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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 :U#4H;kk~j  
    ?|we.{  
    sMqAuhw$.  
                                                             l,M?   
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 s$OnQc2/  
                                                                 J$i5A9IUr  
    建模任务                                                         r;&rc:?A  
    \RyW#[(  
     (K->5rSU  
    p\/;^c`7  
    光栅元件   u+vUv~4A6  
    9.$k^|~  
                                                             I)X33X,  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: tdB<  
    • FMM/RCWA '|l1-yD_  
    • Diffractive Lens Component GbZqLZ0  
                                                                 q%GlS=o "  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5J8U] :Y)  
    WMd5Y`y  
                                                         go$zi5{h#  
    Q>emyij  
    正弦光栅-传输相位形态     M2e_)f:  
    g)#neEA J  
                                                         yGtGhP8  
    D>Dch0{H,:  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         :Sd iG=t  
    } ^67HtNQ  
     OfGMeN6  
    %B'*eBj~fw  
    正弦光栅-衍射效率 I= 'S).  
    ohe0}~)V  
                                                                 %$L!N-U6  
    %-eags~sUC  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       8(c,b  
    *XZlnO  
           #^fDKM  
    UFy"hJchO  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   oO8V0VE\  
                                           L<**J\=7M  
    X!%CYmIRb  
                                                                 xr*hmp1  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) EpCsJ08K  
    UfnjhHu  
                                                               h}o7/p  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         B&E qd  
    @] ` _+\y  
    3-5X^!C  
     `w J^   
    闪耀光栅-衍射效率                                                         OZ6g u$ n*  
    6Tn.56X  
     Ht Z3n"2  
                                                                 )ieT/0nt  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         s*k[Fbi  
    AF}6O(C~  
     2.zx  
                                                                 El$yM.M"  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         kF lq@['U  
    b]X c5Dp{  
     3~7X2}qU  
                                                                 t_PAXj  
    VirtualLab Fusion技术   G92Ya^`  
    6WEYg   
                   2/K38t'-  
     
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