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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 PZ9I`P! C  
    Yq KCeg  
    5;EvNu  
                                                             ?tbrbkx  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 *] X'( /b_  
                                                                 ICQKP1WFp  
    建模任务                                                         R m( "=(  
    &8lZNv8;(p  
     T~e.PP  
    i_%_x*  
    光栅元件   ":ue-=&M  
    V,njO{Q  
                                                             sgFEK[w.y  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: [W&T(%(W-  
    • FMM/RCWA 0H:X3y+  
    • Diffractive Lens Component ;=z:F<Y  
                                                                 g 7H(PF?  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       [(lW^-  
    z03K=aZ  
                                                         })%{AfDRF  
    ]f_p 8?j"  
    正弦光栅-传输相位形态     2>%=U~5  
    o]V^};B  
                                                         W=?<<dVYD  
    a7opCmL  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %N._w!N<5n  
    $& c*'3  
     XCQs2CHt  
    9 68Ez  
    正弦光栅-衍射效率 @0''k  
    SXh-A1t  
                                                                 5 qA'  
    jH:[2N?  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       m&3xJuKih  
    i%?*@uj  
           +}AI@+  
    dZuOrTplA  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   z1a7*)8P  
                                           $??I/6  
    vY3h3o  
                                                                 5^Zg>I  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Hl=xW/%6y  
    *-X[u:  
                                                               53 h0UL  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !4!~L k=  
    6y<EgYzdE  
    &p,]w~d,U  
     2~V*5~fb  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         dO\"?aiD  
    *Pr )%  
      M6TD"-  
                                                                 WIGi51yC.x  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         zQ PQ  
    1Y,Z %d  
     * y,v}-  
                                                                 !,PWb3S  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         XWw804ir  
    RnN!2K  
     @4#vm@Yf_  
                                                                 <UCl@5g&  
    VirtualLab Fusion技术   nk:)j:fr  
    O6Y0XL  
                   V]^$S"Tv  
     
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