[技术]用于光波导耦合的倾斜光栅的分析 [复制链接]

摘要 T?#s'd  
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因为倾斜光栅在特定衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体参数如倾斜角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。 |+u+)C  
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建模任务 /Bh>  
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衍射效率与相对深度 ]d^k4 d  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 a^(2q{*  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond 'OG{*TDPu  
    Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) X8i[fk1.R  
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衍射效率与倾斜角度 }\>+H  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 <r_3obRC  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) O/(3 87=U  
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衍射效率与填充因子 40R"^*  
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在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行仿真。 (X*'y*:  
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参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond hr%U>U9F  
    Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997). &<`-:x12_  
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衍射效率与变化的入射角 ijE<spG  
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光栅衍射效率通常受入射角影响较大。 F|6 nwvgq  
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走进VirtualLab Fusion 0T(O'v}.  
    
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VirtualLab Fusion中的工作流程 '^8g9E.4K  
•光波导耦合光栅结构的配置 Rq"VB.ef&{  
- 倾斜光栅的高级配置 93 [rL+l.Y  
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     - 使用特殊介质配置光栅结构 F ~*zC`>Y  
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     - 使用接口配置光栅结构 %B[YtWqm`/  
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•分析耦合光栅衍射效率 +d.u##$  
- 用于光导耦合光栅评估的自定义探测器 Rk}\)r\  
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•通过扫描特定参数来检查效率 :b.3CL\.6  
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VirtualLab Fusion 技术 5BrU'NF