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摘要 ;K\N uuYH6bw*d
I"32[?0
(; k>&s(b 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 * \o$-6<
yC0f/O 建模任务 zc/%1 %C`'>,t>
OZ!$%.?l #VdI{IbW 光栅元件 uxC ccn`f]5w
;5Vk01R 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Mj
B<\g> • FMM/RCWA )xvx6?Ah| • Diffractive Lens Component U++~3e@l T]#,R|)d 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) dD^_^'i sb|3|J6=
lii]4k+z Md>f 正弦光栅-传输相位形态 AO}i@YJth YKe0:cWc
$]%<r?MUb- n`m_S 正弦光栅-传输相位形态 @ojg`!, 827)n[#%|
Jn[q<e" g/l0}% 正弦光栅-衍射效率 zh^jWu ? gA=39[j
fsrg2:kQ s0)qlm* 正弦光栅-效率vs. 周期 zY+t ,2z i|c`M/) h:
9uw,-0*5 D]pK=247 正弦光栅—选定周期的相位形态 Fp5NRM*-! iM/*&O} q: Bt]2x x0u?*5-t 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Qh|-a@ V#zhGAMy.
/OhaERv 闪耀光栅-传输相位形态 6VH90KAT 'HQ7
|Je 2H?I'<NoC kMl @v` 闪耀光栅-衍射效率 "#-Nqq ' 1P=^
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hN 闪耀光栅-效率vs.周期 4-]Do? *R_'$+
%A)-m 69 FXOT+9bg 闪耀光栅-选定周期相位形态 Gut J_2f^9 /<(*/P,>
Z:_m}Ya| NJ|NJp&0 VirtualLab Fusion技术 sR"zRn fa!3/X+
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