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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 zvAUF8'_  
    I`-N]sf^  
    -H-:b7  
                                                             [ :*Jn}  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Ap)[;_9BD  
                                                                 bDq[j8IT6  
    建模任务                                                         waRK$/b (  
    H)VzPe#{  
     S#{gCc  
    `j)S7KN  
    光栅元件   !eE;MaS>  
    W _JGJV.^f  
                                                             ) u Sg;B4  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: TcEvUZJ"  
    • FMM/RCWA jPc"qER!  
    • Diffractive Lens Component ?CU6RC n  
                                                                 & c V$`L  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       yMVlTO  
    O}w"@gO@.  
                                                         mMSQW6~j  
    bpp{Z1/4  
    正弦光栅-传输相位形态     %8hjMds  
    rO3.%B}  
                                                         vj,OX~|  
    +0Z,#b  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         2/F";tc\'  
    B3C%**~:e  
     R;l;;dC=  
    K~6,xZlDWM  
    正弦光栅-衍射效率 fWk,k*Z 9  
    Vz @2_k   
                                                                 jRGslak;  
    d":GsI?3  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       (2uF<$7(  
    egXbe)ld  
           %<]4]h  
    [@;q#.}Z  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   cN 3 !wE  
                                           xP+`scv*m#  
    w _ONy9  
                                                                 -g\;B  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 0aM&+j\q}  
    K{ED mC  
                                                               scQnL'\  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ?%A9}"q]  
    kWMz;{I5*w  
    fPBJ%SZ  
     U]AJWC6  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ;lP/hG;`  
    A~)#  
     J5Ovj,[EZ  
                                                                 {3`cSm6c  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         aM7=>  
    1tIJ'#6  
     @i <vlHpl  
                                                                 nr]:Y3KyxX  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         d+o.J",E  
    9y+0Zj+.  
     9_-6Lwj6t  
                                                                 E! GH$%:;  
    VirtualLab Fusion技术   ISHzlEY  
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