ?T-6|vZA  
    E15"AO  
    一般界面的制造数据 bHE'R!*  
    3?I^D /K^  
    QA7SQ cd,  
    <cG .V |B  
    支持文件格式： [z#C&gDt  
    - 纯文本 fo~8W`H&  
    - ASCII码 ^ a%U *>P  
    - 点云 opTDW)  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） iA*Z4FKkT  
     wJ-G7V,)  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Et~b^8$>  
    lQQXV5NV  
    采样高度剖面的STL导出 0L10GJ"(  
    G|FF  
    x][vd^iW  
    b9%}< w  
    量化界面的GDSII导出 $@d`Kz;  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 _l]`Og@Y  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 YAnt}]u!"  
    RL/~E xYC  
    l!e8=QlJ  
     
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