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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 lF2im5nZ?  
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    eB%KXPhMm  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 me_DONW  
                                                                 .0:BgM  
    建模任务                                                         mS p -  
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    光栅元件   n#uH^@#0  
    n (7m  
                                                        
    J;W(}"cFq  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: I L 'i7p  
    • FMM/RCWA Uq5 wN05  
    • Diffractive Lens Component `KqMcAW  
                                                                 K_{f6c<  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       w,bILv)  
    F[<EXLQ  
                                                    
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    jV]'/X<  
    正弦光栅-传输相位形态     zl F*F8>m  
    <W~5;m  
                                                    
    K{.s{;#  
    x|d Xa0=N_  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         LZch7Xe3  
    g]EDL<b  
    RrSSAoz1  
    )xX(Et6+`  
    正弦光栅-衍射效率 >J_{mU  
    5cO}Jp%PA  
                                                            
    ^m;dEe&@F  
    J]UlCg  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       d)1)/Emyj  
    >!s =f  
      
    WMnR+?q  
    \HLI y  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   F's($n  
                                      
    f{xR s-u]  
    ?BT\)@ h  
                                                                 ^.5 L\  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) /+l3 BeL  
    pJrc\`D  
                                                          
    kq6S`~J^R  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ; Xrx>( n  
    3G9"La,b  
    |:$D[=  
    vpcHJ^19  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         %;yDiQ!+  
    #DApdD9M  
    -ZFeE[Z  
                                                                 Pk9s~}X  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         1|bu0d\]  
    !<H[h4g  
    A"x1MjuqLM  
                                                                 DE|r~TQ  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         v+U( #"  
    b }S}OW2  
    .yE!,^j.gB  
                                                                 -FytkM^]6  
    VirtualLab Fusion技术   Nr=ud QA{  
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