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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ;K\N  
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    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 * \o$-6<  
                                                                 y C0f/O  
    建模任务                                                          zc/%1  
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    光栅元件   uxC   
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    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Mj B< \g>  
    • FMM/RCWA )xvx6?Ah|  
    • Diffractive Lens Component U++~3e@l  
                                                                 T]#,R|)d  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       dD^_^'i  
    sb|3|J6=  
                                                    
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    正弦光栅-传输相位形态     AO}i@YJth  
    YKe0:cWc  
                                                    
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    正弦光栅-传输相位形态                                                         @ojg`!,  
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    正弦光栅-衍射效率 zh^jWu  
    ? gA=39[j  
                                                            
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    s0)qlm*  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       zY+t,2z  
    i|c`M/) h:  
      
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    D]pK=247  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Fp5NRM*-!  
                                      
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    q: Bt]2x  
                                                                 x0u?*5-t  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA)  Qh|-a@  
    V#zhG AMy.  
                                                          
    /OhaERv  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         6VH90KAT  
    'HQ7 |Je  
    2H?I'<NoC  
    kMl@v`  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         "#-Nqq  
    ' 1P=^  
    ,5eH2W  
                                                                 t,=@hs hN  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         4-]Do?  
    *R_'$+  
    %A)-m 69  
                                                                 FXOT+9bg  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Gut J_2f^9  
    /<(*/P,>  
    Z:_m}Ya|  
                                                                 NJ|NJ p&0  
    VirtualLab Fusion技术   sR"zRn  
    fa!3/X+  
              
    #*yM2H"7,;  
     
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