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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 tN2 W8d  
    x5F@ad 9  
    任务说明 u*2JUI*  
    W_}/O'l{  
    FUqt)YHi  
    ~-<:+9m  
    灵活地导出制造数据：  d1bhJK  
    - 平滑的界面 SH=:p^J  
    - 量化界面 u E.^w;~2=  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 (}jL_E  
     %w:'!X><  
    亮点 }"4roJ  
     导出各种表面形状的制造数据 P^zy;Qs7  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 7P*Z0%Q  
         WK4@:k m6)  
    ls @5^g  
    一般界面的制造数据 fnOIv#  
    xiCN qk3  
    +'%\Pr(  
    M2p<u-6 "  
    支持文件格式： Pb4q`!  
    - 纯文本 RH~sbnZ)F  
    - ASCII码 [%~^kq=|  
    - 点云 &^+3er rO  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） i| 4_ m  
     TPK@*9rI  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） EneAX&SG  
    S&01SX6  
    采样高度剖面的STL导出 [+gzdLad  
    ` FxtLG,F  
    NjP ]My  
    r=$gT@  
    量化界面的GDSII导出 BKZ v9  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 vgo{]:Aj{  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 xFwXW )  
    ,CKvTxz0  
    b pp*  
     
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