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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 w+#C-&z  
    }XV+gyG=@  
    x(etb<!jd  
                                                             )Dw,q~xgg0  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 R7$:@<:g  
                                                                 Ljxz.2LGr  
    建模任务                                                         ,2j&ko1  
    Kw efs;<E?  
     Rot@x r7Hc  
    ~$:|VHl  
    光栅元件   !;i`PPRwk  
    M dZ&A}S  
                                                             (l-tvk4Ln  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: E^ P,*s  
    • FMM/RCWA <j*;.yyC  
    • Diffractive Lens Component y.#")IAF  
                                                                 ^W'fA{sr  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       zLD0RBj7p  
    Xu< k3oD7  
                                                         ZHU5SXu  
    *c~T@m~DR  
    正弦光栅-传输相位形态     @ezH'y-v  
    <49K>S9O  
                                                         cik!GA  
    -=)+dCyB^  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         K`iv c N"  
    _/uFsYC  
     (]0%}$Fo  
    ORyE`h  
    正弦光栅-衍射效率 U1DXe h~V  
    _LMM,!f  
                                                                 )PG6gZYW  
    ?u/@PR\D  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       o.w\l\  
    <j&DK2u=i  
           ]+|~cRQ9I  
    Q<h-FW8z  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   l>Z5 uSG  
                                           $FlW1E j  
    Gb8D[1=u=  
                                                                 0Fk5kGD,&K  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 1<BX]-/tP  
    jNLw=  
                                                               xIxn"^'  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         `tHvD=`m.  
    _A+s)]}  
    uJFdbBDSh  
     %MrWeYd1  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         OUeyklw  
    "} q@Y=  
     tSVc|j  
                                                                 JRSSn]pw  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         cxA^:3  
    V.O(S\  
     d]:I(9K  
                                                                 gCioq.  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         2q3+0Et8  
    q;<h[b?  
     Cnbz=z  
                                                                 #0ETY\}ZD  
    VirtualLab Fusion技术   ] 8Q4BW  
    |$Xl/)Oq  
                   bn^{c  
     
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