{ *$9, 当用近轴光
照明时,亚
波长光栅仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下无法成
图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。
VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
Egf^H>,.M 6c &Y
*KJ7nRKx(w <xqba4O 1. 建模任务 T>F9Hs W
3e
73l
1a8$f5 %t[K36,p 2. 结果 \igaQ\~
eO[c l B
u|OtKq
!.-.#<<_a
^mf jn-=3