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摘要 RT9%E/m oOQ0f |MGp
aprgThoD 2qKAO/_O 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 C$v
!emu 4'`*Sce} 建模任务 ]U 1S?p J'lqHf$T
Az(J @ -PiZvge 光栅元件 #Z_f/@b VZA>ErB
|q_Hiap#a 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: l W
Lj== • FMM/RCWA 7bkh")^ • Diffractive Lens Component x&FBh!5H Z2k5qs7g 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) B :1r;8{j `{S4_'
piPV&ytI k@2@%02o9C 正弦光栅-传输相位形态 jouT9~[L' Vjr}"K$Y
bLz('mUY L0xh?B 正弦光栅-传输相位形态 Mj |"+( 3W?H^1t
0av2w5>af ]LSlo593 正弦光栅-衍射效率 /KCIb:U mDIN%/S'
G\S_e7$/ Dt+uf5o( 正弦光栅-效率vs. 周期 fu`|@S \MmKz^tO
x*F_XE1#M GG`;c?d@ 正弦光栅—选定周期的相位形态 D??
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C6}`qD 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) d0 yZ9-t 0]t7(P"F6
KHt#mQy)9 闪耀光栅-传输相位形态 fmk(} WLN;LT VaylbYUCT/ ] Y6y ]u 闪耀光栅-衍射效率 7
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P<E iJ~e8l0CA 闪耀光栅-效率vs.周期 uF\f>E)/N% ln=:E$jX
DP7B X^e ]A dL 闪耀光栅-选定周期相位形态 [%BWCd8Q~P i@spd5.
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