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摘要 ]/U)<{6 65g\WB+/ ab6KK$s 32dR`qb 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 @c5TSHSL. :] :q=1;c 建模任务 3C5<MxtK
G!wFG-Y} 6VIi
nuOW V,lz}&3L 光栅元件 )/Ul"QF WOquG ]x?`&f8i 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 06L/i, • FMM/RCWA SxH b76 ; • Diffractive Lens Component .%.J Q HPT$)NeNc 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ]H%y7kH8 EE-jU<>| 8eQ 4[wJY Q/L:0ovR 正弦光栅-传输相位形态 F~4oPB K< D&$%JT'3 |h4aJv Q`'w)aV 正弦光栅-传输相位形态 Wu?4oF 6o!+E@V
b {p-&8- LL4yafh 正弦光栅-衍射效率 1r'skmxq xmsw'\ ZXlW_CGO {L4ta~2/T 正弦光栅-效率vs. 周期 #[ipJ % Z2!O)8 dJ#mk5=
" IXc"gO 正弦光栅—选定周期的相位形态 \%g#
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m>f[ 3]$qY_|7 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) kzcl
{d|e@`"T X mJu{RbS 闪耀光栅-传输相位形态 fq-e2MCX5 Yi:@>A<# Ahv %Q%m%2 86y)+h` 闪耀光栅-衍射效率 sT
]JDC6 nJC/yS| L"e8S%UqX g]%sX6T 闪耀光栅-效率vs.周期 $q%r}Cdg VB=$D|Ll z3>ldT LpN_s# 闪耀光栅-选定周期相位形态 bh
V.uBH ZgarxV* }g&A=u_2 R+}7]tva6C VirtualLab Fusion技术 KsVN<eR{ f2ea|l (]ToBju
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