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}AA">FF'y4 内容简介 I`(53LCqo Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 n
7i5A: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 4D2U,Ds
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 *RxJ8.G =%<,
^2o 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ?Wz2J3A.2t 目录 [|ZFei)r Preface 1 xVw@pR; 内容简介 2 O Bcz'f~ 目录 i SzIzQR93& 1 引言 1 cE:s\hG 2 光学薄膜基础 2 {ZrlbDQX 2.1 一般规则 2 {f\wIZ-K A 2.2 正交入射规则 3 #2s}s<Sc; 2.3 斜入射规则 6 ;-8.~Sm 2.4 精确计算 7 JH{/0x#+ 2.5 相干性 8 zt:
!hM/Vt 2.6 参考文献 10 1Xo0(*O 3 Essential Macleod的快速预览 10 4~3
n
=T* 4 Essential Macleod的特点 32 G"`
}"T0} 4.1 容量和局限性 33 u.|%@ 4.2 程序在哪里? 33 NuPlrCy; 4.3 数据文件 35 /6Q]f 4.4 设计规则 35 "d:rPJT)(@ 4.5 材料数据库和资料库 37 41Z@_J|& 4.5.1材料损失 38 Cyd/HTNh< 4.5.1材料数据库和导入材料 39 bJetqF6n 4.5.2 材料库 41 :P}3cl_ 4.5.3导出材料数据 43 b6
%m*~ 4.6 常用单位 43 !p/SX>NJ 4.7 插值和外推法 46 @]%eL 4.8 材料数据的平滑 50 x;)I%c 4.9 更多光学常数模型 54 Fy"M 4;7 4.10 文档的一般编辑规则 55 }< H> 9iJ: 4.11 撤销和重做 56 l>K+4 4.12 设计文档 57 z`IW[N7Z 4.10.1 公式 58 >U,&V%y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ed`"xm 4.10.3 沉积密度 59 BW7AjtxQ& 4.10.4 平行和楔形介质 60 h\UKm|BZ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 m{Vd3{H40 4.10.4 性能 61 72d|Jbd 4.10.5 保存设计和性能 64 !Z tqh Xr 4.10.6 默认设计 64 kW)3naUf< 4.11 图表 64 o3dqsQE% 4.11.1 合并曲线图 67 Vt(Wy 4.11.2 自适应绘制 68 g5@JA^\vZT 4.11.3 动态绘图 68 5aizWz 4.11.4 3D绘图 69 ?VNtT/ 4.12 导入和导出 73 sJ|pR=g)! 4.12.1 剪贴板 73 c 9f"5~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 LAlwQ^v| 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 `=H*4I-" 4.13 背景 77 ~jL%l 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `jGeS[FhR 4.15 生成Rugate 84 EW*sTI3 4.16 参考文献 91 }yK7LooM 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 a*y9@RC} 5.1 Jobs 92 ;.uYWP|9 5.2 创建一个新Job(工作) 93 M!'d 5.3 输入材料 94 > O?WRCB 5.4 设计数据文件夹 95 RFL*
qd4 5.5 默认设计 95 -}%J3j|R: 6 细化和合成 97 VkFh(Br<{ 6.1 优化介绍 97 G<e+sDQ2 6.2 细化 (Refinement) 98 dhtH&:J<; 6.3 合成 (Synthesis) 100 KM wV;r 6.4 目标和评价函数 101 E`oA(x7l 6.4.1 目标输入 102 oj djy#: 6.4.2 目标 103 U0_)J1Yp 6.4.3 特殊的评价函数 104 zuLW'a6F- 6.5 层锁定和连接 104 t|i NSy3 6.6 细化技术 104 K>DN6{hnV; 6.6.1 单纯形 105 Mpojabsh 6.6.1.1 单纯形参数 106 !b+4[xky 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 #"4ioTL2 6.6.2.1 Optimac参数 108 d <}'eBT' 6.6.3 模拟退火算法 109 @}Hu)HO 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Cjf[]aNJe` 6.6.4 共轭梯度 111 'hjEd. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ML_VD*t9 6.6.5 拟牛顿法 112 fB3Jp~$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Ma|4nLC} 6.6.6 针合成 113 `[sFh%: 6.6.6.1 针合成参数 114 ]?4;Lw 6.6.7 差分进化 114 `f>!/Zm%9 6.6.8非局部细化 115 %XGm\p 6.6.8.1非局部细化参数 115 \Osu1]Jn> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ,GH`tK_ 6.7.1 细化 116 &IQ=M.!r 6.7.2 合成 117 U*[E+Uq}:N 6.8 参考文献 117 8:{id>Mm^ 7 导纳图及其他工具 118 F-/z@tM 7.1 简介 118 j+_fHADq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 J 6KHc^,7 7.2.1 四分之一波长规则 119 L[Vk 6e 7.2.2 导纳图 120 [h3xW 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 G\gjCp?! 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |/gt;H~:
7.5 斜入射导纳图 141 1(o\GI3: 7.6 对称周期 141 ,s~l; Gkj 7.7 参考文献 142 Mh7m2\fLbd 8 典型的镀膜实例 143 m8fj\,X 8.1 单层抗反射薄膜 145 ]W5*R07 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 P4[kW}R 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,0! 2x"Q= 8.4 W-膜层 148 `NW/Z/_ 8.5 V-膜层 149 yNns6 8.6 V-膜层高折射基底 150 Ks%0!X?3q 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 dTg`z,^F 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [
\_o_W 8.9 四层抗反射薄膜 153 }Ja-0v)Wf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %4*c/ c6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 63W;N7@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 *2zp>(% 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 %y6Q3@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 XGSFG~d 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^j\LB23 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 x?wvS]EBg 8.17 1/4波长堆栈 162 z By%=)` 8.18 陷波滤波器 163 Pp_4B 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 D;Qx9^. 8.20 褶皱 165 2`f{D~w 8.21 消偏振分光器1 169 EsGu#lD2 8.22 消偏振分光器2 171 i|^Q{3?o# 8.23 消偏振立体分光器 172 6iU&9Z<% 8.24 消偏振截止滤光片 173 qi,) l*?f 8.25 立体偏振分束器1 174 .t@|2 8.26 立方偏振分束器2 177 ;b {#$#`= 8.27 相位延迟器 178 E`fG9:6l] 8.28 红外截止器 179 ;JkSZs3 8.29 21层长波带通滤波器 180 Yqs=jTq`{ 8.30 49层长波带通滤波器 181 >-MnB 8.31 55层短波带通滤波器 182 Ms!EK 8.32 47 红外截止器 183 xOTvrX 8.33 宽带通滤波器 184 <[db)r~c 8.34 诱导透射滤波器 186 O*:87:I d 8.35 诱导透射滤波器2 188 I0}.! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ;"MChk 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 R:~aX,qR 8.35 增益平坦滤波器 193 JH.XZM& 8.38 啁啾反射镜 1 196 uuY^Q;^I* 8.39 啁啾反射镜2 198 kd'b_D[$H 8.40 啁啾反射镜3 199 9\_s&p=:. 8.41 带保护层的铝膜层 200 J8:s=#5 8.42 增加铝反射率膜 201 s>>&3jfM 8.43 参考文献 202 Ypyi(_G(?> 9 多层膜 204 GY$Rkg6d 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 5T;LWS 9.2 内部透过率 204 {xTq5`&gT 9.3 内部透射率数据 205 ^N={4'G) 9.4 实例 206 \}b2oiY 9.5 实例2 210 2w.FC 9.6 圆锥和带宽计算 212 u nv:sV#b 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 R
(f:UC 10 光学薄膜的颜色 216 ew1L+ 10.1 导言 216 ZG=]b% 10.2 色彩 216 %L.S~dN6 10.3 主波长和纯度 220 Ub3$ ` 10.4 色相和纯度 221 [PIMG2"G 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jW:7PS 10.6 色差 226 Cv,WG]E7( 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 iE'_x$i 10.8 颜色渲染指数 234 %p}vX9U') 10.9 色差计算 235 MJ:c";KCq0 10.10 参考文献 236 @8W@I| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6Ryc&z5 11.1 短脉冲 238 ']nIa7 11.2 群速度 239 .V;,6Vq 11.3 群速度色散 241 \tgY2: 11.4 啁啾(chirped) 245 )g:5}+ 11.5 光学薄膜—相变 245 d4b!
r 11.6 群延迟和延迟色散 246 -m`|S q 11.7 色度色散 246 +~"IF+TRH 11.8 色散补偿 249 (:bf m 11.9 空间光线偏移 256 v^&HZk=( 11.10 参考文献 258 Mk*4J]PP 12 公差与误差 260 o9xc$hX} 12.1 蒙特卡罗模型 260 [Hx}#Kds 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?AFb& 12.2.1 误差工具 267 &;$uU 12.2.2 灵敏度工具 271 ;u2[Ww~k 12.2.2.1 独立灵敏度 271 k4sV6f 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,l&?%H9q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 !td!">r46e 12.3 参考文献 276 0ca0-vY 13 Runsheet 与Simulator 277 I$"Z\c8; 13.1 原理介绍 277 H>+/k-n- 13.2 截止滤光片设计 277 C@qWour 14 光学常数提取 289 6m&GN4Ca 14.1 介绍 289 Vg$d|m${ 14.2 电介质薄膜 289 ?i<l7 14.3 n 和k 的提取工具 295 >v,X:B?+FL 14.4 基底的参数提取 302 nFni1cCD 14.5 金属的参数提取 306 hrniZ^ 14.6 不正确的模型 306 Be{@ L 14.7 参考文献 311 U4d7-&U 15 反演工程 313 ^y>V-R/N 15.1 随机性和系统性 313 C@-Hm 15.2 常见的系统性问题 314 Z. ${WZW 15.3 单层膜 314
m}yu4 15.4 多层膜 314 va@;V+cD 15.5 含义 319 l4RqQ+[KA; 15.6 反演工程实例 319 @JSWqi> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 !8p>4 |VM 15.6.2 反演工程提取折射率 327 UA.Tp [u 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 />xEpR3_A 16.1 光学性质的热致偏移 329 e,OXn gC 16.2 应力工具 335 :Ou~?q%X 16.3 均匀性误差 339 4<s;xSCL 16.3.1 圆锥工具 339 w^L`" 16.3.2 波前问题 341 ~;(\a@ _ 16.4 参考文献 343 72|g zm 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0/~p1SSun 17.1 引言 345 }6l:'nW 17.2 操作数 345 E zcch1 18 如何在Function中编写脚本 351 jO"/5x26 18.1 简介 351 Ow-ejo 18.2 什么是脚本? 351 Yh]a4l0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 %>K(IRpMW 18.4 基础 352 `
,T. 18.4.1 Classes(类别) 352 \WE/#To 18.4.2 对象 352 NL.3qx 18.4.3 信息(Messages) 352 JSg=9p$ 18.4.4 属性 352 ;FlDRDZ% 18.4.5 方法 353 A]"6/Lr9P 18.4.6 变量声明 353 ,8*A#cT
B 18.5 创建对象 354 2\{/|\ 18.5.1 创建对象函数 355 O4-#)#-)S~ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Wda?$3!^q 18.5.3 丢弃对象 356 7_Vd%<: 18.5.4 总结 356 8+!G/p 18.6 脚本中的表格 357 d)48m}[: 18.6.1 方法1 357 >%"TrAt 18.6.2 方法2 357 0uKm)t/ 18.7 2D Plots in Scripts 358 i8<5|du&? 18.8 3D Plots in Scripts 359 <c@dE 18.9 注释 360 uEPm[oyX 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 fe4/[S{a 18.11 一个更高级的脚本 362 W[QgddR 18.12 <esc>键 364 oItC;T 18.13 包含文件 365 `mkOjsj & 18.14 脚本被优化调用 366 ?z`yNx6 18.15 脚本中的对话框 368 -0(+a$P7e 18.15.1 介绍 368 =YYqgNz+\w 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~ DLxIe 18.15.3 输入框函数 370 Y+S<?8pA 18.15.4 自定义对话框 371 je\]j-0$u 18.15.5 对话框编辑器 371 s,J\nbj0h 18.15.6 控制对话框 377 lN.&46
e 18.15.7 更高级的对话框 380 %.[AZ> 18.16 Types语句 384 bjUe+#BL 18.17 打开文件 385 z@[n?t!7k 18.18 Bags 387 MXVCu"g% 18.13 进一步研究 388 (N}\Wft% 19 vStack 389 3Mh_&%!O 19.1 vStack基本原理 389 }`whg8 fZ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 k;umLyz 19.3 五棱镜 393 !G;BYr>X 19.4 光束距离 396
fNr*\=$ 19.5 误差 399 aS3-A4 19.6 二向分色棱镜 399 <O9WCl 19.7 偏振泄漏 404 W[!bF'-10 19.8 波前误差—相位 405 ^CwS'/fdN 19.9 其它计算参数 405 };(2 na 20 报表生成器 406 09Oe-Bg 20.1 入门 406 #r&yH^- 20.2 指令(Instructions) 406 N}bZdE9F 20.3 页面布局指令 406 IxG0TJ_
20.4 常见的参数图和三维图 407 Ejf>QIB 20.5 表格中的常见参数 408 |b
Z
58{} 20.6 迭代指令 408 F8m@mh*8> 20.7 报表模版 408 c1%ki%J# 20.8 开始设计一个报表模版 409 "(F:'J} X 21 一个新的project 413 USf;}F:-C 21.1 创建一个新Job 414 tG,xG& 21.2 默认设计 415 arPqVMVr 21.3 薄膜设计 416 [:Odb?+ `F 21.4 误差的灵敏度计算 420 nNM)rW 21.5 显色指数计算 422 '\7&I |