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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 z<"\I60Fe  
    wW/wvC-  
    A- hWg;  
                                                             T7G{)wm  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Q!Dr3x  
                                                                 [Az^i>iH  
    建模任务                                                         tIX|oWC$q  
    /i~n**HeF?  
     5geZ6]|  
    JENq?$S  
    光栅元件   .9bP8u2B{  
    `4]-B@ 7_  
                                                             2L2)``*   
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: f#vVk  
    • FMM/RCWA 1K$8F ~%Z  
    • Diffractive Lens Component 9/GC8*+  
                                                                 [\i1I`7pE  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       z2V_nkI  
    < uzDuBN  
                                                         o@\q6xl.  
    \h/aD1 &g  
    正弦光栅-传输相位形态     Y'LIk Q\  
    u-Ip*1/wp  
                                                         ;(Qm<JAa  
    h "r)z6Q/  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         oY%NDTVN  
    `Axn  
     Yg7C"3;Vt  
    (OK;*ZH+T@  
    正弦光栅-衍射效率 W[W}:@KZ  
    z+@Jx~<i  
                                                                 b{d@:"  
    [318Q%W&  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       4~{q=-]V  
    yX8$LOjE  
           V-iY2YiR  
    C}GOwvAL>  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   =:=uV0jX\  
                                           X6@G)68  
    {7X80KI  
                                                                 wg,w;Gle  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) G_x<2E"d  
    V`"A|Y  
                                                               S-6 %mYf  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         oW/ #/;|`  
    y| %rW  
    &P{[22dQ  
     MkG*6A  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         n P4DHb&5  
    m;nT ?kv  
     {)0"?$C_H  
                                                                 DrB PC@^  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ebS>_jD  
    cA4xx^~  
     (a i&v  
                                                                 beYaQz/@W  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         *G#W],~0  
    ZK@ENfG  
     q>*+.~  
                                                                  + >oA@z  
    VirtualLab Fusion技术   %A dE5HI-  
    /_P5U E(  
                   I vQ]-A}N  
     
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