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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 (Gs g+c   
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    cne[-E  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ai2}vR  
                                                                 (acRYv(  
    建模任务                                                         M" \y2   
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    光栅元件   MkG ->*  
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    _Y~?.hs^  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: G _o4A:2  
    • FMM/RCWA >H! 2Wflm  
    • Diffractive Lens Component 94/}@<d-=  
                                                                 ?!vW&KJZx  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ?os0JQVB  
    ]kvE+m&p}^  
                                                    
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    8ttw!x69)_  
    正弦光栅-传输相位形态     ~=Sr0+vV  
    > [7vX m4  
                                                    
    W`kgYGnFG  
    N/p_6GYMa  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s=+G%B'  
    T[J_/DE@  
    0eIR)#j*  
    %vzpp\t  
    正弦光栅-衍射效率 =="SW"vNi  
    ~A( Pa-  
                                                            
    ^.7xu/T  
    ]5CFL$_Q{  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       YN3uhd[2  
    c0~'5Mlp  
      
    uWQ.h ,  
    r e2%e-F"  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Kxn=iv^Ir  
                                      
    }qg&2M%\  
    <z PyID`  
                                                                 48VsHqG  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) v4Gkf  
    >@o*v*25  
                                                          
    s,8%;\!C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         a1&^P1.  
    yo=d"*E4^  
    7t QiKrhp  
    9:WKG'E8a  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         zjS<e XLs[  
    BDg /pDnwg  
    _4w%U[GT,  
                                                                 :4dili4|/  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         w6tY6bf}  
    ubw ]}sfM#  
    ?T"crX  
                                                                 >'eqOZM  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Lj#6K@u@Z  
    c1f6RCu$b  
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    VirtualLab Fusion技术   ' =kX   
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