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光学测量＞显微 =_L bu2'JIDR 任务/系统描述 H}$ hk /:}z*a
 FiQx5}MMhu p3NTI /- 亮点 -^JGa{9*
: a4FO
 6v9{ $ : Uieg4I ro 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 Mwdw7MZ"S 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 9$xEktfV 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 Tcglt>tj" ?Ze3t5Ll 说明：光源 !I? J^0T ,j ('QvavJ  \JLiA>@@ n>dM OQb 说明：透镜系统 UI4Xv 995^[c1o6  _5nQe
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A_t<SG5
说明：样品结构 +"] 'h~W N!fp;jvG  8bX\^&N Ccocv>=Q&J 说明：探测器 Te {L@sj bz~-uHC  +M\*C# i#jCf3%+
h 结果：3D光线追迹 y^ C; ?B< b'N"?W^YQ
 ,
"zS
pN N[}XLhbt 结果：场追迹矩形光栅 #oYX0wv l VmTk4?V4  rrSA.J{
fxLhVJ"b 结果：场追迹锯齿形光栅 X/1Z9 a+W  qi7wr\XNW
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