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摘要 219R&[cb +<GrRYbC
>,kL p|gA O(WEgz 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 "OVi /:*B D8gQRQ 建模任务 Z(l9>A7! H]VsOr
8?A@/ ^dheJ]n=k 光栅元件 SgyqmYTvZw cO8`J&EK
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: B,r5kQI4 • FMM/RCWA CQj/e+eE4 • Diffractive Lens Component p
.lu4 5z9JhU 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) =VCi8jDkP CM`x>J
PG\\V$}A( u):X>??
正弦光栅-传输相位形态 Q-M
rH &
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@gs26jX~2} N-]\oMc2 正弦光栅-传输相位形态 FrgW7`s[A JqL<$mSep
q2[+-B)m 37%`P\O;s 正弦光栅-衍射效率 5wT',U"+ ;Gjv9:hUn
s'R~r ;%v%K+}r 正弦光栅-效率vs. 周期
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'~ jy ]R97n|s_ 正弦光栅—选定周期的相位形态 pI'8>_o &gY;`*< emGV]A%nss HR/k{"8W4Q 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i)A`Vpn #N<s^KYG-
L-^# 02 闪耀光栅-传输相位形态 \W3+VG2cA oA(. vr 9itdRa== *uk\O] 闪耀光栅-衍射效率 'e+-,CGdY\ !X \Sp}
F2Nb5WT $M:4\E5( 闪耀光栅-效率vs.周期 $K=K?BV[ pkrl@jv >
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闪耀光栅-选定周期相位形态 44Seq F?yh23&_4
J>,'P^ 34&u]4=L) VirtualLab Fusion技术 r< d? (H|%?F;{l
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