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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 #* gU[9U~  
    @=0r3  
    VuMDV6^Z  
                                                             W,/C?qFp  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 PyT}}UKj:  
                                                                 6G<Hi"I  
    建模任务                                                         Kt 90mA  
    R_Gq8t$  
     /GuS IZg"_  
    aT1CpY=T|.  
    光栅元件   {#*?S>DA  
    nG ^M 2)(8  
                                                             9j?hF$L"  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: B~!G lT  
    • FMM/RCWA rF'^w56  
    • Diffractive Lens Component *lerPY3 q  
                                                                 'hlB;z|T  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       9<A\npD  
    8q~FUJhU  
                                                         )YnI !v2T  
    ^wO_b'@v  
    正弦光栅-传输相位形态     ?St=7a(D  
    E7yf[/it  
                                                         eY 4`k  
    siRnH(^ J  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         g2aT`=&Z  
    |.8d,!5w}  
     urrO1  
    _ 7BF+*T  
    正弦光栅-衍射效率 6t_ 3%{  
    !k:zLjtp  
                                                                 @7Rt4}g  
    3%[)!zKv  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5xMA~I0c  
    T+K` ^xv_L  
           tIxhSI^  
    j$|j8?  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   -Ap2NpZ"t  
                                           Ho)t=qn  
    5DkK'tCI9Z  
                                                                 E?Qz/*'zv  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) d^Zo35X  
    Iuu<2#gb8"  
                                                               ~jp!"f  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         "$~}'`(]  
    ;/?Z<[B  
    qXrt0s[  
     n&0mz1rw  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         3@PUg(M  
    vLv|SqD  
     p|h.@do4   
                                                                 #.E\,N'  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ;#Jq$v)D  
    60hNCVq%  
     |TB@@ 2Ky&  
                                                                 er[" NSo  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         $@[dm)M  
    ~t{D5#LVHa  
     9?u9wuH  
                                                                 n0+g]|a AF  
    VirtualLab Fusion技术   t4f (Y,v  
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