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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 pRrokYM d  
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    . \:{6_  
                                                             hX&Jq%{oa  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ~![J~CkPS  
                                                                 (+lCh7.  
    建模任务                                                         w_h}c$;GK  
    K! I]0!:  
     CP"  
    E/IoYuB  
    光栅元件   ZtPnHs.x  
    ^DH*\ee  
                                                             iz @LS  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: yirQ  
    • FMM/RCWA )o%sN'U,1  
    • Diffractive Lens Component k^C^.[?  
                                                                 >3&Oe  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       )E>nr Z  
    tX@G`Mr(  
                                                         a7Yz X5n  
    Tw0GG8(c  
    正弦光栅-传输相位形态     %Z]c[V.  
    ngI3.v/R  
                                                         _Z{EO|L  
    tTcff9ee  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Iq["(!7E5  
    @r=v*hu  
     HBp$   
    N&jHU+{OU  
    正弦光栅-衍射效率 k=M_2T'  
    2vh@KnNU  
                                                                 ` 5lW  
    jhF&   
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       WkUV)/j  
    8o%g2 P9.  
           kX)QHNzP  
    YQ$EN>.eO  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   K);)$8K  
                                           u|{(m_"H  
    N.D7  
                                                                 DqN<bu2  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) /{71JqFis  
    -XNawpl`  
                                                               %ZbdWHO#  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         )~2~q7  
    M,we9];N  
    67D{^K"KT  
     [ @ASAhV^+  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         V7(-<})8  
    LTlbrB  
     ;6AanwR6  
                                                                 b9RJ>K  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         )&vuT q'7'  
    V ah&)&n  
     ec3zoKtV  
                                                                 `W9~u: F  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         X`Jo XNqm  
    k(ho?  
     K=N8O8R$y  
                                                                 Xc8 XgZk  
    VirtualLab Fusion技术   !=bGU=^  
    nI7v:h4  
                   G(;R+%pu  
     
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