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光整形>衍射光学 Cc;8+Z=a?G ,HI%ym 任务说明 |* ^LsuFb _GrifGU\
C|h Uyo @BG].UJo 灵活地导出制造数据: i,S1|R - 平滑的界面 ~Z!YB,)bp - 量化界面 klH?!r& - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 -y{(h%6 Gp+\}<^Z 亮点 tP"6H-)X& 导出各种表面形状的制造数据 - Ry+WS= 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 s;Gg (\!?>T[En E
AZX 一般界面的制造数据 [cco/=c v$w}UC%uf iJZNSRQJ}r 5-y*]:g( 支持文件格式: +I3O/=) - 纯文本 ?c+$9 - ASCII码 =,h'}(z_ - 点云 4 Yv:\c - CAD格式(例如,STL,IGES) T\g+w\N 841 y"@*BY STL导出平滑界面(例如Asphere) d4*SfzB ir"t@"Y;o 采样高度剖面的STL导出 l#%7BGwzY g6;smtu_T aKWxL e <oV[[wl 量化界面的GDSII导出 I
"O^.VC 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 :8hI3]9 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 %y|pVN!U 1dw{:X=j E}v8Q~A(
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