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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 zW)gC9_|m-  
    0:PSt_33F  
    )BlJ|M  
                                                             fn?VNZ`J  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 GRQ_+K  
                                                                 B<C&ay  
    建模任务                                                         Q%M_   
    YME[%c2x  
     =?+w)(*0c  
    E4i@|jE~)  
    光栅元件   kXCY))vnn  
    <hMtE/05B  
                                                             DOT=U _  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ,M{Q}:$+4  
    • FMM/RCWA 6mAB(X^+  
    • Diffractive Lens Component a G@nErdW  
                                                                 *k!(ti[  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       )8bFGX7|  
    z[Z2H5[  
                                                         T(&kXMaB  
    A~XOK;sB  
    正弦光栅-传输相位形态     C;%Y\S  
    1h{>[ 'L  
                                                         >.n;mk  
    5<^'Cy  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         EM=xd~H  
    ?'Oj=k"c7  
     g?gqkoI  
    ,FY-d$3)  
    正弦光栅-衍射效率 yz8-&4YRNd  
    quY "  
                                                                 O%prD}x  
    CQ$::;  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ] ZDTn  
    =hPG_4#  
           /Ht/F)&P  
    @+$cZ3,  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Y>G*'[U  
                                           RA} U#D:$i  
    ia_Z\q  
                                                                 Y+5"uq<'  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) rNZO.qij z  
    f.J 9) lfb  
                                                               "bPCOJ[v9  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ))p$vU3  
    i,([YsRuou  
    u]P03B  
     _yNT=#/  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         |.Em_*VG  
    m$,cH>E  
      gm(De9u  
                                                                 2YE7 23H=Z  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         r)OO&. P@j  
    {=s:P|ah  
     ix^gAot  
                                                                 tp%|AD"  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         sw[oQ!f  
    DCt\E/  
     T<f2\q8Uo=  
                                                                 V@$GC$;  
    VirtualLab Fusion技术   *X~B-a|nJ  
    r|*:9|y{"/  
                   ;CA ?eI  
     
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