[技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

^&uWAQohL  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ~QdwoeaD  
|PN-,f{-  
KGUpXMd^Z  
yh_s(>sh  
1. 建模任务 5q]
u:  
#},]`"n\  
"!)8bTW  
pmCBe6n\l  
2. 结果 #py7emu  
d$rJW m5H  
5*buRYck0  
cXJgdBwo  
wri[#D {