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I$.lFQ%( 内容简介 P*!`AWn Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 .T3N"}7[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 IVPN=jg? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |~5cNm "d)YqQ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 @ ;!IPiU 目录 r2SZC`Z}-M Preface 1 DujVV(+I 内容简介 2 1Of(O! 目录 i =H)]HxEEM 1 引言 1 :"Xnu%1 2 光学薄膜基础 2 #HgNwM 2.1 一般规则 2 [
iTP:8 2.2 正交入射规则 3 +A?P 4} 2.3 斜入射规则 6 C_N|o|dX 2.4 精确计算 7 A8.noV 2.5 相干性 8 a[nSUlT& 2.6 参考文献 10 ?7Cm+J 3 Essential Macleod的快速预览 10 D`@a*YIq 4 Essential Macleod的特点 32 d'W2I*Zc< 4.1 容量和局限性 33 _5rKuL 4.2 程序在哪里? 33 !-`L1D_hy 4.3 数据文件 35 &j:e<{@ 4.4 设计规则 35 MZ}0.KmaZ 4.5 材料数据库和资料库 37 //c6vG 4.5.1材料损失 38 ntH`\ )xi 4.5.1材料数据库和导入材料 39 lPZ># 4.5.2 材料库 41 ;\w3IAa|V 4.5.3导出材料数据 43 oZ*?Uh * 4.6 常用单位 43 h"ZIh= j@ 4.7 插值和外推法 46 ^"7-`<J 4.8 材料数据的平滑 50 bdWdvd: 4.9 更多光学常数模型 54 pK-tj 4.10 文档的一般编辑规则 55 he~8V.$ 4.11 撤销和重做 56 eOb--@~8 4.12 设计文档 57 4vbGXb}! 4.10.1 公式 58 Q&W>h/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 )f$4:Pq 4.10.3 沉积密度 59 Y#c439 & 4.10.4 平行和楔形介质 60 kFE9}0- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 KyrZ&E.` 4.10.4 性能 61 Rf0so 4.10.5 保存设计和性能 64
nT> v 4.10.6 默认设计 64 l1T`[2 4.11 图表 64 MxpAh<u!vF 4.11.1 合并曲线图 67 C"kfxpCi 4.11.2 自适应绘制 68 )K?7(H/j 4.11.3 动态绘图 68 LN+x!#:e 4.11.4 3D绘图 69 ]D;*2Lw4& 4.12 导入和导出 73 !@lx|=# 4.12.1 剪贴板 73 =!L}/Dl 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 iN8[^,2H| 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 [[c0g6 4.13 背景 77 a_!H_J 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 zV}:~;w 4.15 生成Rugate 84 %JDQ[%3qY 4.16 参考文献 91 w=fWW^>bP 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Z&>Cdgt* 5.1 Jobs 92 ?jz\[0)s 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,oH\rrglf 5.3 输入材料 94 2&*#k 5.4 设计数据文件夹 95 -6J <{1V 5.5 默认设计 95 jywS<9c@ 6 细化和合成 97 w#)u+^ - 6.1 优化介绍 97 U+'zz#0qN 6.2 细化 (Refinement) 98 }< '6FxR 6.3 合成 (Synthesis) 100 ;-"!p 6.4 目标和评价函数 101 +%TgX&a 6.4.1 目标输入 102 ~8&->?{ 6.4.2 目标 103 h;vY=r- 6.4.3 特殊的评价函数 104 [5'HlHK 6.5 层锁定和连接 104 xGyl7$J 6.6 细化技术 104 b;D 6.6.1 单纯形 105 B~]6[Z 6.6.1.1 单纯形参数 106 I)yaR+l 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 3PvxU|*F 6.6.2.1 Optimac参数 108 tXA?[ S 6.6.3 模拟退火算法 109 Q4 &P\V 6.6.3.1 模拟退火参数 109 :ILpf+`yY 6.6.4 共轭梯度 111 ym5@SBqIx 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .aO6Y+Y 6.6.5 拟牛顿法 112 ~x(|'` 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @+t|Aa^g 6.6.6 针合成 113 'y!qrmMRr 6.6.6.1 针合成参数 114 ].d%R a:{ 6.6.7 差分进化 114 \mLEwNhRY 6.6.8非局部细化 115 &I=o1F2B) 6.6.8.1非局部细化参数 115 o]tfvGvU* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 FVkl#Qy~ 6.7.1 细化 116 -zYa@PW 6.7.2 合成 117 _R(ZvsOZ 6.8 参考文献 117 |pZ7k#% 7 导纳图及其他工具 118 q !9;JrX 7.1 简介 118 h8O\sKn 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 w=?nD6Xhz 7.2.1 四分之一波长规则 119 Cxq|N]E
7.2.2 导纳图 120 +a*Ic8* 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 z59;Qk 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 l?"^2in. 7.5 斜入射导纳图 141 >"1EN5W
7.6 对称周期 141 UTE6U6 7.7 参考文献 142 evZP*N~G 8 典型的镀膜实例 143 0kCo0{+n 8.1 单层抗反射薄膜 145 ':}9>B3 S 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 K:-jn}i?/ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .?CaU 8.4 W-膜层 148 +dLUq2 8.5 V-膜层 149 M
2|
k. 8.6 V-膜层高折射基底 150 n;.
M5}O 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,&3+w~Ua 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 p:b{>lM 8.9 四层抗反射薄膜 153 Oto8?4[n 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 *
G*VY#L 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >{(c\oMD 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 du}HTrsC 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 CR.d3!&28 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 yuC$S&Y>! 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >0:3CpO* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 hj"JmF$m 8.17 1/4波长堆栈 162 @i'D)6sC 8.18 陷波滤波器 163 `L$Av9X\ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 0TV16-- 8.20 褶皱 165 8IL5:7H8 8.21 消偏振分光器1 169 [u*7( 4e 8.22 消偏振分光器2 171 .<%q9Jy# 8.23 消偏振立体分光器 172 $X:,Q,? 8.24 消偏振截止滤光片 173 |O)ZjLx 8.25 立体偏振分束器1 174 <,p$eQ)T% 8.26 立方偏振分束器2 177 yn+m,K/ 8.27 相位延迟器 178 &FRf-6/ 8.28 红外截止器 179 U~sC%Ri-@U 8.29 21层长波带通滤波器 180 g qORE/[ 8.30 49层长波带通滤波器 181 c8]%,26. 8.31 55层短波带通滤波器 182 [E<A/_z 8.32 47 红外截止器 183 `}P9[HP 8.33 宽带通滤波器 184 B!`.,3 8.34 诱导透射滤波器 186 ]3|h6KWq 8.35 诱导透射滤波器2 188 :T PG~`k( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
":T"Y;
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 n::i$ZUdK 8.35 增益平坦滤波器 193 GCQOjqiR 8.38 啁啾反射镜 1 196 $l.8 8.39 啁啾反射镜2 198 1Zk1!> ? 8.40 啁啾反射镜3 199 `ba<eT': 8.41 带保护层的铝膜层 200 i)cG 8.42 增加铝反射率膜 201 hx%UZ <a 8.43 参考文献 202
He4q-\ht 9 多层膜 204 $B>L_~cS 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .AX%6+o 9.2 内部透过率 204 d72( g$F 9.3 内部透射率数据 205 \QSD* 9.4 实例 206 S]T71W<i 9.5 实例2 210 }Dcpe M? 9.6 圆锥和带宽计算 212 %NlmLWF. 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 M{u 7Ef 10 光学薄膜的颜色 216 /;Cx|\ 10.1 导言 216 ](-[
I# 10.2 色彩 216 c\P}ZQ 10.3 主波长和纯度 220 b!SIs* 10.4 色相和纯度 221 z-0
N/?x1 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :+^`VLIf 10.6 色差 226 |C+
5 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [KO\!u|?YS 10.8 颜色渲染指数 234 `ALQSo~l 10.9 色差计算 235 &,XPMT 10.10 参考文献 236 uY3$nlhP6 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 wN0?~ 11.1 短脉冲 238 WV|9d}5 11.2 群速度 239 yYk?K<ou 11.3 群速度色散 241 @ohJ' 11.4 啁啾(chirped) 245 \n#l+R23 11.5 光学薄膜—相变 245 XxB% 11.6 群延迟和延迟色散 246 8BS$6Pa 11.7 色度色散 246 r 3T #Nv 11.8 色散补偿 249 MS|1Q@S9 11.9 空间光线偏移 256 TxkvHiq2 11.10 参考文献 258 zS?}3#g0u 12 公差与误差 260 8fWnKWbbjw 12.1 蒙特卡罗模型 260 ^=cXL 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 L(`q3>iC4. 12.2.1 误差工具 267 C}XB%:5H5 12.2.2 灵敏度工具 271 u*Y!=IT 12.2.2.1 独立灵敏度 271 wE <PXBl\b 12.2.2.2 灵敏度分布 275 c3Ig4 n0Y> 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ok&v+A 12.3 参考文献 276 H:1F=$0I9 13 Runsheet 与Simulator 277 :SD3 13.1 原理介绍 277 OJcI0(G 13.2 截止滤光片设计 277 k|_
>I 14 光学常数提取 289 cz>`$Zz 14.1 介绍 289 !G~\9 14.2 电介质薄膜 289 Me,AE^pgL' 14.3 n 和k 的提取工具 295 #0qMYe>Y 14.4 基底的参数提取 302 BxxqzN+ 14.5 金属的参数提取 306 5i3nz=~o 14.6 不正确的模型 306 V SH64 14.7 参考文献 311 DGAg#jh 15 反演工程 313 TU8K\;l] 15.1 随机性和系统性 313 +qF,XJ2 15.2 常见的系统性问题 314 3o__tU)B
15.3 单层膜 314 eY$Q}BcW 15.4 多层膜 314 l]e7 15.5 含义 319 dI8y}EbE~ 15.6 反演工程实例 319 !3at(+4 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 g!;Hv 15.6.2 反演工程提取折射率 327 BA0.B0+" 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 }xzbg 16.1 光学性质的热致偏移 329 Vuo 8[h> 16.2 应力工具 335 +@oo8io 16.3 均匀性误差 339 [SLBA_d 16.3.1 圆锥工具 339 m4T`Tg#P 16.3.2 波前问题 341 !}uev 16.4 参考文献 343 myY@Wp 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Uw_z9ZL 17.1 引言 345 h5#V,$ 17.2 操作数 345 .l&<-l;UQ 18 如何在Function中编写脚本 351 Ne,u\q3f 18.1 简介 351 p>]2o\[" 18.2 什么是脚本? 351 W>7 o
ec 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Vt,"5c 18.4 基础 352
>*mLbp" 18.4.1 Classes(类别) 352 HV6'0_R0 18.4.2 对象 352 _\xd]~ELj 18.4.3 信息(Messages) 352 =l9H]`T/ 18.4.4 属性 352 e_pyjaY!s 18.4.5 方法 353 !tD,phca~ 18.4.6 变量声明 353 #6<9FY# 18.5 创建对象 354 'roZ:NE 18.5.1 创建对象函数 355 |2~fOyA+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 KEj-y+ 18.5.3 丢弃对象 356 ((%g\&D 18.5.4 总结 356 {utIaMb]&v 18.6 脚本中的表格 357 Z66@@?` 18.6.1 方法1 357 .@ElfPP(L 18.6.2 方法2 357 \TBY)_[ { 18.7 2D Plots in Scripts 358 FPPGf!Eq 18.8 3D Plots in Scripts 359 `5Qo*qx 18.9 注释 360 3$`qy|=zO 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 pb5'5X+ 18.11 一个更高级的脚本 362 sj @'C@oK 18.12 <esc>键 364 #zcnc$x\ 18.13 包含文件 365 0zAj.iG 18.14 脚本被优化调用 366 0TI+6u 18.15 脚本中的对话框 368 az]S&\i7T 18.15.1 介绍 368 f[/E $r99J 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3E361?ubM 18.15.3 输入框函数 370 .ZrQ{~t 18.15.4 自定义对话框 371 ^CwzAB 18.15.5 对话框编辑器 371 |f0KIb}d 18.15.6 控制对话框 377 }A"%YDrNbG 18.15.7 更高级的对话框 380 ^\<1Y'' 18.16 Types语句 384 ewtoAru 18.17 打开文件 385 hQfxz,X 18.18 Bags 387 vx_v/pD 18.13 进一步研究 388 <vV?VV([ 19 vStack 389 m+Yj"RMx& 19.1 vStack基本原理 389 `_'I 9,.a 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^kMgjS}R 19.3 五棱镜 393 h&vq} 19.4 光束距离 396 l~M86 h 19.5 误差 399 89'XOXl&1 19.6 二向分色棱镜 399 pr[[)[]/ 19.7 偏振泄漏 404 xla9:*pPn 19.8 波前误差—相位 405 )nS;]7pB@ 19.9 其它计算参数 405 bd2"k;H<o 20 报表生成器 406 k]"Rg2>% 20.1 入门 406 f,Sybf/uHh 20.2 指令(Instructions) 406 |:tFQ.Z'2 20.3 页面布局指令 406 Au,}5=+`P 20.4 常见的参数图和三维图 407 G?MNM -2 20.5 表格中的常见参数 408 C/+8lA6NV 20.6 迭代指令 408 jv]:`$}G\ 20.7 报表模版 408 mYN|)QVKy 20.8 开始设计一个报表模版 409 fV_(P_C 21 一个新的project 413 H0s,tTK8 21.1 创建一个新Job 414 y@G5I>v 21.2 默认设计 415 7@m 21.3 薄膜设计 416 S3Tww]q 21.4 误差的灵敏度计算 420 XH0R:+s 21.5 显色指数计算 422 xS,#TU;)Ol 21.6 电场分布 424 _~DFZt@T 后记 426 %
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