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摘要 ]x5(bnWx D]LFX/hlH
QiQ2XW\E wz|Q%.%?[ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 0%q{UW2 Q0[CH~ 建模任务 8\W3FvQ 6KZ8 .m}:
rTm>8et CrQA :_Z(7 光栅元件 |zRoXO`]-* p:
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zO7lsx2= 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *cI6&;y • FMM/RCWA wj";h Aw • Diffractive Lens Component *1 J#Mdd 6@ (k8<3 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) h~^qG2TYWq nf+"vr}1
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KMbs 正弦光栅-传输相位形态 US*<I2ZLh f;_K}23
tSh}0N) MU^xu&MB 正弦光栅-传输相位形态 D,m&^P=%e `*2*xDuP
?@,f[ U- jP6oJcZ 正弦光栅-衍射效率 6LF^[b/u Ej{eq^n
X=!n,=xI S:B-nI 正弦光栅-效率vs. 周期 STF}~`b:3 A=YEY n
9DP75 ti [>aoDJ 正弦光栅—选定周期的相位形态 b`={s ^w.(*; / v#YS`];B :Jsz"vCg&s 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) f4\p1MYQ T\$^>@
si"mM>e 闪耀光栅-传输相位形态 ;^H+
|&$> lDX&v$ 3<.j`JB@& +ouy]b0`t 闪耀光栅-衍射效率 /{#_Um0. 7`'fUhB!
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t+ _-yF9g"I 闪耀光栅-效率vs.周期 X7B)jH%N HDae_.
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