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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 s"(F({J  
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    I|_U|H!`  
                                                             GP_%. fO\M  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 j4$NQ]e^4  
                                                                 7A{,)Y/w ^  
    建模任务                                                         $|7;(2k  
    8^hbS%s!  
     O[z-K K<  
    #xt-65^  
    光栅元件   oPrK{flm  
    2cko GafG{  
                                                             /m h #o  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: O]G3l0  
    • FMM/RCWA MsP`w3b  
    • Diffractive Lens Component J['i  
                                                                 F\-oZ#g  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5wb R}`8  
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                                                         4']eJ==OH  
    '@WS7`@-y  
    正弦光栅-传输相位形态     !XT2'6nu  
    YeB)]$'?u`  
                                                         L+.-aB2!d  
    !~te&ccPE  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         DxxY<OkN  
    3Cg0^~?6-  
     <+AvbqDe  
    t?h\Af4Tf  
    正弦光栅-衍射效率 JF(&+\i<p  
    < [q{0,  
                                                                 h{?cs%lZ  
    =|IY[2^  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       sg4TX?I   
    !0Eo9bU%@  
           b21@iW  
    5KL??ao-  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   (`&E^t  
                                           A<[BR*n  
    +]0/:\(B  
                                                                 lj@ ibA]  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) d1u6*&@lf  
    R&MetQ~-{  
                                                               U\(T<WX,  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         |[MtUWEW  
    ~) vz`bD1  
    *q0vp^?  
     %B04|Q  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         !^qpV7./l  
    \'>d.'d  
     e{}vT$-  
                                                                 JO&+W^$uY}  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         C$^WW}S  
    $mut v=IO  
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                                                                 m&k l_f7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         9lc{{)m2)  
    p~h [4hP  
     AzFS6<_  
                                                                 9&'HhJm  
    VirtualLab Fusion技术   "]x#kM  
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                   b^WF R   
     
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