[技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

Wk$ 7<gkr  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 p=m)lR9  
ZS0=xS5q)  
?N2/;u>  
~kUdHne(  
1. 建模任务 R)% Jr.U  
EoM}Co  
tZlz0BY!  
f/t1@d!  
2. 结果 <11pk  
w '?xewx  
c,a+u  
qkB)CY7  
o<@b]ukl&