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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 $($26g  
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    P=%' 2BQ{{  
                                                             N>S_Vgk}  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ir%?J&C+t  
                                                                 - kVt_  
    建模任务                                                         MwN.Ll  
    3~7X2}qU  
     t_PAXj  
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    光栅元件   7LM?<lp]  
    _S[@d^cY  
                                                             ySLa4DQf  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: spE(s%dgL  
    • FMM/RCWA <TL!iM  
    • Diffractive Lens Component \/Z?QBFvz  
                                                                 9K\A4F}  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       al9L+ruR  
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                                                         0T{Z'3^=  
    %B&y^mZv*\  
    正弦光栅-传输相位形态     ',o ,o%n  
    Yz?4eSa/  
                                                         ]\y:AkxhJ  
    1/O7K R`K  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Bn 5]{Df  
    f,'gQ5\ X3  
     df=G}M(  
    Lb2bzZbhx  
    正弦光栅-衍射效率 o\oS_f:RD  
    bn b:4?d]  
                                                                 %Y7\0q~Z  
    +} al_.  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       g q|T:  
    bT^6AtsJ  
           'rZYl Qm  
    [ &cCE   
    正弦光栅—选定周期的相位形态   5.KhI<[  
                                           95 7Cr  
    .Du-~N4\  
                                                                 "enGWI H  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) z@Klj qN  
    T) ZO+}  
                                                               ,P&.qg i=(  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ?U\@?@  
    hmfO\gc}y  
    sEQAC9M  
     noali96J  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         _O76Aw-@l  
    a^U)2{A*f  
     ?Vy% <f$  
                                                                 3 ZZ"mlk*  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         5%+M:B  
    MN wMF  
     ;}iV`)S  
                                                                 ?C%mwW3pc  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         z}>q/!q  
    =Oo=&vA.oc  
     :qfP>Ok  
                                                                 c7~+ 5  
    VirtualLab Fusion技术   JDTlzu1hR  
    %XX(x'^4  
                   4'Svio  
     
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