[技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

/w?e(v<  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 .
==D?#bn  
aS [[ AL  
b&rBWp0#  
B#V""[Y9  
1. 建模任务 #kC~qux^  
arL>{mj  
=?OU^u`C  
y74Q(  
2. 结果 bB_LL  
Z 8rD9 k$6  
_KH91$iW8m  
"h+Z[h6T  
Wu][A\3D1