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摘要 =U*D.p*%f @6~lZgXOV[
nQOdM#dP %f&Y= 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 R&Nl!QTJj 8&8!(\xv 建模任务 7u&l]NC?y ^wBlQmW7J
/lUfxc4 B;N<{Gb 光栅元件 b)'CP Cu* GgY8\>u
nC,QvV 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: =>5Lp • FMM/RCWA .+(V</ • Diffractive Lens Component d*s*AV 7uc\AhOk6 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ZH\t0YhrVe j
H2)8~P
@ywtL8"1~ +7w5m 正弦光栅-传输相位形态 nu+K
N,3R" 8WQ#)
}UsH#!9. :a/rwZ[r 正弦光栅-传输相位形态 {Ia1H w;ZT-Fti
k"cMAu. EF:ec9 . 正弦光栅-衍射效率 5@>hjXi"Y Rs"=o>Qu
*$%~/Q@] 2{=D)aC$f 正弦光栅-效率vs. 周期 9Zl4NV&B G@ot^n3
J8S$YRZ_ $7AsMlq[( 正弦光栅—选定周期的相位形态 KDEyVYO: dj(&"P 3@x[M?$ q]: 72+ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 5r
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/Q@4HV 闪耀光栅-传输相位形态 q-Z<.GTq m]U _@>*]g </_QldL_ 闪耀光栅-衍射效率 ]>)shH=Yx ^V; r
&q|vvF<G j7&#R+f 闪耀光栅-效率vs.周期 ^}$t(t m,+PYq
9U<WR*H p]S'pzh 闪耀光栅-选定周期相位形态 }Y!V3s1bm |GQq:MB;z
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