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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 H5x7)1Ir|  
    4F|79U #  
    qIQ=OY=6  
                                                             {73V?#P4  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 H]R/=OYBUh  
                                                                 )1 T2u  
    建模任务                                                         K 77iv  
    \)No?fB  
     ")No t$8  
    S[3"?$3S  
    光栅元件   q7Hf7^a  
    F]yB=  
                                                             !2KQi=Ng  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: hz4?ku  
    • FMM/RCWA #j~FlY5  
    • Diffractive Lens Component ZQE1]ht  
                                                                 ud `- w  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       T<pG$4_  
    Sc[#]2 }  
                                                         # -luE  
    Dhn7N8(LF!  
    正弦光栅-传输相位形态     J;>epM ;*  
    "iK= 8  
                                                         HXa[0VOx  
    dR]-R/1|  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         :E.a.-  
    mp8GHV  
     (p%|F`  
    -j3Lgm  
    正弦光栅-衍射效率 6/8K2_UeoW  
    xc#t8`  
                                                                 x8rg/y  
    ;bB#P g  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       {h+8^   
    !#)t<9]fv  
           Qjfgxy]  
    JI-i7P  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   C>+n>bH]L  
                                           >8(i;)(3  
    Z&n[6aV'F  
                                                                 d.vNiq,`  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) M(I%y0  
    4$KDf;m@  
                                                               ]#]Z]9w  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !Ap5Uwd  
    UN.;w3`Oc  
    ,-e}X w9  
     OS,!`8cw  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ,>-D xS  
    AabQ)23R2  
     4?+K `  
                                                                 = J;I5:J  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         s=n4'`y1  
    s-"KABEE  
     ] ]U)wg  
                                                                 -O *_+8f  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         uB  I/3aQ  
    7~XC_Yc1  
     rC-E+%y  
                                                                 |eu8;~A  
    VirtualLab Fusion技术   cz9J&Le>  
    W Ej{2+  
                   G]ek-[-  
     
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