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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Mp-hNO}.Z  
    ,S V34+(  
    !pJd^|4A]  
                                                             v?O6|0#x  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Y[~Dj@Q<  
                                                                 bI?uV;m>  
    建模任务                                                         "h\ (a<  
    'nQQqx%v  
     BbC aIt  
    oVAY}q|wU  
    光栅元件   07 E9[U[  
    +3d.JQoKl  
                                                             Bw Cwy  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: EK 8rV  
    • FMM/RCWA Ne b")  
    • Diffractive Lens Component nBg  tK  
                                                                 is6M{K3  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       7;rf$\-&  
    )RCva3Ul  
                                                         sZh| <2  
    Fi8#r)G.  
    正弦光栅-传输相位形态     GNX`~%3KYc  
    /RBIZ_  
                                                         =yCz!vc  
    0\KDa$ '1k  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         U$m[{r2M  
    V2oXg  
     phP%  
    c`s ]ciC  
    正弦光栅-衍射效率  %G>  
    {^A,){uX]  
                                                                 u5I#5  
    cM Z-  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ]yV,lp  
    rp_Aw  
           DP6>fzsl  
    @3_."-d  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   *wl&Zzx  
                                           $,8}3R5}  
    #!7b3>}  
                                                                 +@BjQ|UZ  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) zL=PxFw0  
    K06x7W  
                                                               ]&_z@Z.i  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         t2hI^J0y  
    tdOox87YK  
    a_(fqoW  
     /;;$9O9  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         EY}*}-3  
    f5P@PG]{  
     ?F^O7\rw  
                                                                 `7 3I}%?  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ;.I,R NM  
    {1L{   
     E6+ 6  
                                                                 +L-(Lz[p  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         V7)<MY  
    bOdQ+Y6  
     ]EfM;'j[  
                                                                 K-Fro~U  
    VirtualLab Fusion技术   H]PEE!C;xC  
    UI_u:a9Q/  
                   W/G75o~6  
     
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