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&by,uVb=|{ 内容简介 "OFYVK\]i Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 je.jui" 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fyx-VXu 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 m:/@DZ F&;g<
SD 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 F {]: 目录 fu9y3` Preface 1 @g[p>t> * 内容简介 2 j*Q/vY!T 目录 i >DQl&:-)t 1 引言 1 ('W#r" 2 光学薄膜基础 2 |A7Yv 2.1 一般规则 2 M9]O!{sq 2.2 正交入射规则 3 hT^6Ifm 2.3 斜入射规则 6 @fT*fv
2.4 精确计算 7 AZorz Q]s 2.5 相干性 8 x 3#1 2.6 参考文献 10 5|xFY/% 3 Essential Macleod的快速预览 10 Iqe4O~) 4 Essential Macleod的特点 32 /J3e[?78u 4.1 容量和局限性 33 Q <^'v>~n 4.2 程序在哪里? 33 {8Hrb^8! 4.3 数据文件 35 V>@NkQ<|y 4.4 设计规则 35 ,Zzh. z::D 4.5 材料数据库和资料库 37 *f.eyg# 4.5.1材料损失 38
q>r9ooN 4.5.1材料数据库和导入材料 39 C>N)~Ut 4.5.2 材料库 41 ?;+=bKw0 4.5.3导出材料数据 43 t3 *2Z u 4.6 常用单位 43 i5|A\Wv" 4.7 插值和外推法 46 3w
?)H 4.8 材料数据的平滑 50 iYHD:cg)~ 4.9 更多光学常数模型 54 ]&yO>\MgJB 4.10 文档的一般编辑规则 55 !zvKl;yT 4.11 撤销和重做 56 w@X<</` 4.12 设计文档 57 N+b"LZc 4.10.1 公式 58 E92dSLhs5 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 g$?B!!qT 4.10.3 沉积密度 59 kxhvy,t 4.10.4 平行和楔形介质 60 ep3_G\m 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 +=|Q'V 4.10.4 性能 61 /Y:_qsO1 4.10.5 保存设计和性能 64 sJ7r9O`x 4.10.6 默认设计 64 9/{+,RpC
4.11 图表 64 er,R}v 4.11.1 合并曲线图 67 Sq UoXNw 4.11.2 自适应绘制 68 4cr
>sz 4.11.3 动态绘图 68 {]]nQ 4.11.4 3D绘图 69 _I&0HRi 4.12 导入和导出 73 7zVaj"N( 4.12.1 剪贴板 73 Bg"b,&/^u 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =:1f
0QF 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Io5-[d 4.13 背景 77 G|'DAj% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 y{s?]hLk 4.15 生成Rugate 84 !?Z}b.%W 4.16 参考文献 91 ^;<s"TJ(m) 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _V1O =iu- 5.1 Jobs 92 5X|=qZ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^EjZ.#2l; 5.3 输入材料 94 \QBODJ1 5.4 设计数据文件夹 95 Z%N{Y x( 5.5 默认设计 95 w1rB"rB? 6 细化和合成 97 {LbcG^k 6.1 优化介绍 97 SBAq,F' 6.2 细化 (Refinement) 98 rV"<1y:g 6.3 合成 (Synthesis) 100 `w@fxv 6.4 目标和评价函数 101 G! zV=p 6.4.1 目标输入 102 "T<Q#^m 6.4.2 目标 103 nDkyo>t. 6.4.3 特殊的评价函数 104 @mNf(& 6.5 层锁定和连接 104 I/Hwf 6.6 细化技术 104 z\oq b)a 6.6.1 单纯形 105 +Ys<V 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^%)'wDK 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 xQ* U9Wt;T 6.6.2.1 Optimac参数 108 R4_4 FEo 6.6.3 模拟退火算法 109 Um4
} ` 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ,6}HAC $ 6.6.4 共轭梯度 111 C^aP)&
qt 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 YnNB#x8| 6.6.5 拟牛顿法 112 Fm`hFBKW 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 $iEM$ 6.6.6 针合成 113 Vu*yEF} 6.6.6.1 针合成参数 114 ot;j6eAH~E 6.6.7 差分进化 114 G{knO?BK 6.6.8非局部细化 115 a,#f%#J\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 c;&m}ImLe. 6.7 我应该使用哪种技术? 116 s!9.o_k 6.7.1 细化 116 !Q*.Dw()[ 6.7.2 合成 117 kmi[u8iXD_ 6.8 参考文献 117 SWz+.W{KQ" 7 导纳图及其他工具 118 NC>rZS] 7.1 简介 118 {e/12q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 q+19EJ( 7.2.1 四分之一波长规则 119 %q;3bfq@N 7.2.2 导纳图 120 0 oEw1!cY 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 R^1sbmwk 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 z~L4BY @z 7.5 斜入射导纳图 141 TF}<,aR 7.6 对称周期 141 js^@tgf$x& 7.7 参考文献 142 Q|@!zMy 8 典型的镀膜实例 143 H\Y.l,^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 Tt`|26/ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 2_x}wB0P 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~Hd{+0 8.4 W-膜层 148 o*_[3{FU 8.5 V-膜层 149 J|W~\(W6i 8.6 V-膜层高折射基底 150 TKx.`Cf
m 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 f+}?$' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jJQ6]ucwa 8.9 四层抗反射薄膜 153 Cl7IP<. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 0F8y8s 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8v8?D8\=| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 54_CewL1P] 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 MG*#-<OV. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ctTg-J2. 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ]!d #2( 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 X-|`|>3E
8.17 1/4波长堆栈 162 ` Xhj7%> 8.18 陷波滤波器 163 _k\*4K8L 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x>A(016:C 8.20 褶皱 165 .>zXz%p 8.21 消偏振分光器1 169 R^iF^IB 8.22 消偏振分光器2 171 R3TdQ6j 8.23 消偏振立体分光器 172 Om0Z\GP= 8.24 消偏振截止滤光片 173 f$Nz).( 8.25 立体偏振分束器1 174 rZLTai}`>
8.26 立方偏振分束器2 177 b2aPo M= 8.27 相位延迟器 178 VE+Q Y9( 8.28 红外截止器 179 J/>Y mi, 8.29 21层长波带通滤波器 180 {CG%$rh 8.30 49层长波带通滤波器 181 F-R4S^eV 8.31 55层短波带通滤波器 182 = 7d{lK 8.32 47 红外截止器 183 cgNK67"( 8.33 宽带通滤波器 184 \EuMzb"G9p 8.34 诱导透射滤波器 186 |>5NH'agV 8.35 诱导透射滤波器2 188 iBVV5 f 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7<*sP%6bD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 oTS*k:
C' 8.35 增益平坦滤波器 193 -GLI$_lLF 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?x7zYE,6 8.39 啁啾反射镜2 198 jAB~XaT , 8.40 啁啾反射镜3 199 12U1DEd>- 8.41 带保护层的铝膜层 200 =Bcwd7+ 8.42 增加铝反射率膜 201 T?4MFx# 8.43 参考文献 202 2 DJs'"8 9 多层膜 204 l ~CYxO 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ;{[&&qMwU 9.2 内部透过率 204
eU&[^ 9.3 内部透射率数据 205
wwE`YY 9.4 实例 206 K'kWL[Ut! 9.5 实例2 210 5,cq-` 9.6 圆锥和带宽计算 212 }enm#0Ha 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :V*c9,>ZO 10 光学薄膜的颜色 216 xok8 10.1 导言 216 X31[ 10.2 色彩 216 vnwS&;-k~ 10.3 主波长和纯度 220 48vKUAzx` 10.4 色相和纯度 221 u&z5)iU 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Aj((tMJNOw 10.6 色差 226 lK;|ciq"c7 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 piIj
t 10.8 颜色渲染指数 234 0}}b\!]9 10.9 色差计算 235 h}r .(MVt 10.10 参考文献 236 _^]2??V 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 aMKi`EW 11.1 短脉冲 238 o9&1Ct 11.2 群速度 239 }iZO0C 11.3 群速度色散 241 i eQQ{iGJH 11.4 啁啾(chirped) 245 ]awu7}C9Z 11.5 光学薄膜—相变 245 !E">r 11.6 群延迟和延迟色散 246 g\^7 Q 11.7 色度色散 246 o|u<tuUW 11.8 色散补偿 249 ~iI4v#0 11.9 空间光线偏移 256 OZ##x 11.10 参考文献 258 -i*{8t 12 公差与误差 260
cc`+rD5I- 12.1 蒙特卡罗模型 260 bwN>E+ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7vO3+lT/Y; 12.2.1 误差工具 267 t)o!OEnE 12.2.2 灵敏度工具 271 WX<),u2@ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 :'p+Ql~c 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Mtxn@m{i;" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 *%'nlAX6% 12.3 参考文献 276 Iow45R~] 13 Runsheet 与Simulator 277
1~rZka[s 13.1 原理介绍 277 /`$9H| 13.2 截止滤光片设计 277 -=5]B ; 14 光学常数提取 289 .rpKSf. 14.1 介绍 289 BN\Y
N 14.2 电介质薄膜 289 PCKgdh}, 14.3 n 和k 的提取工具 295 {}x{OP 14.4 基底的参数提取 302 s.y wp{EF 14.5 金属的参数提取 306 9?W!E_ 14.6 不正确的模型 306 vk;]9o j* 14.7 参考文献 311 <E/"v 15 反演工程 313 P(h[QAM 15.1 随机性和系统性 313 c*R?eLt/ 15.2 常见的系统性问题 314 vu7F>{D 15.3 单层膜 314 sX_6qKUH
15.4 多层膜 314 f-]5ZhM' 15.5 含义 319 U4PnQ
K, 15.6 反演工程实例 319 o m9zb&{tu 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 2x3%*r$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 SA3!a.*c 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 3pQ^vbQ" 16.1 光学性质的热致偏移 329 R/5@*mv{ 16.2 应力工具 335 :x*#RnRr. 16.3 均匀性误差 339 &.D#OnRh9 16.3.1 圆锥工具 339 .] gY{_|x 16.3.2 波前问题 341 Mzfuthq=@ 16.4 参考文献 343 tUzef 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 oY;=$8y<q 17.1 引言 345 P[q` {TdV 17.2 操作数 345 ZP*(ZU@j=Z 18 如何在Function中编写脚本 351 7Qoy~=E 18.1 简介 351 w&U>w@H^ 18.2 什么是脚本? 351 uPZ<hG#K 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 r*I u6 18.4 基础 352 6,J:sm\ 18.4.1 Classes(类别) 352 6KpG,%2L# 18.4.2 对象 352 dJ/(u&N 18.4.3 信息(Messages) 352 |-vc/t2k>T 18.4.4 属性 352 H<YhO&D*u 18.4.5 方法 353 ~:PuKx 18.4.6 变量声明 353 (A<'{J#5, 18.5 创建对象 354 FEoH$.4 18.5.1 创建对象函数 355 T~Z7kc' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 RlW7l1h& 18.5.3 丢弃对象 356 Wa {()Cz 18.5.4 总结 356 sD_" 18.6 脚本中的表格 357 aNcuT,=(?8 18.6.1 方法1 357 ;`p!/9il 18.6.2 方法2 357 ICbT{Mla 18.7 2D Plots in Scripts 358 w26x)(7 18.8 3D Plots in Scripts 359 :f9O3QA 18.9 注释 360 }iu(-{Z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 !}[cY76_ 18.11 一个更高级的脚本 362 B%~D`[~? 18.12 <esc>键 364 aC9PlKI 18.13 包含文件 365 !X 8<;e}2 18.14 脚本被优化调用 366 d|~A>YZ 18.15 脚本中的对话框 368 B^{87YR 18.15.1 介绍 368 M?yWFqFt9m 18.15.2 消息框-MsgBox 368 h~F`[G/' 18.15.3 输入框函数 370 orU++,S4Pm 18.15.4 自定义对话框 371 oJ<Wh @ 18.15.5 对话框编辑器 371 NEY
b-#v 18.15.6 控制对话框 377 ^Ko{#qbl/ 18.15.7 更高级的对话框 380 @1p, 18.16 Types语句 384 ohy?l 18.17 打开文件 385 ;:0gN|+ 18.18 Bags 387 q%^vx%aL\ 18.13 进一步研究 388 Y64B"J=P9 19 vStack 389 XyM?Dc5, 19.1 vStack基本原理 389 P@RUopu,i 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 9F*],#ng 19.3 五棱镜 393 Dq~PxcnI 19.4 光束距离 396 @C}Hx;f6 19.5 误差 399 #"Wh$x% 19.6 二向分色棱镜 399 =z]8;<=pL 19.7 偏振泄漏 404 y
8./)W&/ 19.8 波前误差—相位 405 m4@f&6x 19.9 其它计算参数 405 l:Y$A$W]> 20 报表生成器 406 |>Xw"]b; 20.1 入门 406 6BPZ2EQ 20.2 指令(Instructions) 406 tFYIKiq2 20.3 页面布局指令 406 cv'Fc 20.4 常见的参数图和三维图 407 k*;2QED 20.5 表格中的常见参数 408 N%2UL&w#B 20.6 迭代指令 408 UpA{$@ 20.7 报表模版 408 _z3Hl?qk= 20.8 开始设计一个报表模版 409 kOe~0xoT@u 21 一个新的project 413 ,Cj8{s&; 21.1 创建一个新Job 414 {]a 6o[}u 21.2 默认设计 415 e$wbYByW 21.3 薄膜设计 416 !`VO#_TJ 21.4 误差的灵敏度计算 420 M~G1ZB 21.5 显色指数计算 422 jgr2qSUC 21.6 电场分布 424 E9Q?@' h 后记 426 Z~Mq5#3F 有兴趣可以扫码联系 [SW@ "C!
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