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oXGZK5w<l 内容简介 3H8Al Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ! D1zXXq 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 pj|X]4?wdI 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 -!dQ)UEP +R\~3uj[7 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8(lCi$ 目录 m&El) Preface 1 o)I/P< 内容简介 2 !$>G#+y 目录 i {;n0/
1 引言 1 >t#\&|9I 2 光学薄膜基础 2 " $)yB 2.1 一般规则 2 Y!n'" *J> 2.2 正交入射规则 3 -c={+z " 2.3 斜入射规则 6 "c
Pz|~ 2.4 精确计算 7 8
/m3+5 2.5 相干性 8 !0jq6[& 2.6 参考文献 10 A{`]&K1u 3 Essential Macleod的快速预览 10 hqW$kw 4 Essential Macleod的特点 32 r)B3es&& 4.1 容量和局限性 33 /'&v4C^y> 4.2 程序在哪里? 33 h48 bb.p2 4.3 数据文件 35 fM:80bnL+ 4.4 设计规则 35 WZ*&@|w 4.5 材料数据库和资料库 37 4ftj>O 4.5.1材料损失 38 2"M_sL 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :,YLx9i> 4.5.2 材料库 41 r@|ZlM@O 4.5.3导出材料数据 43 X_?%A54z? 4.6 常用单位 43 ?>?ZAr 4.7 插值和外推法 46 D_ ug-<QT 4.8 材料数据的平滑 50 9::YR;NY 4.9 更多光学常数模型 54 L>:FGNf^H 4.10 文档的一般编辑规则 55 M?hFCt3Y 4.11 撤销和重做 56 8S= c^_PJ 4.12 设计文档 57 n/-N;'2J 4.10.1 公式 58 _IKQ36= 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 a71}y;W 4.10.3 沉积密度 59 )"~=7)~<^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 v>k b^38 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 (WMLNv 4.10.4 性能 61 _z%\'(l+ 4.10.5 保存设计和性能 64 9OZ>y0)K~ 4.10.6 默认设计 64 Gx|Dql 4.11 图表 64 Z@nmjj i 4.11.1 合并曲线图 67 \S5V}!_ 4.11.2 自适应绘制 68 O3}P07 4.11.3 动态绘图 68 HnK/A0jM 4.11.4 3D绘图 69 2K~tDNv7 4.12 导入和导出 73 44|03Ty 4.12.1 剪贴板 73 T~|PU{ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 c8\g"T 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 l~{T#Q 4.13 背景 77 yh$ ~*UV 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 oHRbAE^ 4.15 生成Rugate 84 {5.?'vMp 4.16 参考文献 91 )#mW7m9M# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 10TSc
j 5.1 Jobs 92 4SBLu%=s% 5.2 创建一个新Job(工作) 93 :n`0)g[( 5.3 输入材料 94 bZnDd 5.4 设计数据文件夹 95 ]Y$&78u8t 5.5 默认设计 95 K1
6s)S' 6 细化和合成 97 rl41#6 6.1 优化介绍 97 ls]Elo8h1f 6.2 细化 (Refinement) 98 9Mut p4# 6.3 合成 (Synthesis) 100 rcW#6VZ= 6.4 目标和评价函数 101 roL]v\tr 6.4.1 目标输入 102 Z%A<#% 6.4.2 目标 103 ua!D-0 6.4.3 特殊的评价函数 104 25w6KBTe;: 6.5 层锁定和连接 104 AF
QnCl Of 6.6 细化技术 104
*X0K2| 6.6.1 单纯形 105 uvNnW}G4 6.6.1.1 单纯形参数 106 "
gwm23Rpj 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
bsD'\ 6.6.2.1 Optimac参数 108 s}<)BRZi 6.6.3 模拟退火算法 109 0n7HkDo 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ws na5D6i
6.6.4 共轭梯度 111 =7H.F:BBG 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 B0NN>)h 6.6.5 拟牛顿法 112 |)*m[_1 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ` 3vN R" 6.6.6 针合成 113 2>`m<&y 6.6.6.1 针合成参数 114 R^F7a0" 6.6.7 差分进化 114 P=}H1# 6.6.8非局部细化 115 0 %C!`7 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~4}*Dhsh 6.7 我应该使用哪种技术? 116 B/:>{2cm 6.7.1 细化 116 lu<Np9/5< 6.7.2 合成 117 60(}_% 6.8 参考文献 117 OME!W w 7 导纳图及其他工具 118 ]5aux
>.n 7.1 简介 118 ~mHXz 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'JJ1#kKa 7.2.1 四分之一波长规则 119 /QM0.{Ypl 7.2.2 导纳图 120 MM/BJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M^0w/ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^p'D <!6sK 7.5 斜入射导纳图 141 I67k M{V 7.6 对称周期 141 WXRHG)nvL 7.7 参考文献 142 Z^jGT+ 2 8 典型的镀膜实例 143 hXj* {vT 8.1 单层抗反射薄膜 145 hCSRsk3 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 4'd;'SvF 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }UJdE#4 8.4 W-膜层 148 rHA/
8.5 V-膜层 149 w}]3jc84 8.6 V-膜层高折射基底 150 ZA 99vO 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 e2,<,~_K6 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Q;{D8 #! 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?w c3+?\J 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;7B2~zL 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Y)@oo=oG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ]l9,t5Y 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ZlwcwoPib 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 s8/ozaeo 8.15十五层宽带抗反射膜 159 9;m#>a@Y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 /It.>1~2@ 8.17 1/4波长堆栈 162 Bh.6:9{ 8.18 陷波滤波器 163 =6L:Ix 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 =rs=8Ty?S 8.20 褶皱 165 !>"INmz 8.21 消偏振分光器1 169 x);?jxd 8.22 消偏振分光器2 171 2J>A;x_? 8.23 消偏振立体分光器 172 kV]%Q3t 8.24 消偏振截止滤光片 173 Vj9`[1}1Z 8.25 立体偏振分束器1 174 U?+3 0{hb 8.26 立方偏振分束器2 177 ;
HR\R 8.27 相位延迟器 178 s%0[DO3NV 8.28 红外截止器 179 $!
fz~ 8.29 21层长波带通滤波器 180 hx2!YNx ! 8.30 49层长波带通滤波器 181 3P<Zzt%e T 8.31 55层短波带通滤波器 182 q=j/s4~ 8.32 47 红外截止器 183 oeRYyJ 8.33 宽带通滤波器 184 mt&JgA/ 8.34 诱导透射滤波器 186 `tUeT[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 iZVT% A+q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7Vof7Y < 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 }]Z,\lA 8.35 增益平坦滤波器 193 l[x`*+ON:2 8.38 啁啾反射镜 1 196 m+G0<E% 8.39 啁啾反射镜2 198 4G68WBT 8.40 啁啾反射镜3 199 fmT3Afl5c 8.41 带保护层的铝膜层 200 <_FF~lj 8.42 增加铝反射率膜 201 k(w9vt0? 8.43 参考文献 202 Yg:74; . 9 多层膜 204 r4z}yt+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 da7x 1n$D 9.2 内部透过率 204 ^LQ lfd 9.3 内部透射率数据 205 ES2d9/]p- 9.4 实例 206 o*5e14W(: 9.5 实例2 210 S+bWD7 9.6 圆锥和带宽计算 212 VN55!l'OV 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 VS@rM<K{ 10 光学薄膜的颜色 216 ;74DT 10.1 导言 216 rym\5
`) 10.2 色彩 216 eyl) uR 10.3 主波长和纯度 220 tz \:r>3vI 10.4 色相和纯度 221 |M{,}.*CU 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 !WVabdt 10.6 色差 226 hH@o|!y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 P.2.Ge| 10.8 颜色渲染指数 234 pC?1gc1G 10.9 色差计算 235 PrYWha=c- 10.10 参考文献 236 hG0lR.: 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 +~v3D^L15 11.1 短脉冲 238 5eZg+ O 11.2 群速度 239 2%No>w}/2 11.3 群速度色散 241 n46PQm%p 11.4 啁啾(chirped) 245 (>@syF%PB 11.5 光学薄膜—相变 245 Z ysUz 11.6 群延迟和延迟色散 246 )LS+M_
11.7 色度色散 246 T_|fb)G+{ 11.8 色散补偿 249 oqU#I~ - 11.9 空间光线偏移 256 <`VJU2 11.10 参考文献 258 ]oZ,{Q5~ 12 公差与误差 260 W$ d{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 7^Q$pT> 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 e+=G-u5}- 12.2.1 误差工具 267 1'._SMP 12.2.2 灵敏度工具 271 {/VL\AW5$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ~.y4
,- 12.2.2.2 灵敏度分布 275 sp]y! zb"5 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 @'| 6lG 12.3 参考文献 276
j9
&AMg 13 Runsheet 与Simulator 277 JbD)}(G; 13.1 原理介绍 277 =R8.QBVdN 13.2 截止滤光片设计 277 Jhq5G" 14 光学常数提取 289 >C d&K9H 14.1 介绍 289 [T?6~^m= 14.2 电介质薄膜 289 )-Sl/G 14.3 n 和k 的提取工具 295 @42lpreT 14.4 基底的参数提取 302 \?]HqPibx 14.5 金属的参数提取 306 {m*J95[
14.6 不正确的模型 306 >|&OcU 14.7 参考文献 311 $;j6*,H 15 反演工程 313 VDI S`E 15.1 随机性和系统性 313 .Y Frb+6 15.2 常见的系统性问题 314 zyQEz#O 15.3 单层膜 314 x6cl(J} 15.4 多层膜 314 Env}g CX 15.5 含义 319 $TW+LWb 15.6 反演工程实例 319 aRb:.\ \zc 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )(
jNd&H 15.6.2 反演工程提取折射率 327 aNf3 R; * 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 sn-+F%[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 (Y@|h%1W 16.2 应力工具 335 G5@fqh6ws 16.3 均匀性误差 339 4Fc1' 16.3.1 圆锥工具 339 K{|dt W& 16.3.2 波前问题 341 )o(F*v 16.4 参考文献 343 t;PnjCD<` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Vy"^]5 17.1 引言 345 -bX.4+U 17.2 操作数 345 5v-;* 18 如何在Function中编写脚本 351 BGYm]b\j[ 18.1 简介 351 4Tw1gas. 18.2 什么是脚本? 351 745V!#3!M
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Vt2=rD4oJk 18.4 基础 352 ~G^doj3|+ 18.4.1 Classes(类别) 352 ${:$jX[ 18.4.2 对象 352 ee?Mo` 18.4.3 信息(Messages) 352 $GKm`I" 18.4.4 属性 352 r*xw\ 18.4.5 方法 353 nU#q@p)Xg 18.4.6 变量声明 353 iSW73P;) 18.5 创建对象 354 ~(E8~)f) 18.5.1 创建对象函数 355 o5A_j?t 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 D`ge3f8Wi 18.5.3 丢弃对象 356
2Ab#uPBn 18.5.4 总结 356
gMMd= 18.6 脚本中的表格 357 H<Taf%JT 18.6.1 方法1 357 &\br_ 18.6.2 方法2 357 P`v~L;f 18.7 2D Plots in Scripts 358 s+~Slgl 18.8 3D Plots in Scripts 359 W3j|% 18.9 注释 360 rNO;yL4)ey 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 c&W.slE6 18.11 一个更高级的脚本 362 (:muxby% 18.12 <esc>键 364 ;5_S 18.13 包含文件 365 q%&7J< 18.14 脚本被优化调用 366 oeKc-[r 18.15 脚本中的对话框 368 DfFPGFv 18.15.1 介绍 368 Q 8E~hgO 18.15.2 消息框-MsgBox 368 i^KYZ4/% 18.15.3 输入框函数 370 p&M'DMj+ 18.15.4 自定义对话框 371 zUu>kJZ 18.15.5 对话框编辑器 371 pU'sADC 18.15.6 控制对话框 377 + # >%bq x 18.15.7 更高级的对话框 380 ^*W<$A_ 18.16 Types语句 384 1/BMs0 = 18.17 打开文件 385 \Y 4Z Q"0Q 18.18 Bags 387 mwhn=y#]* 18.13 进一步研究 388 z1 px^#
19 vStack 389 8dB~09Z7 19.1 vStack基本原理 389 za/#R_%p 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Mdh"G @$n 19.3 五棱镜 393 'Mqa2o'M 19.4 光束距离 396 JH;DVPX9z 19.5 误差 399 4!qDG+m 19.6 二向分色棱镜 399 vw; 19.7 偏振泄漏 404 _q$fw& 19.8 波前误差—相位 405 M.Ik%nN#K0 19.9 其它计算参数 405 ,]"u!,yHb 20 报表生成器 406 T480w6-@ 20.1 入门 406 c!T{|'? 20.2 指令(Instructions) 406 9F4|T7? 20.3 页面布局指令 406 JwczE9~o 20.4 常见的参数图和三维图 407 _4]dPk#^ 20.5 表格中的常见参数 408 o>tT!8rH 20.6 迭代指令 408 `:4cb$ 20.7 报表模版 408 :wAB"TCt0 20.8 开始设计一个报表模版 409 A UV$ S2 21 一个新的project 413 k~dr;j 21.1 创建一个新Job 414 .>&fwG 21.2 默认设计 415 OK}"|:hrd 21.3 薄膜设计 416 #"JU39e 21.4 误差的灵敏度计算 420 YPEd
XU8} 21.5 显色指数计算 422 Shd,{Z)-Tg 21.6 电场分布 424 w}b+vh^3Wy 后记 426 ,;18:
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