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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 #r)c@?T@j  
    ]"M4fA  
    cB7=4:U  
                                                             `ja**re  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 SuW_[6 ]  
                                                                 eESJk 14  
    建模任务                                                         U(=cGA.$  
    &sQtS  
     %+9Mr ami  
    -K)P|'-?m  
    光栅元件    B9^@]  
    !W8'apG&[  
                                                             `riK[@  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: RxkcQL/Le  
    • FMM/RCWA vV| u+v{  
    • Diffractive Lens Component |S:St HZm  
                                                                 cQUmcK/,  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       PhM3?$  
    j4Cad  
                                                         y4Plm.  
    BaTE59W  
    正弦光栅-传输相位形态     pXCmyLQ  
    1NT@}j~/  
                                                         z.pP~he  
    WrL&$dEJ?M  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ^'C1VQ%  
    _y),C   
     qV.*sdS>  
    !["WnF{5eC  
    正弦光栅-衍射效率 N/mTG2'<  
    qv=i eU  
                                                                 6<R!`N 6  
    hO@'WoniW  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       n_hV;  
    y}5H<ZcXA  
           Sim\+SL{#  
    kl_JJX6jPP  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   5EIh5Y EU>  
                                           @]t}bF]  
    JV Fn=Mw  
                                                                 noC ]&4b  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) :a R&t#<"E  
    yNP M-  
                                                               Lk6UT)C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         x-+Hy\^@|  
    /Zap'S/  
    &aqF ||v%)  
     )"2)r{7:  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         iF?4G^  
    D$+9`  
     $+!/=8R)  
                                                                 -uXf?sTV  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         UmcPpZ  
    9aFu51  
     //n$#c _}u  
                                                                 gE]6]L  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         sa$CCQ  
    kAA1+rG  
     VAX@'iZr  
                                                                 awkPFA*c'  
    VirtualLab Fusion技术    L_3Ao'SA  
    4u- mE  
                   n@xC?D:t*  
     
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