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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 :%pw`b, =V  
    $*g{[&L|6  
    E|\3f(aF  
                                                              POkXd^pI  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 dfnX!C~6\  
                                                                 hY)YX,f=S  
    建模任务                                                         N%: D8\qx  
    H9/XW6W,"w  
     s9=pV4fA~w  
    |I4D(#w.  
    光栅元件   /\Jc:v#Q  
    6CCZda@  
                                                             Idt@Hk5<&  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: x[zKtX  
    • FMM/RCWA MI?]8+l  
    • Diffractive Lens Component [Q7`RB  
                                                                 L>eQ*311  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       P^i6MZ?   
    _ak.G=  
                                                         3~#ZE;>#  
    }kpfJLjY  
    正弦光栅-传输相位形态     9(V=Ubj  
    h4B+0  
                                                         XT\Td}>  
    DX7Ou%P,mg  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         \;4L~_2$q  
    EG8%~k+R  
     ZK W@pW]U  
    ] `b<"  
    正弦光栅-衍射效率 q_OY sg  
    5VCMpy  
                                                                 ufHuI*  
    btJ,dpir  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       rerUM*0  
    eG a#$x?.  
           \3J+OY  
    Y0R\u\b  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   eA;j/&qH  
                                           g wZ+GA  
    h Kp,4D>2_  
                                                                 LbLbJ{68  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) E` :ZH  
    3Y.d&Nz  
                                                               Off: ~  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !07FsPI#{  
    eWqVh[  
    b7F3]W<`&  
     4DG 9`5.  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         G~Q*:m  
    \{Ox@   
     4okHAv8;  
                                                                 ,4h! "c  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         R(n0!h4  
    k}+MvGq  
     %BT)oH}  
                                                                 giA~+m~fN  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Rz])wBv e  
    g(z#h$@S  
     Cz$H k;3\6  
                                                                 [5}cU{M  
    VirtualLab Fusion技术   8_sU8q*s  
    8xeun~e"vS  
                   .3g\[p   
     
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