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在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 ;L\!g%a !>a&`j2:W "G i+zkVm 建模任务 &Cx yP_ r-1yJ 2ZTyo7P 结果 =Ov;'MC p3,(*eZ Eb4< 26A 结果 cAsSN.HFS ^-csi kp#c:ym 结果 ^>vO5Ho. ?h>%Ix
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