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摘要 ZB_16&2Ow cc2 oFn
<De3mZb U~){$kpI# 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 gvRc:5B[ jV|$?
Rcl% 建模任务 t7*H8 @dT: 1s
gqJEJ~ Fy(nu-W 光栅元件 wCC~tuTpr UVoLHd
3>@qQ_8%~ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: xJF6l!` • FMM/RCWA v{rK_jq • Diffractive Lens Component `
HE:D2b Y+"hu2aPkY 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) asmW
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@L>NN>?SGQ !+|N<` 正弦光栅-传输相位形态 G(|(y=ck p$b=r+1f
K^cWj_a" OL
]T+6X 正弦光栅-传输相位形态 c^[1]'y (HV~ '5D
M5ySs\O4 Er)_[^)
HG 正弦光栅-衍射效率 .^`a6>EQ)| n.8A
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oN6*WNt J }Cq9{0by?a 正弦光栅-效率vs. 周期 , C@hTOT d;jJe0pH
A2O_pbQti Eztz~oFo 正弦光栅—选定周期的相位形态 ZNH*[[Pf 5 dNf$a0E ]x(2}h^S '*LN)E>d 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) LG@c)H74 LOb'<R\p
fF-\TW 闪耀光栅-传输相位形态 l^eNZ3:H eze(>0\f 5t5S{aCDr FnQ_=b
闪耀光栅-衍射效率 f$S
QhK5` I9G*iu=U
\|>`z,; n.qxxzEN 闪耀光栅-效率vs.周期 oQjB&0k4 e'?doP
$8T|r+< 5bznM[%xO 闪耀光栅-选定周期相位形态 g
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