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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 219R&[cb  
    +< GrRYbC  
    >,kL p|gA  
                                                        
    O(WEgz  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 "OVi /:*B  
                                                                 D 8gQR Q  
    建模任务                                                         Z(l9>A7!  
    H]VsOr  
    8?A@/  
    ^dheJ]n=k  
    光栅元件   SgyqmYTvZw  
    cO8`J&EK  
                                                        
    }!eF  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: B,r5kQI4  
    • FMM/RCWA CQj/e+eE4  
    • Diffractive Lens Component p .lu4  
                                                                 5z9JhU  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       =VCi8jDkP  
    CM`x>J  
                                                    
    PG\\V$}A(  
    u):X>??  
    正弦光栅-传输相位形态     Q -M rH   
    & 8ccrw  
                                                    
    @gs26jX~2}  
    N-]\oMc2  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         FrgW7`s[A  
    JqL<$mSep  
    q2[+-B)m  
    37%`P \O;s  
    正弦光栅-衍射效率 5wT' ,U"+  
    ;Gjv9:hUn  
                                                            
    s'R~ r  
    ;%v%K+}r  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Tbe_x s^  
    ac2}3 $u  
      
    '~ jy  
    ]R97n|s_  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   pI'8>_o  
                                      
    & gY;`*<  
    emGV]A%nss  
                                                                 HR/k{"8W4Q  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i)A`Vpn  
    #N<s^KYG-  
                                                          
    L-^# 02  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         \W3+VG2cA  
    oA(. vr  
    9itdRa==  
    *uk \O]  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         'e+-,CGdY\  
    !X \Sp}  
    F2Nb5WT  
                                                                 $M:4\E5(  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $K=K?BV[  
    pkrl@ jv >  
    FE$M[^1_  
                                                                 yVbg,q'?  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         44Seq  
    F?yh23&_4  
    J>,'P^  
                                                                 34&u]4=L)  
    VirtualLab Fusion技术   r< d?  
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