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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 4!3mSWNV  
    wv6rjg:7  
    c}l?x \/  
                                                             PrZs@ Y  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 (:TZ~"VY  
                                                                 _$f XK  
    建模任务                                                         ;FI"N@z  
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     en1NFP  
    uPvE;E_  
    光栅元件   o`EL)K{  
    6Z,j^: B  
                                                              > h>  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: InCJ4D  
    • FMM/RCWA ^rP` . Z  
    • Diffractive Lens Component u*:;O\6l  
                                                                 Af V a[{E  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       )q>mt/,  
    r^2>60q'  
                                                         p^yuz (  
    TSPFi0PP  
    正弦光栅-传输相位形态     ~|>q)4is6a  
    O:hCUr  
                                                         $vQ#ah/k  
    LKx<hl$O  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         b-Q%c xJ  
    FkS$x'~2$  
     %`F &,!d  
    th 9I]g^=t  
    正弦光栅-衍射效率 $!Pm*s  
    pod=|(c  
                                                                 bL)7 /E  
    W ^MF3  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ,o\-'   
    RdtF5#\z  
           m&36$>r=  
    ^#Ruw?D  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   (8$; 4q[!  
                                           o(w xu)  
    I<["ko,t@?  
                                                                 ~%8T_R/3  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Z%t"~r0PS  
    %( tu<  
                                                               .Zzx W  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         , '_y@9?I  
    w}`TJijl  
    /&`sB|  
     Vp5i i]B4  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ! qF U  
    YKk*QcAn  
     >&mNC \PA  
                                                                 Y<"BhE  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         , Ac gsC  
    I1 Jo8s  
     ROv(O;.Ty  
                                                                 vs`"BQYf  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Bj-80d,  
    `ecIy_O3P&  
     S*5hO) C  
                                                                 M$O*@])  
    VirtualLab Fusion技术   a(qij&>  
    >Fzs%]M  
                   L7}dvdtZ0  
     
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