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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 XtqhK"f%  
    lvx[C7?  
    i0F6eqe=J  
                                                             |$g} &P8;  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 !P3y+;S  
                                                                 >X xHp  
    建模任务                                                         hP}-yW6]  
    ZCuoYE$g  
     ;3XOk+  
    i.{.koH<  
    光栅元件   PD~vq^@Q  
    L+~XW'P?  
                                                             | {Q}:_/q  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Gk xtGe  
    • FMM/RCWA gC(@]%  
    • Diffractive Lens Component i*r ag0Mw  
                                                                 B(f_~]  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ]=PkgOJD  
    6F5g2hBz  
                                                         ~C>clkZ  
    l#~pK6@W  
    正弦光栅-传输相位形态     9N<=,!;5~s  
    "'C5B>qO  
                                                         51tZ:-1!  
    aW}d=y[  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         [8Fn0A  
    Ckc5;:b&m  
     [^W +^3V  
    H%>^_:h  
    正弦光栅-衍射效率 A/{!w"G  
    X]o"4#CQIX  
                                                                 yy+:x/(N[  
    t)= dKC  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       \_YDSmjy  
    ^$X|Lq  
           B*t1Y<>x  
    P&Uj?et"  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   "dT"6,  
                                           w ^?#xU1.i  
    FmFjRYA W  
                                                                 Z;,G:@,  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 0wCQPvO  
    [jksOC)@4  
                                                               tfD7!N{  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         =dsEt\ j  
    yZN~A:  
    OL%}C*Zq  
     MiR$N  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         wWSo+40  
    ns *:mGh  
     &er,Wyc(  
                                                                 8]oolA:^4s  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         IMBjI#\  
    wa~zb!y<  
     c&N;r|N  
                                                                 ,FXc_BCx4  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         z~==7:Os  
    |f/Uzd ~  
     y/:%S2za>  
                                                                 C"$~w3A k  
    VirtualLab Fusion技术   dPbn[*:  
    I~^Xw7  
                   [$pb  
     
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