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;q:zT\A 内容简介 bE#,=OI$ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 4c$ zKqz 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 %g$V\zmU 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 hp*/#D ceM6{N<_U 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 UAFwi%@!-q 目录 =Ja] T~0A Preface 1 CBOi`bEf 内容简介 2 Z
X(z;|l45 目录 i qnJt5 1 引言 1 EQ`(yj 2 光学薄膜基础 2 V=qwwYz~ 2.1 一般规则 2 $Ifmc`r1 2.2 正交入射规则 3 !?p%xj? 2.3 斜入射规则 6 v'qG26 2.4 精确计算 7 i2YuOV! 2.5 相干性 8 'EF9Zt8 2.6 参考文献 10 ') gi% 3 Essential Macleod的快速预览 10 d`nVc50 4 Essential Macleod的特点 32 RwPN gRF 4.1 容量和局限性 33 P 8>d6;o($ 4.2 程序在哪里? 33 9:,\gw>F 4.3 数据文件 35 e8]\U/ 4.4 设计规则 35 ng:9 l3x 4.5 材料数据库和资料库 37
L %K\C 4.5.1材料损失 38 S\5bmvqP" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 04'~ta(t 4.5.2 材料库 41 (TwnkXrR, 4.5.3导出材料数据 43 `m?c;,\ 4.6 常用单位 43 jbu8~\" 4.7 插值和外推法 46 x&9hI 4.8 材料数据的平滑 50 j!4et; 4.9 更多光学常数模型 54 wX[8A/JPD 4.10 文档的一般编辑规则 55 ZF|+W?0&% 4.11 撤销和重做 56 ?~;:jz|9<' 4.12 设计文档 57 x2z;6) 4.10.1 公式 58 bQP{| 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 VUYmz)m5 4.10.3 沉积密度 59 RIE5KCrGB 4.10.4 平行和楔形介质 60 bKQ"ax>6p 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 <]4i`6{v 4.10.4 性能 61 T ;vF( 4.10.5 保存设计和性能 64 xw
T%), 4.10.6 默认设计 64 !Mim@!5M 4.11 图表 64 2eC(Ijq[a 4.11.1 合并曲线图 67 oiyzHx 4.11.2 自适应绘制 68 T[4<R 5} 4.11.3 动态绘图 68 D]W$?(=4 4.11.4 3D绘图 69 9^Whg~{ 4.12 导入和导出 73 ./D$dbu3 4.12.1 剪贴板 73 %]6~Eq%s 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 {h2TD
P 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (85Fv&a 4.13 背景 77 J?}WQLVP' 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %4
XJn@J 4.15 生成Rugate 84 13%t"-@bh 4.16 参考文献 91
`|#Qx3n% 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,FMx5$ 5.1 Jobs 92 E)7F\ w 5.2 创建一个新Job(工作) 93 'd&0Js$^ 5.3 输入材料 94 6,LubZFD 5.4 设计数据文件夹 95 YJ/zU52JK~ 5.5 默认设计 95 T4 N~(Fi) 6 细化和合成 97 T?1Du"d8 6.1 优化介绍 97 pY~,(s|Qb 6.2 细化 (Refinement) 98 .OqSch| 6.3 合成 (Synthesis) 100 ""h)LUrl 6.4 目标和评价函数 101 Vc%R$E% 6.4.1 目标输入 102 'vq:D$A 6.4.2 目标 103 RJH, 6.4.3 特殊的评价函数 104 <b?!jV7 6.5 层锁定和连接 104 -,aeM~ 6.6 细化技术 104 hf<^/@^tK 6.6.1 单纯形 105 |vMpXiMxxT 6.6.1.1 单纯形参数 106 R:AA,^Z 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 u#A<hq; 6.6.2.1 Optimac参数 108
"t$k 6.6.3 模拟退火算法 109 -}4NT{E 6.6.3.1 模拟退火参数 109 c$`4*6 6.6.4 共轭梯度 111 `#QG6/0 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 }%`~T>/ 6.6.5 拟牛顿法 112 zrv#Xa!O\ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ww{_c]My 6.6.6 针合成 113 l?DJJ|> O 6.6.6.1 针合成参数 114 7Irau_ 6.6.7 差分进化 114 k@D0 {z 6.6.8非局部细化 115 1s*.A6EP" 6.6.8.1非局部细化参数 115 p,<&zHb>K 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ?D)<, 6.7.1 细化 116 ]cC[-F[ 6.7.2 合成 117 Z,;cCxE 6.8 参考文献 117 Hiv!BV| 7 导纳图及其他工具 118 5,;`$'?a% 7.1 简介 118 /?6|& 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
6vTo*8D 7.2.1 四分之一波长规则 119 gx:;&4AD 7.2.2 导纳图 120 qXW})( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Op?OruT[ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 5P hX"7 7.5 斜入射导纳图 141 XJ+6FT/qss 7.6 对称周期 141 qr50E[ 7.7 参考文献 142 b7\ cxgRq 8 典型的镀膜实例 143 oM1
6C| 8.1 单层抗反射薄膜 145 $BDBN_p 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 n*'<uKpM 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %=<IGce 8.4 W-膜层 148 4Kv[e]10( 8.5 V-膜层 149 #Hh^3N 8.6 V-膜层高折射基底 150 asgF1?r 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 tPyyZ#, 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 zT* .jv 8.9 四层抗反射薄膜 153 0l#)fJo 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 =AEz9d ciS 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 rf9_eP 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 h2;z4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &&<9p;E 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 QIn/,Yd 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ?Jusl8Sm 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Ti;Ijcq8 8.17 1/4波长堆栈 162 "%QD{z_L 8.18 陷波滤波器 163 >(tn "2 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~ZlC
' 8.20 褶皱 165 zMK](o1Vj 8.21 消偏振分光器1 169 W:VP1 : 8.22 消偏振分光器2 171 8g7,2f/ } 8.23 消偏振立体分光器 172 @TA9V@?) 8.24 消偏振截止滤光片 173 7C?.L70ZY 8.25 立体偏振分束器1 174 l??;3kh1 8.26 立方偏振分束器2 177 kao}(?x% 8.27 相位延迟器 178 Y/8K;U| 8.28 红外截止器 179 r\9TMg`C 8.29 21层长波带通滤波器 180 I5);jgb 8.30 49层长波带通滤波器 181 &yz&LNn' 8.31 55层短波带通滤波器 182 q1hMmMi 8.32 47 红外截止器 183 c| '
w 8.33 宽带通滤波器 184 bT!($?GNdg 8.34 诱导透射滤波器 186 <<|H=![ 8.35 诱导透射滤波器2 188 [{<dbW\ 9 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 w.+Eyu_I\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 lZt(&^T 8.35 增益平坦滤波器 193 6j8<Q 2
8.38 啁啾反射镜 1 196 P8gXCX!>U 8.39 啁啾反射镜2 198 g.#+z'l 8.40 啁啾反射镜3 199 fRg=!<#% 8.41 带保护层的铝膜层 200 ?Zyok]s 8.42 增加铝反射率膜 201 qMS}t3X 8.43 参考文献 202 2+92Q_+ 9 多层膜 204 $
A-b vL 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 NyI;v= 9.2 内部透过率 204 %bX0 mN 9.3 内部透射率数据 205 ke.7Zp2.R 9.4 实例 206 76#.F 9.5 实例2 210
td(M#a- 9.6 圆锥和带宽计算 212 d\XRUO[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 O
rk 10 光学薄膜的颜色 216 abY0)t 10.1 导言 216 0B0G2t&hr 10.2 色彩 216 8tWE=8< 10.3 主波长和纯度 220 j/<??v4F4 10.4 色相和纯度 221 I Ru$oF} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 bGh0<r7R 10.6 色差 226 6;uBZ&g 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 o|287S|$ 10.8 颜色渲染指数 234 v`G U09 10.9 色差计算 235 TIRHT`"i 10.10 参考文献 236 dB|Te "6 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 x|apQ6 11.1 短脉冲 238 Z[,`"}}hv= 11.2 群速度 239 +6%7CC 6 11.3 群速度色散 241 Jc~E"x 11.4 啁啾(chirped) 245 s%dF~DSK 11.5 光学薄膜—相变 245 ":&|[9/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 )Ul&1UYA 11.7 色度色散 246 ] EyeBF)$ 11.8 色散补偿 249 YbvX$/zGu 11.9 空间光线偏移 256 \!X?zR_ 11.10 参考文献 258 (
ji_o^ 12 公差与误差 260 {qAu/ixp 12.1 蒙特卡罗模型 260 -v*x V;[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 hrlCKL& 12.2.1 误差工具 267 !=M/j} 12.2.2 灵敏度工具 271 Z oTNm 12.2.2.1 独立灵敏度 271 `03<0L 12.2.2.2 灵敏度分布 275 4 ROWz 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Q}uG/HI 12.3 参考文献 276 *!u? 13 Runsheet 与Simulator 277 @c"yAy^t 13.1 原理介绍 277 gO{W#% 13.2 截止滤光片设计 277 0e9A+&r 14 光学常数提取 289 T^.{9F]*S 14.1 介绍 289 Z)v)\l9d 14.2 电介质薄膜 289 Nzc>)2% N 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;^.9#B,< 14.4 基底的参数提取 302 aT/KT,! 14.5 金属的参数提取 306 v =+k"gm6 14.6 不正确的模型 306 j[T%'% 14.7 参考文献 311 k <}I<Or 15 反演工程 313 cd"wNH- 15.1 随机性和系统性 313 # 8qyg<F 15.2 常见的系统性问题 314 s#Q_Gu 15.3 单层膜 314 WA$ p_% r= 15.4 多层膜 314 (E]"Srwh 15.5 含义 319 d:$G|< |