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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 r&0v,WSp&S  
    RFDwL~-p  
    e_g7E+6  
                                                             }_3<Q\j  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 \4~uop,Nb+  
                                                                 B Gh%3"q  
    建模任务                                                         ocAoqjlT[  
    a[xEN7L~4D  
     \W( C=e  
    ~( -B%Az  
    光栅元件   0>Z/3i&?<  
    xO'1|b^&  
                                                             E >KV1P  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: o9<jj>R;  
    • FMM/RCWA u <%,Ql  
    • Diffractive Lens Component fJd!;ur)0  
                                                                 )<1M'2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       M!,$i  
    #8%Lc3n  
                                                         hR[Qdu6r  
    K {!eHTU  
    正弦光栅-传输相位形态     + 3aAL&  
    ,N< xyx.  
                                                         *'QD!Tc  
    A>xFNem  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         elJLTG  
    3O:Z;YP:<  
     wX<)Fj'  
    P,j)m\|  
    正弦光栅-衍射效率 UCa(3p^V_  
    ](aXZ<,  
                                                                 |*fGG?}  
    rMH\;\ I|U  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       # yAt `  
    K!).QB'  
           Zyu4!  
    HKP<=<8/O  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   X<OwB-N  
                                           'Wn'BRXq3  
    %{Kp#R5E  
                                                                 .Lr;{B  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 7s4G|N[wR\  
    Xat>d>nJ]  
                                                               0/6f9A  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ;/XWX$G@  
    5*/~) wN\U  
    c/jU+,_g  
     H!y1&  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ?xWO>#/  
    yTm/P!1S  
     j_H9l,V  
                                                                 ^RAst1q7  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         v,I4ozDx  
    jdiH9]&U  
     ?NOc]'<(G  
                                                                 y'(( tBWa!  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         8oK*NB29  
    J$F 1sy  
     0ft81RK  
                                                                 e{EKM4  
    VirtualLab Fusion技术   A=JPmsj.  
    XD%@Y~>+  
                   BCMQ^hP}t  
     
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