[技术]用于光波导耦合的倾斜光栅的分析 [复制链接]

摘要 9R!atPz9  
VD;01"#'  
:I.mGH!^  
因为倾斜光栅在特定衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体参数如倾斜角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。 t
5^{D>S1  
T= 80,  
建模任务 Fk&c=V;SU  
`P@<3]  
衍射效率与相对深度 "@^k)d$  
     Q^P}\wb>  
在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 &~cBNw|  
xWH.^o,"  
     j.[.1G*("  
@W.S6;GA\  
参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond M5LfRBO  
    Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) c`)\Pb/O  
      h},IF  
衍射效率与倾斜角度 dohA0  
   >%_\;svZG  
在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。  \{_q.;}  
R3f89  
参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) B&M%I:i  
     Qab>|eSm  
衍射效率与填充因子 \k7"=yx  
   ,C\i^>=  
在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 8L=HW G!1  
c1(RuP:S  
参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond zEX  
    Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997). 7DogM".}~Q  
     (Bb5?fw  
衍射效率与变化的入射角 ZoW?nxY  
VcE:G#]5  
光栅衍射效率通常受入射角影响较大。 fivw~z|[@  
d UE,U=  
走进VirtualLab Fusion ](]i 'fE>  
     0@0w+&*"@  
VirtualLab Fusion中的工作流程 KJUH(]>F  
•光波导耦合光栅结构的配置 dA}-]  
- 倾斜光栅的高级配置 &GO}|W  
)2KF}{  
_IHV7*u{;  
     - 使用特殊介质配置光栅结构 sjHE/qmq-Z  
XAKs0*J>  
_#E0g'3  
     - 使用接口配置光栅结构 F@7jx:tI  
#6aW9GO  
23eX;gL  
•分析耦合光栅衍射效率 %bn jgy  
- 用于光导耦合光栅评估的自定义探测器 q s!j>x  
ITXa&5D  
8P\G
}  
•通过扫描特定参数来检查效率 [ZwjOi:)  
A/$QaB,x  
VirtualLab Fusion 技术 V*;(kEqj