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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 |O>e=HC#q8  
    v@GhwL  
    ;>6~}lMgJ  
                                                             {*hvzS{1d  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 'Z.C&6_  
                                                                 M\k[?i  
    建模任务                                                         [kN_b<Pc,  
    F."ZCEb  
     65O 8?I  
    z\UXn RL  
    光栅元件   _6c/,a8;*J  
    'a JE+  
                                                             tKe-Dk9  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: L"dN $ A  
    • FMM/RCWA bfncO[Q,?  
    • Diffractive Lens Component gfIS  
                                                                 11#b%dT  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       TW(X#T@Z6I  
    wzxV)1jT  
                                                         /({oN1X>i  
    N;-%:nC  
    正弦光栅-传输相位形态     %B#T"=Cx  
    F7b% x7b  
                                                         >jmHe^rH  
    ]u-bJ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         6S{F4v2/0  
    =8*ru\L:hr  
     O>nMeU  
    iJoYxx  
    正弦光栅-衍射效率 +L'Cbv="  
    :tnW ivrwR  
                                                                 xq,ql@7  
    BGj!/E  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       y5aPs z  
    <+ [N*  
           (gVN<Es  
    (=WYi~2v  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   OS<GAA0  
                                           n!8W@qhew  
    vuY X0&  
                                                                 ~&ns?z>x  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 0`WFuFi^o  
    pRE^; 4}z  
                                                               rf]z5;  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         JtMl/h  
    NhNd+SCZ@  
    *! :j$n;  
     J[Mj8ee#  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         oO3 ^9?Z  
    )h0>e9z>Y  
     4t%Lo2v!X%  
                                                                 CFW Hih  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         >iK LC  
    8Ara^Xh}q  
     TTa3DbFp%  
                                                                 '4#NVXVQm  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         +'93%/:  
    $iy!:Did  
     c1FSQ m81  
                                                                 )l m7ly8a|  
    VirtualLab Fusion技术   +eH`mI0f  
    L.-qTh^P  
                   T@P~A)>yo  
     
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