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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 + d3  
    E/*&'Osq  
    <P'FqQ]  
                                                             hqlQ-aytS  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 iRlpNsN  
                                                                 Ir5|H|b<  
    建模任务                                                         2  
    DW78SoyedZ  
     >T c\~l  
    j;7E+Yp  
    光栅元件   !lo /L  
    {7c'%e  
                                                             ^Y+Lf]zz*  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: bk;uKV+<  
    • FMM/RCWA #.[eZ[  
    • Diffractive Lens Component ?@;)2B|q  
                                                                 g>;@(:e^/  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       P9f`<o  
    B>m*!n: l  
                                                         "}`)s_rt  
    u%+k\/Scp.  
    正弦光栅-传输相位形态     )7.DF|A  
    P\<:.8@$S  
                                                         Ox&G  [  
    i%i />;DF  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         .|5$yGEF_+  
    ed}#S~4q  
     |3yG  
    wT6zeEV~*  
    正弦光栅-衍射效率 %lWOW2~R  
    ..+#~3es#y  
                                                                 FVBAB>   
    X?wZ7*'1  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ZV+tHgzlv5  
     Owi/e  
           uf9&o#  
    D9A%8o  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   i,a"5DR8  
                                           #Xox2{~  
    `o295eiY(b  
                                                                 Z[d13G;  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) %dg[ho  
    25-h5$s  
                                                               )X[2~E  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         _"L6mcI6  
    p/VVb%  
    ],S {?!'1  
     I 4?oBq  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         \|HNFxT`  
    Wu'qpJ  
     j]<K%lwp  
                                                                 SeDk/}/~e  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         LlO8]b!P-^  
    @r/~Y]0Ye5  
     7<;oz30G!L  
                                                                 0FI |7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         [i ~qVn2vT  
    Pap6JR{7  
     SnQT1U%  
                                                                 3cL iZ%6^  
    VirtualLab Fusion技术   3U+FXK#6  
    HdI)Z<Krp  
                   `>)Ge](oN  
     
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