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ise}> A!t 内容简介 ^@2Vh*k Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }nl)*l 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 W\7*T1TDj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 M'iKk[Hjfx pt#[.n#f 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 -huZnDN 目录 N}G(pq} Preface 1 VHCzlg 内容简介 2 <*(R+to^d 目录 i w)n]}k 1 引言 1 w ZAXfNA 2 光学薄膜基础 2 . $YF|v[= 2.1 一般规则 2 >ULp! 2.2 正交入射规则 3 ".?{Y(~ 2.3 斜入射规则 6 1.uQ(>n 2.4 精确计算 7 ;[ueNP%*y| 2.5 相干性 8 CaBS0'
n 2.6 参考文献 10 dAl<'~g 3 Essential Macleod的快速预览 10 em}Qv3*# 4 Essential Macleod的特点 32 H~]o]uAi" 4.1 容量和局限性 33 9AzGk=^
4.2 程序在哪里? 33 ^^l"brPa 4.3 数据文件 35 nn4Sy,cz 4.4 设计规则 35 qI*1+R} 4.5 材料数据库和资料库 37 {1|7N
GQ 4.5.1材料损失 38 T(^8ki 4.5.1材料数据库和导入材料 39 UE w3AO 4.5.2 材料库 41
a|uZJ* 4.5.3导出材料数据 43 1C=P #MU` 4.6 常用单位 43 {+9\o ~ 4.7 插值和外推法 46 MPN=K|* 4.8 材料数据的平滑 50 Y26l,XIV 4.9 更多光学常数模型 54 4 GW[GT 4.10 文档的一般编辑规则 55 z,YUguc|
4.11 撤销和重做 56 ,D,f9 4.12 设计文档 57 ilpZ/Rs 4.10.1 公式 58 )%w8>1}c 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Z8 %\v(L 4.10.3 沉积密度 59 MWh+h7k' 4.10.4 平行和楔形介质 60 %5?-g[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 fcXk]W 4.10.4 性能 61 ':)j@O3- 4.10.5 保存设计和性能 64 ^l&4UnLlc 4.10.6 默认设计 64 8k?L{hF|nW 4.11 图表 64 (Gc`3jJ 4.11.1 合并曲线图 67 G;c0 4.11.2 自适应绘制 68 %uqD\`- 4.11.3 动态绘图 68 9R"N#w.U] 4.11.4 3D绘图 69 -Bv1}xf=6 4.12 导入和导出 73 h_GBx|c 4.12.1 剪贴板 73 s^'#"`!v= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 vqz#V=J{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 #'J7Wy 4.13 背景 77 6-14Htsk6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 E/$@ud|l" 4.15 生成Rugate 84 PFgjWp"Y 4.16 参考文献 91 L00;rTs> 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ikG9l&n 5.1 Jobs 92 /M*\t.[ 46 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >@"3Q` 5.3 输入材料 94 qS}RFM5| 5.4 设计数据文件夹 95 `yXx[deY 5.5 默认设计 95 {&u7kWD| 6 细化和合成 97 4$DliP 6.1 优化介绍 97 <&EO=A 6.2 细化 (Refinement) 98 X8n/XG ~_ 6.3 合成 (Synthesis) 100 | 4oM+n;Y 6.4 目标和评价函数 101 ::Q); 6.4.1 目标输入 102 as|c`4r\O 6.4.2 目标 103 =)1YYJTe9 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^O Xr: P 6.5 层锁定和连接 104 ^npS==Y]!. 6.6 细化技术 104 Iki+5 6.6.1 单纯形 105 4\SBf\ c 6.6.1.1 单纯形参数 106 2n;;Tso" 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 CSqb)\8Oi* 6.6.2.1 Optimac参数 108 ~EWfEHf*BJ 6.6.3 模拟退火算法 109 <bXWkj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 qb&NS4# 6.6.4 共轭梯度 111 1o~U+s_r 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 YEPG[W<kg 6.6.5 拟牛顿法 112 mc=!X 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 $N+{r= 6.6.6 针合成 113
uC*:#[ 6.6.6.1 针合成参数 114 2|H91Y2 6.6.7 差分进化 114 2DCcGKa" 6.6.8非局部细化 115 :;*#Qh3" 6.6.8.1非局部细化参数 115 lPcVhj6No% 6.7 我应该使用哪种技术? 116 uyRA`<&w 6.7.1 细化 116 E<#4G9O< 6.7.2 合成 117 dMs39j 6.8 参考文献 117 E,D:D3O 7 导纳图及其他工具 118 nL(%&z \4 7.1 简介 118 )\D40,p 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [T[9*6Kt 7.2.1 四分之一波长规则 119 w]Ko/;;^2 7.2.2 导纳图 120 Y^ZBA\D2,k 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 /$Tl# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Q#ZD&RZ9. 7.5 斜入射导纳图 141 q>|[JJ*6_N 7.6 对称周期 141 +65~,e 7.7 参考文献 142 c<h!QnJ 8 典型的镀膜实例 143 L^ #< HQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 51ajE2+X& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 )Rhf f$ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _z(5e 8.4 W-膜层 148 ?y*+^E0 8.5 V-膜层 149 'K@{vB 8.6 V-膜层高折射基底 150 VmOFX:j!, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Msa6yD# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ? __aVQ7 8.9 四层抗反射薄膜 153 DYT -#Ht 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 I~]Q55 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 7tfivIj)e 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Q{l*62Bx 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dp[w?AMhM9 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Zu0;/_rN 8.15十五层宽带抗反射膜 159 mj(&`HRs4 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 lR@i`)'?U 8.17 1/4波长堆栈 162 ZH;y>Z 8.18 陷波滤波器 163 QLB1:O> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 16[-3cJ T 8.20 褶皱 165 xf^<ec 8.21 消偏振分光器1 169 4QjWZ Wl 8.22 消偏振分光器2 171 JwI`"$>w 8.23 消偏振立体分光器 172 7Js>!KR 8.24 消偏振截止滤光片 173 .?i-rTF: 8.25 立体偏振分束器1 174 AJ#m6`M+EK 8.26 立方偏振分束器2 177 s=nVoc{Yt 8.27 相位延迟器 178 uFm+Y]h 8.28 红外截止器 179 &G
pA1 8.29 21层长波带通滤波器 180 DD@)z0W 8.30 49层长波带通滤波器 181 Q9yGQu 8.31 55层短波带通滤波器 182 o/dMm:TF 8.32 47 红外截止器 183 W3jXZ> 8.33 宽带通滤波器 184 oxMUW<gYd 8.34 诱导透射滤波器 186 4j=<p@ 8.35 诱导透射滤波器2 188 Q_QKm0! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 CCW%G,$U9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 4{*tn"y 8.35 增益平坦滤波器 193 SvX=isu!. 8.38 啁啾反射镜 1 196 oTF^<I-C 8.39 啁啾反射镜2 198 EREolCASb 8.40 啁啾反射镜3 199 9RCO|J 8.41 带保护层的铝膜层 200 l- 1]w$
y 8.42 增加铝反射率膜 201 X/E7o92\ 8.43 参考文献 202 wUK7um 9 多层膜 204 >k&8el6h 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 UK"}}nO@e 9.2 内部透过率 204 Zp7yaz3y 9.3 内部透射率数据 205 a@fE46o6< 9.4 实例 206 *?^Z)C> 9.5 实例2 210 3C rQBIj1 9.6 圆锥和带宽计算 212 kfqpI
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 mFqSD 10 光学薄膜的颜色 216 tLD~ 10.1 导言 216 KMK&[E#r 10.2 色彩 216 cS D._"P 10.3 主波长和纯度 220 gf68iR.Gs 10.4 色相和纯度 221 0^GbpSW{ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :M22P`: 10.6 色差 226 J+)'-OFt0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =y<">- 10.8 颜色渲染指数 234 ]a$Wxvgq 10.9 色差计算 235 =zeFK_S! 10.10 参考文献 236 }O,U2=Hw`] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 LbJtpwz>z 11.1 短脉冲 238 Si?$\H*: 11.2 群速度 239 |'V DI]p& 11.3 群速度色散 241
SwdC, 11.4 啁啾(chirped) 245 E /fw?7eQ 11.5 光学薄膜—相变 245 ]ZzoJ7lr 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^Yj"RM$;N 11.7 色度色散 246 K-J|/eB 11.8 色散补偿 249 ="uKWt6n' 11.9 空间光线偏移 256 _\
. 11.10 参考文献 258 cS<TmS! 12 公差与误差 260 V#ndyUM; 12.1 蒙特卡罗模型 260 'oz hz2s 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 b!i`o%Vb 12.2.1 误差工具 267 Qs|OG 12.2.2 灵敏度工具 271 )n\*ht7 12.2.2.1 独立灵敏度 271 cQ8dc+ { 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Y%<`;wK=^ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 BRQ"A, 12.3 参考文献 276 r1i$D 13 Runsheet 与Simulator 277 1&"-*) 13.1 原理介绍 277 kWB, ;7 13.2 截止滤光片设计 277 rkxW UDl 14 光学常数提取 289 6(>3P 14.1 介绍 289 / Zo~1q 14.2 电介质薄膜 289 +yzcx3< 14.3 n 和k 的提取工具 295 jja{*PZ6H 14.4 基底的参数提取 302 ZlthYuJ 14.5 金属的参数提取 306 eYJ{LPo 14.6 不正确的模型 306 '5'3_vM 14.7 参考文献 311 MV%Xhfk 15 反演工程 313 hVMYB_<~ 15.1 随机性和系统性 313 'UY[ap 15.2 常见的系统性问题 314 \r)%R5_CQ 15.3 单层膜 314 y^2#9\}K 15.4 多层膜 314 WK
pUn8&N
15.5 含义 319 |q3f]T&+>{ 15.6 反演工程实例 319 `vudS? 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 +0VG[c\8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 t,RyeS/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Tdg6kkJ 16.1 光学性质的热致偏移 329 @u,+F0Yd 16.2 应力工具 335 _ 1sP.0 t 16.3 均匀性误差 339 |5W8Q|>% 16.3.1 圆锥工具 339 i-`,/e~XT 16.3.2 波前问题 341 nz^nptw 16.4 参考文献 343 lp(Nv(S 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 _-n Y2) 17.1 引言 345 ^w>&?A'! 17.2 操作数 345 aiYo8+{!# 18 如何在Function中编写脚本 351 P3G:th@j= 18.1 简介 351 ]bIt@GB 18.2 什么是脚本? 351 g;8M<`qvf 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 D/Rv&>Jh 18.4 基础 352 MFv
Si 18.4.1 Classes(类别) 352 S#k{e72 * 18.4.2 对象 352 `%|u! 18.4.3 信息(Messages) 352 QV0M/k<' 18.4.4 属性 352 't7Z] G 18.4.5 方法 353 u=%y 18.4.6 变量声明 353 @8|Gh]\P 18.5 创建对象 354 _ j~4+H 18.5.1 创建对象函数 355 $57\u/(
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ozU2 18.5.3 丢弃对象 356 [ a@B
=E 18.5.4 总结 356 B~?c3:6 18.6 脚本中的表格 357 yr5NRs 18.6.1 方法1 357 6z Ay)~ 18.6.2 方法2 357 QO2Ut!Y 18.7 2D Plots in Scripts 358 T8U[xu.> 18.8 3D Plots in Scripts 359 V7:\q^$ 18.9 注释 360 K5{{:NR$ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4Q;<Q" 18.11 一个更高级的脚本 362 mH)OB?+lq 18.12 <esc>键 364 [<yz)<< 18.13 包含文件 365 mf}\s]_c 18.14 脚本被优化调用 366 2 l(Dee Y 18.15 脚本中的对话框 368 p'}lN|"{O 18.15.1 介绍 368 (-\]A| 18.15.2 消息框-MsgBox 368 8'KMxR 18.15.3 输入框函数 370
YZ<
NP 18.15.4 自定义对话框 371 'j }g 18.15.5 对话框编辑器 371 G]-%AO{K 18.15.6 控制对话框 377 MI\]IQU 18.15.7 更高级的对话框 380 `gI~|A4 18.16 Types语句 384 !N1J@LT5h 18.17 打开文件 385
uN9e:; 18.18 Bags 387 ;1@C_5C 18.13 进一步研究 388 G,]z(% 19 vStack 389 Wab.|\c 19.1 vStack基本原理 389 t@)my[ ! 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 .a,(pq Jg 19.3 五棱镜 393 9<l-NU9 _ 19.4 光束距离 396 4:U0f;Fs 19.5 误差 399 @bT3'K-4 19.6 二向分色棱镜 399 iS 19.7 偏振泄漏 404 j7}lF?cJ2 19.8 波前误差—相位 405 D^u\l 19.9 其它计算参数 405 q!&B6] 20 报表生成器 406 9 ZGV%Tw 20.1 入门 406 1i3V!!r 20.2 指令(Instructions) 406 \45(#H<$ 20.3 页面布局指令 406 "U{,U`@? 20.4 常见的参数图和三维图 407 UfKkgq# 20.5 表格中的常见参数 408 A#35]V06 20.6 迭代指令 408 0wFh%/: 20.7 报表模版 408 &2{]hRM 20.8 开始设计一个报表模版 409 $ 6!iBX@ 21 一个新的project 413 4)^vMG& 21.1 创建一个新Job 414 Fc'[+L--Q 21.2 默认设计 415 H* /&A9(" 21.3 薄膜设计 416 4gOgWBv 21.4 误差的灵敏度计算 420 :G 5C ]'t 21.5 显色指数计算 422 1~@|eWr| 21.6 电场分布 424 Szts<n5 后记 426 %K zbO0 有兴趣可以扫码联系 q5p e~
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