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摘要 -$WiB 4)9X) Qx
& A9psc(,& *GuCv3| 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 7Yj\*N iCk34C7 建模任务 J+?xfg L6$,<}l
!0Xes0gK0 \/K>Iv'$ 光栅元件 *JO"8iLw !^q<)!9<EO
{LJCY<IGq 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 9'//_ A, • FMM/RCWA s'\"%~nF< • Diffractive Lens Component 94nvh:n |hp_X>Uv' 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) u#=N8 ?WUE+(oH>
@292;qi 5+%BZ 正弦光栅-传输相位形态 L1)?5D =K8`[iH
1ygu>sKS&A [zf9UUc~ 正弦光栅-传输相位形态 AW> P\>{RE ci3{k"
d:sUh Vg[U4, 正弦光栅-衍射效率 _,Fwt 8n~@Rj5
e4CG=K3s =Z-.4\ 3 正弦光栅-效率vs. 周期 >+oQxml6nI k )){1O
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\ 正弦光栅—选定周期的相位形态 -JwH^*Ad M;Vx[s,#, 6dq U4 Uk*s`Y 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) miN(a; Q2P N;[w`d'#
PrN?;Z. 闪耀光栅-传输相位形态 }P}l4k1W yDd&*;9%Qg |Q:`:ODy`5 1YnDho;~ 闪耀光栅-衍射效率 $ /wr? dwx1EdJ{
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