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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 e}1Q+h\  
    R%RxF=@  
    任务/系统说明 84.L1|k  
    )f|`mM4DW!  
    '"E!av>  
    qvSYrnpn  
    亮点 ;W|NG3_y  
    sWte&  
    6vsA8u(|V#  
    'k[qx}  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) (&Rk#iU 2  
     严格分析光栅衍射效率 tngB;9c+w  
     考虑入射光的方向分布 ~q}L13^k  
    qWheoyAB  
    说明:光源 XJ\R'?j  
    x C&IR*  
    qsp.`9!  
    IZj`*M%3  
    说明:光束分束器 h;jO7+W  
    cyJ{AS+  
    HvG %##  
    5m 0\ls\  
    说明:检测透镜系统 m6mGcbpn  
    hg" i;I  
    r[i^tIv6As  
    cl4z%qv*  
    说明:微型晶片 AJ7^'p9Y  
    KhfADqji|  
    7-K8u  
    NUYKMo1ze  
    说明:检测物镜 \)No?fB  
    ")No t$8  
    o'$"MC+  
     Fb(@i  
    说明:探测器 g,._3.D  
    !2KQi=Ng  
    = 0d|F 8  
    U_"!\lI_yg  
    结果:3D光线追迹(只有0级) aNEah  
    cZxY,UvYa  
    Gn8 sB  
    uVn"L:_  
    结果:3D光线追迹(所有级) EcB !bf  
    xKSQz  
    }4YzP 4  
    7yfh4-1M  
    结果:光线追迹 X>[i<ei  
    >NBc-DX^  
    {1OxJn1hd  
    C12UZE;  
    结果:场追迹 Sk|e#{  
    \~hrS/$[$  
    N x&/p$d  
    =:s`C,l.4  
    结果:线性偏振光的场追迹 hi[nUG(OI  
    %LMpErZO  
    &" t~d}Rg  
     
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