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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Mty[)+se  
    8*B+@`  
    "8U=0a  
                                                             )xz_ }6b]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 EDnZ/)6Gg  
                                                                 kj4=Q\Rfm  
    建模任务                                                         )^6Os2  
    IBu\Sh-  
     H=Cj/jE  
    HmU6:8V *Z  
    光栅元件   uD{ xs  
    4 540Lw'A  
                                                             v*As:;D_  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ~>0H k}Hv  
    • FMM/RCWA +NvpYz  
    • Diffractive Lens Component Nx*1m BC  
                                                                 4qsxlN>4O  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       3a ZS1]/  
    O kT@ _U  
                                                          <|82)hO  
    _T8S4s8q  
    正弦光栅-传输相位形态     D8Mq '$-  
    ,PJC FQMR  
                                                         ~MYE8xrId  
    sD{Wc%5  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Q uw|KL  
    =i;T?*@  
     gnxD'1_  
    u.?jWvcv  
    正弦光栅-衍射效率 O2 + K  
    .J+F H G'  
                                                                 i`vy<Dvpz  
    w5/6+@}  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       vW?/:  
    5e7\tBab  
           7(^F@,,@  
    :!?Fq/!  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   GY0OVAW6'c  
                                           V+l7W  
    OTJMS_IT  
                                                                 !)W#|sys&  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Q0x?OL]A  
    UVgSO|Tg  
                                                               m^TN6/])  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         &_hEM~{  
    zx.SRs$  
    W5:fY>7  
     8?: 2<  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         87!m l  
    ZZCm438  
     V*Xr}FE  
                                                                 $}z/BV1I  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         h5-yhG  
    h9iQn<lp4.  
     hJir_=  
                                                                 3/]FT#l]i  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         C|3cQ{  
    V3d$C&<(  
      ?<8c  
                                                                 eL}X().  
    VirtualLab Fusion技术   UA ]fKi  
    r_ B.b K  
                   [/ertB  
     
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