r C[6lIP 当用近轴光
照明时，亚
波长光栅仅产生一个
衍射级，因此在这种情况下无法成
图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。
VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
w(nHD*nm qIwV q!= 
,%# .wrL3z_ 1. 建模任务 Vy G4(X va
^4v*W;Q
{}>n{_ aaWJ*
>rJ 2. 结果 mV9A {h
ps:f=6m2
!wLg67X$
-
[LM^), J?
0m9ZQ
O
