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摘要 {o 2 qY|S Rj4C-X4=
1=7ASS9 T9XUNR{& 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 M>[
A G |[{\ 建模任务
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]<C]`W2{ !n` |k 光栅元件 Q4hY\\Hi -jy0Kl/p
ma+AFCi 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: cdh0b7tjn • FMM/RCWA KPI96P • Diffractive Lens Component X9NP,6 Gw\..O 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) /`7+Gy< \PUJD,9H
CGzu(@dd\ K,I 正弦光栅-传输相位形态 mL pM8~L KN[;z2i
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D[ #V M:{Aq&. 正弦光栅-衍射效率 ];4!0\M FOk;=+
as!a!1 w3ni@'X8 正弦光栅-效率vs. 周期 KMz!4N W.?/p~
4k-Ak6s }ePl&-9T 正弦光栅—选定周期的相位形态 &=BzsBh J
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F{!pii5O9 闪耀光栅-传输相位形态 8>,w8(Nt sqtz^K ROM w|-3X &.\7='$F 闪耀光栅-衍射效率 Leb|YX ;//9,x9;t
*H/3xPh,* twq~.:<o 闪耀光栅-效率vs.周期 NFZ(*v1U [i/!ovcY
ZQ_6I}i") 1wKXOy=v0 闪耀光栅-选定周期相位形态 L|T?,^ R-S<7Q3E0=
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