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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ]/U)<{6  
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    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 @c5TSHSL.  
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    建模任务                                                         3C5<MxtK  
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    光栅元件   )/Ul" QF  
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    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 06L/i,  
    • FMM/RCWA SxH b76 ;  
    • Diffractive Lens Component .%.J Q  
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    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ]H%y7kH8  
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    正弦光栅-传输相位形态     F~4oPB K<  
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    正弦光栅-传输相位形态                                                         Wu?4oF  
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    正弦光栅-衍射效率 1r'skmxq  
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    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       #[ipJ %  
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    正弦光栅—选定周期的相位形态   \%g# __\  
                                      
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    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) kzcl   
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         fq-e2MCX5  
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    闪耀光栅-衍射效率                                                         sT ]JDC6  
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    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $q%r}Cdg  
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    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         bh V.uBH  
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    VirtualLab Fusion技术   KsVN<eR{  
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