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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 <-xI!o"}  
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                                                             s+{)K  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 n&V\s0  
                                                                 2H7b2%  
    建模任务                                                         Ke0j8|  
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    光栅元件   "<f"r#   
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                                                             WP/?(%#Y  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Ae,P&(  
    • FMM/RCWA I"TFj$Pg  
    • Diffractive Lens Component '!8'Xo@Go3  
                                                                 (* WO<V  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       DbRq,T  
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                                                         #~(J J  
    : b9X?%L~  
    正弦光栅-传输相位形态     t= =+SHGP  
    A.0eeX{  
                                                         g\;&Z  
    q~QB?+ x&  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         m0*bz5  
    7f!"vhCXM;  
     8|FHr,  
    /G}TPXA  
    正弦光栅-衍射效率 \]bAXa{ p  
    #^|"dIZ_M  
                                                                 ;[pY>VJ(  
    vwA d6Tm  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       9|y?jb5im  
    OsQB` D  
           }@R*U0*E  
    0O,Q]P 82f  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   A.`) 0dV  
                                           mU d['Z  
    s/' ]* n  
                                                                 E'_3U5U  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 3<c_`BWu  
    zTP|H5HyK  
                                                               <$H-/~Y  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         W7R`})F  
    tv,Z>&OM  
    ) ?L  
     ExJch\  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         mpcO-%a  
    S.^/Cl;aj  
     j>D[iHrH  
                                                                 Z4@%0mFll  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vz{Z tE"  
    -pb>=@Yq  
     %yr(i 6L  
                                                                 .(2Zoa  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         B<et&r;  
    Y*}xD;c k  
     -UTTJnu^  
                                                                 }{3XbvC  
    VirtualLab Fusion技术   g`NJ `  
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