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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要  7(;M  
    sT"U}  
    wf!?'*  
                                                             z116i?7EnV  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 b{|Ha3;w  
                                                                 G3HmLz  
    建模任务                                                         :yN;_bC!b%  
    Y_3 {\g|x  
     Bb^CukS:  
    S) /(~  
    光栅元件   SomA`y+ERn  
    ^YddVp  
                                                             !/W[6'M#p  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: a"^0;a  
    • FMM/RCWA &ah!g!o3  
    • Diffractive Lens Component :-B,Q3d  
                                                                 =W(mZ#*vdY  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       HS"E3s8  
    X\tE#c&K  
                                                         pp$WM\r  
    ?mxBMtc  
    正弦光栅-传输相位形态     hnM?wn  
    gF( aYuk  
                                                         V @A+d[  
    T/DKT1P-  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         rPoPs@CBD  
    l+BJh1^  
     g9> 0N#<  
    Ca]+*Eb9z{  
    正弦光栅-衍射效率 Tbl~6P  
    vT)(#0>z  
                                                                 1!,xB]v1Ri  
    t]|WRQvy8  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       !|hxr#q=4  
     LAG*H  
           6/`$Y!.ub  
    6 /^$SWd2  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   zr~hGhfq  
                                           %~`8F\Hiu  
    q_eGY&M  
                                                                 ~1xln?Q  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 0d!1;jy,T  
    m\>531&  
                                                               } %_h|N  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         h#Cq-^D#~  
    T#'+w@Q9{9  
    Jh2eo+/%  
     -oo&8  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         W99MA5P  
    r`5[6)+P  
     {3@lvoDT  
                                                                 4.)hCb  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         M>hHTa?W  
    NF`WA-W8@  
     %[(DFutJY+  
                                                                 OQ&?^S`8',  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         <k)@PAV  
    M`!\$D  
     jE!<]   
                                                                 @+LkGrDP  
    VirtualLab Fusion技术   xQV5-VoFC  
     DJ?kQ  
                   ~B0L7}d  
     
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