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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 l'-dB  
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                                                             (A`/3Aq+  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ' U{?"FP  
                                                                 e $QX?y .  
    建模任务                                                         l<)(iU  
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    光栅元件   +g ovnx  
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                                                             l epR}  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: OtJYr1:y_  
    • FMM/RCWA -?<wvUbR{  
    • Diffractive Lens Component `Q6@,-(3  
                                                                 x:=Kr@VP  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       nU%rSASu  
    Ac<V!v71  
                                                         ^dH#n~Wx0  
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    正弦光栅-传输相位形态     ga^O]yK  
    [qlq&?"  
                                                         YMLo~j4J  
    0wXfu"E{  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         F7UY>z3jL  
    By6C+)up  
     bmna*!l^M  
    i>r4Rz!  
    正弦光栅-衍射效率 9 a2Ga   
    YFOK%7K  
                                                                 N!m-gymmF  
    IJO`"da  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       bG67TWY)  
    L+bO X  
           ULMG"."IH  
    \ntmD?kA  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   r]Da4G^  
                                           d6,%P 6  
    pm B}a7  
                                                                 ,7SLc+  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) g1muT.W]S  
    J7t5 B}}  
                                                               R+8+L|\wHv  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         E*>tFw&[  
    Ki}PO`s  
    bP&o] ?dN  
     JT&CJ&#[h  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         75wQH*  
    :+ @-F>Q  
     *aS|4M-  
                                                                 p=\DZU~1  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         -w=rNlj  
    |uV1S^ !A  
     EonZvT-D=  
                                                                 PHi'&)|  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;SeDxyKG  
    (\.[pj%-O  
     2{!'L'km  
                                                                 3 =@7:4 A  
    VirtualLab Fusion技术   D; H</5#Q  
    [nn/a?Z4S  
                   .\X/o!xC  
     
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