}&I\a 摘要 0;2i"mzS\
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J0*hJ-/u J 05@SG': 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
9 [v=` =dx!R ,Bw 建模任务 jl;_lcO
y >r7(qg K*&M:u6E 'iA#lKG 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
5ppOG_ ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
f.JZ[+ ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
Zk4Hs%n %@#+Xpa+ 示例 n0F.Um cjAKc|N J k"\%x=# nDuf<mw 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
'bJ!~ML& ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
g6{.C7m ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
L`;p.L
Bs_ ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
bO 2>ced fft FNHP 关于z轴旋转的图示 M.$Li#So, &E0L7?l g}"`@H(9r3 |I-;CoAg 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
jWJq[l 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
I=o[\?u*_ B4 yU}v 指向(关于z轴旋转):0° Oo|*q+{ Hy^Em NAjY,)>'K (DJLq 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
]E'BFon i!+D
,O 指向(关于z轴旋转): 30° TG7Ba[% >}Qj|05G }P(RGKQZ" 3[I; 3=O 注意:方向角度的定义为:
'{dduHo ─ 关于界面坐标轴。
=y-L'z&r ─ 逆时针方向。
IhnHNY]<g e8g"QDc 指向(关于z轴旋转): -90° uMVM- (g% xFxl9oM." 28FC@&'H mAMi-9 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
Fd Ezt KwK[)Cvv 关于y轴旋转180°示例 7?Q@Hj(:NT Ot}fGiio Atl`J.;G JwCv(1$GM 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
L1=3_fO KiW4>@tY 关于y轴旋转180°(未选中) d]1%/$v^ u>c\J|K_V ^?PU:eS :*bv(~FW 注意:
8 2qf7` 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
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/ 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
'f&o%5] ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
fm$eJu ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
Dy6uWv,P h 'VN& T, 关于y轴旋转180(选中) . K`OEdr<
A{\#.nC/z
J-*&& vSty.:bY\p 注意:
s2f95<B 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
b`"E(S / Q#C;4)e 例1和例2的附加信息 272j$T
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