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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 T0]%(F/8  
    ~XT a=  
    z"P,=M6De  
                                                             ZjI/zqBm  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 &Ow?Hd0  
                                                                 <DlanczziF  
    建模任务                                                         L_zmU_zD  
    *l'$pJ X  
     ^6NABXL  
    /K<GN7vN  
    光栅元件   ph&H*Mc  
    &T{B~i3w8  
                                                             C4SD  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: b]qfcV  
    • FMM/RCWA ??e#E[bI  
    • Diffractive Lens Component rEpKX  
                                                                 .X=M !  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5P t}  
    ,%b1 ]zZQ  
                                                         (!&O4C5  
    a ~iEps  
    正弦光栅-传输相位形态     [ sO<6?LY  
    l<MCmKuYp  
                                                         d(B;vL@R2V  
    ?[4khQt  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         !)*T  
    o)' =D(  
     o? xR[N-J  
    <~8f0+"  
    正弦光栅-衍射效率 d8q$&(]<  
    Ckl]fy@D}  
                                                                 g:e8i~  
    N+@@EOmH  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       +?m=f}>W1  
    96V, [-arf  
           _2n/vF;I+_  
    G C#95  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Ko1?jPE  
                                           :tDGNz*zG  
    /s0VyUV=  
                                                                 kC#B7*[RM  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) bDh(;%=  
    e$+? v2.  
                                                               5xV/&N  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         DmpJzH j|  
    j9fL0$+FI  
    ['YRY B  
     `DY4d$!4  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         u H;^>`DT  
    }sNZQ89V*v  
     ;8x^9Q  
                                                                 Hx/Vm`pRyX  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         uRcuy/CY  
    e&7}N Za  
     &CsBG?@Z|  
                                                                 `2~Ea_Z  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         lVBy&f  
    /OtQk -E  
     w8@|b}  
                                                                 Oua/NF)  
    VirtualLab Fusion技术   SmEd'YD!J  
    WW/m /+  
                   O6 J<Lqgh  
     
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