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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 GY@(%^  
    'au7rX(  
    3m:[o`L  
                                                             {}!`v%z  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 b3]QH h/  
                                                                 uf4C+ci  
    建模任务                                                         !cS A|C  
    ,)-7f|  
     Sxo9y0K8-  
    7~(|q2ib  
    光栅元件   Al&)8x{p  
    `(NMHXgG+  
                                                             !jZXh1g%  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: F} d>pK9fn  
    • FMM/RCWA aF2vw{wT}  
    • Diffractive Lens Component 7`AQn],  
                                                                 X.TsOoy  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       v53qpqc  
    t<~$?tuZ  
                                                         IjJO;  
    kex4U6&OQB  
    正弦光栅-传输相位形态     x`:zC#  
    #J&45  
                                                         5>{  
    <Sw>5M!j  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ZmM/YPy  
    cF6eMml;  
     rm}OVL  
    8JYF0r7  
    正弦光栅-衍射效率 cbsU!8  
    CF"u8yE  
                                                                 N0`v;4gF$]  
    Tp7*T8  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Y*oT (  
    6%N.'wf  
           o1I8l7  
    W!.F\H,(  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   iBlZw%zKP  
                                           u17e  
    HHd;<%q  
                                                                 FwD"Pc2  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @&H Tt  
    !=sM `(=~  
                                                               ey4RKk,  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         .v<Q-P\8/  
    ~ti{na4W<  
    f;";P  
     _G9 vsi  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         @JFfyQ {-  
    mR JX,  
     b=Rw=K.  
                                                                 l]:nncpns  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vd0;33$L  
    zB,Vi-)vH  
     ?;{ d  
                                                                 sw:o3cC]  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         kl(id8r  
    oaxCcB=\  
     @D:$~4ks  
                                                                 j^ y9+W_b  
    VirtualLab Fusion技术   "DWw]\xO](  
    R 1CoS6  
                   1^F !X=  
     
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