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Essential Macleod中文手册》 plNw>rFa #TeAw<2U 目 录 _C'VC#Sy Ngm/5Lc ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 '68#7Hs. 第1章 介绍 ..........................................................1 XuU>.T$] c 第2章 软件安装 ..................................................... 3 Z 2$S'}F 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 IiX2O(*ZE 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 iqsR]mab 第5章 软件结构 ............................................................... 21 m/,8\+ 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 _u~`RlA 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 AD6 b 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 'BVI ^H4 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 0 r;tI" 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 _skE\7&>X 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 |n(b>.X 第12章 优化和综合 ..................................................................120 PevT`\> 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 4v#s!W 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 =#&+w[4?&. 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 9.6ni1a' 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 B!)Tytm9u 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 w.=rea~ 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ,z+n@sUR: 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 1{qG?1<zZ6 第20章 运行表单 .................................................................... 251 m*KI'~#$% 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 8Qkwg]X 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 )cm^;(#pV 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 T[J8zLO 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 K>-01AGHL 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 &m TYMpA 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 .j"@7#tW 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 A 0;ng2& 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 | "eC0u SxX 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 @ xTVX'$ 1h{7dLA 价 格:400元 '\"5qB _) UnHp_^ 镀膜工具书原价400元,限时特惠368元 e
:@PI(P! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) ?rdWhF] R~RE21kAc 内容简介 t\n'Kuk` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ?H8dyQ5" 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ?MvL}o\| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Pup%lO`.0 lKS 2OOYC` 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 uaha)W;'9 目录
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Kk Preface 1 ;i?R+T 内容简介 2 Z[1|('
目录 i k#8E9/t@ 1 引言 1 |jcIn[)= 2 光学薄膜基础 2 &(|x-OT 2.1 一般规则 2 NA#,q 8 2.2 正交入射规则 3 hXD/ 2.3 斜入射规则 6 iaRCV6cl 2.4 精确计算 7 *mW 2vJ/B 2.5 相干性 8 TW1#'G_# 2.6 参考文献 10 l}D /1~d 3 Essential Macleod的快速预览 10 gYmO4/c,
4 Essential Macleod的特点 32 <2OXXQ1 4.1 容量和局限性 33 g)IW9q2 4.2 程序在哪里? 33 VaO[SW^ 4.3 数据文件 35 s&\krW& 4.4 设计规则 35 qga?-oz,<6 4.5 材料数据库和资料库 37 bfK4ps}m* 4.5.1材料损失 38 lLU8eHf\ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 *thm)Mn 4.5.2 材料库 41 wv Mp~ 4.5.3导出材料数据 43 9H+Q/Q*-a 4.6 常用单位 43 8cuI-Swz 4.7 插值和外推法 46 lA4TWU (] 4.8 材料数据的平滑 50 ^^*Ia'9 4.9 更多光学常数模型 54 rshUF 4.10 文档的一般编辑规则 55 WDt 6{5T 4.11 撤销和重做 56 V$dhiP
z 4.12 设计文档 57 SUjo%3R 4.10.1 公式 58 `dRqheX 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 A!R'/m'VG 4.10.3 沉积密度 59 eAG)+b 4.10.4 平行和楔形介质 60 D?4bp'0 3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ]3 QW\k~ 4.10.4 性能 61 Hk=HO|&<XB 4.10.5 保存设计和性能 64 'UC1!Z 4.10.6 默认设计 64 a TPq1u 4.11 图表 64 -oB=7+g 4.11.1 合并曲线图 67 W mx3@]< 4.11.2 自适应绘制 68 [c v!YE 4.11.3 动态绘图 68 (D{J| 4.11.4 3D绘图 69 D/hq~- g 4.12 导入和导出 73 2W#^^4^+ 4.12.1 剪贴板 73 ACpecG 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 j}6h}E&dEr 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 DD`DU^o< 4.13 背景 77 5gb:,+ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 jWdZ]0m 4.15 生成Rugate 84 >=.3Vydi1 4.16 参考文献 91 _z9~\N/@[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 S27s Rxfr 5.1 Jobs 92 h67{qY[J[ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 lR]FQnZ 5.3 输入材料 94 (;-_j/ 5.4 设计数据文件夹 95 <-,y0Y' 5.5 默认设计 95 PX` xr1o 6 细化和合成 97 ;WhRDmT 6.1 优化介绍 97 Oz)/KZ 6.2 细化 (Refinement) 98 _/Ay$l;F 6.3 合成 (Synthesis) 100 </aQ 6.4 目标和评价函数 101 s d = bw 6.4.1 目标输入 102 4vCUVo r 6.4.2 目标 103 ):y^g: 6.4.3 特殊的评价函数 104 jBl$r{L 6.5 层锁定和连接 104 vG\
b` 6.6 细化技术 104 0|8cSE<
i
6.6.1 单纯形 105 . i^@v<+ 6.6.1.1 单纯形参数 106 7zIfsb 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 e>bARK< 6.6.2.1 Optimac参数 108 'pB? 6.6.3 模拟退火算法 109 X8A.ag0Uu 6.6.3.1 模拟退火参数 109 O- LwX
> 6.6.4 共轭梯度 111 E[4
vUnm- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1aUg({ 6.6.5 拟牛顿法 112 c;zk{dP 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ixE w!t 6.6.6 针合成 113 kp#XpcS 6.6.6.1 针合成参数 114 $xcZ{C 6.6.7 差分进化 114 qk(bA/+e 6.6.8非局部细化 115 u6| IKZ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]q4(%Q 6.7 我应该使用哪种技术? 116 bW=3X-) 6.7.1 细化 116 dczSW]% 6.7.2 合成 117 sf:IA%.4t 6.8 参考文献 117 *xY3F8 7 导纳图及其他工具 118 %~,Fe7#p 7.1 简介 118 mIqm/5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 g:GywXW 7.2.1 四分之一波长规则 119 AlkHf]oB 7.2.2 导纳图 120 5)5yH bS 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &xGpbJG 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 V`HnFAW 7.5 斜入射导纳图 141 RzzU+r 7.6 对称周期 141 7S=,# 7.7 参考文献 142 4jZB%tH 8 典型的镀膜实例 143 N
Z,} v3 8.1 单层抗反射薄膜 145 yK$aVK" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 OhlK;hvdB* 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 fNfa.0s 8.4 W-膜层 148 R0LWuE%eD 8.5 V-膜层 149 _*b`;{3 8.6 V-膜层高折射基底 150 ]cVDXLj$ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 E'5KJn;_7 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 pZ3sp! 8.9 四层抗反射薄膜 153 =1'WZp}D5 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 o>bi~(H 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [IAk9B.\ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 V>GJO (9 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 5SmJ'zFO 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 foL4s;2 8.15十五层宽带抗反射膜 159 hw*u. 46 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }pnp._j 8.17 1/4波长堆栈 162 {2q0Ko< 8.18 陷波滤波器 163 aw~h03R_Z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^S?f"''y3 8.20 褶皱 165 x%HxM~& 8.21 消偏振分光器1 169 Gf:dN_e6. 8.22 消偏振分光器2 171 5`g VziS!S 8.23 消偏振立体分光器 172 ;[[6[i 8.24 消偏振截止滤光片 173 #g0N/ 8.25 立体偏振分束器1 174 CDsl) 8.26 立方偏振分束器2 177 T?6<1nU) 8.27 相位延迟器 178 e6
x#4YH 8.28 红外截止器 179 DS>&|zF5l 8.29 21层长波带通滤波器 180 mH4u@aQ} 8.30 49层长波带通滤波器 181 |v5
ge3- 8.31 55层短波带通滤波器 182 8{ =ha 8.32 47 红外截止器 183 \8s:I+[HH 8.33 宽带通滤波器 184 Z
P6p>?DQ 8.34 诱导透射滤波器 186 5MD'AP: 8.35 诱导透射滤波器2 188 4VwMl)8ic 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 \Q1&w2mw 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3}&3{kt 8.35 增益平坦滤波器 193 VmN 7a6a 8.38 啁啾反射镜 1 196 "PO8 Q 8.39 啁啾反射镜2 198 D6+3f#k6 8.40 啁啾反射镜3 199 yNn=r;FZQ 8.41 带保护层的铝膜层 200 x?0K' 8.42 增加铝反射率膜 201 R5(([C1 8.43 参考文献 202 $`ptSR 9 多层膜 204 @TX@78fWz= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 3dLqlJ^7B 9.2 内部透过率 204 Il(o[Q>jJ3 9.3 内部透射率数据 205 A'b$X1h 9.4 实例 206 '5[(QM5Gi& 9.5 实例2 210 )b>misb/ 9.6 圆锥和带宽计算 212 5U4V_*V 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 nvXjW@)` 10 光学薄膜的颜色 216 kR^h@@'F" 10.1 导言 216 1_v\G 10.2 色彩 216 g,M-[o=Fk 10.3 主波长和纯度 220 (xVx|:R[<H 10.4 色相和纯度 221 W6i9mER- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 J:>o\%sF 10.6 色差 226 8>6<GdGL<n 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 :yJ([ 10.8 颜色渲染指数 234 VKX|0~ 10.9 色差计算 235 = >tkc/aa 10.10 参考文献 236 "VSx?74q 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 %6 GM[1__ 11.1 短脉冲 238 0)~c)B:5 11.2 群速度 239 3oH/34jj 11.3 群速度色散 241 8wOscL f: 11.4 啁啾(chirped) 245 N[Ei%I 11.5 光学薄膜—相变 245 n*na6rV\k 11.6 群延迟和延迟色散 246 QT^b-~^ 11.7 色度色散 246 B@i%B+qCLv 11.8 色散补偿 249 nGYimRYO 11.9 空间光线偏移 256 l"nS+z 11.10 参考文献 258 ~LV]cX2J( 12 公差与误差 260 yt5<J-m 12.1 蒙特卡罗模型 260 Ddg!1SF 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Wkjp:`(-$r 12.2.1 误差工具 267 FdzdoMY 12.2.2 灵敏度工具 271 eL(<p] 12.2.2.1 独立灵敏度 271 K/f-9hE F 12.2.2.2 灵敏度分布 275 { AYW
C6Y 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 % X %zK1 12.3 参考文献 276 Cb+$|Kg/"b 13 Runsheet 与Simulator 277 NW`.7'aWT 13.1 原理介绍 277 2gZp
O9 13.2 截止滤光片设计 277 g0U?`;n$ 14 光学常数提取 289 Bl8|`R^g 14.1 介绍 289 O_4B>
)zd 14.2 电介质薄膜 289 43M.Hj] 14.3 n 和k 的提取工具 295 7g+T 14.4 基底的参数提取 302 ~S;-sxoO0l 14.5 金属的参数提取 306 a~_JTH4=t 14.6 不正确的模型 306 /(hTk& 14.7 参考文献 311
3x+=7Mg9 15 反演工程 313 rXD:^wUSc 15.1 随机性和系统性 313 H{=G\N{ 15.2 常见的系统性问题 314 `NgQ>KV! 15.3 单层膜 314 p!^K.P1 ' 15.4 多层膜 314 WlvT&W 15.5 含义 319 z+6PVQ 15.6 反演工程实例 319 .nrbd#i- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0NZ'(qf~9 15.6.2 反演工程提取折射率 327 uK"FopUJ4i 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 4aBVO%t 16.1 光学性质的热致偏移 329 ^tG,H@95 16.2 应力工具 335 `:V'E>B 16.3 均匀性误差 339 z7`|N`$Z#s 16.3.1 圆锥工具 339 t^YtP3`?b 16.3.2 波前问题 341 {%9@{Q'T.s 16.4 参考文献 343 :" !Z9l\@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z|%Pi J, 17.1 引言 345 m+s*Io{Ip 17.2 操作数 345 ki@C}T5 18 如何在Function中编写脚本 351 Um4zI> 18.1 简介 351 * BR#^Wt 18.2 什么是脚本? 351 o)@nnqa 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 -#T%* 18.4 基础 352 klFS3G 18.4.1 Classes(类别) 352 i)X~L4gn 18.4.2 对象 352 f*Q9u >1p 18.4.3 信息(Messages) 352 7:uz{xPK6 18.4.4 属性 352 E\s1p:% 18.4.5 方法 353 5yoi;$~}_0 18.4.6 变量声明 353 IA.7If&k 18.5 创建对象 354 >(igVaZ> 18.5.1 创建对象函数 355 U~7udUR 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 CQ/+- -o 18.5.3 丢弃对象 356 SQ[D2v 18.5.4 总结 356 }l$zZ>.\H 18.6 脚本中的表格 357 c]#}#RJ`\ 18.6.1 方法1 357 !Ea! "} 18.6.2 方法2 357 U- 1UWq 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;#v3C; 18.8 3D Plots in Scripts 359 16 `M=R 18.9 注释 360 7JQ4*RM 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 K\U`gTGc 18.11 一个更高级的脚本 362 i]k)wr( 18.12 <esc>键 364 LS<+V+o2% 18.13 包含文件 365 L k
nK 18.14 脚本被优化调用 366 W)Y`8&, 18.15 脚本中的对话框 368 ,>6a)2xh 18.15.1 介绍 368 Evm3Sm!S 18.15.2 消息框-MsgBox 368 `I wZVz 18.15.3 输入框函数 370 ]YhQQH1>] 18.15.4 自定义对话框 371 EDgtn)1 18.15.5 对话框编辑器 371 Y"8@\73(R 18.15.6 控制对话框 377 2ak]&ll+h 18.15.7 更高级的对话框 380 }'x)e 18.16 Types语句 384 $aJay]F 18.17 打开文件 385 ff.k1%wr^ 18.18 Bags 387 Fh)xm* u( 18.13 进一步研究 388
d6tLCQ 19 vStack 389 m-Jy
4f# 19.1 vStack基本原理 389 B;=Z^$%T 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ig.Z,R3@r 19.3 五棱镜 393 cK]n"6N[ 19.4 光束距离 396 |Vz)!M 19.5 误差 399
O[MFp 19.6 二向分色棱镜 399 Fn`Zw:vp6 19.7 偏振泄漏 404 e7xv~C>g 19.8 波前误差—相位 405 IWq\M,P 19.9 其它计算参数 405 xJ/)*?@+ 20 报表生成器 406 7!jb 20.1 入门 406 F6yFKNK!n 20.2 指令(Instructions) 406 7_s+7x = 20.3 页面布局指令 406 >@ 8'C"F 20.4 常见的参数图和三维图 407 >^g2Tg: 20.5 表格中的常见参数 408 J{\U w].|0 20.6 迭代指令 408 GV1Ol^ 20.7 报表模版 408 )GG9[%H! 20.8 开始设计一个报表模版 409 N80ogio_Tk 21 一个新的project 413 )YEAk@h@ 21.1 创建一个新Job 414 +:jonN9d 21.2 默认设计 415 >fP;H}S6 21.3 薄膜设计 416 +fboTsp% H 21.4 误差的灵敏度计算 420 |-S!)iG1V 21.5 显色指数计算 422 s;oe Qa}TB 21.6 电场分布 424 w" [T 后记 426 Sq,>^|v4&e 原价598元,限时特惠550.16元,有兴趣扫码加微联系 w>X@
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