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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 //Ck1cI#h  
    "^yTH/m  
    任务说明 +U% = w8b  
    W& w -yZ  
    g!i\ AMG?  
    \5cAOBja  
    灵活地导出制造数据： ,vl][MhM  
    - 平滑的界面 6*le(^y`  
    - 量化界面 1 f).J  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Yu`b[]W  
     nJNdq`y2  
    亮点 J[ du>1D  
     导出各种表面形状的制造数据  k/ls!e?  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ?dY}xE  
         ]G#og)z4  
    22)2o lU  
    一般界面的制造数据 XzIhFX6  
    "JT R5;`w  
    (%D*S_m'  
    +eg$Z]Lht  
    支持文件格式： HI*xk  
    - 纯文本 XOAZ  
    - ASCII码 K FvNsqd  
    - 点云 xQT`sK+  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） a 39Kl_\  
     T}jryN;J5  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 615, P/  
    Tl6%z9rY@  
    采样高度剖面的STL导出 t 5g@t0$  
    80U07tJ  
    3V>2N)3`A  
    +pURF&Pr  
    量化界面的GDSII导出 v `9IS+Z  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 E`}KVi57  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 OB FG!.)  
    iqW T<WY  
    Ew~piuj  
     
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