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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 {o 2 qY|S  
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    T9XUNR{&  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 M>[ A  
                                                                 G|[{\  
    建模任务                                                         rlGv6)vb  
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    光栅元件   Q4hY\\Hi  
    -jy0Kl/p  
                                                        
    ma+AFCi  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: cdh0b7tj n  
    • FMM/RCWA KPI96P  
    • Diffractive Lens Component X9NP,6  
                                                                 Gw\..O  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       /`7+Gy<  
    \PUJD,9H  
                                                    
    CGzu(@dd\  
    K, I  
    正弦光栅-传输相位形态     mLpM8~L  
    KN[;z2i  
                                                    
    R^$|D)(  
    {?5iK1|}K  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         R"9w VM;*c  
    huS*1xl  
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    M:{Aq&.  
    正弦光栅-衍射效率 ];4!0\M  
    FOk;=+  
                                                            
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    w3ni@'X8  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       KMz!4N  
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    4k-Ak6s  
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    正弦光栅—选定周期的相位形态   &=BzsBh  
                                      
    J (?qk  
    j7gw?,  
                                                                 |Ia9bg'1U  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) |Rz.Pt6  
    {\(MMTQ  
                                                          
    F{!pii5O9  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         8>,w8(Nt  
    sqtz^K ROM  
    w|-3X  
    &.\7='$F  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Leb|YX  
    ;//9,x9;t  
    *H/3xPh,*  
                                                                 twq~.:<o  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         NFZ(*v1U  
    [i /!ovcY  
    ZQ_6I}i")  
                                                                 1wKXOy=v0  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         L|T?,^  
    R-S<7Q3E0=  
    hc[ K VLpS  
                                                                 .{h"0<x  
    VirtualLab Fusion技术   #~|k EGt  
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