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在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 Q8_ d)t| "$}vP<SM :(H> 2xS,s 建模任务 p3}?fej&| K_ci_g": {N#KkYH{" 结果 -<_Ww\%8M k`x=D5s\ @e'5E^ 结果 LB.co4 %G?;!Lz &< !Ufa& 结果 8Y#\xzod h48SItY
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