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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 y(}Eko4u5  
    hVM2/j  
    @VK6JjIq  
                                                             |1Hc&  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 B.*"Xfr8  
                                                                 _*E!gPO  
    建模任务                                                         iP#=:HZu;  
    ezn` _x_?  
     7Cy<mS  
    .$0Pr%0pWI  
    光栅元件   ne*#+Q{E  
    Q'K$L9q  
                                                             yFjVKp'P  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 41yOXy ;~l  
    • FMM/RCWA ,r`UBQ}?  
    • Diffractive Lens Component NR3`M?Hjf  
                                                                 smup,RNZRX  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       f{ ^:3"i  
    b\giJ1NJB  
                                                         0 iR R{a<  
    Qqq <e  
    正弦光栅-传输相位形态     56{I`QjX  
    ehT%s+aUw  
                                                         g5Td("& n  
    vv+J0f^  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         n8u*JeN  
    Q7GY3X*kA  
      ;:OsSq&  
    O('Nn]wo~9  
    正弦光栅-衍射效率 e&1 \'Zq?>  
    qyyq&  
                                                                 &{z<kmc$6  
     zF: j  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       H;S%Y`V  
    *7RvHHf  
           l r~gG3   
    @;Y~frT  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   o`6|ba  
                                           FjFwvO_.  
    ~xDw*AC-  
                                                                 E FY@Y[  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) kg>>D  
    /!T> b:0  
                                                               O3qM1-k}S  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         4l @)K9F  
    |/T43ADW  
    fdv`7u+}a  
     ROdK8*jL  
    闪耀光栅-衍射效率                                                          CdZ BG  
    n:4uA`Vg  
     v(O=IUa  
                                                                 i9m*g*"2  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         b{5K2k&,  
    xs!p|  
     X?o( b/F -  
                                                                 J/W{/E>;  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         s>%Pd7:  
    LFu%v7L`  
     "A[ b rG  
                                                                 *b)Q5dw@1  
    VirtualLab Fusion技术   YnTB&GPxl  
    k \qiF|B)Z  
                   |vILp/"9=W  
     
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