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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 FEu"b@v  
    qX5>[qf-  
    任务说明 x4c|/}\)*  
    b)Da6fp  
    zHZfp_I  
    lWj*tnnn[  
    灵活地导出制造数据： j;@a~bks6z  
    - 平滑的界面 [BD`h  
    - 量化界面 L<@*6QH  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #J&3Zds  
     @ewaj!  
    亮点 wrgB =o  
     导出各种表面形状的制造数据 ;!S5P(  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 \^" Vqx  
         G`O*AQ}[  
    n]$rLm%^  
    一般界面的制造数据 AF"7 _  
    !'^l}K>  
    g]: [^p  
    M9R'ONYAa  
    支持文件格式： wB0vpt5f  
    - 纯文本 81:%Z&?vRl  
    - ASCII码 eZ(ThA*2=t  
    - 点云 Dh2Cj-| ~  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） o}:x-Y  
     sk39[9  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） G)I` M4}*n  
    igA?E56?  
    采样高度剖面的STL导出 &Jj|+P-lY  
    "ymR8 y'  
    Ue 9Y+'-x  
    {Z8GG  
    量化界面的GDSII导出 tW|0_m>{  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 B;(U ?gC  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 M{G}-QK_.  
    CdRJ@Lf  
    mbkt7. ,P  
     
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