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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 0umfC  
    3 +#bkG  
    任务/系统说明 Fm2t:,=  
    v=L^jw  
    , n EeI&  
    g xLA1]>{  
    亮点 f{b"=hQ  
    >4ALF[oH1J  
     Z2LG/R  
    R2;-WxnN]  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） vR`KRI`{  
     严格分析光栅衍射效率 ,Wdyg8&.  
     考虑入射光的方向分布 T*H4kM  
    gReaFnm  
    说明：光源 V8N<%/ A=  
    `bxgg'V  
    ^y h  
    g"#+U7O  
    说明：光束分束器 I015)vFc  
    W*_ifZ0s.  
    ]IoS-)$Z/  
    MW&;{m?2(  
    说明：检测透镜系统 (*M(gM{;  
    IYj-cm  
    swJwy~  
    u4Xrvfb,  
    说明：微型晶片 k r/[|.bq  
    F4:ssy^  
    +-{H T+W  
    DLz~$TF^  
    说明：检测物镜 0_j!t  
    g;*~ xo  
    c5]1aFKz  
    f"PApV9[  
    说明：探测器 =izB :  
    <2R=!n@b\  
    UV:_5"-  
    .+8w\>w6g  
    结果：3D光线追迹（只有0级） v0HFW%YJ^J  
    XBDlQe|>  
    6ZF5f^M^  
    #q=?Zu^Da  
    结果：3D光线追迹（所有级） :|d3BuY  
    dpE+[O_  
    %i96@ 6O  
    =?/J.[)<*  
    结果：光线追迹 3c ^_IuW-  
    iaR'):TD  
     fdPg{3x*k  
    3 8f9jF%7j  
    结果：场追迹 YoahqXR`  
    gsZCWT  
     Nc]]e+N#V  
    jF'S"_/?  
    结果：线性偏振光的场追迹 jd$lu^>I  
    Yr0%ZYfN  
    H7R1GaJ  
     
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