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摘要 Q<TD5t9 :z=C
3_%lN4sz U%E6"Hg 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ']'H8Y-M _,S
L;*G4| 建模任务 )HLe8:PG~ y,I ?3p|S
g[Tl#X7F m@Ziif-A 光栅元件 3$cIm+ -K+" :kiS
Qi&!Ub] 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: y^M~zOe • FMM/RCWA 'A#`,^]uLF • Diffractive Lens Component z:Sr@!DZ Z0fl]3p 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) M$|r8%z1 ^F5Q(A
a'sa{> nveHLHvC7 正弦光栅-传输相位形态 a(!_3i@ kpxWi=y
!8cS1(a D{b*,F:&@) 正弦光栅-传输相位形态 (X!?#)fyn :?!kZD!
#bFJ6;g=V v% mAU3M 正弦光栅-衍射效率 ]{tnNr>mv Vl91I+Ev
%Se@8d8 xG802?2i/; 正弦光栅-效率vs. 周期 $UgQ1Qc ?Hb5<,1u3
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KQ )3W`>7> 正弦光栅—选定周期的相位形态 Fpz)@0K; 3['aK|qk. -2)6QKh~D H9 d!-9I 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) O<A$,<6 7 (A\X+S(
;0)|c}n+.5 闪耀光栅-传输相位形态 QKj8~l( x1g0_&F )qgcz<p?W sTn}:A6 闪耀光栅-衍射效率 <=]wh|D s~A#B)wB
--(e(tvf ?CaMn b8 闪耀光栅-效率vs.周期 ^/K]id7 2 F XpI-?#E<
Ro&s\T+d xJ/<G$LNJ0 闪耀光栅-选定周期相位形态 '}\#bMeObg Z*9Qeu-N:
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