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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 }VCI=?-  
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    DVp5hR_$  
                                                        
    ]N)DS+V/  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 @w9{5D4  
                                                                 \=2m7v#E  
    建模任务                                                         onei4c>@  
    )}lRd#V  
    vT{kL  
    J%rP$O$  
    光栅元件   dJuD|9R  
    |zsbW9 W*m  
                                                        
    ?+CV1 ]  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: @cvP0A  
    • FMM/RCWA kBWrqZ6  
    • Diffractive Lens Component 7(k^a)~PL  
                                                                 W<b-r^9?s  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       &)9{HRP  
    J ++v@4Z  
                                                    
    al^!,ykc  
    &l2TeC@;  
    正弦光栅-传输相位形态     hvV_xD8|  
    4vZ4/#(x  
                                                    
    hwnJE958L  
    *|:Q%xr-  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         /YKMKtE  
    MN8H;0g-  
    ii|? ;  
    ).412I  
    正弦光栅-衍射效率 HTjkR*E  
    kPxT" " k  
                                                            
    c/3$AUsuO  
    "jg@w%~  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Xz{~3ih  
    o+O}Te  
      
    _r Y,}\  
    Tbbz'b;{  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   uXZg1 F)  
                                      
    v({N:ya  
    -6~'cm  
                                                                 wEft4 o  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) XFwLz  
    | }&RXD  
                                                          
    C}}/)BYi  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ,T{<vRj7_  
    wVl+]zB  
    ,?cH"@ RJ  
    }%!tT\8  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         EM j;2!  
    u0s8yPA  
    . )XP\ m\  
                                                                 #E7AmmqD%  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         |+,[``d>"  
    f{#j6wZM  
    .10y0F L4  
                                                                 "j<bA8$Vw  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         _s.;eHp,  
    )U t5+-UK  
    < Bg8,;  
                                                                 I~* ? d  
    VirtualLab Fusion技术   .3qu9eP   
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