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成像系统>包括光栅 !*_5 B' {1,]8!HBJ 任务/系统说明 +`O8cHx MQ>.^]B]o  !$P +hX` RG1~)5AL~Y 亮点 KLK
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 PYX]ld.E !g{9]"Z1T 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） O *^= 严格分析光栅衍射效率 )y& }c7xW 考虑入射光的方向分布 ij i<+ oul *$mDu,'8 说明：光源 H)tnxD0) \,| Xz|?C  *T\ - iICw U+gOojRy{ 说明：光束分束器 !m)P*Lw eV $pza  9|#YKO\\i +Gv{Apd" 说明：检测透镜系统 %"Tn=fZIF D.elE:  6yEYX'_ JbN@A X:% 说明：微型晶片 ^c",!Lp}{ D5x }V  NfqJ> [}I+ qd\5S*Z1 说明：检测物镜 /Qi;'h] oo sbf#V  >Hb>wlYR 3~ITvH,`s 说明：探测器 +mP&B<=H) :l<)p;\  NMq#D$T Vp{e1xpY 结果：3D光线追迹（只有0级） .XD7};g
*((wp4b  v_-S# ( \z"0lAv" 结果：3D光线追迹（所有级） :.KN;+tP q0|u vt"  m>dZ n |tL57Wu93 结果：光线追迹 X :2%U #Hm*<s.
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