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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 3PRK.vf  
    . J.| S4D  
    U Y')|2y 5  
                                                             U=>4=gsG  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 zR6^rq*  
                                                                 .h@HAnmE  
    建模任务                                                         :yE7jXB  
    "|%'/p  
     707-iLkt.1  
    W6L}T,epX  
    光栅元件    mIkc +X  
    4KT-U6zNx  
                                                             "M4 gl  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7 J+cs^2  
    • FMM/RCWA Y|y X]\,  
    • Diffractive Lens Component D$PR<>=y  
                                                                 8[mj*^P  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       wwh)B92Y5  
    rulw6vTB(  
                                                         oZ"93]3-  
    5$Aiez~tBq  
    正弦光栅-传输相位形态     _)F0o C {  
    xH/Pw?^  
                                                         HA::(cXL  
    \<4Hp_2?  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         E1V;eoK.D  
    Th\t6K~  
     +Rb0:r>kU  
    Tv`-h  
    正弦光栅-衍射效率 i0e aBG]I  
    fY{&W@#g  
                                                                 [sweN]b6F  
    u@eKh3!  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       - |j4u#z  
    h!UB#-  
           GPVqt"TY  
    okv`v ({  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   +\@WOs  
                                           ~f:jI1(}  
    > Vvjs  
                                                                 SB\T iH/  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) *>f-UNV  
    6m!%X GZ T  
                                                               (XJ0?;js=  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         I]OVzM  
    =Zc Vywz;+  
    ~[d|:]  
     \ 4r?=5v*  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         /vG)n9Rc  
    UM QsYD)  
     9Di@r!Db  
                                                                 j,BiWgj$8  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         iQnIk| 8  
    XexslzI  
     =f*Wj\  
                                                                 Z UCz-53  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         98^o9i  
    t,m},c(B:  
     8wQ|Ep\  
                                                                 ON~K(O2g(  
    VirtualLab Fusion技术   eaGd:(  
    Rh.CnCbM  
                   j/+e5.EX/  
     
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