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摘要 {H+?DMh QNJG}Upl
4a @iR2e C95,!q 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 &V:dcJ^Q $Tur"_`I; 建模任务 nDOIE)# j>b OnCp~
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HJ61C u9gr@06 光栅元件 _[phs06A ;Pa(nUE@
>gSerDH8\ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 8
KkpXaz • FMM/RCWA "QF083$ • Diffractive Lens Component &rd(q'Vi
1wgu%$|d 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 0\#Q;Z2 lewDR"0Kx
2$o[ JJ~?ON.H 正弦光栅-传输相位形态 ;gMh]$|" 709eLhXrH
4r. W:}4: m%V[&"5%e 正弦光栅-传输相位形态 0|ps), ZH(.|NaH
Vw*x3>` .HBvs=i 正弦光栅-衍射效率 RrHnDO' ??m7xH5u1
%8L<KJd S2R[vB4). 正弦光栅-效率vs. 周期 C P#79=1 2jW>uk4/i
QB[s8"S 9^ r 正弦光栅—选定周期的相位形态 Ng"vBycy &XsLp&Do2 ~qS/90, re!8nuBsA 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) x5SQ+7 +*J4q5;E[?
pNlisS 闪耀光栅-传输相位形态 )!d1<p3 doc ^eW.hNg \vsrBM 闪耀光栅-衍射效率 X^Y9T`mQ} (@E#O$'
:6?&FzD` =.E(p)fz 闪耀光栅-效率vs.周期 9@Sb! 9h n6G&^Oj
aELT"b,x ^qx\ e$R 闪耀光栅-选定周期相位形态
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