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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ~Azj Y8  
    9]ZfSn)  
    nM &a2Z,T  
                                                             (D?4*9 =  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 V*O[8s%5v  
                                                                 #W/Ch"Kv  
    建模任务                                                         +RM!j9Rq  
    9eHqOmz  
     E A55!  
    &g90q   
    光栅元件   7_Te-i  
    A#?Cts ,M  
                                                             P8h|2,c%  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^Tj{}<yT  
    • FMM/RCWA $Lbamg->E  
    • Diffractive Lens Component `?[,1   
                                                                 Hp ;$fQ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       seAPVzWUU  
    \}n_Sk  
                                                         ?8s$RYp14  
    x\ # K2  
    正弦光栅-传输相位形态     X!~y&[;[C  
    PWp=}f.y  
                                                         xH` VX-X3  
    |%|Vlu  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         h,&{m*q&  
    <6;@@  
     ?5B?P:=kl  
    B>cT <B  
    正弦光栅-衍射效率 K% snE7X?)  
    Mr4,?Z&`-d  
                                                                 j -"34  
    M6A0D+08  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       P{ %Urv{U  
    m##!sF^k~J  
           G `3{Q7k  
    uJ0'`Q?6R9  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   HrZX~JnTmf  
                                           b?,%M^9\`  
    FAc^[~E  
                                                                 &M3KJ I0L  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) \5j}6Wj  
    4bw4!z9G  
                                                               pJ1\@G  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         p{ZyC  
    .w{Y3,dd>  
    k$f2i,7'  
     +hispU3ia  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         .I#_~C'\  
    +G"YQq'b  
     +rSU  
                                                                 l. cp[  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         0,@^<G8?  
    #l- 0$  
     uF}B:53A  
                                                                 2,g4yXws5  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         YIgHLM(  
    [YODyf}M>\  
     Bv jsl  
                                                                 ,=G]tnsv^  
    VirtualLab Fusion技术   [N9yW uc  
    ;P;c!}:\b  
                   7mXXMm  
     
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