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摘要 NMJ230? 8N'`kd~6[
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7scv%i 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 y4/>3tz; @j K7bab: 建模任务 E;@`{ v Vx~[;*{,C9
ujXC#r& q-KN{y/ 光栅元件 W&;X+XA_W w3:Y]F.ot
N*|Mfpf 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: %A,4vLe~6 • FMM/RCWA `$JPF Z • Diffractive Lens Component isLIfE> |>gya& 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ?}D@{%O3T od"Oq?~/t
Xjt/ G):L j,K]TJ 正弦光栅-传输相位形态 ~gNa<tg"1 fLa 7d?4
Ko]A}v\] GPy+\P` 正弦光栅-传输相位形态 f]tc$`vb 'JsP9>)
gI~Ru8 ycg5S rg 正弦光栅-衍射效率 Wsyq oyZ}JTl(Q
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F] Nih8(pbe 正弦光栅—选定周期的相位形态 -.~Dhk 1K.i>]}> ~:~-AXaMT tn&~~G~# 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) _]E H~; H3"90^|,@
_yw]Cacr\ 闪耀光栅-传输相位形态 atRWKsY< Z+!._uA 8R<2I1xn2 D|lp3\`% 闪耀光栅-衍射效率 4n_f7'GZg f mu `o-
wN'Q\l+ <RH2G 闪耀光栅-效率vs.周期 w-9M{Es+j R+
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