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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ]x5(bnW x  
    D]LFX/hlH  
    QiQ2XW\E  
                                                             wz|Q%.%?[  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 0%q{UW2  
                                                                 Q0[CH~  
    建模任务                                                         8\W3Fv Q  
    6KZ8 .m}:  
     rTm>8et  
    CrQA :_Z(7  
    光栅元件   |zRoXO`]-*  
    p: Q%Lg_I  
                                                             zO7lsx2 =  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *cI6 &;y  
    • FMM/RCWA wj";hAw  
    • Diffractive Lens Component *1 J#Mdd  
                                                                 6@ (k8<3  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       h~^qG2TYWq  
    nf+"vr}1  
                                                         _ z"ci$[  
    D KMbs   
    正弦光栅-传输相位形态     US*<I2ZLh  
    f;_K}23  
                                                         t Sh}0N)  
    MU^xu&MB  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         D,m&^P=%e  
    `*2*xDuP  
     ?@,f[U-  
    jP6oJcZ  
    正弦光栅-衍射效率 6LF^[b/u  
    Ej{eq^n  
                                                                 X=!n,=xI  
    S:B- nI  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       STF}~`b:3  
    A=YEY n  
           9DP75 ti  
    [> aoDJ  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   b`={s  
                                           ^w.(*;/  
    v#YS`];B  
                                                                 :Jsz"vCg&s  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) f4\p1MYQ  
    T\$^>@  
                                                               si"mM>e  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ;^H+ |&$>  
    lDX&v$  
    3<.j`JB@&  
     +ouy]b0`t  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         /{#_Um0.  
    7`'fUhB!  
     *"9)a6T t+  
                                                                 _-yF9g"I  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         X7B)jH%N  
    HDae_.  
     77bZ  
                                                                 !kk %;XSZ  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         V2sB[Mw  
    Le$u$ulS  
     & b^*N5<Z  
                                                                 3S2p:\]  
    VirtualLab Fusion技术   (A<sFw?  
    =D"63fP1  
                   V/wc[p ~  
     
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