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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 s8_NN  
    M Xt +  
    % K7EF_%  
                                                             wR<QeH'V  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 dR, NC-*  
                                                                 +i_f.Ipp  
    建模任务                                                         L+ETMk0  
    ttq< )4  
     `:BQ&T%UQR  
    JX@6Sg<  
    光栅元件   `# M.t);^  
    9oxf)pjw  
                                                             =|V]8 tN  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 4C9"Q,o%&  
    • FMM/RCWA t?H;iBrpxd  
    • Diffractive Lens Component bvu<IXX=2  
                                                                 b= ec?n #7  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       rKs WS~U  
    : )"jh`  
                                                         V45Udwp ^  
    5<BV\'  
    正弦光栅-传输相位形态     ,, #rv-*  
    lGHu@(n<  
                                                         GKx,6E#JM  
    sS2E8Z2  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         3) Awj++  
    +:Q/<^Z  
     T&MS_E&;  
    I4X+'fW,  
    正弦光栅-衍射效率 k|c0tvp  
    Ihq@|s8  
                                                                 % ih7Jt  
    ="[](X^ l  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       KY34 'Di  
    ;OCI.S8  
           n zrCOMld  
    Y+`-~ 88  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   4N=Ie}_`  
                                           i|{nj\6w^  
    DMZ aMY|  
                                                                 Qg$Nj=Cw  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) HYnqx>L ~  
    `ur9KP4Dq  
                                                               C2|2XL'l(C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         =X5&au o  
    ~ 2oP,  
    -R \ @W q@  
     ygY+2  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Qbpl$L  
    4lf36K ,  
     HV7(6VSJ+  
                                                                 (BQ3M-  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $$f$$  
    7b%Cl   
     4S EC4yO  
                                                                 EA E\Xv  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         [ .uaO  
    >MY.Fr#.m  
     i/Lq2n3 )  
                                                                 e+ w  
    VirtualLab Fusion技术   mqT0^TNPcl  
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