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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 @Wd (>*"zw  
    29 !QE>Q  
    Ax|'uvVAPT  
                                                             8T.bT6  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 f3,LX]zKA  
                                                                 RJ3uu NK7  
    建模任务                                                          e4_A`j'  
    )y:M8((%  
     >&>EjK4?  
    p4O[X\T  
    光栅元件   <%^WZ:c  
    |,KsJ2hD  
                                                             oFyB-vpYQV  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: vp&.  
    • FMM/RCWA hG`@#9|f  
    • Diffractive Lens Component f@9XSZ<.71  
                                                                 @) MG&X  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       A'}!'1  
    VJA/d2Oys  
                                                         2T%sHp~qt  
    H!FaI(YZl  
    正弦光栅-传输相位形态     ,;MUXCC'  
    _"H\,7E  
                                                         DdISJWc'`5  
    ADxje%!1O  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         e7n0=U0  
    Q6 o1^s  
     X?ZLmP7|  
    zNGUll$  
    正弦光栅-衍射效率 /J"fbBXwY  
    p4\sKF8-  
                                                                 r4K_Wp  
    %Y/;jC Y  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       [T'[7 Z  
    1QhQ#`$<1  
           3KeY4b!h  
    qfAnMBM1@  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Pdh`Gu1:3  
                                           &&jQ4@m}j  
    4a!%eBhX"K  
                                                                 ,QA=)~;D  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) "Ar|i8^G3  
    L>Ze*dt  
                                                               *Vb#@O!  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         y% !.:7Y  
    ET H ($$M  
    5Uhxl^c  
     }U9dzU14  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         @az<D7j2  
    EHl~y=9  
     R:'&>.AUw  
                                                                 18kWnF]n=  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         [(3 %$?[  
    ncVt (!c,e  
     2cS94h  
                                                                 V3|" v4  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         DqI"B  
    mICx9oz]  
     xVI"sBUu  
                                                                 ^?q(fK%  
    VirtualLab Fusion技术   W?N+7_%'  
    n Jz*}=  
                   s/3sOb}sA  
     
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