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$@"g^,n 内容简介 r
# cGop] Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ^qD$z=z- 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]F'e
aR 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 sI^Xb@'09$ VZmLS 4E 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 .+A+|yR 目录 JHTSUq Preface 1 )C]gld;8 内容简介 2 76h ,]xi
目录 i J,y[[CdH` 1 引言 1 >_"an~Ss 2 光学薄膜基础 2 xRLT=.ir 2.1 一般规则 2 6.nCV0xA 2.2 正交入射规则 3 j yUCH*@ 2.3 斜入射规则 6 <s<n 2.4 精确计算 7 iVq'r4S 2.5 相干性 8 !\.pq 2 2.6 参考文献 10 ")XHak.JX 3 Essential Macleod的快速预览 10 CD( :jM? 4 Essential Macleod的特点 32 65$+{s 4.1 容量和局限性 33 Doyx[zZ 4.2 程序在哪里? 33 ::{Q1F 4.3 数据文件 35 ieCEo|b 4.4 设计规则 35 B; h"lv 4.5 材料数据库和资料库 37
>rKIG~P_ 4.5.1材料损失 38 CxO ob1@ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Jgd'1'FOs 4.5.2 材料库 41 (b-MMr 4.5.3导出材料数据 43 %oa-WmWm 4.6 常用单位 43 Mc_YPR:C 4.7 插值和外推法 46 hVAn>_( 4.8 材料数据的平滑 50 X296tA>C` 4.9 更多光学常数模型 54 W^LY'ypT 4.10 文档的一般编辑规则 55 o5uph=Q{ 4.11 撤销和重做 56 EF}\brD1 4.12 设计文档 57 cZU=o\ 4.10.1 公式 58 lKp"xcAD 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 `1{ZqRFQ 4.10.3 沉积密度 59 /,&<6c-Q@W 4.10.4 平行和楔形介质 60 FX`>J6l:X 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 A:N|\Mv2b 4.10.4 性能 61 e9 5Lo+:f 4.10.5 保存设计和性能 64 (WO]Xq< 4.10.6 默认设计 64 j8{i#;s!" 4.11 图表 64 ?5|>@> 4.11.1 合并曲线图 67 suiS&$-E 4.11.2 自适应绘制 68 J76kkW`5 4.11.3 动态绘图 68 j2.|ln"! 4.11.4 3D绘图 69 hl (hJfp 4.12 导入和导出 73 BmMGx8P 4.12.1 剪贴板 73 MvHm)h 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 m6&~HfwN 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Eog0TQ+* 4.13 背景 77 yyRiP|hJ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 uHvp;]/0\ 4.15 生成Rugate 84 >j(_[z|v3 4.16 参考文献 91 ~>Fu5i $i 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 OXSmt
DvJ 5.1 Jobs 92 l%pu HZ)t 5.2 创建一个新Job(工作) 93 %D}kD6= 5.3 输入材料 94 ?o4C; 5.4 设计数据文件夹 95 T?soJ]A 5.5 默认设计 95 }c`"_L 6 细化和合成 97 `maKN \; 6.1 优化介绍 97 %x{kc3PnO 6.2 细化 (Refinement) 98 ith
3=`3 6.3 合成 (Synthesis) 100 K'Tm_"[u 6.4 目标和评价函数 101 mPN@{.(j 6.4.1 目标输入 102 RJ ||} 5 6.4.2 目标 103 ZQoU3AD; 6.4.3 特殊的评价函数 104 k,E{C{^M 6.5 层锁定和连接 104 y'~U%,ki6 6.6 细化技术 104 YY((V@|K 6.6.1 单纯形 105 ]&xk30 6.6.1.1 单纯形参数 106 ?{|q5n 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 LX7FaW 6.6.2.1 Optimac参数 108 zRl3KjET 6.6.3 模拟退火算法 109 ~'iHo]9O 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %C'?@,7C 6.6.4 共轭梯度 111 K{cD+=]{ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 W*4-.*U8a 6.6.5 拟牛顿法 112 V2?=4mb 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 YEs & 6.6.6 针合成 113 g\(G\ tnu> 6.6.6.1 针合成参数 114 gA5/,wDO 6.6.7 差分进化 114 KRLQ #,9 6.6.8非局部细化 115 oMD>Ywc- 6.6.8.1非局部细化参数 115 Lh"<XYY 6.7 我应该使用哪种技术? 116 |`Ntv} 6.7.1 细化 116 c74.< @w 6.7.2 合成 117 =J]]EoX/ 6.8 参考文献 117 z8~NZ;A 7 导纳图及其他工具 118 ./k/KSR 7.1 简介 118 k\YG^I 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 `PdQX.wN 7.2.1 四分之一波长规则 119 w d^': 7.2.2 导纳图 120 MS>Ge0P("~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 u\x}8pn 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ?)?Ng} 7.5 斜入射导纳图 141 V _/%b)* 7.6 对称周期 141 Un(aW=PQ0 7.7 参考文献 142 ooL!TSGD 8 典型的镀膜实例 143 p2[n$61 8.1 单层抗反射薄膜 145 r
CHl?J 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 BB$>h} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 d(x\^z 8.4 W-膜层 148 @* jz
o 8.5 V-膜层 149 i2U{GV<K-r 8.6 V-膜层高折射基底 150 Y3cMC) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Mzw<{*:r 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 nQtWvT 8.9 四层抗反射薄膜 153 (KD RkE|= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 E`0? 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 p* (JjH 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Nk
8 B_{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 B+VubUPMS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Mj?`j_X 8.15十五层宽带抗反射膜 159 g i-$ZFzB 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |`,2ri*5A 8.17 1/4波长堆栈 162 :WS@=sZN 8.18 陷波滤波器 163 V-2(?auZd 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Bz-c$me1 8.20 褶皱 165 gHEu/8E 8.21 消偏振分光器1 169 cJ
n= 8.22 消偏振分光器2 171 Y>T-af49 8.23 消偏振立体分光器 172 o.g V4% 8.24 消偏振截止滤光片 173 L>NL:68yN 8.25 立体偏振分束器1 174 ~&_z2|UXp 8.26 立方偏振分束器2 177 wn, KY$/ 8.27 相位延迟器 178 PfD.:amN7 8.28 红外截止器 179 D~iz+{Q4 8.29 21层长波带通滤波器 180 ]e^&aR5f" 8.30 49层长波带通滤波器 181 ]BZA:dd.G 8.31 55层短波带通滤波器 182 .x.]`b( 8.32 47 红外截止器 183 xY8$I6 8.33 宽带通滤波器 184 vY}g<* 8.34 诱导透射滤波器 186 w"|L:8 8.35 诱导透射滤波器2 188
6f>{"' 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 KVaiugQ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 nFe<w 8.35 增益平坦滤波器 193 t%FwXaO# 8.38 啁啾反射镜 1 196 w\u=)3qyVV 8.39 啁啾反射镜2 198 Xp% v.M 8.40 啁啾反射镜3 199 @6sqMw} 8.41 带保护层的铝膜层 200 P [ck84F/ 8.42 增加铝反射率膜 201 7wqK>Y1a 8.43 参考文献 202 9(7-{,c 9 多层膜 204 v`x.)S1 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _pG-qK 9.2 内部透过率 204 t+G#{n 9.3 内部透射率数据 205 mb3"U"ohs 9.4 实例 206 IGQFtO/x 9.5 实例2 210 .bg~>T+< 9.6 圆锥和带宽计算 212 F6|]4H.3Q 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 : /N0!&7 10 光学薄膜的颜色 216 QXFo1m 10.1 导言 216 $G+@_' 10.2 色彩 216 vF+7V*< 10.3 主波长和纯度 220 ]Sz:|%JP1 10.4 色相和纯度 221 gzT*- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 "|
g>'wM* 10.6 色差 226 B{#I:Rs9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7"x;~X 10.8 颜色渲染指数 234 T2W eE@o 10.9 色差计算 235 j0aXyLNX 10.10 参考文献 236 m,w A:o$' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {9pZ)tB 11.1 短脉冲 238 iC~^)-~H=w 11.2 群速度 239 5PJhEB 11.3 群速度色散 241 =v&hWjP 11.4 啁啾(chirped) 245 n'LrQU 11.5 光学薄膜—相变 245
#A/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 v$v-2y'% 11.7 色度色散 246 CwzZ8.o$i 11.8 色散补偿 249 $( kF# 11.9 空间光线偏移 256 ,^< R{{{-A 11.10 参考文献 258 P|E| $)m 12 公差与误差 260 O
_ gGf 12.1 蒙特卡罗模型 260 + GN(Ug'R 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 /-'}q=M 12.2.1 误差工具 267 5Ln,{vsv 12.2.2 灵敏度工具 271 ueWEc^_> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 "+nRGEs6 12.2.2.2 灵敏度分布 275 H$t_Xw== 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 xm~`7~nFR 12.3 参考文献 276 ksUcx4;a@F 13 Runsheet 与Simulator 277 k]|~>9eY] 13.1 原理介绍 277 s!zx}
5 13.2 截止滤光片设计 277 7xlkZF 14 光学常数提取 289 ;ef}}K 14.1 介绍 289 my1@41
H 14.2 电介质薄膜 289 rZ$O?K 14.3 n 和k 的提取工具 295 I$G['`XX/ 14.4 基底的参数提取 302 qYQl,w 14.5 金属的参数提取 306 f'RX6$}\1X 14.6 不正确的模型 306 ^[`%&uj!g 14.7 参考文献 311 h,N?Ab'S 15 反演工程 313 V1zmG y 15.1 随机性和系统性 313 {}przrU^c 15.2 常见的系统性问题 314 `$9x 1dx 15.3 单层膜 314 khxnlry 15.4 多层膜 314 &6!)jIWJ 15.5 含义 319 *N<]Xy@ 15.6 反演工程实例 319 g:@#@1rB6 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 *?vCC+c 15.6.2 反演工程提取折射率 327 O0v}43J[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 q.bSIV| 16.1 光学性质的热致偏移 329 9.-S(ZO 16.2 应力工具 335 0[(8 16.3 均匀性误差 339 !;A\.~-!G 16.3.1 圆锥工具 339 M7~2iU<# 16.3.2 波前问题 341 6d}lw6L 16.4 参考文献 343 @Nx9) 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 tDcT%D {: 17.1 引言 345 @S;'@VC 17.2 操作数 345 JH9J5%sp 18 如何在Function中编写脚本 351 Btn?N 18.1 简介 351 {JT&w6Jz 18.2 什么是脚本? 351 (w3YvG. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 W{+2/P 18.4 基础 352 Yj49t_$b 18.4.1 Classes(类别) 352 p6V0`5@t 18.4.2 对象 352 d7upz]K9g 18.4.3 信息(Messages) 352 "KpGlY?^ 18.4.4 属性 352 /([kh~a 18.4.5 方法 353 _B<X`L
= 18.4.6 变量声明 353 J
ZS:MFA 18.5 创建对象 354 \R_C&= 18.5.1 创建对象函数 355 x 9fip- 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 a;+9mDXx: 18.5.3 丢弃对象 356 ;A*]l'[- 18.5.4 总结 356 Jnov<+ 18.6 脚本中的表格 357 R-$!9mnr 18.6.1 方法1 357 Xx:"4l.w. 18.6.2 方法2 357 99QU3c<. 18.7 2D Plots in Scripts 358 U5de@Y 18.8 3D Plots in Scripts 359 WOap+ 18.9 注释 360 /U9"wvg 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (\x]YMLH 18.11 一个更高级的脚本 362 qX{+oy5 18.12 <esc>键 364 VI86KJu 18.13 包含文件 365 sO@Tf\d 18.14 脚本被优化调用 366 n:!_ 18.15 脚本中的对话框 368 "chDg(jMZ 18.15.1 介绍 368 (jE9XxQY 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ?e 4/p 18.15.3 输入框函数 370 ?UoBV$ 18.15.4 自定义对话框 371 b\2
ds, 18.15.5 对话框编辑器 371 .Q2V}D85 18.15.6 控制对话框 377 'H;*W |:-] 18.15.7 更高级的对话框 380 ?=Kduef 18.16 Types语句 384 =Xr.'(U 18.17 打开文件 385 NgPk&niM 18.18 Bags 387 ?Ir:g=RP* 18.13 进一步研究 388 InI$:kJ 19 vStack 389 \9T7A& 19.1 vStack基本原理 389 7%M_'P4 V 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 8":Q)9;% 19.3 五棱镜 393 mC#>33{ 19.4 光束距离 396 ;2QP7PrSY 19.5 误差 399 3JR+O<3D 19.6 二向分色棱镜 399 +NUG 19.7 偏振泄漏 404 @r1_U,0e 19.8 波前误差—相位 405 R:qW;n%AF 19.9 其它计算参数 405 f!X[c?Xy" 20 报表生成器 406 Z%UP6% 20.1 入门 406 >A"(KSNL 20.2 指令(Instructions) 406 G3T]`Atf 20.3 页面布局指令 406 Q~9^{sHZjP 20.4 常见的参数图和三维图 407 ]`WJOx4 20.5 表格中的常见参数 408 Q7CsJzk~) 20.6 迭代指令 408 ;O,jUiQ 20.7 报表模版 408 J{G?-+` 20.8 开始设计一个报表模版 409 K|=A: 21 一个新的project 413 @=u3ZVD 21.1 创建一个新Job 414 \ Cj7k^ 21.2 默认设计 415 Ow,b^| 21.3 薄膜设计 416 \9EjClfo 21.4 误差的灵敏度计算 420 >H,*H;6 21.5 显色指数计算 422 GQ
;;bcj& 21.6 电场分布 424 YS_;OFsd 后记 426 &K,i
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