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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 SF2<   
    (D 5.NB%@  
    C].w)B  
                                                             ); <Le6  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 &!pG1Fp9  
                                                                 >s+TD4OfY  
    建模任务                                                         o$FYCz n  
    !-gjA@Pk  
     Cvf^3~ q  
    `zZGL&9m`  
    光栅元件   .*>pD/  
    ELWm>'Q#9  
                                                             V0!.>sX9  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: >'GQB  
    • FMM/RCWA '5BM*4,:O  
    • Diffractive Lens Component h-`*S&mZ  
                                                                 auKGm:  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5o dtYI%L  
    [hT|]|fJS;  
                                                         uY~xHV_-  
    Jm(sx'qPx  
    正弦光栅-传输相位形态     )Ap0" ?q  
    V;}6C&aP.  
                                                         $6 A91|ZSQ  
    A_vf3 *q  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         R?K[O   
    ,{_;q:  
     N=X(G(  
    R:LT hFx  
    正弦光栅-衍射效率 R6KS&Ge_  
    {_{&t>s2  
                                                                 (i*;V0  
    :O(<3"P/  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       NgXV|) L  
    'Oe}Ja  
           !ufSO9eDx"  
    %wD<\ XRM  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Xw2tCRzD  
                                           TT0~41&l  
    =p lG9  
                                                                 gqi|k6V/  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) \?X'U:  
    ,Q5Z<\  
                                                               8eVQnp*  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         &74*CO9B9  
    uWSfr(loX  
    F/qx2E$*wo  
     0R0j7\{  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         6*:mc  
    <hO|:LX  
     dGrm1w  
                                                                 JN Ur?+g  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         \D]H>i$  
    '#fwNbD  
     50S >`qi2x  
                                                                 'Wn2+pd  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ?_+h+{/@B  
    #CaT0#v  
     kZsat4r  
                                                                 JlF$|y,gV,  
    VirtualLab Fusion技术   Po=@ 6oB  
    ]} + NT  
                   -0{"QhdE%  
     
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