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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 G3]TbU!!T  
    E O^j,x g  
    任务说明 wi/Fx=w  
    :tclYX  
    3>FeTf#:  
    -_&"Q4FR;+  
    灵活地导出制造数据： .Bxv|dji  
    - 平滑的界面 \IB@*_G  
    - 量化界面 $<R\|_6J  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 * S4IMfp  
     9UlR fl  
    亮点 SSH))zJ  
     导出各种表面形状的制造数据 JL0>-kg  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 c*LB=;npI  
         1#LXy%^tO  
    5~GHAi  
    一般界面的制造数据 C+ \c(M a  
    aH7i$U&  
    98 dl -?  
    /'KCW_Q  
    支持文件格式： m$b5Vqq  
    - 纯文本 c:QZ(8d]L  
    - ASCII码 '%U'%')  
    - 点云 -1'O  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） }6zo1"  
     9eOP:/'}w  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） \@IEqm6  
    -3-*T)  
    采样高度剖面的STL导出 39 D!e&  
    MR$R#  
    88%7  
    FKhmg&+>  
    量化界面的GDSII导出 5]_m\zn=  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -!d'!; ]  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 y.h2hv]Bc  
    }4'5R  
    [ 6+iR  
     
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