摘要 W} V L 3s l)GV&V a) GL z 因为倾斜
光栅在特定
衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到
光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用
VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体
参数如倾斜
角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。
!vHUe*1a{ c?5e| dZz 建模任务 qQ[& FjTO` x|n2,3% 衍射效率与相对深度 w;}pebL: 
,TaaX I 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行
仿真。
UN[rW0* SU9qF73Y /10 I}3D B ?96d'A 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
4- z3+ e Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
bIt%KG{PY6 Wf gs[ 衍射效率与倾斜角度 Au,xIe!t 
7k }[x|u 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。
XzGPBi Q9=vgOW+ 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
#` )zD"CO )| @'}k+ 衍射效率与填充因子 5xL%HX[S >u#c\s 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。
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] }H;`H 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
Q.Uyl:^PxU Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997).
CS2AKa@ ` 3\WLm4 衍射效率与变化的入射角 pB;)H ii\ X>l 光栅衍射效率通常受入射角影响较大。
/M(Fu V V~M>K-AL 走进VirtualLab Fusion 52K_kB5 /Ps}I W VirtualLab Fusion中的工作流程 H^sPC{6+pf •光波导耦合光栅
结构的配置
OnFx8r:q@% - 倾斜光栅的高级配置
cLR02 ,":_=Tf. nf?;h!_ 7 - 使用特殊介质配置光栅结构
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