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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 nc.(bb),  
    RXbhuI  
    任务/系统说明 W{v{sQg  
    g9XAUZe  
    TGxmc37?  
    T[<deQ  
    亮点 a#k=! W  
    qTA,rr#p0  
     j mH=W)  
    I=DvP;!  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） L6ifT`;T  
     严格分析光栅衍射效率 v RR(b!Lq  
     考虑入射光的方向分布 Bc!ZHW *&  
    ;L{#TC(]J]  
    说明：光源 !go$J]T  
    tS@J)p+_(  
    |RA|nu   
    keMfK ]9  
    说明：光束分束器 6HK dBW$/  
    XP |qY1  
    [l7 G9T}/[  
    \H -,^[G3  
    说明：检测透镜系统 8do7`mN  
    0Gr^#`  
    xyvG+K&  
    ))<1"7D^^  
    说明：微型晶片 WYayr1  
    5{esL4k  
    w9c^IS  
    M< 1rQW'  
    说明：检测物镜 ~dm/U7B:  
    uHNh|ew21  
    8e:\T.)M  
    uh8+Y%V p  
    说明：探测器 .R<Ke\y/  
    5'mpd  
    j0eGg::  
    p`CVq`k  
    结果：3D光线追迹（只有0级） 1/l;4~p7'  
    Jy?#@/~  
    CB1AL]|3  
    `PH*tdYrh  
    结果：3D光线追迹（所有级） M*xt9'Yd  
    t]QGyW A]  
    bTrQ(qp  
    ,]\:]Y&?  
    结果：光线追迹 U&\2\z3{  
    fho$:S  
     </%n:<z4  
    G9_M~N%a  
    结果：场追迹 ':[:12y[  
    * I{)8  
     uQYBq)p|  
    `"#0\Wh  
    结果：线性偏振光的场追迹 \B$Q%\-PX  
    eT4+O5t  
    {Yp;R  
     
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