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&/{x7;e 内容简介 !/6KQdF Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 mqKr+
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 +Hf Zs"x 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 yUlYf#`H +I_p\/J?w/ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Fy-|E>@]D 目录 /+{1;}AT Preface 1 9/4Bx!~A 内容简介 2 "6xTh0D
目录 i zR6^rq* 1 引言 1 {,
zg 2 光学薄膜基础 2 WoX,F1 o 2.1 一般规则 2 V8IEfU 2.2 正交入射规则 3 U(u$5 2.3 斜入射规则 6 r^$WX@ t& 2.4 精确计算 7 Bw8&Amxx: 2.5 相干性 8 @DK;i_i 2.6 参考文献 10 7 J+cs^2 3 Essential Macleod的快速预览 10 <O30X
!QuK 4 Essential Macleod的特点 32 X7{ h/^ 4.1 容量和局限性 33 =3<@{^Eg 4.2 程序在哪里? 33 g9oYK 4.3 数据文件 35 Yn1CU 4.4 设计规则 35 K!onV3mR 4.5 材料数据库和资料库 37 mZb[Fi 4.5.1材料损失 38 sN9
SuQ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 6/&aBE= 4.5.2 材料库 41 HT6+OK(~dJ 4.5.3导出材料数据 43 fk 4.6 常用单位 43 m9m]q&hx 4.7 插值和外推法 46 ^.;
x 4.8 材料数据的平滑 50 v
%GcNjZk5 4.9 更多光学常数模型 54 k=r)kkO) 4.10 文档的一般编辑规则 55 n>
O3p
~ 4.11 撤销和重做 56 (N` x 4.12 设计文档 57 0F|DD8tHR 4.10.1 公式 58 'k9dN
\ev 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 n;,>Fv 4.10.3 沉积密度 59 {5N!udLDr5 4.10.4 平行和楔形介质 60 TWk1`1| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 L2m~ GnP|? 4.10.4 性能 61 ye-R 4.10.5 保存设计和性能 64 sCw X| 4.10.6 默认设计 64 ( R0>0f@ 4.11 图表 64 V=DT.u 4.11.1 合并曲线图 67 K^fH:pV 4.11.2 自适应绘制 68 k| Ye[GM* 4.11.3 动态绘图 68 t_Rpeav 4.11.4 3D绘图 69 a54qv^IS 4.12 导入和导出 73 c
DO<z 4.12.1 剪贴板 73 *cnxp-)ub 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -)2sR>`A% 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 K%/:V 4.13 背景 77 f*Dy>sw 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ^J_rb;m43 4.15 生成Rugate 84 56Gc[<nR 4.16 参考文献 91 &*r'Sx)V 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ZQQ0} 5.1 Jobs 92 FELTmQUV 5.2 创建一个新Job(工作) 93 }9,^=g- 5.3 输入材料 94 MEZc/Ru-[ 5.4 设计数据文件夹 95 &@anv.D 5.5 默认设计 95 >!7 \Rx 6 细化和合成 97 5gnmRd 6.1 优化介绍 97 F"*.Qq 6.2 细化 (Refinement) 98 39zwPoN> 6.3 合成 (Synthesis) 100 [#hoW"'Q9 6.4 目标和评价函数 101 F4%vEn\! 6.4.1 目标输入 102 Q-,,Kn 6.4.2 目标 103 GI40Ztms 6.4.3 特殊的评价函数 104 [~_()i=Y 6.5 层锁定和连接 104 ;`P}\Q{ 6.6 细化技术 104 uh_2yw_ 6.6.1 单纯形 105 2UGnRZ8:1Y 6.6.1.1 单纯形参数 106 lImg+r T{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 16N+ 6.6.2.1 Optimac参数 108 zjVQ \L 6.6.3 模拟退火算法 109 *MBu5
+u%e 6.6.3.1 模拟退火参数 109 0~0OQ/>7 6.6.4 共轭梯度 111 |#6))Dh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 bEz1@"~
p 6.6.5 拟牛顿法 112 PfKF!/c
B 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 0Zq jq0O# 6.6.6 针合成 113 [V-OYjPAx 6.6.6.1 针合成参数 114 LAT%k2%Wx 6.6.7 差分进化 114 u^!c:RfE? 6.6.8非局部细化 115 ZXR#t?D 6.6.8.1非局部细化参数 115 M
XX:i 6.7 我应该使用哪种技术? 116 @h&crI[c 6.7.1 细化 116 HI}9"(t} 6.7.2 合成 117 n2#Yw}7^,o 6.8 参考文献 117 :J{| /"== 7 导纳图及其他工具 118 Mx<?c 7.1 简介 118 m)aNuQvy:Z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 X>`5YdT~+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;F:~HrxT} 7.2.2 导纳图 120 ue;o:>G 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 @\|W#,~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,GH;jw)P 7.5 斜入射导纳图 141 |dxcEjcY_ 7.6 对称周期 141 WLe9m02r 7.7 参考文献 142 pDg_^| 8 典型的镀膜实例 143 Fu%%:3_ 8.1 单层抗反射薄膜 145 \~#$$Q-qtU 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 foOwJ }JU 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :{ }]$+|)\ 8.4 W-膜层 148 T.57Okp 8.5 V-膜层 149 Gc'CS_L 8.6 V-膜层高折射基底 150 ]S=AO/' 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |QIFtdU5T 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 w>q:&Q 8.9 四层抗反射薄膜 153 #s-^4znv9 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 W_ = 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 *yx&4)Or 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 yl=_ /'* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 tL;!!vg#V 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O"<W<l7Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 aNLkkkJg<; 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 I,:R~^qJ8v 8.17 1/4波长堆栈 162 jv
C.T]<B 8.18 陷波滤波器 163 Gw0_M& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 .[E"Kb}= 8.20 褶皱 165 45u\v2,C3 8.21 消偏振分光器1 169 $\DOy&e 8.22 消偏振分光器2 171 z DP 8.23 消偏振立体分光器 172 FHu
-'; 8.24 消偏振截止滤光片 173 Ev R6^n/ 8.25 立体偏振分束器1 174 l|O)B # 8.26 立方偏振分束器2 177 !2R<T/9~ 8.27 相位延迟器 178 :UyNa0$l:" 8.28 红外截止器 179 0M'[|cid| 8.29 21层长波带通滤波器 180 L6xLD X7y 8.30 49层长波带通滤波器 181 XYOPX>$T 8.31 55层短波带通滤波器 182 t#Q" ;e 8.32 47 红外截止器 183 Kc>C$}/}$ 8.33 宽带通滤波器 184 `o.DuvQ
E 8.34 诱导透射滤波器 186 e+!+(D 8.35 诱导透射滤波器2 188 t~luBUF 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 $E_9AaX 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Z]1=nSv 8.35 增益平坦滤波器 193 {x+"Ru~7, 8.38 啁啾反射镜 1 196 z g@,s"`> 8.39 啁啾反射镜2 198 l O)0p2 8.40 啁啾反射镜3 199 2
f"=f^rf 8.41 带保护层的铝膜层 200 me#?1r 8.42 增加铝反射率膜 201 hr+,-j 8.43 参考文献 202 '%u7XuU-] 9 多层膜 204 |b@H]c;" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 3N'f Hy 9.2 内部透过率 204 }SdI _sLe 9.3 内部透射率数据 205 AX Y.80+ 9.4 实例 206 98%M`WY 9.5 实例2 210 C/JeD-JG 9.6 圆锥和带宽计算 212 H9x,C/r, 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 N34.Bt 10 光学薄膜的颜色 216 Y=%SK8]Q; 10.1 导言 216 D*>EWlZ 10.2 色彩 216 aXoD{zA 10.3 主波长和纯度 220 QEh_2 10.4 色相和纯度 221 ?y] q\> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nPW?DbH + 10.6 色差 226 LIo3a38n?y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 QW5S=7 10.8 颜色渲染指数 234 !s>AVV$;0 10.9 色差计算 235 YpAJ7E|7 10.10 参考文献 236 %~V+wqu 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 kHO2&"6 11.1 短脉冲 238 C+*qU 11.2 群速度 239 Vr1Wr%
11.3 群速度色散 241 COE,pb17 11.4 啁啾(chirped) 245 PY4RwN 11.5 光学薄膜—相变 245 X>[x7t: 11.6 群延迟和延迟色散 246 !n=?H1@ 11.7 色度色散 246 *Cdw"n 11.8 色散补偿 249 P%#EH2J 11.9 空间光线偏移 256 "Ih>>|r 11.10 参考文献 258 K+0&~XU 12 公差与误差 260 $[L8UUHY<8 12.1 蒙特卡罗模型 260 'f#i@$|] 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 "l-L-sc, 12.2.1 误差工具 267 %:v59:i} 12.2.2 灵敏度工具 271 }~?B>vZS 12.2.2.1 独立灵敏度 271 V~Zi #o 12.2.2.2 灵敏度分布 275 0!D,74r 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ho1Mo 12.3 参考文献 276 |WopsV
% 13 Runsheet 与Simulator 277 jRswGMx 13.1 原理介绍 277 r'kUU]j9 13.2 截止滤光片设计 277 E%eTjvvxus 14 光学常数提取 289 I)xB I~x 14.1 介绍 289 .6,+q2tyk, 14.2 电介质薄膜 289 IL:d`Kbqf 14.3 n 和k 的提取工具 295 thoAEG80 14.4 基底的参数提取 302 [-Zp[ 14.5 金属的参数提取 306
Di[}y; 14.6 不正确的模型 306 Qz T>h 14.7 参考文献 311 ^i"C%8 15 反演工程 313 j\^0BTZ 15.1 随机性和系统性 313 }Yi)r*LI3 15.2 常见的系统性问题 314 9uXu V$. 15.3 单层膜 314 t/;@~jfr@ 15.4 多层膜 314 G}o?lo\#h 15.5 含义 319 6^W6As0 15.6 反演工程实例 319 "(@W^qF}d 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 h'i8o>7 15.6.2 反演工程提取折射率 327 \hjGw,d 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 .Z,3:3,] 16.1 光学性质的热致偏移 329 'bH',X8gF 16.2 应力工具 335 |G2hm8
Y 16.3 均匀性误差 339 \5+?wpH 16.3.1 圆锥工具 339 _xg4;W6M= 16.3.2 波前问题 341 p*11aaIbp~ 16.4 参考文献 343 'C
l}IDF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 u
N%RB$G 17.1 引言 345 J{GtH[ 17.2 操作数 345
5^Gv!XW 18 如何在Function中编写脚本 351 GVFR^pzO 18.1 简介 351 0-)D`s% 18.2 什么是脚本? 351 rsbdDTy 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 -ff|Xxar{ 18.4 基础 352 4T*RJ3Fz! 18.4.1 Classes(类别) 352 RwH<JaL: 18.4.2 对象 352 b&LfL$
18.4.3 信息(Messages) 352 o8 A]vaa 18.4.4 属性 352 -qki^!Y? 18.4.5 方法 353 8>:kv:MId 18.4.6 变量声明 353 -rU~ 18.5 创建对象 354 N=qe*Rlf 18.5.1 创建对象函数 355 xS~OAcxg 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G;:D6\ 18.5.3 丢弃对象 356 X(D$eV 18.5.4 总结 356 F^5<o 18.6 脚本中的表格 357 Yp8~wdm 18.6.1 方法1 357 j@1rVOmK 18.6.2 方法2 357 9m2_zfO[w 18.7 2D Plots in Scripts 358 cz8%p;F: 18.8 3D Plots in Scripts 359 =AFTB<7-^ 18.9 注释 360 ~Rzn =>a 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 }$K2h* 18.11 一个更高级的脚本 362 r]x;JBy 18.12 <esc>键 364 l@+WGh 18.13 包含文件 365 ap;tggi(H 18.14 脚本被优化调用 366 E$z)$`"1 18.15 脚本中的对话框 368 $9GRA M. 18.15.1 介绍 368 #+V5$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 u$%>/cv 18.15.3 输入框函数 370 !6eXJ#~[E 18.15.4 自定义对话框 371 Zk+J= Cwq} 18.15.5 对话框编辑器 371 \`w!v,aM$ 18.15.6 控制对话框 377 |aiP7C 18.15.7 更高级的对话框 380 -.A8kJ 18.16 Types语句 384 S-
Mh0o" 18.17 打开文件 385 1'5I]D
ec 18.18 Bags 387 b\zRwp 18.13 进一步研究 388 &a?&G'? 19 vStack 389 {;(X#vK}9 19.1 vStack基本原理 389 tuA,t 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 {~g(WxE 19.3 五棱镜 393 d*26;5~\ 19.4 光束距离 396 Az.k6)~ 19.5 误差 399 G Q&9b_ 19.6 二向分色棱镜 399 0NLoqq 19.7 偏振泄漏 404 bl|k6{A 19.8 波前误差—相位 405 dhe?7r]u 19.9 其它计算参数 405 QN[-XQ>Xt 20 报表生成器 406 _m!TUT8o 20.1 入门 406 W~GbB:- 20.2 指令(Instructions) 406 q #f
U* 20.3 页面布局指令 406 p*10u@, 20.4 常见的参数图和三维图 407 V/Hjd`n)`i 20.5 表格中的常见参数 408 ,63hO.4M 20.6 迭代指令 408 fI%+
20.7 报表模版 408 Wxl^f?I`: 20.8 开始设计一个报表模版 409 DXlP(={* 21 一个新的project 413 e{edI{g 21.1 创建一个新Job 414 ?3!"js
B 21.2 默认设计 415 G| pZ 21.3 薄膜设计 416 a^qLyF&F 21.4 误差的灵敏度计算 420 s8| =1{ 21.5 显色指数计算 422 OL]^4m 21.6 电场分布 424 $AAv%v 后记 426 MnvFmYgxA 有兴趣可以扫码联系 \oF79
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