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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 QwKky ^A  
    #fJ/KYJU  
    dj8F6\  
                                                             j+z'  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 d=Rk\F'^J  
                                                                 }rFsU\]:q  
    建模任务                                                         Rfkzv=<"X  
    I{i:B  
     O>)n*OsS  
    P wt ?9I  
    光栅元件   5n&)q=jk=  
    0KWy?6 X  
                                                             B}l}Aq8  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: zLJ:U`uh\  
    • FMM/RCWA [R@q]S/  
    • Diffractive Lens Component Res"0Q  
                                                                 9RCB$Ka6X  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~@)- qV^~  
    nr<}Hc^f-  
                                                         A>&>6O4  
    |j.KFu845  
    正弦光栅-传输相位形态     ,6cbD  
    X r  
                                                         3:02`;3  
    7(nz<z p  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         oHc-0$eMKY  
    j L>I5f  
     )cv0$  
    j? Jd@(*y$  
    正弦光栅-衍射效率 E980yXJR  
    _{Fdw  
                                                                 g:uaI  
    D>"{H7m Y  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       goBKr: &]w  
    LB64W ;#h  
           h M1&A  
    h[[/p {z  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   /ut~jf`  
                                           -x3tx7%  
    mBD!:V'  
                                                                 EP*["fx  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 8h@)9Q]d\  
    hK9t}NE.O  
                                                               uP%;QBb  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         YWn6wzu%Vc  
    hq&  
    99+/W*C  
     B'lxlYV1  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         kp<}  
    ;?HZ,"^I  
     }77=<N br  
                                                                 q!9v}R3(  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         wr;|\<c  
    C.9eXa1wkT  
     B3g82dm  
                                                                 ^%'tD  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         nV,{w4t+  
    G,mH!lSm,  
     _]PfeCn:j  
                                                                 c|;|%"Mk  
    VirtualLab Fusion技术   u`H@Q&(^wa  
    2*7s 9g  
                   T0]%(F/8  
     
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