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RoL5uha,l 内容简介 -uho; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8{mQmG4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 a6UW,n"n 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 w"-' c&A;0**K, 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 <NIg`B@ 's 目录 [1I>Bc&o* Preface 1 ] D(laqS;" 内容简介 2 # g.J,L 目录 i XIv{jzgF 1 引言 1 @;T>*_Yhn 2 光学薄膜基础 2 Je|D]w 2.1 一般规则 2 @<GVY))R8 2.2 正交入射规则 3 ~2R3MF.C 2.3 斜入射规则 6 Hk65c0 2.4 精确计算 7 1QfOD-lv 2.5 相干性 8 ?J;* 2.6 参考文献 10 (<u3<40[YN 3 Essential Macleod的快速预览 10 Ihe/P {t]J 4 Essential Macleod的特点 32 z8#c!h<@; 4.1 容量和局限性 33 3
cd5g 4.2 程序在哪里? 33 Jk$XL<t 4.3 数据文件 35 .Yl*kG6r 4.4 设计规则 35 l\vvM>#S 4.5 材料数据库和资料库 37 oXCZpS 4.5.1材料损失 38 k'_p*H 4.5.1材料数据库和导入材料 39 z0@)@4z! 4.5.2 材料库 41 fO!S^<9,- 4.5.3导出材料数据 43 v>vU]6l 4.6 常用单位 43 ELx?ph -9 4.7 插值和外推法 46 wH:'5+u:6 4.8 材料数据的平滑 50 qO5.NIs 4.9 更多光学常数模型 54 QlbhQkn 4.10 文档的一般编辑规则 55 Y,v8eOo45S 4.11 撤销和重做 56 =~Ac=j!q 4.12 设计文档 57 GJ >vL 4.10.1 公式 58 tDuQ+|~M 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .Yxx
4.10.3 沉积密度 59 -0KQR{LI 4.10.4 平行和楔形介质 60 HJY_l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 69Y>iPRU 4.10.4 性能 61 Y(>]7 4.10.5 保存设计和性能 64 Vt_NvPB` 4.10.6 默认设计 64 6B4s6 4.11 图表 64 !ul)e;a 4.11.1 合并曲线图 67 xg'FC/1LD 4.11.2 自适应绘制 68 OL{U^uOhY 4.11.3 动态绘图 68 0:(`t~ 4.11.4 3D绘图 69 D`r^2(WW 4.12 导入和导出 73 $qN+BKd]3 4.12.1 剪贴板 73 nwd
02tu 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 I,{9vew 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 *+p9u 1B5 4.13 背景 77 .Gq)@{o> 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 :#!m(s` 4.15 生成Rugate 84 ~lx5RTkp 4.16 参考文献 91 5a9PM( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 4m%RD&ZN 5.1 Jobs 92 aX= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1=DUFl. 5.3 输入材料 94 &`7tX.iMlh 5.4 设计数据文件夹 95 ~o:lh],~ 5.5 默认设计 95 0 T!_;IQ 6 细化和合成 97 Sr_]R<? 6.1 优化介绍 97 'C6K\E 6.2 细化 (Refinement) 98 V Iof4?i 6.3 合成 (Synthesis) 100 l?_Iu_Qp 6.4 目标和评价函数 101 B\2<r5|QG 6.4.1 目标输入 102 mw<LNnT{8 6.4.2 目标 103 X*F#=.lh 6.4.3 特殊的评价函数 104 )W&H{2No 6.5 层锁定和连接 104 dMsX}=EI< 6.6 细化技术 104 4ze-N8<[ 6.6.1 单纯形 105 .M_[tl 6.6.1.1 单纯形参数 106 RdlcJxM 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9:^SnHAa 6.6.2.1 Optimac参数 108 i(q%EMf 6.6.3 模拟退火算法 109 #!\g5 ')mC 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &Y"u*)bm 6.6.4 共轭梯度 111 }Vw"7 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 oDp!^G2A" 6.6.5 拟牛顿法 112
=@b/Gl 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 DSyfF&uC 6.6.6 针合成 113 P@'<OI 6.6.6.1 针合成参数 114 ,R=Mr}@u 6.6.7 差分进化 114 %&bO+$H3 6.6.8非局部细化 115 wy&s~lpV,7 6.6.8.1非局部细化参数 115 R9gK> }>Y 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *]%{ttR~ 6.7.1 细化 116 R;6(2bTN6 6.7.2 合成 117 vukI`(# 6.8 参考文献 117 H kDT14 `& 7 导纳图及其他工具 118 ZbJzf]y:6 7.1 简介 118 4os7tx 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 BnH<-n_ 7.2.1 四分之一波长规则 119 bH+p5Fd; 7.2.2 导纳图 120 1R)4[oYN\< 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 EzK,SN# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 f.0~HnNg1 7.5 斜入射导纳图 141 I.I:2Ew+ 7.6 对称周期 141 ~;W]0d4,\ 7.7 参考文献 142 n{j14b' 8 典型的镀膜实例 143 '7Dg+a^x7 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^G{3x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 c[ @-&o` 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -~eNC^t;W 8.4 W-膜层 148 fB[I1Z 8.5 V-膜层 149 _wp6rb:8! 8.6 V-膜层高折射基底 150 Px&*&^Gf[b 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 y4s]*?Wz 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 k}y1IW+3 8.9 四层抗反射薄膜 153 yhQv $D,^f 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <R>qOX8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %..{ c#V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 /02|b}{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 zC6,m6Dv 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 s =Pwkte 8.15十五层宽带抗反射膜 159
q%,q"WU 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 hZ!N8nWwNR 8.17 1/4波长堆栈 162 yWsV !Ub 8.18 陷波滤波器 163 k'Fc:T8:~5 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 hZ-No 8.20 褶皱 165 |XOD~Plo^ 8.21 消偏振分光器1 169 :
'M$:ZJ 8.22 消偏振分光器2 171 D1t@Y.vl 8.23 消偏振立体分光器 172 E[HXbj" 8.24 消偏振截止滤光片 173 ,tv
P"@d 8.25 立体偏振分束器1 174 lN*O</L," 8.26 立方偏振分束器2 177 J3cbDE%^m 8.27 相位延迟器 178 s QfP8}U 8.28 红外截止器 179 j`Fsr?]/ 8.29 21层长波带通滤波器 180 8r(S=dA 8.30 49层长波带通滤波器 181 %,$/wh)<V 8.31 55层短波带通滤波器 182 vtG_A{l 8.32 47 红外截止器 183 F`-|@k 8.33 宽带通滤波器 184 vttmSdY 8.34 诱导透射滤波器 186 l'HrU 1_7Y 8.35 诱导透射滤波器2 188 wQJY,|. 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #>C.61Fx 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 2 /O/h
8.35 增益平坦滤波器 193 H2`aw3 8.38 啁啾反射镜 1 196 >t')ZSjRs 8.39 啁啾反射镜2 198 k!Nl#.j 8.40 啁啾反射镜3 199 Fp..Sjh
6 8.41 带保护层的铝膜层 200 @V:4tG.<sw 8.42 增加铝反射率膜 201 VnW]-P*: 8.43 参考文献 202 .^8 x>~ 9 多层膜 204 =z^v)=uhp 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 74hGkf^S 9.2 内部透过率 204 zz3Rld!b[ 9.3 内部透射率数据 205 TWkuR]5 9.4 实例 206 znv2: 9.5 实例2 210 hK*:pf 9.6 圆锥和带宽计算 212 {-D2K:m 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 WgPpW!` 10 光学薄膜的颜色 216 )3PQ|r' 10.1 导言 216 %4? 10.2 色彩 216 6O8'T`F[ 10.3 主波长和纯度 220 F-g(Hk|v 10.4 色相和纯度 221 [3h~y7 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 pB;)Hii\ 10.6 色差 226 0@z=0}0Z 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9MA/nybI 10.8 颜色渲染指数 234 #R v&b@K 10.9 色差计算 235 *#{[9d 10.10 参考文献 236 91|=D
\8aE 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #!0le:_ 11.1 短脉冲 238 2
>G"A 11.2 群速度 239 |uVhfD=NG 11.3 群速度色散 241 n.P$7%G`2 11.4 啁啾(chirped) 245 I_N(e|s\U 11.5 光学薄膜—相变 245 >:%YAR` 11.6 群延迟和延迟色散 246 {` Bgxejf 11.7 色度色散 246 Es<id}` 11.8 色散补偿 249 hyv*+FV; 11.9 空间光线偏移 256 9^l_\:4 11.10 参考文献 258 pv8"E?9,k 12 公差与误差 260 Ag
QR"Nu6 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~]8bTw@ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 A7SBm`XJ)p 12.2.1 误差工具 267 L9[? qFp 12.2.2 灵敏度工具 271 <kIg>+ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 xo/[,rR 12.2.2.2 灵敏度分布 275 SOQm>\U'i 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 C*Avu 12.3 参考文献 276 #]bWE$sU< 13 Runsheet 与Simulator 277 d51l7't 13.1 原理介绍 277 qYZ\<h^ 13.2 截止滤光片设计 277 3{B`[$ 14 光学常数提取 289 cU7 c}?J< 14.1 介绍 289 z17 14.2 电介质薄膜 289 fOtin[|}6@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 @*jd.a` 14.4 基底的参数提取 302 6?OH"!b2-} 14.5 金属的参数提取 306 A;Rr#q< 14.6 不正确的模型 306 2}:scag 14.7 参考文献 311
L>Bf}^ 15 反演工程 313 XmN3[j 15.1 随机性和系统性 313 )TV4OT# 15.2 常见的系统性问题 314 )? WiO}" 15.3 单层膜 314 0kP,Zj< 15.4 多层膜 314 `vWFTv 15.5 含义 319 vQCRs!A 15.6 反演工程实例 319 *l:5FTp 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 kK+<n8R2 15.6.2 反演工程提取折射率 327 l9
RjxO.~U 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 xgP/BK2" 16.1 光学性质的热致偏移 329 3#vhQ*xU 16.2 应力工具 335 RkP g&R;i 16.3 均匀性误差 339 <*u[< 16.3.1 圆锥工具 339 vB(tpki| 16.3.2 波前问题 341 H ^P uC ( 16.4 参考文献 343 p\5DW' 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 _KVge)j 17.1 引言 345 )u~LzE]{_ 17.2 操作数 345 9Cbf[\J!bq 18 如何在Function中编写脚本 351 KrN#>do&< 18.1 简介 351 ^Z]1Z 18.2 什么是脚本? 351 l?E7'OEF: 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 '#d`K.;_b. 18.4 基础 352 ka3Jqy4[ 18.4.1 Classes(类别) 352 D/pc)3Ofe 18.4.2 对象 352 :{NvBxc[ 18.4.3 信息(Messages) 352 wlr/zquAE9 18.4.4 属性 352 $8#zPJR& 18.4.5 方法 353 7@"J&><w! 18.4.6 变量声明 353 CbTYt6DC 18.5 创建对象 354 @Q~Oc_z 18.5.1 创建对象函数 355 ;KqH]h) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8*yhx 18.5.3 丢弃对象 356 c0M=T 18.5.4 总结 356 E?san;Ku 18.6 脚本中的表格 357 XUeBK/aQ{ 18.6.1 方法1 357 6c-y<J+&s 18.6.2 方法2 357 3 "fBp 18.7 2D Plots in Scripts 358 "F%w{bf 18.8 3D Plots in Scripts 359 y)N57#e 18.9 注释 360 A+i|zo5p=k 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Ru8k2d$B 18.11 一个更高级的脚本 362 hhQLld4 18.12 <esc>键 364 1+6)0 OH{ 18.13 包含文件 365 "i/ l' 18.14 脚本被优化调用 366 qTFktJZw 18.15 脚本中的对话框 368 ]H8,} 18.15.1 介绍 368 )Cl!, m)~ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 U6V+jD}L] 18.15.3 输入框函数 370 A}K RXkB 18.15.4 自定义对话框 371 `?)ivy>\: 18.15.5 对话框编辑器 371 &`hx 18.15.6 控制对话框 377 "@IrBi6 18.15.7 更高级的对话框 380 z^s/7Va[ 18.16 Types语句 384
QV/o; 18.17 打开文件 385 }nNZp 18.18 Bags 387 RL0,QC)e#@ 18.13 进一步研究 388 _(=[d 19 vStack 389 b
z3& 19.1 vStack基本原理 389 {,z$*nf 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 s"5f5Cn/Wh 19.3 五棱镜 393 1I< <`7' 19.4 光束距离 396 =8BMCedH| 19.5 误差 399 ;ew j 19.6 二向分色棱镜 399 Cz@[l=-T7 19.7 偏振泄漏 404 04{*iS95J 19.8 波前误差—相位 405 Q
_Yl:c 19.9 其它计算参数 405 y;W|) 20 报表生成器 406 ?CSc5b`eo 20.1 入门 406 #4uuT?! 20.2 指令(Instructions) 406 \ci'Cbn\o 20.3 页面布局指令 406 D{1k{/cF 20.4 常见的参数图和三维图 407 J+oK:tzt8 20.5 表格中的常见参数 408 Qu4Bd|`(k 20.6 迭代指令 408 P~Ss\PT 20.7 报表模版 408 $RA8U:Q!1e 20.8 开始设计一个报表模版 409 !ER,o_T< 21 一个新的project 413 6
6S
I 21.1 创建一个新Job 414 7P!<c/ E 21.2 默认设计 415 uA#uq^3 21.3 薄膜设计 416 *xY}?vSs 21.4 误差的灵敏度计算 420 s~OGlPK 21.5 显色指数计算 422 Lo"w,p`n@ 21.6 电场分布 424 aH6{_eY 后记 426 C>\0
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