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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 %m5Q"4O  
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    )Ag/Qep  
                                                             g_*T?;!.U  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 tHD  
                                                                 pqM~l&  
    建模任务                                                         NY$uq+Z>  
    M_ 0zC1  
     I:(m aMc  
    $DFv30 f  
    光栅元件   M/D)".;  
    Uv_N x10  
                                                             PeX1wK%f  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: e)nimq {6  
    • FMM/RCWA ){s*n=KIO  
    • Diffractive Lens Component qVjWV$j  
                                                                 Hs"(@eDV&J  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       $$i. O}  
    =6FUNvP#8  
                                                         h)lPi   
    {eJt,[Y *  
    正弦光栅-传输相位形态     +^aFs S  
    L(;WxHL  
                                                         fjo{av~]y  
    %x; x_  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         c;f!!3&  
    pi(-A  
     LVIAF0kX  
    Eu}b8c  
    正弦光栅-衍射效率 ;:S&F  
    ] U@o0  
                                                                 C<^YVeG  
    >!e<}84b  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       .%EL\2  
    |s7`F%  
           ubMOD<  
    rjt8fN  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   RhI;;Y#@  
                                           _Jz8{` "  
    *F ^wtH`  
                                                                 t22;87&|  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) XKL3RMF9r  
    *YTo{~  
                                                               QB!~Wh  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         S 6,4PP  
    r'LVa6e"N  
    <%}QDO8\i  
     eO=s-]mk  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         uhH^>z KA  
    !  hd</_#  
     a/Q$cOs  
                                                                 z@|dzvjl Q  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         SEwku}  
    })xp%<`  
     'XQ`g CF=  
                                                                 v!3A9!.  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         a ?} .Fs  
    }UJv[  
     p?[Tm*r  
                                                                 B0$:b !  
    VirtualLab Fusion技术   ^VW PdH/Fe  
    2I3h M D0  
                   hDP/JN8y  
     
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