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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 5Z>+NKQ  
    _b! TmS#F1  
    Ask~  
                                                             _^h?JTU^  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 {# N,&?[  
                                                                 Mk/ZEyq^  
    建模任务                                                         5Z_aN|Xn  
    7I0K= 'D7  
     "y-/ 9C  
    i\zN1T_  
    光栅元件   P\3H<?@4  
    V 9;O1  
                                                             &4m;9<8\  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 42Cc`a%U  
    • FMM/RCWA ,-V7~gM%}  
    • Diffractive Lens Component \|7Y"WEQ  
                                                                 es1'z.UJ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       \tfhF#'  
    ub-vtRpm  
                                                         ]GiDfYs7%  
    s;,ulME  
    正弦光栅-传输相位形态     "|GX%> /  
    to#T+d.(v  
                                                         `aM8L  
    w1)SuMFK_  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         b/UjKNf@  
    Lu[xoQ~I  
     txix =  
    pW5PF)([  
    正弦光栅-衍射效率 SXRND;-W8  
    84c[Z   
                                                                 98%6Z8AS6U  
    -O6\!Wo=-  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       * oru;=D@8  
    tVHQ$jJY%  
           S %(R9N|  
    W C3b_ia  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ^"4u1  
                                           QW>(LGG=  
    7WN$ rl5/  
                                                                 XaYgl&x'!x  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) oT^r  
    KDYyLkI dr  
                                                               =ve, !  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         y:dwx*Q9I  
    _R;+}1G/  
    0@2pw2{Ru  
     !gG\jC~n  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Kvh6D"  
    23gJD8i8  
     LJBDB6  
                                                                 D;OR?NdgvW  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         6WEu(}=  
    ,E8~^\HV  
     $:<G=  
                                                                 0 = - D  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         }$1Aw%p^  
    ?p!+s96  
     ;AE%f.Y  
                                                                 b6gD*w <  
    VirtualLab Fusion技术   eE[/#5tK  
    !d=Q@oy5  
                   dIDs~  
     
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