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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 {f/~1G[M  
    W,V:R  
    JFcLv=U  
                                                             S'Q@ScJ  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 `uv2H$  
                                                                 b[r8 e  
    建模任务                                                         Q|S.R1L^  
    B3pCy~*5  
     ZQ4p(6a   
    Z3"%`*Tmq-  
    光栅元件   [A+ >^ {  
    x|/|jzJSX  
                                                             $ Xv*,Bq  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: |s7s6k)mm  
    • FMM/RCWA "%`1 ]Fr  
    • Diffractive Lens Component CKYc\<zR0l  
                                                                 y`<*U;xL  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       I&D5;8  
    py$Q  
                                                         -^&<Z 0m  
    ],@rS9K  
    正弦光栅-传输相位形态     C)um9}  
    5V?& 8GTe  
                                                         F&!6jv  
    Rvqq.I8aC  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         &jS>UsGh  
    |XaIx#n  
     h{)kQLuzT  
    v> LIvi|]  
    正弦光栅-衍射效率 CuaVb1r  
    q$0*b]=E  
                                                                 R6` WN  
    SL Ws*aq  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       r<9Iof4  
    u4t7Ie*Q  
           66g9l9wm(  
    td(li.,  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   F~,Mw8  
                                           {BP{C=p  
    y_* !6Xr  
                                                                 ^=GC3%  J  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 6hno)kd{=  
    -RE^tW*Yy  
                                                               :tz#v`3o  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         DwM)r7<Ex  
    !{ y@od@T  
    2Z+Wu3#  
     ew>XrT=Zm  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         JB%',J  
    $h+1u$po  
     OSRp0G20k\  
                                                                 Y4J3-wK5  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         M,j U}yD3  
    +Zb;Vn4  
     $iN"9N%l  
                                                                 6|gCuT4  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         )MtF23k)g  
    8EZ$g<}  
     S 8kCp;  
                                                                 57'*w]4f  
    VirtualLab Fusion技术   G~F b  
    Q7HRzA^-  
                   n7zm>&  
     
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