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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 N5w]2xz!  
    &;@b&p+  
    l=-d K_ I?  
                                                             P B6/<n9#  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 WEV{C(u<k!  
                                                                 dS;|Kl[Om  
    建模任务                                                         s!o<Pd yJK  
    xU\:Vid+A  
     aIt 0;D  
    p3A-WK|NX  
    光栅元件   K` _E>k  
    Kt* za  
                                                             W}e[.iX;  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: kDpZnXP  
    • FMM/RCWA ry'^1~,  
    • Diffractive Lens Component Ppb2"Ik  
                                                                 H;7H6fyZ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       z`r4edk3  
    z5*O@_r+.b  
                                                         ubCJZ"!  
    rW%'M#! =  
    正弦光栅-传输相位形态     yA>p[F  
    piiQ  
                                                         ah6F^Kpl{  
    +$mskj0s  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         TcKKI  
    ?e_}X3{  
     wPO@f~[Ji  
    ?L#SnnE  
    正弦光栅-衍射效率 z Q|x>3   
    eNC5' Z  
                                                                 pu)9"Ad[ G  
    \7tvNa,C  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ?>\]%$5o  
    tA u|8aL  
           UUEDCtF)  
    fUWm7>6VA>  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   #/v_ h6$  
                                           >93{=+  
    ]aW.b_7<9  
                                                                 /G{3p&9  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) [Z G j7  
    yExyx?j.  
                                                               H=BR -  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         dSOn\+  
    'nDT.i  
    BMj&*p8R  
     gLxy RbVI  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Y(yJ|y&  
    n|,Vm@zV  
     d\Z4?@T<5  
                                                                 ?# c@Ag %  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ,v5>sL  
    l3|>*szX  
     NGQIoKC  
                                                                 9C~GL,uKs  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         m)RxV@  
    jW$f(qAbm  
     Oc+L^}elJ  
                                                                 O xaua  
    VirtualLab Fusion技术   ]G&\L~P  
    r$eL-jQmn  
                   2}Plr{s9  
     
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