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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 3ry0.  
    6q^.Pg-Y  
    mv9@Az9  
                                                             7ZpU -':  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 fTA%HsvU:  
                                                                 }Xy<F?Mh  
    建模任务                                                         pd}af iF  
    k%ckV`y  
     ]4oF!S%F  
    |Ns[{/  
    光栅元件   s$OnQc2/  
    KZTT2KsYl  
                                                             lA7\c#  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: / CVhvK  
    • FMM/RCWA Y- c_ 2 )  
    • Diffractive Lens Component &r !*Y&  
                                                                 u+vUv~4A6  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       l8ZzKb-  
    S4(lC%$|  
                                                         ^0&   
    ?e!mv}B_  
    正弦光栅-传输相位形态     VSa#X |z  
    #+Cu&l  
                                                         '>5W`lZ  
    4o*wLCo7^  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         !XS ;&s7[*  
    veh?oJi@  
     keWqL]  
    a-7T   
    正弦光栅-衍射效率 '}NQ`\k  
    -XtDGNH F  
                                                                 Qf}b3WEAI  
    ey>V^Fj  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ?Dk&5d^d  
    8DP] C9  
           Kr'5iFK7  
    o72G oUfs  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   =h9&`iwiu  
                                           DkGC+Dw  
    n$}Cj}eju  
                                                                 7 xm>+(  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) xA>O4S D  
    7R`:^}'>  
                                                               8n^v,s>  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ZkZTCb`/l  
    (:]on^|  
    k&PxhDf  
     + \AiUY  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Jx8?x#}  
    ^ LT KX`p  
     .A`Q!  
                                                                 9'|NF<  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         {m/h3hjFa  
    yH0BNz8V  
     0HRLTgIC  
                                                                 \]eB(&nq  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         QK3j.Ss  
    syYe0~  
     S~mpXH@  
                                                                 pO.+hy  
    VirtualLab Fusion技术   P=%' 2BQ{{  
    " E U[Lb  
                   5[_|+  
     
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