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Essential Macleod中文手册》 CZ nOui +|tC'gCnV 目 录 -&<Whhs.@ 8=]Tr3 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 6P';DB 第1章 介绍 ..........................................................1 ;pnD0bH 第2章 软件安装 ..................................................... 3 ,Jd
',>3 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 C:Hoq( 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 cq$i 第5章 软件结构 ............................................................... 21 rD*sl} 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 ?:w1je7 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 fJ ,1Ef;Z 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 YX`7Hm, 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 Ek6MYc8<b~ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 #vry0i 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 5|1T}Z#; 第12章 优化和综合 ..................................................................120 KCWc`Oz 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 /c,(8{(O 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 \|K;-pL 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 s M +WkN}{ 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 x:QgjK 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 Z ,EvQ8i 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 CP6LHkM9 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 ;INW`b~ 第20章 运行表单 .................................................................... 251 v$N|"o"" 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 rta:f800z 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 ca>Z7qT! 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 D_x+:1( 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 lv]hTH 4T 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 :hM/f 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 .j-IX1Sa 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 Q_t`.jus 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 . Z%{'CC "U\4:k`: 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 [/X4"D-uOK AGbhJ=tB 价 格:400元 4fKC 6UR w08?DD]CDt 镀膜工具书原价400元,限时特惠368元 !=N"vD* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) 0A( +ZMd ZfB"
E 内容简介 E>}4$q[r Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $ mI0Bk 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,%)6jYHR w 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 yfm^?G|sW $5*WLG&AK 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ~t~-A,1 目录 {>F7CT'G6 Preface 1 M{*Lp6h 内容简介 2 TsGE cxIg 目录 i z-b*D}& 1 引言 1 qcN'e.A 2 光学薄膜基础 2 Q*b]_0Rb 2.1 一般规则 2 M6}3wM*4 2.2 正交入射规则 3 'CN|'W)g7 2.3 斜入射规则 6 WASU0 2.4 精确计算 7 $bsG] 2.5 相干性 8 ?! `=X>5 2.6 参考文献 10 <-u8~N@43W 3 Essential Macleod的快速预览 10 M-giR:, 4 Essential Macleod的特点 32 3l#IPRn9AO 4.1 容量和局限性 33 ('hEr~& 4.2 程序在哪里? 33 V7Mh-] 4.3 数据文件 35 /<]{KI 4.4 设计规则 35 YWxc-fPZ 4.5 材料数据库和资料库 37 G^`1]? 4.5.1材料损失 38 Iwc{R8BV 4.5.1材料数据库和导入材料 39 mzf+Cu:`v 4.5.2 材料库 41 EeF'&zE- 4.5.3导出材料数据 43 A$a1(8H 4.6 常用单位 43 .3MIcj=p 4.7 插值和外推法 46 ZAXN6h 4.8 材料数据的平滑 50
!OuWPH.
: 4.9 更多光学常数模型 54 6CMub0 4.10 文档的一般编辑规则 55 mljh|[ 4.11 撤销和重做 56 lj?v4$ 4.12 设计文档 57 E,f>1meN= 4.10.1 公式 58 iX4Iu3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ~PHB_cyth 4.10.3 沉积密度 59 <,>P 0tY} 4.10.4 平行和楔形介质 60 _`pD`7:aI^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 w18y}mS"H 4.10.4 性能 61 ,qYJioWX 4.10.5 保存设计和性能 64 LK@lpkX 4.10.6 默认设计 64 Ix(><#P 4.11 图表 64 f0BdXsV#g 4.11.1 合并曲线图 67 *Otg*,\ 4.11.2 自适应绘制 68 S!sqbLrBn 4.11.3 动态绘图 68 ZE/o?4k*c1 4.11.4 3D绘图 69 ^tCd L@$AS 4.12 导入和导出 73 Co3:*nbRv 4.12.1 剪贴板 73 @`,1: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 C|?o*fQ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,-OCc!7K 4.13 背景 77 3hK#'."`N 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 W[}s o6 4.15 生成Rugate 84 w-0mzk" 4.16 参考文献 91 |a#f\ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 X B_B4X1R 5.1 Jobs 92 *<u2:=_s 5.2 创建一个新Job(工作) 93 bpxeznz 5.3 输入材料 94 &zuG81F6 5.4 设计数据文件夹 95 Kk{<@v) 5.5 默认设计 95 V}zEK0n(6 6 细化和合成 97 jr3ti>,xV 6.1 优化介绍 97 &c*^VL\ 6.2 细化 (Refinement) 98 V,[d66H=N 6.3 合成 (Synthesis) 100 P(K>=O 6.4 目标和评价函数 101 e~"fn*" 6.4.1 目标输入 102 d`(@_czdF 6.4.2 目标 103 ?Oc{bF7 6.4.3 特殊的评价函数 104 g=e71DXG2 6.5 层锁定和连接 104 ]$,UPR/3 6.6 细化技术 104 fks)+L' 6.6.1 单纯形 105 EKzAd 6.6.1.1 单纯形参数 106 E~a3r]V/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 YX_gb/A 6.6.2.1 Optimac参数 108 mSo_} je( 6.6.3 模拟退火算法 109 t&(PN%icD 6.6.3.1 模拟退火参数 109 E~AjK'Z 6.6.4 共轭梯度 111 KW7UUXL 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 oy;K_9\ 6.6.5 拟牛顿法 112 QzAK##9bfa 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :(H> 2xS,s 6.6.6 针合成 113 9Fr3pRIJ 6.6.6.1 针合成参数 114 1u|Rl:Q 6.6.7 差分进化 114 C*G=cs\i 6.6.8非局部细化 115 A3ZY~s#Iv 6.6.8.1非局部细化参数 115 # (- Qx 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =Z+nX0qF 6.7.1 细化 116 .n=Z:*JqQ 6.7.2 合成 117 /P
2[:[w 6.8 参考文献 117 g9Yz*Nee< 7 导纳图及其他工具 118 .m`y><.5 7.1 简介 118 ^7.h%lSg 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 MBXBog7U 7.2.1 四分之一波长规则 119 Kn?lHH*w7 7.2.2 导纳图 120 Jx=hJ-FY 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ez9q7SpA 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 H&yD*@ 7.5 斜入射导纳图 141 ys#i@ 7.6 对称周期 141 l]]l 7.7 参考文献 142 ?}B: 8 典型的镀膜实例 143 \t|M-%&)4 8.1 单层抗反射薄膜 145 s<]&*e&}? 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 oQL59XOT4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 X@|&c]] 8.4 W-膜层 148 7jJbo]& 8.5 V-膜层 149 >g;kJe 8.6 V-膜层高折射基底 150 42 \-~] 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 U-^[lWn[@4 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8#D:H/`' 8.9 四层抗反射薄膜 153 %riK+ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 PG]%Bv57 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 W@2vjz 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 W#Qmv^StZ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \-*eL;qP 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 aSP4a+\* 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |G/7_+J6 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 efY8M2 8.17 1/4波长堆栈 162 9TAj) {U%' 8.18 陷波滤波器 163 {W\T"7H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 P6Mhbmt9* 8.20 褶皱 165 DE
IB!n 8.21 消偏振分光器1 169 d`
Sr4c 8.22 消偏振分光器2 171 j.:h5Y^N 8.23 消偏振立体分光器 172 J/6`oh?,Q 8.24 消偏振截止滤光片 173 i7LJ&g/) 8.25 立体偏振分束器1 174 !7d*v3)d 8.26 立方偏振分束器2 177 /(8a~f&%r 8.27 相位延迟器 178 HBB{m 8.28 红外截止器 179 UgN28YrW 8.29 21层长波带通滤波器 180 x^*1gv $o 8.30 49层长波带通滤波器 181 1w"8~Z:UXV 8.31 55层短波带通滤波器 182 #*>E*#?t 8.32 47 红外截止器 183 :L
3&FA 8.33 宽带通滤波器 184 iL7VFo:Q 8.34 诱导透射滤波器 186 vJ`.iRU| 8.35 诱导透射滤波器2 188 dXn%lJ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 jn.C|9/mj 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Xes|[ *Y!V 8.35 增益平坦滤波器 193 ]P[%Mhg^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 yE} dj)wd 8.39 啁啾反射镜2 198 %/.a]j! 8.40 啁啾反射镜3 199 _P?\.W@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 tMj1~
R 8.42 增加铝反射率膜 201 BN,>&1I
8.43 参考文献 202 _#_
E^! 9 多层膜 204 !rhk
$L 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 2ij#
H
; 9.2 内部透过率 204 ^S#t|rN
9.3 内部透射率数据 205 j'p1q 9.4 实例 206 UMN*]_'+;b 9.5 实例2 210 H UWxPIu 9.6 圆锥和带宽计算 212 @InZ<AW>| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 EC6k{y}bA 10 光学薄膜的颜色 216 bqx0d=Z~[ 10.1 导言 216 1t9 .fEmT 10.2 色彩 216 /hv#CB>1x 10.3 主波长和纯度 220 :!zC"d9@ 10.4 色相和纯度 221 smQVWs> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 JmpsQ,, 10.6 色差 226 #&,H"?" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 VzlDHpG 10.8 颜色渲染指数 234 i.1U|Pi 10.9 色差计算 235 pe&UQ C^ 10.10 参考文献 236 7L:7/ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 R \s!*) 11.1 短脉冲 238 [t0rfl{. 11.2 群速度 239 q1k{ 11.3 群速度色散 241 0F;,O3Q 11.4 啁啾(chirped) 245 YW;
Hk1 11.5 光学薄膜—相变 245 'PWQnt_U 11.6 群延迟和延迟色散 246 ;\%sEcpT 11.7 色度色散 246 o{-<L 11.8 色散补偿 249 hF&}lPVtv 11.9 空间光线偏移 256 MQcr^Y_ 11.10 参考文献 258 kVDe6},D7 12 公差与误差 260 xU9@$am 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?HHzQ4w%{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 pz doqAVI 12.2.1 误差工具 267 EqM;LgE= 12.2.2 灵敏度工具 271 #<CIFVH 12.2.2.1 独立灵敏度 271 2}t&iG|0/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?H R%bngK 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /2NSZO 12.3 参考文献 276 B>TSdn={> 13 Runsheet 与Simulator 277 DHfB@/q# 13.1 原理介绍 277 u2sR.%2U< 13.2 截止滤光片设计 277 J7i+c];!< 14 光学常数提取 289 RHNk%9 14.1 介绍 289 8}BB OD 14.2 电介质薄膜 289 rlznwfr7+ 14.3 n 和k 的提取工具 295 PK rek 14.4 基底的参数提取 302 RB3 zHk% 14.5 金属的参数提取 306 (%<' A 14.6 不正确的模型 306 FE m=w2 14.7 参考文献 311 ^lO76Dz~a 15 反演工程 313 So4nJ><p 15.1 随机性和系统性 313 B/eaqJ 15.2 常见的系统性问题 314 E(L<L1:" 15.3 单层膜 314 &:#m&,tQ 15.4 多层膜 314 ;6DnId2Zh 15.5 含义 319 WtX>Qu| 15.6 反演工程实例 319 &/ouW'oP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 NW.XA! =E) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 w+f=RHX"{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
U w Eiz 16.1 光学性质的热致偏移 329 x,Y5U+]E 16.2 应力工具 335 :%tuNJjj 16.3 均匀性误差 339 kR6A3?[ 16.3.1 圆锥工具 339 [!?wyv3 16.3.2 波前问题 341 v$$]Gv( 16.4 参考文献 343 H+cNX\, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 L0&S0HG
17.1 引言 345 A0#Y, 1 17.2 操作数 345 30 7fBa 18 如何在Function中编写脚本 351 (@]tG?I= 18.1 简介 351 BXTN>d27 18.2 什么是脚本? 351 {j6g@Vd6lx 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 vg^Myn
18.4 基础 352 #@_1fE 18.4.1 Classes(类别) 352 |< N frz 18.4.2 对象 352 v*P[W_. 18.4.3 信息(Messages) 352 o'qm82*
= 18.4.4 属性 352 c#\-%h 18.4.5 方法 353 |NEd@ 18.4.6 变量声明 353 .[f;(WR 18.5 创建对象 354 4r*Pa(;y 18.5.1 创建对象函数 355 f9']
jJ+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 .xpmp6- 18.5.3 丢弃对象 356 k|#Zy, 18.5.4 总结 356 ?~)Ak`= 18.6 脚本中的表格 357 sx-F8:Qa 18.6.1 方法1 357 BLW]|p|1: 18.6.2 方法2 357 .Z5[_'T 18.7 2D Plots in Scripts 358 UB&2f> 18.8 3D Plots in Scripts 359 +k
rFB?>` 18.9 注释 360 _0]QS4a][c 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $Q4=37H+ 18.11 一个更高级的脚本 362 eU~?p|Np 18.12 <esc>键 364 6_ ]8\n 18.13 包含文件 365 WF)s*$'uz; 18.14 脚本被优化调用 366 L<)Z> @fR 18.15 脚本中的对话框 368 Uh\]?G[G 18.15.1 介绍 368 U_*3>Q 18.15.2 消息框-MsgBox 368 lJj&kVHb 18.15.3 输入框函数 370 1NGyaI 18.15.4 自定义对话框 371 -kc(u1! 18.15.5 对话框编辑器 371 _m7co : 18.15.6 控制对话框 377 6UI>GQ 18.15.7 更高级的对话框 380 LR\zy8y] 18.16 Types语句 384 ZeTL$E[E} 18.17 打开文件 385 N
^f}ui i 18.18 Bags 387 qvTJ>FILT 18.13 进一步研究 388 O#PwRud$ 19 vStack 389 =phiD&= 19.1 vStack基本原理 389 m >hovikY* 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 "7?t)FOo 19.3 五棱镜 393 x-4J/tm 19.4 光束距离 396 p5`ZyD]+ 19.5 误差 399 u#VweXyU 19.6 二向分色棱镜 399 2+&R"#I 19.7 偏振泄漏 404 54wM8'+ 19.8 波前误差—相位 405 )"-fHW+fy 19.9 其它计算参数 405 z'e1"Y. 20 报表生成器 406 f MzYFM'i 20.1 入门 406 O,]_ tp 20.2 指令(Instructions) 406 i^/DiWdyf 20.3 页面布局指令 406 )(.%QSA\C 20.4 常见的参数图和三维图 407 E -
KK 20.5 表格中的常见参数 408 uOb2npPj 20.6 迭代指令 408 @?vLAsp\ 20.7 报表模版 408 7 BK46x 20.8 开始设计一个报表模版 409 b_l.QKk 21 一个新的project 413 x{2o[dK4} 21.1 创建一个新Job 414 3z$HKG 21.2 默认设计 415 `~|DoSi^d 21.3 薄膜设计 416 -Y2&A$cM 21.4 误差的灵敏度计算 420 gb9[Meg' 21.5 显色指数计算 422 oc =tI@W 21.6 电场分布 424 ny~W]1 后记 426 X-v~o/r7 原价598元,限时特惠550.16元,有兴趣扫码加微联系 |zb`&tv} Kf&r21h
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