[技术]用于光波导耦合的倾斜光栅的分析 [复制链接]

摘要 ^o87qr0g]  
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因为倾斜光栅在特定衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体参数如倾斜角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。 "Q`Le{  
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建模任务 gHtflS  
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衍射效率与相对深度 m}(M{^\|  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 " ?Ux\)*  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond j+PLtE  
    Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) C]Q`!e  
     
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衍射效率与倾斜角度 t*J?#r  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 ? q_%  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) 29^(weT"]  
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衍射效率与填充因子 I7\T :Q[  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 "rrw~  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond /:v}Ni"6nF  
    Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997). &]tm'N25  
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衍射效率与变化的入射角 :NL[NbQYt  
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光栅衍射效率通常受入射角影响较大。 h1)ny1;  
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走进VirtualLab Fusion -Q/wW4dE=  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 5IA
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•光波导耦合光栅结构的配置 1*e7NJ/.,  
- 倾斜光栅的高级配置 eE_$ADEf  
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     - 使用特殊介质配置光栅结构 [Op^l%BC  
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     - 使用接口配置光栅结构 Y_6v@Si
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•分析耦合光栅衍射效率 ?-~<Vc*  
- 用于光导耦合光栅评估的自定义探测器 ]4r&Q4d>O  
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•通过扫描特定参数来检查效率 K"[\)&WBG  
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VirtualLab Fusion 技术 iJeodfC