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摘要 0]eh>ab> :^-HVT)qF
( ln Pvg 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 7Ysy\gZ&wp z)W#&JFF 建模任务 BV }(djx lQ<#jxp
ttbQergS k$0|^GL8 光栅元件 LF9aw4:>Ou 01-\:[{
)0n29 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: cEdz;kbUM • FMM/RCWA X$uz=) • Diffractive Lens Component )Vg{Y [! >xU72l#5 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ^aD/ . vA2,&%jw
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正弦光栅-传输相位形态 !4 4mT'Y K.V!@bPlw9
XMeL^|D J:~[j 正弦光栅-传输相位形态 2{sD*8&` ^T}}4I_Y
O{")i;v@ G%j/eTTf 正弦光栅-衍射效率 EvSnZB1 y wcdW72
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U!a!|s> c#\ah}]Vo 正弦光栅—选定周期的相位形态 ]5o0 H IPcZ!p .y %pGi ;<bj{#mMv 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Qr|N) Nh1e1m?
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