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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 =g>7|?6>=  
    V/wc[p ~  
    zZjLt1  
                                                             {p_vR/ yN  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 %dWFg<< |  
                                                                 `F`'b)  
    建模任务                                                         ah$7 Oudj  
    +Gwe%p Q  
     nJ0eZBgB]  
    `/j|Rb|eow  
    光栅元件   Dqcu$ V]  
    $6x:aG*F  
                                                             ~9'4w-Sy  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 3[O =2  
    • FMM/RCWA 7(+ZfY~w"  
    • Diffractive Lens Component  3usA  
                                                                 bqwW9D(  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       u|*| RuY  
    C-b%PgA  
                                                         ~ z&A  
    Am`A[rV0  
    正弦光栅-传输相位形态     )B5gs%u]  
    ?)QBJ9F  
                                                         b0x0CMf  
    W%Nu]9T  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         6rCP]YnF  
    *SG2k .$  
     b2-|e_x  
    v2X0Px_  
    正弦光栅-衍射效率 8!`.%)- 4  
    eeTaF!W  
                                                                 yNf=Kl  
    teNQUIe-  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       \kGtYkctZ  
    Hh=::Bi  
           EKJ4_kkjM  
    yzzre>F  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   |a:VpM  
                                           ^* v{t?u  
    '# 2J?f'  
                                                                 v5ddb)  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) gbv[*R{<%  
    naCI55Wx  
                                                               {%~ Ec4r  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         s31_3?Vdf,  
    ew ,edU  
    BU{ V,|10a  
     ]=VI"v<X  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         NGZ>:  
    !PTbR4s  
     s-S"\zX\D  
                                                                 h#;K9#x6  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vszAr( t  
    s(LqhF[N2]  
     !0+Ex F  
                                                                 yj9gN}+  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         uKzz/Y{  
    ~7lvY+k)<  
     w:@M|O4`  
                                                                 fT~<C {  
    VirtualLab Fusion技术   ~?+m=\  
    #e|kA&+8M  
                   BV:,b S  
     
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