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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 lV`y6{o#T  
    T!pWU*aB  
    0UWLs_k:  
                                                             s3_i5,y  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 <3 AkF# C9  
                                                                 /Rx%}~x/m  
    建模任务                                                         RE oFP;H~  
    F]z xx  
     RX=C)q2c  
    //Hn[wEOh  
    光栅元件   ]![ewO@  
    A7+eWg{  
                                                             TxN#3m?G  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 9:fVHynr  
    • FMM/RCWA yXppu[=  
    • Diffractive Lens Component `8xe2=Ub  
                                                                 :8E(pq|1PB  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       <R*.T)Z1  
    )f(#Fn  
                                                         o*f7/ZP1o  
    lx U}HM  
    正弦光栅-传输相位形态     Cg}cD.  
    0RYh4'=F  
                                                         <|hvH  
    WSi Utf|g  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         lp!@uoN^T  
    G}BO!Z6  
     D gY2:&0  
    +S^Uw'L$=T  
    正弦光栅-衍射效率 jp=^$rS6[  
    ,Ztj  
                                                                 U,[vfSDGr  
    :~ zK0v"  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ,U],Wu)  
    3UslVj1u  
           u{ JAC!  
    {/XzIOO;b  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   D7[ 8*^  
                                           iZg v VH  
    k U*\Fa*E  
                                                                 3PpycJ}  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) %$`pD I)  
    +QtK "5M  
                                                               'F5&f9 A  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         B3c rms['  
    XlV#)JX  
    +sQ=Uw#e  
     $ze%! C  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         \n6#D7OV  
    a7%5Qg9B;  
     Br`Xw^S  
                                                                 eqZ V/a  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         A%k@75V@  
    s34{\/'D+  
     ht!o_0{~  
                                                                 U $# ?Lw  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         i`FevAx;[m  
    t}c ymX~  
     ;R@zf1UYA  
                                                                 -3_-n*k!  
    VirtualLab Fusion技术   )_,*2|b  
    rt_%_f>qd  
                   ht (RX  
     
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