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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 k iY1  
    `CEHl &w  
    V0F&a~Q  
                                                             )ocr.wU@  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 H_7EK  
                                                                 Wc{/K6]f  
    建模任务                                                         WQYw@M~4Q!  
    +Rd;>s*.Y  
     I(:d8SF  
    S8)6@ECC  
    光栅元件   ; Z{jol  
    ,9~2#[|lq  
                                                             2G BE=T  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: `KmM*_a  
    • FMM/RCWA %8g1h)F"S  
    • Diffractive Lens Component O/PO?>@-/  
                                                                 E(Y}*.\]#s  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       *TP>)o  
    77p8|63  
                                                         /X97dF)zt  
    4oRDvn7f&  
    正弦光栅-传输相位形态     <Is~DjIav  
    uBfSS\SX|  
                                                         '@,M 'H{  
    8iUj9r_  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         P jh3=Dr  
    JWvL  
     }w/6"MJ[n  
    yk&PJ;%O<  
    正弦光栅-衍射效率 qO}Q4a+  
    78/,rp#'_  
                                                                 ]?a i  
    =2.q=a|'  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       q!\4|KF~  
    MPD<MaW$  
           ,\=,,1_  
    MI\35~JAN  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   qv.s-@l8  
                                           Ni-@El99  
    %oHK=],|1  
                                                                 |WDMyKf6J  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) S!+}\*  
    MC;2.e`  
                                                               KetNFwbUf  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         7 HM%Cd  
    ?_nbaFQK3  
    z6;6 o!ej  
     ~l"]J'jF"H  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         sA!$}W  
    ~"nF$DB  
     K:(E"d;  
                                                                 ~Y/o9x0  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         g}n-H4LI  
    .6[7D  
     )uu1AbT +e  
                                                                 :.aMhyh#*  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         jcL%_of  
    SZ(]su:  
     m< Y  I}  
                                                                 1V:I }~\  
    VirtualLab Fusion技术   X)b@ia'"Wp  
    z1S p'h$  
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