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内容简介 l\N2C4NG Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 rZB='(? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l9j=;h 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 fXnewPr=# J_yXL7d 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Z 369< 目录 Au)~"N~p? Preface 1 vAop#V 内容简介 2 PvW4%A@0 目录 i 3]}RjOTU 1 引言 1 i-wWbZ- 2 光学薄膜基础 2 NB^Al/V@ 2.1 一般规则 2 >tMI%r 2.2 正交入射规则 3 wXnVQ-6H 2.3 斜入射规则 6 dS Tyx#o 2.4 精确计算 7 6~{'\Z 2.5 相干性 8 6q`)%"4k 2.6 参考文献 10 ui`EODhA( 3 Essential Macleod的快速预览 10
}#&[[}@th 4 Essential Macleod的特点 32 rqBoUS4 4.1 容量和局限性 33 EAWBgOO8iC 4.2 程序在哪里? 33 sEfT#$ a^8 4.3 数据文件 35 !or_CJ8% 4.4 设计规则 35 %c]N- 4.5 材料数据库和资料库 37 ~W4SFp 4.5.1材料损失 38 6v%ePFul 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Us#/#-hJ 4.5.2 材料库 41 pNQ7uy 4.5.3导出材料数据 43 mv,a>Cvs[ 4.6 常用单位 43 up8d3 4.7 插值和外推法 46 xbcmvJrG 4.8 材料数据的平滑 50 Tu}EAr 4.9 更多光学常数模型 54 a\,V>}e 4.10 文档的一般编辑规则 55 jVoD9H
F/ 4.11 撤销和重做 56 "dOQ)<; 4.12 设计文档 57 y|0/;SjV 4.10.1 公式 58 ^ )!eiM 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 #E\6:UnT 4.10.3 沉积密度 59 ]b1>bv% 4.10.4 平行和楔形介质 60 SS_6VE*sI 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~g#/q~UE 4.10.4 性能 61 DYIp2-K 4.10.5 保存设计和性能 64 {w"Cr0F, 4.10.6 默认设计 64 HFyQ$pbBU 4.11 图表 64 *$;Zk!sEF 4.11.1 合并曲线图 67 Vom,^`} 4.11.2 自适应绘制 68 !:esdJH 4.11.3 动态绘图 68 z_KCG2=5 4.11.4 3D绘图 69 GA[bo)" 4.12 导入和导出 73 Ijz*wq\s; 4.12.1 剪贴板 73 >XiT[Ru 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Z1$U[Tsd 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 o.zP1n|G~r 4.13 背景 77 Bzt:9hr6BO 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Hdd3n6* 4.15 生成Rugate 84 / <+`4n 4.16 参考文献 91 ?Oy0p8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 DaGny0|BB 5.1 Jobs 92 )~nieQEZQ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 TOa6sB!H 5.3 输入材料 94 KC(z TY 5.4 设计数据文件夹 95 rL+.3ZO):P 5.5 默认设计 95 @y * TVy 6 细化和合成 97 L5|g\Y` 6.1 优化介绍 97 fshG ~L7S9 6.2 细化 (Refinement) 98 Y8lZ]IB
6.3 合成 (Synthesis) 100 9Nv?j=*$ 6.4 目标和评价函数 101 =h
~n5wQG 6.4.1 目标输入 102 $XkO\6kh 6.4.2 目标 103 Gp)J[8j 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?0JNaf 6.5 层锁定和连接 104 E&@#*~ 6.6 细化技术 104 }ksp(.}G 6.6.1 单纯形 105 61gyx6v 6.6.1.1 单纯形参数 106 *|CvK&7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 }'>mT,ytgk 6.6.2.1 Optimac参数 108 R@_3?Z!W= 6.6.3 模拟退火算法 109 M ]O4 6.6.3.1 模拟退火参数 109 LH`2Y,E 6.6.4 共轭梯度 111 ^rjUye%EK 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 BxQ,T@ 6.6.5 拟牛顿法 112 UH\{:@GjNO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 WT1y7+_g(d 6.6.6 针合成 113 yxf#@Je" 6.6.6.1 针合成参数 114 EymSrZw 6.6.7 差分进化 114 {7%HK2=' 6.6.8非局部细化 115 N{@~(>ee^ 6.6.8.1非局部细化参数 115 @B(E&
6.7 我应该使用哪种技术? 116 Q%J,:J 6.7.1 细化 116 {&B0kjf 6.7.2 合成 117 El
:%\hGy 6.8 参考文献 117 R2 J A(Hn 7 导纳图及其他工具 118 y;<}` 7.1 简介 118 ov Xk~%_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [EZ=t k 7.2.1 四分之一波长规则 119 tw\1&*: 7.2.2 导纳图 120 0,.|-OZ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pm:- E(3# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :^>&t^E 7.5 斜入射导纳图 141 v?Cakwu 7.6 对称周期 141 %Lh+W<; 7.7 参考文献 142 :7dc;WdM 8 典型的镀膜实例 143 ]gaeN2 8.1 单层抗反射薄膜 145 w8J8III\~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 A 2A_F|f 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 'Yc^9;C( 8.4 W-膜层 148 zM<L_l& 8.5 V-膜层 149
! R3P@,j 8.6 V-膜层高折射基底 150 n'JS- 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @'?gan#( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 BB(v,W 8.9 四层抗反射薄膜 153 /_Ku:?{ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 dZb;`DjTH 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 UTN[!0[
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 b7T;6\[m 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 gOah5*Lj 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 9e
vQQN6D| 8.15十五层宽带抗反射膜 159 aD_7^8> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]fU&?z# 8.17 1/4波长堆栈 162 +/]*ChrS 8.18 陷波滤波器 163 3#>%_@< 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 DxpJP,wY3 8.20 褶皱 165 PDCb(5 8.21 消偏振分光器1 169 SB .=x 8.22 消偏振分光器2 171 x7`+T1IJ 8.23 消偏振立体分光器 172 uZ>q$
F 8.24 消偏振截止滤光片 173 &}pF6eIar 8.25 立体偏振分束器1 174 Km,o+9?1gF 8.26 立方偏振分束器2 177 u7Ix7`V 8.27 相位延迟器 178 "Ehh9 m1& 8.28 红外截止器 179 T0)bnjm 8.29 21层长波带通滤波器 180 7y)Ar 8!D 8.30 49层长波带通滤波器 181 pLV
%g#h 8.31 55层短波带通滤波器 182 L%QRWhB 8.32 47 红外截止器 183 I|<]>D -8 8.33 宽带通滤波器 184 Y5;afU=' 8.34 诱导透射滤波器 186 tLq]#9kL 8.35 诱导透射滤波器2 188 Q7<VuXy 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 u4m8^fj+T 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 >kmgYWG 8.35 增益平坦滤波器 193 o8hE.pf& 8.38 啁啾反射镜 1 196 |JHNFs 8.39 啁啾反射镜2 198 T:H~Y+qnt 8.40 啁啾反射镜3 199 EN":}!E: 8.41 带保护层的铝膜层 200 2 >j0,2 8.42 增加铝反射率膜 201 a l6y=;\jZ 8.43 参考文献 202 [m6+I9 9 多层膜 204 <mVFC 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 S?C.: 9.2 内部透过率 204 >w,jaQ 9.3 内部透射率数据 205
_<Ij)#Rq7 9.4 实例 206 H{S+^'5Y. 9.5 实例2 210 %N`_g' r! 9.6 圆锥和带宽计算 212 8e,F{>N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 mU?~s7 10 光学薄膜的颜色 216 S_OtY]gF 10.1 导言 216 j6XHH&ZEb 10.2 色彩 216 ?_A[E]/H 10.3 主波长和纯度 220 /93z3o7D> 10.4 色相和纯度 221 -38"S;M8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 tY!l}:E[ 10.6 色差 226 'd&d"E[ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 vTK8t:JQ~ 10.8 颜色渲染指数 234 /~f[># 10.9 色差计算 235 Z~8%bfpe 10.10 参考文献 236 4\ *:Lc,- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Ldv,(ZV,< 11.1 短脉冲 238 =s]2?m 11.2 群速度 239 ^H1m8= 11.3 群速度色散 241 Nq8 3 6HL 11.4 啁啾(chirped) 245 XBkaum4j 11.5 光学薄膜—相变 245 KF1iYo>p 11.6 群延迟和延迟色散 246 kD%MFT4 11.7 色度色散 246 eB1NM<V 11.8 色散补偿 249 !k*B-@F 11.9 空间光线偏移 256 U1E@pDH 11.10 参考文献 258 5dN>Xjpu 12 公差与误差 260 \/;c^!(< 12.1 蒙特卡罗模型 260 =N{?ll6x7g 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 YGLq~A 12.2.1 误差工具 267 z5(5\j] 12.2.2 灵敏度工具 271 Ka-o$o[^u` 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]BjYUTNm 12.2.2.2 灵敏度分布 275 b$fmU"%&| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 YlGUd~$`"+ 12.3 参考文献 276 L8f+uI 13 Runsheet 与Simulator 277 V:J|shRo 13.1 原理介绍 277 V6HZvuXV! 13.2 截止滤光片设计 277 !&g_hmnIF 14 光学常数提取 289 7 vFmB 14.1 介绍 289 'PY; 14.2 电介质薄膜 289 t=@d`s:R2 14.3 n 和k 的提取工具 295 :/szA?:W 14.4 基底的参数提取 302 rOt{bh6r 14.5 金属的参数提取 306 e@0|fB%2 14.6 不正确的模型 306 h@=@
fa 14.7 参考文献 311 ?hc=w 2Ci 15 反演工程 313 eLORG(;h4 15.1 随机性和系统性 313 p}1gac_c 15.2 常见的系统性问题 314 R3lZ|rxv: 15.3 单层膜 314 DzE^FY 15.4 多层膜 314 gWa0x- 15.5 含义 319 hLgX0QV 15.6 反演工程实例 319 'l~7u({u 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :.XlAQR~b 15.6.2 反演工程提取折射率 327 (_@5V_U 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 (:`4*xK
16.1 光学性质的热致偏移 329
*~U.36 16.2 应力工具 335 W$SV+q(rT 16.3 均匀性误差 339 H%U 16.3.1 圆锥工具 339 #I0FWZ>W 16.3.2 波前问题 341 9=]HOUn 16.4 参考文献 343 [#Gu?L_W 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 %po;ih$jr* 17.1 引言 345 `Kf@<= 17.2 操作数 345 6:B,ir
_ 18 如何在Function中编写脚本 351 hDW_a y4 18.1 简介 351 \9#f:8Q 18.2 什么是脚本? 351 =CD6x=
l6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 /]Y#*r8jRi 18.4 基础 352 3I( n]; 18.4.1 Classes(类别) 352 ^$O(oE(D 18.4.2 对象 352 ),B/NZ/- 18.4.3 信息(Messages) 352 *f;$5B#^ 18.4.4 属性 352 ">t^jt{ 18.4.5 方法 353 w/(T 18.4.6 变量声明 353 l{C]0^6>i 18.5 创建对象 354 8gE p5 18.5.1 创建对象函数 355 R0*P,~L;| 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 exiu;\+j 18.5.3 丢弃对象 356 ">1wPq& 18.5.4 总结 356 iZdl0;16[ 18.6 脚本中的表格 357 "'Fvt-<^S7 18.6.1 方法1 357 1<#D3CXK 18.6.2 方法2 357 W?4:sLC#3 18.7 2D Plots in Scripts 358 h'h8Mm 18.8 3D Plots in Scripts 359 `V V>AA5 18.9 注释 360 O^-QqCZE 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ?r&~(<^z 18.11 一个更高级的脚本 362 (VN'1a ( 18.12 <esc>键 364 t/O^7)% 18.13 包含文件 365 WK*tXc_[b 18.14 脚本被优化调用 366 !BkE-9v?w 18.15 脚本中的对话框 368 vW*Mf}= 18.15.1 介绍 368 R-Lpgi<a" 18.15.2 消息框-MsgBox 368
=
E_i 18.15.3 输入框函数 370 )hO%W| 18.15.4 自定义对话框 371 a-,*iK{_u 18.15.5 对话框编辑器 371 .@nfqv7{ 18.15.6 控制对话框 377 ,.*Df)+ 18.15.7 更高级的对话框 380 e> 9X 18.16 Types语句 384 ,{q#U3 18.17 打开文件 385 t-C|x)J+ 18.18 Bags 387 |-\anby< 18.13 进一步研究 388 U
^O4HJ 19 vStack 389 C/N;4 19.1 vStack基本原理 389 5TuwXz1v 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 MYara;k 19.3 五棱镜 393 y,&[OrCm^\ 19.4 光束距离 396 lc5(^~ 19.5 误差 399 w]T_%mdk 19.6 二向分色棱镜 399 jA:'P~`Hj 19.7 偏振泄漏 404 m)<+?Bv y 19.8 波前误差—相位 405 _7:Bxx4B 19.9 其它计算参数 405 %4x0^<k~ 20 报表生成器 406 ~x'8T!M{ 20.1 入门 406 ~YW;' 20.2 指令(Instructions) 406 h+H+>,N8` 20.3 页面布局指令 406 8(K:2 20.4 常见的参数图和三维图 407 `g1?Q4h 20.5 表格中的常见参数 408 x{w|Hy 20.6 迭代指令 408 *(r9c(x a 20.7 报表模版 408
g fAWN 20.8 开始设计一个报表模版 409 :/][ n9J^ 21 一个新的project 413 >ZPu$=[W 21.1 创建一个新Job 414 vYXh WqL~ 21.2 默认设计 415 /O.q4p 21.3 薄膜设计 416 Zi}h\R a 21.4 误差的灵敏度计算 420 QwFA0 21.5 显色指数计算 422 =eW4?9Uq 21.6 电场分布 424 h2mHbe43 后记 426 /K!f3o+
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