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{`V ^V_ 内容简介 ;Mz7emt Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Rg 5kFeS 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 A }d\ND 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 n W:Bo# 4MP8t@z 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ,YF1*69 目录 uEr[' > Preface 1 B:(a?X-7 内容简介 2 [n&SA]a 目录 i , nW)A/?} 1 引言 1 PBgU/zVn 2 光学薄膜基础 2 I[bWd{i: 2.1 一般规则 2 ;8yEhar 2.2 正交入射规则 3 j{Sbf04 2.3 斜入射规则 6 t"X^|!hKIF 2.4 精确计算 7 #dkSAS 2.5 相干性 8 9z7rv, 2.6 参考文献 10 ~r&+18Z; 3 Essential Macleod的快速预览 10 YFeL#)5y 4 Essential Macleod的特点 32 9)D9'/{L# 4.1 容量和局限性 33 f*Yr*yC 4.2 程序在哪里? 33 a$$aM2.2 4.3 数据文件 35 w6|l ~.$= 4.4 设计规则 35 z~#d@c\ 4.5 材料数据库和资料库 37 d t^Hd]+^\ 4.5.1材料损失 38 f s2}a 4.5.1材料数据库和导入材料 39 _xr@dK<
4.5.2 材料库 41 g:Ry.=F7W 4.5.3导出材料数据 43 nT=XWM 4.6 常用单位 43 S.!K 4.7 插值和外推法 46 =J'&.@Dwz 4.8 材料数据的平滑 50 ,y gDNF 4.9 更多光学常数模型 54 [I78<IJc 4.10 文档的一般编辑规则 55 @P<aTRy,f 4.11 撤销和重做 56 .GIygU_ 4.12 设计文档 57 -V=,x3Zew 4.10.1 公式 58 o>A']+`Eu 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 vPD%5AJN 4.10.3 沉积密度 59 4VHX4A}CgA 4.10.4 平行和楔形介质 60 qq>Qi (> 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ;:'A Bfs 4.10.4 性能 61 H6<3'P 4.10.5 保存设计和性能 64 d Y`P 4.10.6 默认设计 64 3z
-="_p 4.11 图表 64 (1)b> 6 4.11.1 合并曲线图 67 o':K4r; 4.11.2 自适应绘制 68 #BX}j&h_ 4.11.3 动态绘图 68 E6#")2C~ 4.11.4 3D绘图 69 O&r9+r1` 4.12 导入和导出 73 C5~
+"#B 4.12.1 剪贴板 73 M2LW[z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !&pk^VFl+ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 `_(N(dm 4.13 背景 77 %!]CP1S 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Vn?|\3KY 4.15 生成Rugate 84 lKV7IoJ&; 4.16 参考文献 91 o_cAelI[! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
scZ&}Ni 5.1 Jobs 92 Dw.Pv)'$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 )|KZGr 5.3 输入材料 94 fkD-mRKw 5.4 设计数据文件夹 95 `h<>_zpjY 5.5 默认设计 95 LXm@h 6 细化和合成 97 cX|(/h,W/ 6.1 优化介绍 97 Kc+TcC 6.2 细化 (Refinement) 98 v-}B
T+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 QT\"r T9# 6.4 目标和评价函数 101 &;%,Axc 6.4.1 目标输入 102 1HUe8m[#3 6.4.2 目标 103 n1rJ^q-G 6.4.3 特殊的评价函数 104 =m
U</ F) 6.5 层锁定和连接 104 yH]w(z5Z 6.6 细化技术 104 wc?YzXP+ 6.6.1 单纯形 105 f9^MLb6) 6.6.1.1 单纯形参数 106 U\dLq&=V 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ,AG k4] 6.6.2.1 Optimac参数 108 (VBO1 f 6.6.3 模拟退火算法 109 !XO"lS 6.6.3.1 模拟退火参数 109 XF?"G<2 6.6.4 共轭梯度 111 GSVLZF'+ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 q1Ehl
S 6.6.5 拟牛顿法 112 Y/qs\c+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 rvPmd%nk- 6.6.6 针合成 113 Qk].^'\ 6.6.6.1 针合成参数 114 s(y=u > 6.6.7 差分进化 114 #xt-65^ 6.6.8非局部细化 115 _ECH( 6.6.8.1非局部细化参数 115 VF g"AJf 6.7 我应该使用哪种技术? 116 mw~$;64;a 6.7.1 细化 116 ?y,z 6.7.2 合成 117 }ssL;q 6.8 参考文献 117 S&MF; E6 7 导纳图及其他工具 118 Xe@:Aun 7.1 简介 118 oFp4*<\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 9HZR%s[J 7.2.1 四分之一波长规则 119 7kmd.< 7.2.2 导纳图 120 .ViOf){U\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \!zM4ppr 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3mT6HGSKR 7.5 斜入射导纳图 141 2]+f<Z[/ 7.6 对称周期 141 d#:7V%]dp 7.7 参考文献 142 HlXEU$e
8 典型的镀膜实例 143 3Cg0^~?6- 8.1 单层抗反射薄膜 145 <+AvbqDe 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 t?h\Af4Tf 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 'nfdOX.d 8.4 W-膜层 148 < [q{0, 8.5 V-膜层 149 j9*5Kj 8.6 V-膜层高折射基底 150 SlD7 \X&~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 AIt;~x 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 APq Yf<W 8.9 四层抗反射薄膜 153 )J1xO^tE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 :F?L,I,K 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !%>(O@~"| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 CB>*(Mu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 +%)bd 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _dwJ; j`2 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @c;:D`\p1C 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 B=|m._OL]n 8.17 1/4波长堆栈 162 oe{,-<yck 8.18 陷波滤波器 163 H+ 7Fw'u 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 h8:5[;e 8.20 褶皱 165 hd#MV!ti 8.21 消偏振分光器1 169 MmD1@fW32# 8.22 消偏振分光器2 171 Df=Xbf>jt9 8.23 消偏振立体分光器 172 o=Ia{@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 Wqas1yL_ 8.25 立体偏振分束器1 174 T;{"lp. 8.26 立方偏振分束器2 177 C$^WW}S 8.27 相位延迟器 178 $mut v=IO 8.28 红外截止器 179 tWITr 8.29 21层长波带通滤波器 180 1_5]3+r_U- 8.30 49层长波带通滤波器 181 9lc{{)m2) 8.31 55层短波带通滤波器 182 p~h[4hP 8.32 47 红外截止器 183 AzFS6<_ 8.33 宽带通滤波器 184 !.[H!-V. 8.34 诱导透射滤波器 186 y1kI^B 8.35 诱导透射滤波器2 188 ApqNV 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 lBNB8c0e"{ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 }cERCS\t 8.35 增益平坦滤波器 193 %KW NY(m 8.38 啁啾反射镜 1 196 }/M`G]wT# 8.39 啁啾反射镜2 198 BH2JH>'X 8.40 啁啾反射镜3 199 [Ee <SB{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 <Eh_ 8.42 增加铝反射率膜 201 5@`dKFB5 8.43 参考文献 202 )X'ln 9 多层膜 204 3(=QY) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 MbyV_A`r_ 9.2 内部透过率 204 x1`zD*{ 9.3 内部透射率数据 205 `_ )5K u} 9.4 实例 206 h[r)HX0hA 9.5 实例2 210 d% Nx/DS) 9.6 圆锥和带宽计算 212 xv0y?#`z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 4x?4[J~u[ 10 光学薄膜的颜色 216 @%rj1Gn 10.1 导言 216 -[xbGSj{ 10.2 色彩 216 TJz}
8-#t 10.3 主波长和纯度 220 /H :Bu 10.4 色相和纯度 221 /9SNXjfbt 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 GLa_[9 " 10.6 色差 226 l` ?4O 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 z?.XVk- 10.8 颜色渲染指数 234 -\V;Gw8mD 10.9 色差计算 235 7nk3^$| 10.10 参考文献 236 x(y=.4Yf+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 (?kCo 11.1 短脉冲 238 DUyUA'*4n| 11.2 群速度 239 #s|,oIm 11.3 群速度色散 241 ?EA&kZR] 11.4 啁啾(chirped) 245 (]sk3
A 11.5 光学薄膜—相变 245 z i3gE$7 11.6 群延迟和延迟色散 246 la89>pF 11.7 色度色散 246 15"[MX A 11.8 色散补偿 249 aIklAj)= 11.9 空间光线偏移 256 xZ>@wBQ 11.10 参考文献 258 e)A{
{wD/ 12 公差与误差 260 t[X,m]SX 12.1 蒙特卡罗模型 260 P B"nf|pm 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :0(:}V3 z\ 12.2.1 误差工具 267 %^(} fu 12.2.2 灵敏度工具 271 .5+5ca 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g/`z.? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 K"g`,G6S 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 G[\3)@I 12.3 参考文献 276 >(eR0.x 13 Runsheet 与Simulator 277 >on' y+ 13.1 原理介绍 277 V; 1i/{ 13.2 截止滤光片设计 277 trM)&aQto 14 光学常数提取 289 a\Dw*h?b~ 14.1 介绍 289 {#H'K*j{ 14.2 电介质薄膜 289 Tizjh&*^ 14.3 n 和k 的提取工具 295 <k7q9"\4 14.4 基底的参数提取 302 'T*h0xX 14.5 金属的参数提取 306 bXK$H=S Bz 14.6 不正确的模型 306 8|-064i> 14.7 参考文献 311 Y$N D 15 反演工程 313
`d!~)D 15.1 随机性和系统性 313 `(pe#Xxn 15.2 常见的系统性问题 314 *","u;& 15.3 单层膜 314 +V/m V7FK 15.4 多层膜 314 [:cZDVaA| 15.5 含义 319 <R8!fc{` 15.6 反演工程实例 319 l&6+ykQ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 f<P>IE 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Tg/rV5@ka 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 W0KSLxM 16.1 光学性质的热致偏移 329 s78V \Vw3 16.2 应力工具 335 z|sR
`]K 16.3 均匀性误差 339 zq4)Uab* 16.3.1 圆锥工具 339 fg~9{1B 16.3.2 波前问题 341 )*_n/^m 16.4 参考文献 343 t$5)6zG 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 T.iVY5^< 17.1 引言 345 I)}T4OOc/ 17.2 操作数 345 E/uKzzD9 18 如何在Function中编写脚本 351 8u bb~ B; 18.1 简介 351 }ygxmb^@Z 18.2 什么是脚本? 351 :y(HOUB 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 O
-N>
X 18.4 基础 352 Ol1P 18.4.1 Classes(类别) 352 vm`\0VGSW 18.4.2 对象 352 !-Md+I_ 18.4.3 信息(Messages) 352 >d#Ks0\& 18.4.4 属性 352 ,P$Crs[ 18.4.5 方法 353 $_b^p= 18.4.6 变量声明 353 ~Is-^k)y 18.5 创建对象 354 ulxy 4] h 18.5.1 创建对象函数 355 /_CSRi& 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 OQa;EBO 18.5.3 丢弃对象 356 e?eX9yA7F 18.5.4 总结 356 .GNl31f0 18.6 脚本中的表格 357 Gt5'-Hyo 18.6.1 方法1 357 ICXz(?a 18.6.2 方法2 357 lv0}d 18.7 2D Plots in Scripts 358 D-4\AzIb 18.8 3D Plots in Scripts 359 ro*$OLc/ 18.9 注释 360 p_Y U!j_VE 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 qW'5Zk 18.11 一个更高级的脚本 362 a0[Mx 4 18.12 <esc>键 364 [wR x)F" 18.13 包含文件 365 L$<(HQQJ8 18.14 脚本被优化调用 366 JBvP {5 18.15 脚本中的对话框 368 _!C'oG6s? 18.15.1 介绍 368 UA$Xa1 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ik Pm,ZN 18.15.3 输入框函数 370 NlV,]
$L1T 18.15.4 自定义对话框 371 pG9qD2Cf 18.15.5 对话框编辑器 371 R7-+@ 18.15.6 控制对话框 377 jbK<"T5 18.15.7 更高级的对话框 380 CXfPC[o 18.16 Types语句 384 ?q+^U>wy& 18.17 打开文件 385 5Bog\m S 18.18 Bags 387 hp)k[|u; 18.13 进一步研究 388 T*8rR" 19 vStack 389 )A H)*Mg 19.1 vStack基本原理 389 XZ!^kftyW 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 9q|36CAO_ 19.3 五棱镜 393 >zY~")|R( 19.4 光束距离 396 CPS1b 19.5 误差 399 &[iunJv:eq 19.6 二向分色棱镜 399 NamO5(1C 19.7 偏振泄漏 404 (&t8.7O 19.8 波前误差—相位 405 biw2f~V 19.9 其它计算参数 405 v$i[dZSN[ 20 报表生成器 406 5fVm392+ 20.1 入门 406 lH8e?zJ 20.2 指令(Instructions) 406 h`:f 20.3 页面布局指令 406 ^RO_B}n3 20.4 常见的参数图和三维图 407 wSP'pM{#2 20.5 表格中的常见参数 408 xh raf1v3\ 20.6 迭代指令 408 G0VbW-`O 20.7 报表模版 408 Zn9ecN 20.8 开始设计一个报表模版 409 ~*,e &I 21 一个新的project 413 ss>p 21.1 创建一个新Job 414 K{#1O=Gi 21.2 默认设计 415 H(k-jAO, 21.3 薄膜设计 416 ?g\SF}2 21.4 误差的灵敏度计算 420 H[KTM 'n 21.5 显色指数计算 422 L-\o zp 21.6 电场分布 424 *)4`"D 后记 426 :k*3?*'K 有兴趣可以扫码联系 n:d7 Tv1Z8
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