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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 (T;1q^j  
    DMRs}Yz6  
    b`?M9f5  
                                                             l85CJ+rg  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 p?KCVvx$  
                                                                 cG5$lB  
    建模任务                                                         n_ OUWvs  
    2O^32TdS  
     G)K9la<p  
    9`E-dr9  
    光栅元件   Q)9369<A  
    E'fX&[  
                                                             {bxhH)a'  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 2@4MC`&  
    • FMM/RCWA M`q#,Y?3^I  
    • Diffractive Lens Component "%Lmgy:~  
                                                                 :hi$}xHa  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       )8\Z=uC  
    M!{Rq1M  
                                                         79y'Ja+`j  
    Z|f^nH#-C  
    正弦光栅-传输相位形态     !/[AQ{**T!  
    R2'C s  
                                                         b<48#Qy~l  
    pq@$&G  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s' _$j$1  
    mn,=V[f  
     :s? y,  
    ]q@rGD85K  
    正弦光栅-衍射效率 `z5v}T  
    X/K| WOO6  
                                                                 &Qz"nCvJ  
    VK"[=l  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       06Sqn3MB  
    >f3k3XWRT  
           }P7xdQ6  
    =#J 9  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   %Td+J`|U+  
                                           xy2eJJq  
    ,|=iv  
                                                                 FC|y'j 0  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 'Sm/t/g"|  
    +G>aj '\M|  
                                                               `V$cz88b  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         k0Oc,P`'*  
    =W97|BIW,  
    jCdZ}M($  
     GhaAvyN  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         C&qDvvk  
    X*D5y8<  
     L8%=k%H(1  
                                                                 9;'>\ImI  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         uugzIV)  
    V_ avaE  
     b3jU~L$  
                                                                 jp\JwE  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         _~(M A-l  
    *&~sr  
     s7X~OF(#  
                                                                 $]`'Mi  
    VirtualLab Fusion技术   |i jW_r  
    j8F~j?%!  
                   oC;l5v<  
     
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