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摘要 e.H"!X!0#H ;OyM~T gI
/q]@|5I ylJlICK 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 gJ7puN m%3Kq%?O 建模任务 Yl=
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?g.w%Mf* _ji%BwJ 光栅元件 wH<* jT0fF
~?r6Ax-R 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: )9->]U@ • FMM/RCWA ,{at?y* • Diffractive Lens Component O}V2>W$ mqw.v$> 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) -nSqB{s!SD p04w83 jX
hT#mM*` Q0-~&e_' 正弦光栅-传输相位形态 zYsGI<4 >MH@FnUL
"k/@tX1:R Hua8/:![+ 正弦光栅-传输相位形态 3
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B 正弦光栅-衍射效率 )M~5F,) F\;1:y~1
F Te# @\I "'L SLp 正弦光栅-效率vs. 周期 _De;SB%V G
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;Wdo* ysW k,,}N9 正弦光栅—选定周期的相位形态 3#unh`3b b`mEnI
VIz 2~ a4ib pppbn]%Ob 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) o~B=[ "cx" d:
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&*iiQ3 Rk<:m+V= 闪耀光栅-效率vs.周期 A|^?.uIM +7w>ujeeJA
]@EjKgs _>.%X45xi 闪耀光栅-选定周期相位形态 n~Ix8|S h %?seX+ne
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