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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Q<TD5t9  
    : z=C   
    3_%lN4sz  
                                                             U%E6"Hg  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ']'H8Y-M  
                                                                 _,S L;*G4|  
    建模任务                                                         )HLe8:PG~  
    y,I?3 p|S  
     g[Tl#X7F  
    m@Ziif-A  
    光栅元件   3$c Im+  
    -K+" :kiS  
                                                             Q i&!Ub]  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: y^M ~zOe  
    • FMM/RCWA 'A#`,^]uLF  
    • Diffractive Lens Component z:Sr@!DZ  
                                                                 Z0fl]3p  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       M$|r8%z1  
    ^F5Q(A  
                                                         a' sa{>  
    n veHLHvC7  
    正弦光栅-传输相位形态     a(!_ 3i@  
    kpxWi=y  
                                                         !8cS1(a  
    D{b*,F:&@)  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         (X!?#)fyn  
    :?!kZD!  
     #bFJ6;g=V  
    v%mAU3M  
    正弦光栅-衍射效率 ]{tnNr>mv  
    Vl91I+Ev  
                                                                 %Se@8d8  
    xG802?2i/;  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       $UgQ1Qc  
    ?Hb5<,1u3  
           T]&% KQ  
    )3W`>7>  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Fpz)@0K;  
                                           3['aK|qk.  
    -2)6QKh~D  
                                                                 H9d! -9I  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) O<A$,<67  
    (A\X+S(  
                                                               ;0)|c}n+.5  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         QKj8~l(  
    x1g0_&F  
    )qg cz<p?W  
     sTn}:A6  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         <=]wh|D  
     s~A#B)wB  
     --(e(tvf  
                                                                 ?CaMn b8  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ^/K]id7 2  
    FXpI-?#E<  
     Ro&s\T+d  
                                                                 xJ/<G$LNJ0  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         '}\#bMeObg  
    Z *9Qeu-N:  
     "OIra2O  
                                                                 W%3<"'eP  
    VirtualLab Fusion技术   Ec44JD  
    n^HKf^]  
                   \ O*8%  
     
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