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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 nXU`^<nA  
    p!oO}gE  
    ;H' ,PjU  
                                                        
    6Qc *:(GE  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 \wjT|z1+Y  
                                                                 :)9CG!2y<M  
    建模任务                                                         SEKR`2Zz,  
    7sX#6`t  
    As{Q9o5j/  
    Ez1-Nx  
    光栅元件   wI5(`_l{G  
    'hGUsi  
                                                        
    FhP$R}F  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: $.Ia;YBf  
    • FMM/RCWA C.|.0^5  
    • Diffractive Lens Component } yb"/jp  
                                                                 FOyANN'  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       I]@QhCm0  
    +X%pUe  
                                                    
    MZrLLnl6\  
    u Vth&4dh9  
    正弦光栅-传输相位形态     1La?x'{2MP  
    G1 K@Ir<  
                                                    
    R@df~  
    =L\&} kzB  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         .DR*MQI9  
    ' Ig:-  
    /Moyn"Kj{  
    sC'PtFK8z  
    正弦光栅-衍射效率 FfRvi8  
    2^X<n{0N)  
                                                            
    Mdw"^x$7  
    eK[9wEdn  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Qef5eih  
     ^:^  
      
    ]>/oo=E  
    Fy*t[>  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   GU0[K#%  
                                      
    79z/(T +  
    h1~/zM/`  
                                                                 :IX_|8e ^  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 5yL\@7u`  
    *DgRF/S  
                                                          
    3o2x&v  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         r,<p#4(>_  
    I]z4}#+cX  
    -]Ny-[P  
    hRQw]  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         QQ/9ZI5  
    [Mk:Zz%  
    Xf;_r+;  
                                                                 Q5&|1m Pb  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         0}` 0!Kv  
    6T5\zInd  
    l h?[wc  
                                                                 0Of6$`  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Nh01NY;  
    pK"iTc#\X  
    7*kTu0m  
                                                                 E#E&z(G2  
    VirtualLab Fusion技术   O!'gylj/  
    C1uV7t*\  
              
    K1=j7  
     
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