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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 ;zy[xg.7  
    bu`8QQ"C  
    任务/系统说明 u<8 f ;C_  
    piIr .]  
    @8zp(1.  
    .Z=4,m>  
    亮点 Fy4jujP<  
    ?O1:-vpZ  
     RB]K?  
    u Qy5t:!  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） oicett=5  
     严格分析光栅衍射效率 {0(:7IY,  
     考虑入射光的方向分布 \Y'#}J"dh  
    }z/;^``  
    说明：光源 HnvE\t9`  
    %(4G[R[  
    BoZ G^  
    "BB#[@  
    说明：光束分束器 }5n((7@X  
    F|._'i+B!  
    !\{&^,y  
    bDdJh}Vz  
    说明：检测透镜系统 e'<pw^I\  
    S@suPkQ<>  
    ; n2|pC^  
    D;bQ"P-m47  
    说明：微型晶片 r4Ygy/%  
    i4T U}.h8  
    w, 0tY=h6  
    ]+\@_1<ZI  
    说明：检测物镜 JL~QE-pvD  
    \ iL&Aq}BO  
    mT57NP  
    jE)&`yZ5  
    说明：探测器 D .3Q0a6  
    B`Q.<Lqu  
    k*bfq?E a  
    H) g:<  
    结果：3D光线追迹（只有0级） f~Dl;f~H_;  
    ]pLQ;7f7D  
    myH:bc>6  
    S=O/W(ZB  
    结果：3D光线追迹（所有级） qB3{65  
    LV:oNK(  
    ^RkHdA  
    4QWDuLu  
    结果：光线追迹 02X~' To"  
    Xu#\CYk  
     _>HX Q6Hw  
    -B2>~#L  
    结果：场追迹 lo:]r.lX{  
    bo&!oY#  
     * [*#cMZ   
    g~d}?B\<@  
    结果：线性偏振光的场追迹 JH2?^h|{  
    ]s jFj  
    G8`q-B}q  
     
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