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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ..x 2  
    0KZ$v/m  
    G^Y^)pc]   
                                                             wb%4f6i  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ['Qh#^p  
                                                                 \p%D;g+c  
    建模任务                                                         /z(d!0_q|v  
    a]J>2A@-I  
      4&%E?_M  
    3[@:I^q  
    光栅元件   lR/Uboyy  
    RU~Pa+H  
                                                             $KBW{  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: xVrLoAw  
    • FMM/RCWA Esm=sPW  
    • Diffractive Lens Component q,OCA\  
                                                                 wc#k@"2AZb  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       a|DCpU}  
    IR?nH`V  
                                                         og_ylCh:  
    Nrq/Pkmy  
    正弦光栅-传输相位形态     ti3S'K0t  
    7q{yLcC"  
                                                         ,Xg^rV~]  
    \9~Q+~@{G  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         +jS<n13T  
    YDZB$?&a  
     :2+z_+k}<  
    p<&>1}j=  
    正弦光栅-衍射效率 JxKd  
     ~fs} J  
                                                                 brK7|&R<  
    >jnx2$  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       VCT1GsnE  
    OB++5Wd  
           9ph>4u(R  
    ZXf& pqmG  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   C' WX$!$d  
                                           Galh _;=  
    jkAru_C  
                                                                 F&Rr&m  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) y-S23B(  
    r oBb o  
                                                               "`mG_qHI[  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         |+Z-'k~Q  
    ~S<}q6H.  
    yr*~?\  
     W"\+jHF"  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         zm_8{Rta}  
    aCi)icn$  
     ys:F  
                                                                 y5?kv-"c  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         fo <nk|i  
    e&K7n@  
     9JeT1\VvHY  
                                                                 b?2 \j}  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         p9!jM\(  
    |x=(}g  
     oW>e.}d!  
                                                                 1\AcceJ|(w  
    VirtualLab Fusion技术   6BZi4:PDx  
    e@ 5w?QzW  
                   P057]cAat<  
     
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