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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 jz,Gj}3;  
    wLy:S.r  
    X08[,P#I  
                                                             iO7s zi  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 {}"a_L&[;  
                                                                 4VHX4A}CgA  
    建模任务                                                         ;OSEMgB1  
    U+:Mu]97  
     3z -="_p  
    ICzcV };$  
    光栅元件   YqYobL*q/  
    9(hI%idq  
                                                             -=)+)9~G  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: VlS`m,:{  
    • FMM/RCWA 'SKq<X%R;  
    • Diffractive Lens Component !&pk^VFl+  
                                                                 `_(N(dm  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       fr8hT(,s)  
    >w#&fd  
                                                         "s7}eWM*a  
    Cw h[R  
    正弦光栅-传输相位形态     !r4B1fX  
    `bW0Va N  
                                                         rS_pv=0S  
    QG5)mIJ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         HjZf3VwI  
    'W/AYF^5  
     UH#S |o4  
    #=#bv`  
    正弦光栅-衍射效率 tD> qHR  
    D:PrFa  
                                                                 [9\Mf4lh#  
    W/u_<\  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       .5iXOS0 G  
    CQ'4 ".7  
           +q] kpkG!  
    0[ZwtfL1  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   !}=#h8fv  
                                           @m9dB P  
    4v.i!U# {  
                                                                 (} Y|^uM,  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) #-kx$(''V  
    L<p.2[3  
                                                               _m3#g1m{  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         q5~"8]Dls  
    CykvTV Q  
    u\u6< [>P  
     u >[hLXuB  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         S(G&{KG  
    WTUC\}#E\  
     IQ5'4zQg=  
                                                                 a ~F\ 2`Q  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         {r:5\  
    o^+g2;Ro  
     ~> S? m;  
                                                                 E|x t\ *  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         i?6#>;f  
    wa$Q8/  
     7&1 dr  
                                                                 Je=k.pO1  
    VirtualLab Fusion技术   XT{ukEvDR  
    8HL8)G6  
                   (~]0)J  
     
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