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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ON! G{=7  
    C8zeqS^N  
    ~TIZumGB  
                                                             RLX^'g+P  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 vy y\^nL  
                                                                 T1[ZrY'0  
    建模任务                                                         n 9M6wS  
    #$T"QL@  
     LMj'?SuH  
    ee[NZz  
    光栅元件   pC Is+1O/  
    o fv 1G=P  
                                                             ()JDjzQT  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 70(?X/5#  
    • FMM/RCWA =xP{f<`   
    • Diffractive Lens Component mQuaO# I,  
                                                                 4'| :SyOm  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       84cH|j`w  
    ;g9:0,xT4  
                                                         ^Pp FI  
    SXF_)1QO\W  
    正弦光栅-传输相位形态     ^C T}i'  
    "b7C0NE  
                                                         izo $0  
    nP5fh_/  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         vH8%a8V  
    !qv;F?2 <g  
     nmrk-#._@9  
    (LPD  
    正弦光栅-衍射效率 *&MkkI#  
    RjHpC7b*%  
                                                                 F'*4:WD7  
    ^2@~AD`&h  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       54%}JA][  
    }Cf[nGh|B  
           T0jJp7O  
    IBsn>*ja<  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ^q2zqC  
                                           _"`h~jB  
    $Bb/GXn{\  
                                                                 ~Wv?p4  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 9B0"GEwrs  
    lNAHn<ht  
                                                               r U5'hK  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         7C^ nk z  
    px@\b]/  
    E 3.s8}}  
     )FPbE^s(  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         49GCj`As  
    :LG%8Z{R  
     ObzlZP r@  
                                                                 TaG-^bX8B  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                          CVp<SS(  
    \>k+Oyj  
     X.<R['U&\  
                                                                 pT tX[CE  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         9f`Pi:*+/  
    !f 6  
     <^{:K`  
                                                                 gZv <_0N  
    VirtualLab Fusion技术   6Tnzg`0I  
    O6]~5&8U.  
                   [DwB7l)O(  
     
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