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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 'b:UafV  
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    d$B+xW  
                                                             &Pe[kCO]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 4Ul*`/d  
                                                                 jZR2Nx}16  
    建模任务                                                         B4t,@,\O  
    M,sZ8eeq  
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    'k9 Qd:a}  
    光栅元件   >A>_UT_"  
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                                                             jhB+ ]  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: (V<pz2\  
    • FMM/RCWA Yv"-_  
    • Diffractive Lens Component >uR;^B5m  
                                                                 GsiT!OP]y  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       %`0*KMO3  
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                                                         9)J)r \  
    seiE2F[  
    正弦光栅-传输相位形态     .6A{   
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                                                         pGP$2  
    3\j3vcuy  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         qF4=MQm\aE  
    ^w*&7.Z  
     [E;~Y_l  
    )F m'i&F_  
    正弦光栅-衍射效率 PJ2m4ulY  
    wpa^]l  
                                                                 @vPGkM#oW  
    _Kg"l5?B  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       e_dsBmTh  
    cdTG ]n  
           #K\;)z(?  
    /_i]bM7W  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   zv~b-Tp  
                                           <ELqj2`c  
    Oee>d<  
                                                                 [='<K  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 8_{XrTw(  
    e!P]$em|1E  
                                                               aj}#~v1  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ew1bb K>  
    LEA^o"NW.  
    3$P GLM  
     7%yP5c B  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         /OeOL3Y  
    SOeRQb'  
     -9yWf8;  
                                                                 PjkjUP  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         \&4)['4,  
    M 9/J!s  
     %i@Jw  
                                                                 X-_0wR  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         M3YC@(N% k  
    \<x{U3q5  
     c{!XDiT]P  
                                                                 ty b-VO  
    VirtualLab Fusion技术   q@}tv =}  
    2$1D+(5;  
                   /igbn  
     
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