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不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 Ws3)gvpPA hE'-is@7 设计和建模任务 +5g_KS z3{G9Np
kr^P6}' :".ARCg 导入现有结构文件 .O5Z8 p *2>&"B09` 8rAg\H3E 平面波 zJKv'>? 波长(486,587,656)nm L~(j3D*
3 视场角(40°) A_"w^E{P x方向线偏振光 q<x/Hat) Hs;4lSyUO :[.vM 衍射透镜 Pf")e,u$ 波前相位相应 j1Y~_ 真实衍射器件结构 bi',j0B U#7#aeI
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