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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 C71qPb|$R  
    95A1:A^t  
    ~Y|*`C_)  
                                                             /OLFcxEWh  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 bN]+_ mF  
                                                                 PIu1+k.r?  
    建模任务                                                         Y }$/e  
    p i %< Sy  
     WST8SEzJ  
    lI*o@wQg  
    光栅元件   5,_u/5Y4  
    UNom-  
                                                             Xejo_SV&?  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: iOU6V  
    • FMM/RCWA 1FlX'[vh  
    • Diffractive Lens Component 8ZM&(Lz7u  
                                                                 ="Ho%*@6  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       K{|p~B  
    eJxw) zd7  
                                                         OB Otuu.  
    D^l%{IG   
    正弦光栅-传输相位形态     g!lWu[d  
    Cs9.&Y  
                                                         xe{ !wX  
    pGJ>O/%  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         D8Ykg >B;&  
    #gz M|  
     bCo7*<I4  
    DI:]GED" =  
    正弦光栅-衍射效率 q"\Z-D0B4  
    }uJu>'1[G  
                                                                 xF;kT BRi  
    QEz? w}b*  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       cAY:AtD  
    fI&t]   
           06O2:5zF  
    oB}BU`-l  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   yE:+Lo`>  
                                           c3 jx+Q  
    OGK}EI  
                                                                 kD=WO4}  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) lAb*fafQy  
    w,#>G07D  
                                                               /N=b\-]  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         \-h%O jf4  
    w65K[l;2  
    d,+Hd2o^X  
     }>>1<P<8-  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         T|nDTezr  
    G<}()+L  
     PVe xa|aaX  
                                                                 gG0!C))8  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         \k.{-nh  
    pMw*9s X  
     dP3CG8w5  
                                                                 nyQ&f'<   
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         &dqLP9 5  
    EMY/~bQW  
     (SpX w,:  
                                                                 %|auAq&w  
    VirtualLab Fusion技术   g;pcZ9o  
    bo2H]PL*  
                   ]~9t Y n  
     
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