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摘要 nXU`^<nA p!oO}gE
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*:(GE 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 \wjT|z1+Y :)9CG!2y<M 建模任务 SEKR`2Zz, 7sX#6`t
As{Q9o5j/ Ez1-Nx 光栅元件 wI5(`_l{G 'hGUsi
FhP$R}F 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: $.Ia;YBf • FMM/RCWA C.|.0^5 • Diffractive Lens Component } yb"/jp FOyANN' 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) I]@QhCm0 +X%pUe
MZrLLnl6\ uVth&4dh9 正弦光栅-传输相位形态 1La?x'{2MP G1
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R@df~ =L\&}kzB 正弦光栅-传输相位形态 .DR*MQI9 ' Ig:-
/Moyn"Kj{ sC'PtFK8z 正弦光栅-衍射效率 FfRvi8 2^X<n{0N)
Mdw"^x$7 eK[9wEdn 正弦光栅-效率vs. 周期 Qef5eih ^:^
]>/oo =E Fy*t[> 正弦光栅—选定周期的相位形态 GU0[K#% 79z/(T+ h1~/zM/` :IX_|8e ^ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 5yL\@7u` *DgRF/S
3o2x&v 闪耀光栅-传输相位形态 r,<p#4(>_ I]z4}#+cX -]Ny-[P hRQw] 闪耀光栅-衍射效率 QQ/9ZI5 [Mk:Zz%
Xf;_r+; Q 5&|1m Pb 闪耀光栅-效率vs.周期 0}`0!Kv 6T5\zInd
l h?[wc 0Of6$` 闪耀光栅-选定周期相位形态 Nh01NY; pK"iTc#\X
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