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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 `>Ms7G9S~e  
    -A^o5s  
    任务说明 3jx/1VV  
    +yI2G! $T9  
    SajasjE!^1  
    0WSOA[R%[b  
    灵活地导出制造数据： -)Hc^'.  
    - 平滑的界面 Jbn^G7vH<6  
    - 量化界面 V<ii  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 mEg3.|  
     eX$RD9 H  
    亮点 :{s0tw>Z  
     导出各种表面形状的制造数据 6>gm!6`  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 :(YFIW`59  
         &fW'_,-  
    g=$nNQ \6=  
    一般界面的制造数据 ~7w LnB  
    N$.=1Q$F6  
    %)w7t[A2D  
    ;]l`Q,*OXb  
    支持文件格式： *G8Z[ht%r  
    - 纯文本 &S39SV  
    - ASCII码 /5X_gjOL,  
    - 点云 ~t<uX "K  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） VA @  
     Vy6~O|68=  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） >c$3@$  
    @D$ogU,#  
    采样高度剖面的STL导出 (QS 0  
    i3cMRcS;  
    ]sI\.a  
    )4RSo&9p`  
    量化界面的GDSII导出 Y,?kS dS  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 E.,  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 q2U?EP{8~  
    ?DE{4Ti/[  
    ]:}7-;$V  
     
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