摘要 {D`F$=Dlw tet .Ddl.9p5 因为倾斜
光栅在特定
衍射级中具有高效率，故通常被用于将光耦合到
光学光波导中。 如今，它们经常应用于增强和混合现实应用中。 本案将展示如何使用
VirtualLab Fusion对文献中的某些倾斜光栅的几何形状，具体
参数如倾斜
角度，填充因子和调制深度进行分析。 此外，本案例还研究了不同入射角对衍射效率的影响。
Rg0\Ng4|G RoJ&dK 建模任务 ag|d_; ~5p
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{a% T <WW 在VirtualLab Fusion中通过傅里叶模态法（FMM）（也称为RCWA）进行
仿真。
P 3lN ns3 4~Lw:o1a "GZhr[AW Z( xn- 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
Eptsxyz { Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
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eYsO%y\I 4I {|M,+ 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997)
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}=XL^a|V 参考文献：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond
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" $2 Cambril, "Design and fabrication of binaryslanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997).
]!0*k#i_. z %mM#X 衍射效率与变化的入射角 $Fd9iJ!k KwpNS (]I 光栅衍射效率通常受入射角影响较大。
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3 走进VirtualLab Fusion hr]NW>; 3=;i C6
` VirtualLab Fusion中的工作流程 Mc 76) •光波导耦合光栅
结构的配置
*pI3"_ - 倾斜光栅的高级配置
H+*o @0C\~ v]_{oj_(- puMpUY - 使用特殊介质配置光栅结构
3ck;~Nc j< vQBfT% &Q- /l:3* u - 使用接口配置光栅结构
siyJjE)}w \Sm.]=b r 3+n&Ya1 •分析耦合光栅衍射效率
n"_EDb - 用于光导耦合光栅评估的自定义
探测器 [!bTko>rSB ShGR !r< : 2?i9F0_ •通过扫描特定参数来检查效率
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6]Z* VirtualLab Fusion 技术 )5yZSdA
