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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 (F&LN!Hn>p  
    m#'eDO:  
    2fTuIS<yr  
                                                             nB`|VYmOP1  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 8'*x88+  
                                                                 Eiu/p&ct  
    建模任务                                                         }&vD(hX  
    B@(d5i{h  
     pWxk^qhe/  
    &x1A {j_  
    光栅元件   4:/V|E\D  
    ;}E}N:A  
                                                             (X "J)x aQ  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 8JY0]G6  
    • FMM/RCWA I D_4M_G  
    • Diffractive Lens Component M=raKb?F  
                                                                 WAxNQfEe  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ZPH_s^  
    !`e`4y*N  
                                                         #%[;v K  
    ?"Ez  
    正弦光栅-传输相位形态     E4% -*n  
    D\THe-Vtr  
                                                         ~3.*b% ,  
    cTq@"v di  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         0I.KHIB k  
    Ca0s m  
     6=/sEzS'  
     4v`/~a  
    正弦光栅-衍射效率  g!}]FQBb  
    x#`p.sfVo  
                                                                 u1 Q;M`+>  
    :Dt y([  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       `TPIc  
    q5_zsUR=  
           `-{l$Hn9|~  
    '6M6e(  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   WJD2(el  
                                           i3 eF_  
    }>6e-]MHfR  
                                                                 _p6 r5Y  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) *F1TZ_GS  
    S' $;  
                                                               EsKgS\`RZ  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         tM]Gu?6  
    ,cNe-KJk  
    rp4D_80q  
     RFRXOyGz$  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         h\[@J rDa  
    zwV!6xG  
     m538p.(LIR  
                                                                 iHhdoY[]  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         KdkL_GSLT  
    UDI\o1Rbp  
     4*}&nmW  
                                                                 |~5cN m  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Ga 5s9wC  
    @ ;!IPiU  
     r2SZC`Z}-M  
                                                                 fx|d"VF[  
    VirtualLab Fusion技术   "|X'qKS(H{  
    }B'-*)^|e{  
                   W+a/>U  
     
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