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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 W]rK*Dc  
    /_P5U E(  
    Rx 4 ;X  
                                                             FHS6Mk26  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 0)'^vJe  
                                                                 <x),HTJ  
    建模任务                                                         aD@sb o  
    1^zpO~@ S  
     $>;U^-#3  
    /t083  
    光栅元件   -Ug  
    /gKX%`ZF/r  
                                                             O&?i8XsB  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: {(#>%f+|C  
    • FMM/RCWA q(J3fjY)  
    • Diffractive Lens Component /JfRy%31  
                                                                 c?{&=,u2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       H1>}E5^?  
    mRw &^7r  
                                                          T^ ^o  
    ^[SQw)*  
    正弦光栅-传输相位形态     kmm1b (  
    lmZ Ssx  
                                                         @""aNKA^r>  
    eEIa=MB*  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         '8v^.gZ  
    D0D0=s  
     d([NU;  
    Bg*Oj)NM  
    正弦光栅-衍射效率 AAE8j.  
    9GuG"^08  
                                                                 `)FSJV1  
    i*'6"  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       jX79Nm|  
    aCe<*;b@  
           e`fN+  
    `Pv[A  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   y1!c:&  
                                           WUSkN;idVG  
    ~ r6qnC2  
                                                                 ,mR$Y T8  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) q"@Y2lhD!  
    Re**)3#gn  
                                                               s88lN=;  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         r<38; a  
    xioL6^(Qk,  
    )pV5l|`  
     mr]IxTv  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         't:|>;Wx  
    9pD=E>4?#  
     .olDmFQD  
                                                                 4hep1Kz%  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Np=IZ npt  
    x,a(O@  
     \Jr ta  
                                                                 Nh7+Vl  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         y-qbK0=X4  
    RfVVAaI  
     i>w'$ {  
                                                                 K r9 P#Y  
    VirtualLab Fusion技术   a,3} o:f  
    01VEz 8[\  
                   Mvq5s+.  
     
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