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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 =mA: ctu~v  
    HGm 3+,  
    B<j'm0a>B  
                                                             *K> l*l(f]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 TIp:FW[  
                                                                 >2bKSh  
    建模任务                                                         *`ZH` V  
    kOI t(e  
     i4^o59}8  
    (Qa/EkE^*w  
    光栅元件   V&-~x^JK  
    /pF `8$  
                                                             pZ/>[TP(%F  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: =Umw$+fJr  
    • FMM/RCWA `PY>Hgb  
    • Diffractive Lens Component >3z5ww  
                                                                 yAoe51h?  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       I\YV des#  
    C@th O  
                                                         Q}-~O1  
    `jwa<N4e@  
    正弦光栅-传输相位形态     \ Y"Wu  
    v4C{<8:X  
                                                         JV;OGh>  
    um9_ru~  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         bV ZMW/w  
    DGzw8|/(  
     rETRTp0HT  
    Iu$K i  
    正弦光栅-衍射效率 4~B> 9<$e>  
    Mn)@{^  
                                                                 ~%YBI9$+  
    OE}*2P/M>  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       I1PuHf Qs  
     cReB~wk  
           CiB%B`,N  
    HuOIFv  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   8MSC.0   
                                           $m42:amM  
    D9z|VIw8  
                                                                 L'u\ w  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) g]*#%Xa  
    fFc/ d(  
                                                               O} f80K  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         0}b tXh  
    >%wLAS",w  
    y-1 pR  
     qHxqQ'ks;  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         >Z1sb  n  
    i9/aAH0  
     WL'P)lI5  
                                                                 9=UkV\m)  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         )b:7-}d  
    Yl3n2R /U  
     %mZ{4<7  
                                                                 [ i]Ub0Dh7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         hNzB4 p  
    o_'p3nD  
     C+TI]{t  
                                                                 VY3&  
    VirtualLab Fusion技术   ~c&bH]cj  
    cJrmm2.0kD  
                   vvm0t"|\  
     
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