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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 6UqAs<c9  
    x+j@YWDpG"  
    l=b!O  
                                                             cFt&Efj  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 e MHz/;I  
                                                                 E*u*LMm  
    建模任务                                                         Scx!h.\5  
    uDP:kM  
     A[8m3L#k  
    v2E<~/|  
    光栅元件   gHp*QL\?9  
    @lF?+/=$  
                                                             B ,cFvS  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 0F@~[W|2  
    • FMM/RCWA rD~/]y)t  
    • Diffractive Lens Component GdcXU:J /  
                                                                 .whi0~i  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       GTM0Qvf?  
    DtFHh/X  
                                                         #|ts1lD#ah  
    aZ4?! JW.  
    正弦光栅-传输相位形态     = V2Rq(jH  
    K<wFr-z  
                                                         50QDqC-]XS  
    @t~y9UfF  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %+=;4tHJ  
    7H5VzV  
     E<Zf!!3  
    DPjs? M<  
    正弦光栅-衍射效率 Zs />_w}  
     C3{hf  
                                                                 g ns}%\,  
    9gcW;  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       &U7v=a  
    I09 W=  
           y\Aa;pL)RQ  
    2+rT .GFc  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   v*?8:>:}  
                                           le\-h'D  
    'EiCT l  
                                                                 D,}bTwRb-  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) wn5OgXxG<  
    ]JjS$VMauX  
                                                               NgDhdOB  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         nsR CDUCi  
    .Qx5,)@9  
    =|]h-[P'  
     Qc3d<{7\~  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ng3ZK  
    "00j]e.  
     PGJh>[ s  
                                                                 SYY x>1;8`  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         'z;(Y*jb  
    A7Ql%$v7^  
     |@u2/U9  
                                                                 o>r P\  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         {P8d^=#q  
    y>y2,x+[  
     ?.SGn[  
                                                                 f?UI+TU  
    VirtualLab Fusion技术   R^.PKT2E  
    l&ueD& *4&  
                   9jTBLp-i#N  
     
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