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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 e{EKM4  
     ?12[8   
    Lp.dF)C\  
                                                             D_]4]&QYT  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 BCMQ^hP}t  
                                                                 >o9tlO)  
    建模任务                                                         i/E"E7  
    .)59*'0  
     $ @g\wz  
    s;e%*4  
    光栅元件   :%7y6V*  
    v7gs $'Q  
                                                             h]T  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: GVR/p  
    • FMM/RCWA hGh91c;4  
    • Diffractive Lens Component OIJNOuI  
                                                                 ~ES6Qw`Oe  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       0Lb:N]5m8  
    dD YD6  
                                                         znnnqR0us  
    w_qX~d/  
    正弦光栅-传输相位形态     ^%ZbjJ7|j  
    #0$fZ  
                                                         iOY: a  
    " b3-'/ &  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         g?B4b7II  
    StLFq6BO  
     PtsQV!  
    K Q^CiX  
    正弦光栅-衍射效率 MTXh-9DA  
    f|f)Kys%5  
                                                                 2(I S*idq  
    *I]/ [d  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       fVf @Ngvu  
    #mKF)W  
           B 703{k  
    *!oV?N[eA'  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   W_.WMbT  
                                           &fofFVQnW  
    ;P *`v  
                                                                 (yrN-M4~t  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Ls<^z@I  
    {ooztC   
                                                               H46N!{<;@  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         U}T{r%9  
    |P0!dt7sQ  
    0:I[;Q t  
     jQBL 8<  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         9*Q6/?v  
    `6y=ky.,  
     W6gI#  
                                                                 {ty)2  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ylm # Xa  
    fHK.q({Qc  
     9U>OeTh(  
                                                                 2OVN9_D%  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ]*?lgwE  
    wKU9I[]  
     &NKb},~  
                                                                 | |"W=E  
    VirtualLab Fusion技术    LXoZ.3S  
    HmiG%1+{A  
                   tm&,u*6$W?  
     
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