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摘要 l eC!Yj KqGb+N-@ 2d.$V,U< J+P<zC 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 F'K >@y lUu0AZQmG 建模任务 AX v
q~XE jYVs\h6 [BE_^d5& uMQI Aapb 光栅元件 F*KQhH7Gf DzpWU8j _pTcSp3 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: E+ /Nicn= • FMM/RCWA j=O+U_w • Diffractive Lens Component uY5|Nmiu p7|I>8ur. 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) Jx+6Kq( 64u(X^i
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]*yI[\ 63oe0T& 正弦光栅-传输相位形态 5=?P6I_$G B=cA$620 A]bQUWt2 bYP8 正弦光栅-传输相位形态 a}@b2Wc* 3=
=["hO b=EI?XwJ
fJ*^4 正弦光栅-衍射效率 ":/c|! `Q*`\-8J 4FaO+Eo,8 77M!2S_E 正弦光栅-效率vs. 周期 GKoYT{6 6(QfD](2} ~<_#%R! cP?GRMX@} 正弦光栅—选定周期的相位形态 GN|"RuQ ]H/,Q6Q Nr*l3Z>LD XCI 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Iy_5k8] Ic&~iqQ *P' X[z 闪耀光栅-传输相位形态 :gsRJy1 Vo"G@W)lZ +t,b/K(?] h{)m}"n<R 闪耀光栅-衍射效率 ajycYk9<m T9c7cp[ iM8Cw/DS {qw'gJmX 闪耀光栅-效率vs.周期 Hdyl]q-(P r^Ra`:ca 5mAb9F8@ Q9cSrU[$ 闪耀光栅-选定周期相位形态 "w"a0nv CNRSc4Le q;9X8 _ h?TIxo:6/ VirtualLab Fusion技术 Py*WHHO B*G]Dr)e 4(htdn6 \
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