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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 S 1>Z6  
    lIy/;hIc  
    Gt.*_E  
                                                             /Y^7Rl  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 lWl-@ *'  
                                                                 >#i $Tw  
    建模任务                                                         JE%i-UVH+;  
    B=x~L  
     F0: &>'}  
    G+Ei#:W,  
    光栅元件   }` @?X"r  
    gx&73f<J  
                                                             .??rqaZ=  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: I_L;T  
    • FMM/RCWA >?Qxpqf2  
    • Diffractive Lens Component h=wf>^l  
                                                                 D;yd{]<  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       L3' \r  
    f8F1~q  
                                                         8ok7|DJ  
    l2M/ ,@G  
    正弦光栅-传输相位形态     cl#OvQ  
    'XME?H:q a  
                                                         o9^$hDs,si  
    GfQ^@Tl  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         bAdAp W  
    u;{T2T  
     m4\g o  
    R=DPeUy;  
    正弦光栅-衍射效率 O^Dc&w  
    t"#lnG!G  
                                                                 \ 6jF{  
    7@\GU]. 2  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       *@=fq|6l 2  
    )[RpZpd`*  
           )m>6hk  
    ="=#5C  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   f>b!-|  
                                           <y'qo8oqF  
    's/27=o  
                                                                 olslzXn7o  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) jBGG2[hV  
    Ld'EABM  
                                                               s:G [Em1  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         U0ns3LirP  
    FW5*_%J  
    ]r]+yM|  
     [cY?!Qd 0  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         [_h.1oZp~  
    >J?jr&i  
     )62q|c9F  
                                                                 Zt7hzW  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         hu`L v  
    ArLz;#AOn  
     0fZ:")&4,  
                                                                 6Eij>{v  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         .)?2)Fl  
    w@4t$bd7  
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                                                                 &8o  :  
    VirtualLab Fusion技术   S]Sp Z8  
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