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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ~Kda#=  
    Acr\2!))  
    9F)v=  
                                                             \1D~4Gz6}  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 +<6L>ZAL  
                                                                 QQP bKok>  
    建模任务                                                         ;[WW,,!Y  
     fI[tU(x  
     {U(-cdU{e`  
    L~A"%T,/h  
    光栅元件   |J2_2a/"  
    cv;&ff2%?  
                                                             ntkTrei ]  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: OQaM47"  
    • FMM/RCWA `;WiTE)&)  
    • Diffractive Lens Component `,H\j?  
                                                                 VaQ>g*(I  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       7{f&L '  
    @/H1}pM~  
                                                         ,e( |,u  
    3v;o`Em&  
    正弦光栅-传输相位形态     <`5>;Xn=  
    eS fT +UL  
                                                         AuUT 'E@E  
    k:s}`h _n  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         9>u2; 'Ls  
    w{)*'8oCB  
     PXm{GLXRS;  
    xy46].x-  
    正弦光栅-衍射效率 <(`dU&&%"}  
    epj]n=/}[  
                                                                 jVL<7@_*  
    meu\jg  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       -"u}lCz>  
    *XS@Ku  
           -(~Tu>KaH  
    VYTdK"%  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   QZef=  
                                           X'.}#R1  
    pez*kU+9  
                                                                  dKDtj:  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) >4}+\ Q`S  
    Ks@S5:9sp  
                                                               LdI)  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         /:>qhRFJA:  
    ^~-i>gTD  
    4Cke(G  
     \2-!%i,  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         'Kxs>/y3  
    dG.s8r*?M  
     15VOQE5Fl`  
                                                                 v3[Z ]+ ]  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         bBAZr`<&U  
    Sd' uXX@  
     8U0y86q>)E  
                                                                 \:4WbM:B  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         jC ,foqL  
    dMw7Lp&  
     +`kfcA#pi  
                                                                 5!}xl9D  
    VirtualLab Fusion技术   !tCw)cou  
    =+~e44!~D  
                   !cE>L~cza  
     
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