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不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 FpdDIa %ezb^O_6v 设计和建模任务 2ec$xms E7X!cm/2<
Cdp]Nv6 ^s^JzFw 导入现有结构文件 @cuD8<\i 49+ >f E\]OySC%C$ 平面波 SUH mBo"} 波长(486,587,656)nm MvFM, 视场角(40°) ET,Q3X\Oe x方向线偏振光 [F/^J|VMV ]UX`=+{ w~kHQ%A 衍射透镜 :vc[/< 波前相位相应 hWq.#e6 真实衍射器件结构 XJx,9trH L@{!r=%_>
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I?_E,.)[ I Xh.+pJl,* 球差 G1kaF/`O (;;J,*NP
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28nmQ rkxW UDl 二阶彗差 6(>3P / Zo~1q
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