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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 -`XS2  
     d=^QK{8  
    :Q("  
                                                             ["Ts7;q9[  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 K*T^w3=  
                                                                 %_5#2a  
    建模任务                                                         lb'tVO  
    9&f+I@K  
     a)pc+w#  
    07:V[@'  
    光栅元件   #;ObugY,  
    aUEr& $  
                                                             _J6 Xq\  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ?j/FYi  
    • FMM/RCWA qA!p7"m|  
    • Diffractive Lens Component }wiyEVAh{  
                                                                 3#t#NW*e  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       P'tXG  
    C @<T(`o  
                                                         4Z%1eOR9V  
    bI:W4y>I=  
    正弦光栅-传输相位形态     )1#/@cU  
    #)~u YQ  
                                                         $aJ6i7C,j}  
    k5aB|xo  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         O$6&4p*F.  
    6 ScB:8M  
     } uS0N$4  
    Og%Y._  
    正弦光栅-衍射效率 1!.-/  
    $L0sBW&  
                                                                 aBReIK o  
    tE=09J%z  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       q}L`8(a  
    37kFbR@x  
           Wx]Xa]-  
    g?"QahH G  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   2mzn{S)nV  
                                           SZe55mK`  
    vc"!3x-G*  
                                                                 ,uC-^T |n  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) *t| !xO  
    $T3_~7N  
                                                               wO%lM  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         d]s^?=gM  
    C`_/aR6  
    _:Xmq&<W  
     b/a\{  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ds!n l1  
    [(x<2MTj  
     3ArHaAv{y  
                                                                 RKzty=j4  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         nC,QvV  
    !0?o3,of-  
     {Cm!5QYy  
                                                                 `$JvWN,kB  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         #d,)Qe[  
    W !j-/ql  
     \;N+PE  
                                                                 %z@ Z^Jv  
    VirtualLab Fusion技术   &J2 UAmB  
    *nU5PSs  
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