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5 内容简介 N2&aU?`e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \>=YxB q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 4_.k Q"'DH 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 N~>?w#?J T%a]3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 c0G/irK 目录 a3c4#'c|D Preface 1 ^YIOS]d>8# 内容简介 2 Y(SI`Xo[ 目录 i x>8f#B\Mr 1 引言 1 Ok`U*j 2 光学薄膜基础 2 _Mt:^H}Sy 2.1 一般规则 2 8&C(0H]1 2.2 正交入射规则 3 pn $50c 2.3 斜入射规则 6 DpS6>$v8t 2.4 精确计算 7 aq5<Ks `r 2.5 相干性 8 #8z\i2I 2.6 参考文献 10 n&C9f9S 3 Essential Macleod的快速预览 10 *>'R
R< 4 Essential Macleod的特点 32 }"&(sYQ*` 4.1 容量和局限性 33 mW-@-5Wda 4.2 程序在哪里? 33 }\0"gM 4.3 数据文件 35 xY'g7<})$ 4.4 设计规则 35 %9D@W*Z 4.5 材料数据库和资料库 37 yX~[yH+Pn 4.5.1材料损失 38 H0(zE*c~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 0&nF Vsz 4.5.2 材料库 41 :9h8q"T 4.5.3导出材料数据 43 &"kx(B 4.6 常用单位 43 {f&ga 4.7 插值和外推法 46 ^r& {V"l] 4.8 材料数据的平滑 50 $Tur"_`I; 4.9 更多光学常数模型 54 j d81E 4.10 文档的一般编辑规则 55 z>0"T2W
y 4.11 撤销和重做 56 rka:.#! 4.12 设计文档 57 aBI]' D; 4.10.1 公式 58 ww,c)$ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 l46F3C| 4.10.3 沉积密度 59 lhI;K4# 4.10.4 平行和楔形介质 60 6+u'Tcb 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 K?tk&0 4.10.4 性能 61 $"FdS,*qKl 4.10.5 保存设计和性能 64 jFXU
xf 4.10.6 默认设计 64 UJH{vjIv 4.11 图表 64 Ji!-G4.n" 4.11.1 合并曲线图 67 j%}Jl 4.11.2 自适应绘制 68 LX fiSM{o 4.11.3 动态绘图 68 % *G)*n 4.11.4 3D绘图 69 heKI<[8l 4.12 导入和导出 73 G'py)C5; 4.12.1 剪贴板 73 Fq9[: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 (Lo2fY5 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
[dJ\|= 4.13 背景 77 >" .qFn g 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 XJzXxhk2 4.15 生成Rugate 84 DsX>xzM 4.16 参考文献 91 }m H>lN 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 YzZF^q^I 5.1 Jobs 92 oSl>%} 5.2 创建一个新Job(工作) 93 cMl%)j- 5.3 输入材料 94 jyGVb no` 5.4 设计数据文件夹 95 t4IJ%#22 5.5 默认设计 95 8[C6LG 6 细化和合成 97 `g1Oon_ 6.1 优化介绍 97 F&*M$@u5 6.2 细化 (Refinement) 98 Flxo%g}; 6.3 合成 (Synthesis) 100 ja;5:=8A5 6.4 目标和评价函数 101 iW?9oe 6.4.1 目标输入 102 @;6}xO2 6.4.2 目标 103 %)9]dOdOk 6.4.3 特殊的评价函数 104 MQ*#oVqv 6.5 层锁定和连接 104
PBL^xlg 6.6 细化技术 104 #& wgsGV8C 6.6.1 单纯形 105 OkZ! ZS
h 6.6.1.1 单纯形参数 106 5 DB>zou
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9>R|k$` 6.6.2.1 Optimac参数 108 .e"Qv*[^ 6.6.3 模拟退火算法 109 >t2b?(h/x 6.6.3.1 模拟退火参数 109 v)yimIHzo 6.6.4 共轭梯度 111 kMl< 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 wP/9z(US 6.6.5 拟牛顿法 112 W6O.E 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 h`]/3Ma*: 6.6.6 针合成 113 5S]P#8 6.6.6.1 针合成参数 114 HzV+g/8>A 6.6.7 差分进化 114 #0u69 6.6.8非局部细化 115 ['emP1g~ 6.6.8.1非局部细化参数 115 5{q/z^] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 d5y2Y/QO 6.7.1 细化 116 qm=F6*@} 6.7.2 合成 117 LH#LBjOZk 6.8 参考文献 117 (u&yb!` 7 导纳图及其他工具 118 4p8jV*:@{ 7.1 简介 118 #U52\3G 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &t/<yq}{ 7.2.1 四分之一波长规则 119 |u"R(7N* 7.2.2 导纳图 120 KN:dm!A 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 hZWK5KwT 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rp#*uV9; 7.5 斜入射导纳图 141 }AW)R&m 7.6 对称周期 141 &PuJV + y 7.7 参考文献 142 H}V*<mgw 8 典型的镀膜实例 143 %`T5a< 8.1 单层抗反射薄膜 145 +Nbk\% 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ~cBc&u:" 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 m=\eL~h 8.4 W-膜层 148 K}`p_)( 8.5 V-膜层 149 0a6@HwO 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~|{)h^]@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 q;../h]Ne 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 SE)j}go 8.9 四层抗反射薄膜 153 l;}7A,u 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 [y[v]'
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (l8r>V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 [RFK-E 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 G\N"rG = 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _@pf1d$
8.15十五层宽带抗反射膜 159 $;i$k2n: 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }t
D!xI; 8.17 1/4波长堆栈 162 Z*(!`,.bB 8.18 陷波滤波器 163 #D/ }u./ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 OO\biYh o 8.20 褶皱 165
e1^{ 8.21 消偏振分光器1 169 *DCNu{6 8.22 消偏振分光器2 171 O;BMwg_7 8.23 消偏振立体分光器 172 !BQ ELB$0 8.24 消偏振截止滤光片 173 0S:!Gv+ 8.25 立体偏振分束器1 174 W|rFl]~a 8.26 立方偏振分束器2 177 # 1dTM- 8.27 相位延迟器 178 %r 8.28 红外截止器 179
_Kl{50}] 8.29 21层长波带通滤波器 180 EXW
6yXLV 8.30 49层长波带通滤波器 181 FHNuMdFn 8.31 55层短波带通滤波器 182 Y0X94k.u 8.32 47 红外截止器 183 {iIg 4PzrU 8.33 宽带通滤波器 184 EM54 8.34 诱导透射滤波器 186 }:9|*m<$t 8.35 诱导透射滤波器2 188 JNM@Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 "o# )vA` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 v(@+6#& 8.35 增益平坦滤波器 193 N 1f~K.e\ 8.38 啁啾反射镜 1 196 W3{<e" 8.39 啁啾反射镜2 198 K~y9zF{ 8.40 啁啾反射镜3 199 C*y6~AYN# 8.41 带保护层的铝膜层 200 QV'3O| 8.42 增加铝反射率膜 201 4`! 8.43 参考文献 202 ^,Y~M_= 9 多层膜 204 Q$.V:# 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Q0q)n=i}] 9.2 内部透过率 204 !/Bw,y ri< 9.3 内部透射率数据 205 xL39>PB 9.4 实例 206 \p@nH%@v 9.5 实例2 210 V:G }=~+= 9.6 圆锥和带宽计算 212 x)#<.DX 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 tU)r[2H2 10 光学薄膜的颜色 216 *@G(3 n 10.1 导言 216 }lC64;yo 10.2 色彩 216 9B#)h)h(= 10.3 主波长和纯度 220 dW{o+9 nw 10.4 色相和纯度 221 HzG~I8o(d 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 cEdz;kbUM 10.6 色差 226 :L [YmZ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ??\*D9rCn 10.8 颜色渲染指数 234 8!&ds~? 10.9 色差计算 235 lN)Y 10.10 参考文献 236 rtYb"-& 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 lNA'M& 11.1 短脉冲 238 ]cLEuE^& 11.2 群速度 239 &w;^m/zP3 11.3 群速度色散 241 }/7.+yD 11.4 啁啾(chirped) 245 N.5KPAvg% 11.5 光学薄膜—相变 245 ,Y g5X 11.6 群延迟和延迟色散 246 _
r^90 11.7 色度色散 246 vh. Wm?qQ 11.8 色散补偿 249 mV**9-" 11.9 空间光线偏移 256 XUQW;H 11.10 参考文献 258 G%j/eTTf 12 公差与误差 260 eHR&N.2 12.1 蒙特卡罗模型 260 BYr_Lz|T
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *@ <8&M9x 12.2.1 误差工具 267 #!8^!}nFO 12.2.2 灵敏度工具 271 z,}c?BP 12.2.2.1 独立灵敏度 271 x ^M5D+o 12.2.2.2 灵敏度分布 275 MAwC\7n+X 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 RWh9&O:6' 12.3 参考文献 276 r3[t<xlFf 13 Runsheet 与Simulator 277 =qV4Sje|q 13.1 原理介绍 277 Cz=A{<^g 13.2 截止滤光片设计 277 M9(ez7Z 14 光学常数提取 289 E'&OOEMN- 14.1 介绍 289 VVI8)h8 14.2 电介质薄膜 289 h\D_ 14.3 n 和k 的提取工具 295 r&%gjqt 14.4 基底的参数提取 302 NK 14.5 金属的参数提取 306 zqekkR] 14.6 不正确的模型 306 #RR:3ZPZC 14.7 参考文献 311 =2.tu*!C 15 反演工程 313 `x%U 15.1 随机性和系统性 313 1qm/{>a- 15.2 常见的系统性问题 314 )){PBT}t] 15.3 单层膜 314 R
"/xne 15.4 多层膜 314 JAGi""3HG 15.5 含义 319 xecieC 15.6 反演工程实例 319 #Dj"W8'zh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _KSfP7VU 15.6.2 反演工程提取折射率 327 #/n|@z' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 8X}^~ e 16.1 光学性质的热致偏移 329 >zPO>.?h7T 16.2 应力工具 335 MO));M) 16.3 均匀性误差 339 Z-^uM`],G 16.3.1 圆锥工具 339 (xk.NZnF 16.3.2 波前问题 341 F:[7^GQZ{ 16.4 参考文献 343 J< |