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{@V3?pG?p 内容简介 X&(ERY,h Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 x_<bK$OU 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 WBr:|F+~s 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 /c@*eU t0bhXFaiE 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 yQZ/,KX 目录 r]8x;v1 Preface 1 b0YiQjS6> 内容简介 2 3e%l8@R@ 目录 i Or+*q91j 1 引言 1 !ww:O| 0 2 光学薄膜基础 2 ahNX/3;y 2.1 一般规则 2 LZr0]g{Pu/ 2.2 正交入射规则 3 %o@['9U[j 2.3 斜入射规则 6 dK}WM46$ 2.4 精确计算 7 /o~qC<7 2.5 相干性 8 Q1`<fD
2.6 参考文献 10 .?rbny 3 Essential Macleod的快速预览 10 2.LJp}> 4 Essential Macleod的特点 32 ]<kupaRQ 4.1 容量和局限性 33 rGnI( m. 4.2 程序在哪里? 33 VYamskK[G: 4.3 数据文件 35 )sW6iR&_i 4.4 设计规则 35 M3Khc#5S( 4.5 材料数据库和资料库 37 b0@>xT 4.5.1材料损失 38 /l,+oG%\ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ><NI'q*cQ 4.5.2 材料库 41 {f+N]Oo* 4.5.3导出材料数据 43 oX'0o 'c 4.6 常用单位 43 -)1-~7
r 4.7 插值和外推法 46 6a4 'xq7 4.8 材料数据的平滑 50 H2qf' 4.9 更多光学常数模型 54 ~+O `9& 4.10 文档的一般编辑规则 55 jR{- 4.11 撤销和重做 56 D|@bGN 4.12 设计文档 57 3CR@'
qG- 4.10.1 公式 58 _wf5%(~b 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 D##+)`dK 4.10.3 沉积密度 59 \ Md
3 4.10.4 平行和楔形介质 60 d_Q*$Iz)3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3k#[(phk 4.10.4 性能 61 _u&>&,:q 4.10.5 保存设计和性能 64 m\>|C1oRy 4.10.6 默认设计 64 EL^8zyg%% 4.11 图表 64 Q6"uK 4.11.1 合并曲线图 67 *cbeyB{E 4.11.2 自适应绘制 68 yND"bF9 4.11.3 动态绘图 68 o#qH2)tb 4.11.4 3D绘图 69 KH7VR^;mk 4.12 导入和导出 73 ]N*L7AVl 4.12.1 剪贴板 73 Kv(z4 z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 KZ=u54 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1/B]TT 4.13 背景 77 u!Xb?:3uj 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~C&*.ZR 4.15 生成Rugate 84 aaDP9FW9e 4.16 参考文献 91 '|A|vCRCG 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Hd9XfU 5.1 Jobs 92 ^ eQFg> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 F{<5aLaYti 5.3 输入材料 94 dsJm>U) 5.4 设计数据文件夹 95 w OI^Q~ 5.5 默认设计 95 HcRa`Sfc]/ 6 细化和合成 97 [J^ 6.1 优化介绍 97 *?/tO,
R? 6.2 细化 (Refinement) 98 [4sEVu} 6.3 合成 (Synthesis) 100 HPrq1QpK 6.4 目标和评价函数 101 :0$a.8Y\++ 6.4.1 目标输入 102 v??TJ^1 6.4.2 目标 103 u*3NS$vH 6.4.3 特殊的评价函数 104 =;0wFwSz 6.5 层锁定和连接 104 ohUdGO[/ 6.6 细化技术 104 {_?rh,9q 6.6.1 单纯形 105 _AFQ >j 6.6.1.1 单纯形参数 106 VYZU eh 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 cHx%Nd\ 6.6.2.1 Optimac参数 108 nVE9^')8V 6.6.3 模拟退火算法 109 +#2)kg 9_ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 -KH)J 6.6.4 共轭梯度 111 Mp~y0e 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 8)N@qUV 6.6.5 拟牛顿法 112 .`jo/,?+O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Q_]d5pl 6.6.6 针合成 113 oH^(qZ8W 6.6.6.1 针合成参数 114 #] CFA9z 6.6.7 差分进化 114 {:Aw_z:' 6.6.8非局部细化 115 5G(3vRX|1 6.6.8.1非局部细化参数 115 !gF9k8\Yr$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 )=J5\3O*x 6.7.1 细化 116 )KE[!ofD 6.7.2 合成 117 ~e `Bq> 6.8 参考文献 117 [U>@,BH 7 导纳图及其他工具 118 K=dR%c( 7.1 简介 118 sV/l5]b] 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 8S]". 7.2.1 四分之一波长规则 119 :IMdN}(L 7.2.2 导纳图 120 \8S~c8Z~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 f$.?$ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7Vu ? 7.5 斜入射导纳图 141 D f4+^B,1 7.6 对称周期 141 eSEq{?> 7.7 参考文献 142 PRkSQ4 8 典型的镀膜实例 143 Tlq-m2] 8.1 单层抗反射薄膜 145 1TS0X:TCn 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 MP^ d}FL 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !8
-oR6/$% 8.4 W-膜层 148
|l0Ea 8.5 V-膜层 149 /J3ZL[o?Q 8.6 V-膜层高折射基底 150 Aw5pd7qKL 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 R'}95S< 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 qJPT%r 8.9 四层抗反射薄膜 153 yF13Of^l./ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 tz^/J=)" 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 m/B6[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 0Yl4eB- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )yG"^Ulu 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,](:<A)W& 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^/U27B 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Vw tZLP36 8.17 1/4波长堆栈 162 Bc7V)YK 8.18 陷波滤波器 163 dY7'OAUyVl 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 m8R9{LC 8.20 褶皱 165 R=Zn -q 8.21 消偏振分光器1 169 rH8@69,B 8.22 消偏振分光器2 171 6e,xDr 8.23 消偏振立体分光器 172 0 (U#) 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^n1%OzGK# 8.25 立体偏振分束器1 174 m)v''`9LU 8.26 立方偏振分束器2 177 1'.7_EQ4T 8.27 相位延迟器 178 {@W93=Vq8 8.28 红外截止器 179 p;T{i._iL 8.29 21层长波带通滤波器 180 +Y"r71|A6+ 8.30 49层长波带通滤波器 181 Fd]\txOXj 8.31 55层短波带通滤波器 182 Z@a9mFI? 8.32 47 红外截止器 183 VhL{'w7f 8.33 宽带通滤波器 184 NLS"eDm 8.34 诱导透射滤波器 186 : _e# 8.35 诱导透射滤波器2 188 3_Cp%~Gi-_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 >Fio;cn? 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $+JS&k/'m 8.35 增益平坦滤波器 193 O.aG[wm8 8.38 啁啾反射镜 1 196 d^03"t0O] 8.39 啁啾反射镜2 198 }jH7iyjD 8.40 啁啾反射镜3 199 e^p
+1-B 8.41 带保护层的铝膜层 200 dZ#&YG)?e 8.42 增加铝反射率膜 201 (*}yjUYLZ 8.43 参考文献 202 c'uhK8| 9 多层膜 204 C%d_@*82 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 &LO"g0w 9.2 内部透过率 204 f()FY<b 9.3 内部透射率数据 205 [x=jH>Y 9.4 实例 206 ~h}Fi 9.5 实例2 210 ~5Pb&+<$ 9.6 圆锥和带宽计算 212 U,#yqER'r 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 j/=iMq 10 光学薄膜的颜色 216 dr)YzOvba 10.1 导言 216 T|J9cgtS 10.2 色彩 216 S/|,u`g- 10.3 主波长和纯度 220 NBl+_/2'w 10.4 色相和纯度 221 Q!-
0xlx 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 v+p{|X- 10.6 色差 226 |4$M]M f0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .2d9?p3Y 10.8 颜色渲染指数 234 vEf4HZ&w 10.9 色差计算 235 +$4(zPs@ 10.10 参考文献 236 'z76Sa 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 x{D yTtX< 11.1 短脉冲 238 =qN2Xg/ 11.2 群速度 239 zp\8_ U@ 11.3 群速度色散 241 S$KFf=0 11.4 啁啾(chirped) 245 _zlqtO 11.5 光学薄膜—相变 245 J+rCxn?;g 11.6 群延迟和延迟色散 246 F,
U*yj 11.7 色度色散 246 l/;X?g5+ 11.8 色散补偿 249 %ZHP2j
%~ 11.9 空间光线偏移 256 UOQEk22 11.10 参考文献 258 ;iDPn2?6?x 12 公差与误差 260 pv|Pm 12.1 蒙特卡罗模型 260 NM ]bgpP 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 93t9^9 12.2.1 误差工具 267 }VDqj}is 12.2.2 灵敏度工具 271 %$%&m1Y 12.2.2.1 独立灵敏度 271 h -iJlm 12.2.2.2 灵敏度分布 275 +`3!I 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Gt9&)/# 12.3 参考文献 276 9x,RvWTb 13 Runsheet 与Simulator 277 ^C2\`jLMY 13.1 原理介绍 277 [+O"<Ua 13.2 截止滤光片设计 277 \*=7#Vd 14 光学常数提取 289 ge]STSM0n7 14.1 介绍 289 ECv)v 14.2 电介质薄膜 289 f~ }H 14.3 n 和k 的提取工具 295 ySI~{YVM 14.4 基底的参数提取 302 >0Q|nCx 14.5 金属的参数提取 306 ^CwR!I.D}4 14.6 不正确的模型 306 %Uz(Vd#K 14.7 参考文献 311 R|i/lEq 15 反演工程 313 v4@Z(M 15.1 随机性和系统性 313 GhPK-+"X 15.2 常见的系统性问题 314 o|jIM9/ 15.3 单层膜 314 }9nDo*A"} 15.4 多层膜 314 c- .t>r& 15.5 含义 319 Y@PI {;! 15.6 反演工程实例 319 2NB L}x 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 q^6 +!&" 15.6.2 反演工程提取折射率 327 V!)O6?l 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 j0@[Br %7 16.1 光学性质的热致偏移 329 42]pYm(jk3 16.2 应力工具 335 DY[$"8Kxcp 16.3 均匀性误差 339 qCv20#!"| 16.3.1 圆锥工具 339 RT%pDym\ 16.3.2 波前问题 341 'M3">$N 16.4 参考文献 343 ZE%YXG 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7RZh< |