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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Fo LDMx(  
    BJIFl!w  
    9F)W19i.  
                                                             z"3H{ A  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Xr2 Wa  
                                                                 4L $};L  
    建模任务                                                         rT<1S?jR  
    wKLN:aRF2  
     Hi7G/2t@`  
    5E.vje{U;  
    光栅元件   _0*=u$~R  
    _;V YFs  
                                                             ]eD[4Y\#t  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Y}ky/?q  
    • FMM/RCWA 1V\1]J/  
    • Diffractive Lens Component (Otur  
                                                                 XJ _%!  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ^Wk0*.wg  
    X; 5S  
                                                         H<{*ub4'L*  
    =3pD:L  
    正弦光栅-传输相位形态     %27G2^1  
    4(;20(q]  
                                                         [@zkv)D6  
    Hj1k-Bs&'w  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ![j(o!6&  
    + p'\(Z(  
     r*>QT:sB  
    /T{mS7EpYc  
    正弦光栅-衍射效率 '2j~WUEmg  
    cUYX1a)8  
                                                                 z^"?sd  
    @!Y.935/0  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       z{AM2Z  
    l; */M.B  
           EyzY2>"^  
    x[Hhj'  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   x vHOY:  
                                           ;,R[]B01u  
    zab w!@]  
                                                                 :0{AP_tvcC  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 8 `yB  
    =:kiSrBS3t  
                                                               (1OW6xtfG  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ;%M2x5  
    xMLrLXy  
    s-fKh`  
     wbo{JQ  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         |YJ$c @  
    0,+EV,  
     tvv[$ b&  
                                                                 JB641nv  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         @<0h"i x  
    ik8|9m4/  
     ^V_ku@DY  
                                                                 V,`!rJ  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         -wJ   
    lK_ ~d_f  
     $b&BH'*'~  
                                                                 5+o 2 T]  
    VirtualLab Fusion技术   B!$V\Gs  
    CD*f4I#d  
                   `8.1&fBr  
     
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