[技术]用于光波导耦合的倾斜光栅的分析 [复制链接]

摘要 &
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因为倾斜光栅在特定衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体参数如倾斜角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。 2=!3[> B  
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建模任务 o?Tp=Ge  
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衍射效率与相对深度 nM(=bEX  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 xj00eL  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Fgc:6<MGM  
    Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) \$~oH3m&  
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衍射效率与倾斜角度 S'%cf7Z  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 d'x<F[`
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) .^N#|hp^  
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衍射效率与填充因子 EkB6- nz  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 qY~$wVY(  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond ,TfI  
    Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997). M:1F@\<  
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衍射效率与变化的入射角 X?}GPA4
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光栅衍射效率通常受入射角影响较大。 %6c*dy  
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走进VirtualLab Fusion T.m)c%]^/  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 6t mNfI34  
•光波导耦合光栅结构的配置 ^* /v,+01f  
- 倾斜光栅的高级配置 B 1ZHV^  
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     - 使用特殊介质配置光栅结构 Ag-?6v  
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     - 使用接口配置光栅结构 xMfv&q=k@  
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•分析耦合光栅衍射效率 xV 1Z&l  
- 用于光导耦合光栅评估的自定义探测器 W!4V:(T  
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•通过扫描特定参数来检查效率 Z"%O&O  
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VirtualLab Fusion 技术 a$! {Tob2