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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 xGI, Lk+  
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    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 #A8@CA^d  
                                                                 C XHy.&Vt  
    建模任务                                                         3T&6opaF  
    Xo*DvD  
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    光栅元件   MJ=)v]a  
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    eW>3XD4  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: R-:fd!3oQ  
    • FMM/RCWA >*wtbkU  
    • Diffractive Lens Component F"N60>>  
                                                                 sZLT<6_B  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       4Yl;  
    cr;g5C V  
                                                    
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    oc^Br~ Th  
    正弦光栅-传输相位形态     dZ _zg<  
    1 n%?l[o  
                                                    
    [NFNzwUB  
    6K-5g/hL  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         +S))3 5N[  
    ( 9]_ HW[  
    f>ZyI{  
    rcGb[=Bf  
    正弦光栅-衍射效率 !cGDy/ |  
    z%/N!RLW  
                                                            
    y ^;l*qq  
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    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       1@gguRF:  
    (8ht*b.5K  
      
    [le)P$#z  
    M?/jkc.8H  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   # 6!5 2  
                                      
    uf&N[M  
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                                                                 LOTP*Syjf  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =~I-]4  
    lHZU iB  
                                                          
    M3~K,$@  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         mYc.x  
    S1U@UC  
    x 2QIPUlf  
    cJgBI(S5  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         f7I{WfZ\P  
    4^<6r*  
    r",]Voibd  
                                                                 $x6$*K(F  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         MC,>pR{  
    iVfgDo  
    W>b(Om_%  
                                                                 mm5$> [%U  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         n8hRaNHl2  
    VtOZ%h[#  
    'q * Bdx  
                                                                 <|?K%FP7Z  
    VirtualLab Fusion技术   +ki{H}G21  
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    LB/C-n.`  
     
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