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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要  J3 Q_  
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                                                             zT,@PIC(  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 }bS1M  
                                                                 f't.?M  
    建模任务                                                         ?{f6su@rW  
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     C][hH?.  
    ch0^g8@Q[  
    光栅元件   )9yQ C  
    "crR{OjE"  
                                                             oa"Bpi9i  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 'xqyG XI  
    • FMM/RCWA -@w,tbc$  
    • Diffractive Lens Component ?;W"=I*3  
                                                                 V[/9?5pM  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       NzQvciJ@"  
    BNdq=|,+"  
                                                         -6- sI  
    LvG$J*  
    正弦光栅-传输相位形态     "H(3pl.  
    2T2<I/")O  
                                                         *>=tmW;%  
    K _VIk'RB  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ~wW]ntZm  
    ZSQiQ2\)  
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    j? BL8E'   
    正弦光栅-衍射效率 Q;3`T7  
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                                                                 i;%G Z8  
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    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       j13- ?fQ&  
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           Gxe)5,G  
    }kmAUaa,Z  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   L%v@|COQ3  
                                           -nNKUt.I  
    &qXobJRM  
                                                                 Zt9G[[]  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) t!rrYBSCr  
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         3 twA5)v  
    3\m !  
    }V] b4t  
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    闪耀光栅-衍射效率                                                         yy{YduI  
    q#AEu xI1  
     :} =lE"2  
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    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         O"~[njwkE  
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    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ~|=D.}#$  
    aWTurnee^  
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    VirtualLab Fusion技术   G)s.~ T  
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