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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 6DL[ aD  
    5efxEt>U  
    FuX 8v  
                                                        
    I _i6-<c.Q  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 hF3&i=;.  
                                                                 iqhOi|!  
    建模任务                                                         )' xETA  
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    光栅元件   o5\b'hR*#  
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    nK3 k]gLc{  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: W9t"aZor  
    • FMM/RCWA WxbsD S;  
    • Diffractive Lens Component <DH*~tLp2  
                                                                 7%OKH<i\2<  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       2JmZ{  
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    正弦光栅-传输相位形态     rVQX7l#YI  
    `ya;:$(6  
                                                    
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    正弦光栅-传输相位形态                                                         8_d -81Dd  
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    RV-hIdAU  
    OlxX.wP  
    正弦光栅-衍射效率 Swtbl`,  
    kE;O7sN   
                                                            
    ,]Zp+>{  
    Aox3s?  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ~9D~7UR  
    AF4?IH  
      
    A%Z)wz{  
    ZF#Rej?  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   |'HLz=5\  
                                      
    kvsA]tK.  
    W VkR56  
                                                                 =OTm2:j#yQ  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) }xn_6  
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         =lr)gj  
    \tJFAc  
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    Q^eJ4{Ya:  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         3$M3Q]z  
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    Aq#/2t  
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    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         J/D|4fC  
    }GHxG9!z  
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                                                                 00vBpsZj2;  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Yq'4e[i  
    ?~ULIO'  
    Edt}",s7  
                                                                  v%{0 Tyk  
    VirtualLab Fusion技术   9\O(n>  
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