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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 -O2Qz zE&  
    K":- zS  
    aX0sy\Z]j  
                                                             _oR6^#5#  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ${`\In_?O  
                                                                 \@5W&Be^  
    建模任务                                                         | YvO$4=s  
    x}72jJe`  
     *,mbZE=<  
    SxMh '  
    光栅元件   H,] D}r  
    cpf8f i  
                                                             @"Do8p!*(6  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: J0^p\mG  
    • FMM/RCWA r)ga{Nn,.  
    • Diffractive Lens Component a ipvG  
                                                                 _Tev503  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       (n#  
    IgZX,4i=o  
                                                          RtK/bUa  
    ZO:{9vt=/  
    正弦光栅-传输相位形态     SrU,-mA W  
    {_PV~8u  
                                                         8&H1w9NrX_  
    iQ~cG[6  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         r0?`t!% V  
    *F2obpU  
     90M:0SH  
    wHdq:,0-!  
    正弦光栅-衍射效率 bMf +/n  
    >(*jL  
                                                                 H`m| R  
    .b5B7 x}  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       7 -bU9{5  
    P6;L\9=H<  
           7?b'"X"  
    ^PO0(rh  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   QZ%_hvY[%>  
                                           I x-FJF-  
    kVZ>Dc2M  
                                                                 }4\>q$8'  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) [G4#DP\t>p  
    [R6du*P  
                                                               v:<u0B-)$  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ]'M Ly#9  
    r's4-\  
    Ch^Al 2)=  
     :@19,.L  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         O zY&^:>  
    6d`6=D:  
     ]@>bz  
                                                                 :E]A51  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         b[VP"KZ?  
    bZ:w_z[3=  
     Q{V|{yV^y  
                                                                 ,]1K^UeZ  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         8BC}D+q  
    |_ E)2b:h  
     a{,EX[~b  
                                                                 E.4`aJ@>d  
    VirtualLab Fusion技术   D@FJVF7c  
    a4O!q;tu7  
                   <JDkvpckx.  
     
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