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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 q[ZYlF,Ho  
    &aOOG8l  
    ".4^?d_^VF  
                                                             ZAwl,N){  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 'l;|t"R12  
                                                                 uy~j$lrn  
    建模任务                                                         v/dcb%  
    oJy/PR 3  
     tWuQKN`_  
    =t2epIr 5  
    光栅元件   E*vi@aI  
    hZy*E[i  
                                                             |99eDgK,  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: #s%$kYp 1  
    • FMM/RCWA x uF_^  
    • Diffractive Lens Component fkM4u<R^  
                                                                 W0k_"uI  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ^M"g5+ q  
    " B1' K8  
                                                         ]g :ZokU  
    KAZz) 7  
    正弦光栅-传输相位形态     $fKWB5p|()  
    wSDDejg  
                                                         o^D{WH\p  
    2+HiaYDZ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         QB3AL; 7  
    "P~>AXcq  
     y5I7pbe  
    tp"\  
    正弦光栅-衍射效率 .jU9{;[  
    tp7fmn*  
                                                                 ( _2eiE71  
    u CXd% CzE  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       tH(Z9\L7  
    U,N4+F}FR  
           (,>`\\  
    r\zK>GVm_  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   0#G"{M  
                                           Z:}^fZP  
     2B#WWb  
                                                                 (@ Bw@9  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 8eNGPuoL)  
    Kmtr.]Nj  
                                                               Dqki}k~{  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         0)Z7U$  
    !u"Hf7/  
    Y*6*;0Kx  
     q:( K^  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         V+Z22  
    S $Wd}2>  
     8^T' a^Wt  
                                                                 h W-[omr0  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         j>U.(K  
    <"-sN  
     |R4](  
                                                                 cWi2Sls  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;-3M  
    aaBBI S  
     0o#lB^e;l  
                                                                 r=vE0;7  
    VirtualLab Fusion技术   -Bc.<pFqp  
    NQb?&.C   
                   9X-DR  
     
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