摘要 J.,7d , Ap(>mUs!i I(Q3YDdb 因为倾斜
光栅在特定
衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到
光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用
VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体
参数如倾斜
角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。
F`f8q\Fc 8 }OII\ 建模任务 /:w.Zf>B9 IDt7KJ@hc 衍射效率与相对深度 /kFw(l_. 
D89 (u.h 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行
仿真。
YLNJ4nE D14i] G8 CM Q[% +y. 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
FHyyZ{" Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
m@ c\<-P Cbr>\;sc2Z 衍射效率与倾斜角度 )cRP6 = 
c ^+{YH;k 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。
^14a[ta/' -W" w 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
T oK'Pd OO?B N! 衍射效率与填充因子 }Lb[`H,}A /HM 0p 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。
a*UxRi 8 
/U,;]^ 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
:LMLY<8>9 Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997).
j |:{ B j?oh~7Ki 衍射效率与变化的入射角 `Ct fe8 .h ytn`+9 光栅衍射效率通常受入射角影响较大。
~*^aCuq\ +FlO_=Bu 走进VirtualLab Fusion 0r'<aA`=I
T.#Vma VirtualLab Fusion中的工作流程
<sC. •光波导耦合光栅
结构的配置
8al% F_r] - 倾斜光栅的高级配置
~_hn{Ou s L[.RV*sL 20k@!BNq - 使用特殊介质配置光栅结构
^@ n?& bZz B\FB~ ~{gV`nm=J - 使用接口配置光栅结构
D eM/B5qw xe!6Pgcb C:@JLZB •分析耦合光栅衍射效率
`l`)Cs;a - 用于光导耦合光栅评估的自定义
探测器 4l pkq dG*2-v^G &!
MV !9$ •通过扫描特定参数来检查效率
md`"zV 3!0~/8!f@ VirtualLab Fusion 技术 DmpG35Jk
