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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 Cc;8+Z=a?G  
    ,HI% ym  
    任务说明 |* ^LsuFb  
    _GrifGU\  
    C|h Uyo  
    @BG].UJo  
    灵活地导出制造数据: i,S1|R  
    - 平滑的界面 ~Z!YB,)bp  
    - 量化界面 klH?!r&  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 -y{(h% 6  
    Gp+\}<^ Z  
    亮点 tP"6H-)X&  
     导出各种表面形状的制造数据 - Ry+WS=  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 s;Gg  
         (\!?>T[En  
    E AZX  
    一般界面的制造数据 [cco/=c  
    v$w}UC%uf  
    iJZNSRQJ}r  
    5-y*]:g(  
    支持文件格式: +I3O/=)  
    - 纯文本 ?c+$9  
    - ASCII码 =,h'}(z_  
    - 点云 4 Yv:\c  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) T\g+w\N  
    841y"@*BY  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) d4*SfzB  
    ir"t@"Y;o  
    采样高度剖面的STL导出 l#%7BGwzY  
    g6;smtu_T  
    aKWxLe  
    <oV[[wl  
    量化界面的GDSII导出 I "O^.VC  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 :8hI3]9  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 %y|pVN!U  
    1dw{:X=j  
    E}v8Q~A(  
     
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