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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 $c"byQ[3S  
    nwuH:6~"  
    J<hqF4z  
                                                             8T<LNC  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 9 Rl-Jz8g  
                                                                 [rk*4b^s  
    建模任务                                                         {9?++G"\  
    g~E N3~  
     cj K\(b3  
    r9MS,KG8  
    光栅元件   DwSB(O#X  
    ?+Gc. lU  
                                                             &! i'Q;q  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 4SRjF$Bsz  
    • FMM/RCWA vd<r}3i*  
    • Diffractive Lens Component pRR1k?  
                                                                 TQ`s&8"P  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       <14,xYpE  
    ?R-4uG[(  
                                                         ~-2%^ovB  
    /B"FGa04p(  
    正弦光栅-传输相位形态     @}9*rWJIE  
    c{.y9P6  
                                                         cft/;A u{  
    D+4oV6}~  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         +"J2k9E  
    '`s\_Q)hG_  
     7x> \/l(  
    Q9T/@FX  
    正弦光栅-衍射效率 (F=/r] Q  
     &<nj~BL  
                                                                 i ZU 1w7Z  
    ycD.X"  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       B`{7-Asc1  
    *2,tGZ  
           aI.5w9  
    zX]4DLl,  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   GZxPh&BM?  
                                           Sb QM!Q  
    =;L44.,g  
                                                                 (#e,tu  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) K92nh/}y  
    ~K$dQb])  
                                                               LI}@qLe  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ] 6Y6q])Z  
    G/ sRi wL  
    s2=`haYu  
     4H9mKR  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         +HDfEo T  
    \wR;N/tg  
     _ASyGmO{  
                                                                 y.>1r7  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         m=[3"X3W1V  
    z(!K8 T  
     tl6x@%\  
                                                                 c)`=wDi  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         F_I.=zQr  
    D[p_uDIz  
     -3GlpC22  
                                                                 QZwZ4$jkiO  
    VirtualLab Fusion技术   F:~k4uTW\b  
    S7v# `#  
                   W?H-Ng3E  
     
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