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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 leC!Yj  
    KqG b+N-@  
    2d .$V,U<  
                                                        
    J+P<zC  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 F'K >@y  
                                                                 lUu0AZQmG  
    建模任务                                                         AX v q~XE  
    jYVs\h6  
    [BE_^d5&  
    uMQI Aapb  
    光栅元件   F*KQhH7Gf  
    DzpWU8j  
                                                        
    _pTcSp 3  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: E+/Nicn=  
    • FMM/RCWA j=O+U _w  
    • Diffractive Lens Component uY5|Nmiu  
                                                                 p7|I>8ur.  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Jx+6Kq(  
    64u(X^i  
                                                    
    o ]*yI[\  
    63 oe0T&  
    正弦光栅-传输相位形态     5=?P 6I_$G  
    B=cA$620  
                                                    
    A]bQUWt2  
    bY P8  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         a}@b2Wc*  
    3= =["hO  
    b=EI?XwJ  
    fJ*^4  
    正弦光栅-衍射效率 ":/c|!  
    `Q*`\-8J  
                                                            
    4FaO+Eo,8  
    77M!2S_E  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       GKoYT{6  
    6(QfD](2}  
      
    ~<_#%R!  
    cP?GRMX@}  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   GN|"RuQ  
                                      
    ]H/,Q6Q  
    Nr*l3Z>LD  
                                                                 XCI  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Iy_5k8 ]  
    Ic&~iqQ  
                                                          
    *P' X[z  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         :gsRJy1  
    Vo"G@W)lZ  
    +t,b/K(?]  
    h{)m}"n<R  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ajycYk9<m  
    T9c7cp[  
    iM8Cw/DS  
                                                                 {qw'gJmX  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Hdyl]q-(P  
    r^Ra`:ca  
    5mAb9F8@  
                                                                 Q9cSrU[$  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         "w"a0nv  
    CNRSc 4Le  
    q;9X8 _  
                                                                 h?TIxo:6/  
    VirtualLab Fusion技术   Py*WHHO  
    B*G]Dr)e  
              
    4(htdn6\  
     
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