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摘要 )I^2k4Cg" y"6y!
s[K^9wz 'mH )d 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 "V>R9dO{"! %r-V2) 建模任务 e$u4vC~ iT;@bp
yC3yij<oR Mmo6MZ^ 光栅元件 >iOzl wmG 2u"7T_"2D
uQ=^~K :Z~ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: a@@M+9Q • FMM/RCWA o]ag"Q • Diffractive Lens Component "]m+z)lWd -pU|hSW*b 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) n:0}utU4 Q~MC7-n>
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F=UB ik"sq}u_]E 正弦光栅-传输相位形态 nI/kw%< 277ASCWLkU
>6~k9>nDb< mCs#.%dU 正弦光栅-传输相位形态 op"$E1+ DbZ0e5
zVi15P$ Z1ALq5 正弦光栅-衍射效率 =\,uy8HX 'S<%Xm
7_wJpTz 65oWD- 正弦光栅-效率vs. 周期 'lo &f>eQS=(
p1D[YeF4 xr qv@/kJ 正弦光栅—选定周期的相位形态 3;7q` \eGKkSy `:wvh( X53mzs 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ESg+n(R [xfaj'j=@
R#n%cXc| 闪耀光栅-传输相位形态 B_ja&) !s1 Uu"0rUzt Um)>2|rp} Y4F6qyP)" 闪耀光栅-衍射效率 .6m "'m0; li]
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_1*7Z=| [EY`am8[ 闪耀光栅-效率vs.周期 A])P1c. 7" Z?NEO>h7
_Cy:]2o LhzMAW<L4 闪耀光栅-选定周期相位形态 PF`rWw {kLGWbo|Q
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1%- VirtualLab Fusion技术 mPPk)qy 4KI [D{
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