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'Cr2&
dy 内容简介 >)`yG'[ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 oU|yBs1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 79HKfG2+KB 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 {$
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$m oGIh:n7 q+ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 B}?$kp 目录 n]nb+_-97 Preface 1 tBB\^xq: 内容简介 2 @#u'z~a) 目录 i rjaG{ i 1 引言 1 y [jck: 2 光学薄膜基础 2 KkK
!E 2.1 一般规则 2 tKP
zM 2.2 正交入射规则 3 .&Ik(792Z& 2.3 斜入射规则 6 BN]{o(EB 2.4 精确计算 7 sjW;Nsp 2.5 相干性 8 RCC~#bb 2.6 参考文献 10 _~}n(?> 3 Essential Macleod的快速预览 10 (@(rz/H 4 Essential Macleod的特点 32 P`$Y73L 4.1 容量和局限性 33 `mp3ORR;$ 4.2 程序在哪里? 33 cedH#;V!j 4.3 数据文件 35 =5kTzH. 4.4 设计规则 35 "k>;K,: 4.5 材料数据库和资料库 37 (X|`|Y 4.5.1材料损失 38 w+Oo-AGNH 4.5.1材料数据库和导入材料 39 K/A1g.$ 4.5.2 材料库 41 .>^iU} 4.5.3导出材料数据 43 z$]HZ#aRE 4.6 常用单位 43 ;)rs#T;$ 4.7 插值和外推法 46 6v(;dolBIw 4.8 材料数据的平滑 50 'kE^oX_ 4.9 更多光学常数模型 54 4+2hj*I 4.10 文档的一般编辑规则 55 Z.{r%W{2 4.11 撤销和重做 56 *<IQ+oat,a 4.12 设计文档 57 i9B1/?^W& 4.10.1 公式 58 !<AY0fpY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 `7o(CcF6H 4.10.3 沉积密度 59 kFZjMchm A 4.10.4 平行和楔形介质 60 j87IxB?o 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 m
L,El2 4.10.4 性能 61 P%^\<#Ya7 4.10.5 保存设计和性能 64 :d`8:gv? 4.10.6 默认设计 64 *s}j:fJ 4.11 图表 64 AOVoOd+6 4.11.1 合并曲线图 67 h 1`yW#% 4.11.2 自适应绘制 68 > qDHb' 4.11.3 动态绘图 68 W*D].| 4.11.4 3D绘图 69 :1(UC}v 4.12 导入和导出 73 .|Bmg6g* 4.12.1 剪贴板 73 0Q= o"@ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 /*2sg>e'QF 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 GP._C=] ?c 4.13 背景 77 4}t&AW4 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 OcLFVD= 4.15 生成Rugate 84 Me|+)}'p5h 4.16 参考文献 91 $h|rd+}, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 [AHZOA 5.1 Jobs 92 !s:v UY58 5.2 创建一个新Job(工作) 93 @N0(%o& 5.3 输入材料 94 fpK` 5.4 设计数据文件夹 95 05>xQx?"m4 5.5 默认设计 95 [va7+=[1= 6 细化和合成 97 ;"@FLq(n 6.1 优化介绍 97 /\B[lRn 6.2 细化 (Refinement) 98 ->S6S_H/+& 6.3 合成 (Synthesis) 100 rH<iUiA?O 6.4 目标和评价函数 101 $*u{i4b 6.4.1 目标输入 102 [!v|
M 6.4.2 目标 103 G3G"SJ np 6.4.3 特殊的评价函数 104 `Y`QxU!d% 6.5 层锁定和连接 104 sa71Vh{ 6.6 细化技术 104 t/baze;V 6.6.1 单纯形 105 jKcnZu 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^5l4D3@E 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Qs*6wF 6.6.2.1 Optimac参数 108 w C0fPPeA 6.6.3 模拟退火算法 109 "16-K%} 6.6.3.1 模拟退火参数 109 h4GR:` 6.6.4 共轭梯度 111 |
ZI ~#V 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ;5P>R[p 6.6.5 拟牛顿法 112 ;NrkX?Y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 SRN:!- 6.6.6 针合成 113 <9S?wju4W' 6.6.6.1 针合成参数 114 at/v.U|F 6.6.7 差分进化 114 s68EzFS 6.6.8非局部细化 115 [G/q*a:K 6.6.8.1非局部细化参数 115 j${:Y$VmE 6.7 我应该使用哪种技术? 116 dm Lgt)-t 6.7.1 细化 116 3986;>v 6.7.2 合成 117 j~G^J 6.8 参考文献 117 )>ed6A1 7 导纳图及其他工具 118 YZCPS6PuE 7.1 简介 118 tIb?23K0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /FiFtAbb 7.2.1 四分之一波长规则 119 FeS6>/ 7.2.2 导纳图 120 }TRr*]
P<% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 n%Xw6qV: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 nm*!#hx 7.5 斜入射导纳图 141 4yC{BRbi 7.6 对称周期 141 &L-y1'i=j 7.7 参考文献 142 !&C8y 8 典型的镀膜实例 143 ?T5^hQT
8.1 单层抗反射薄膜 145 "2CiW6X[M 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 =L<OTfVE 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 pM\)f 8.4 W-膜层 148 4(&00#Yxg2 8.5 V-膜层 149 "Q+'lA[} 8.6 V-膜层高折射基底 150 @l&5 |Cia 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 uavts9v< 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 /w!b2KwV 8.9 四层抗反射薄膜 153 0(3t# 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 AY0o0\6cw 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 '[5tc fG#z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Z|d_G} 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 {C*mn !u 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 .4F(Y_c 8.15十五层宽带抗反射膜 159 d[rxmEXht 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
guSgTUJ} 8.17 1/4波长堆栈 162 \{G6!dV|S 8.18 陷波滤波器 163 .6$ST Ksr 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;'tsdsu} 8.20 褶皱 165 BD=;4SLT 8.21 消偏振分光器1 169 r9s1\7]x 8.22 消偏振分光器2 171 EE&~D~yHUL 8.23 消偏振立体分光器 172 ":"M/v%F 8.24 消偏振截止滤光片 173 pPh_p@3I 8.25 立体偏振分束器1 174 A1%V<im@Z 8.26 立方偏振分束器2 177 ,[Cl 'B 8.27 相位延迟器 178 \|j`jsq 8.28 红外截止器 179 `?=AgGg 8.29 21层长波带通滤波器 180 hUA3(!0) 8.30 49层长波带通滤波器 181 8CA4gnh 8.31 55层短波带通滤波器 182 z^}T=
$& 8.32 47 红外截止器 183 %7
J 8.33 宽带通滤波器 184 *A,=Y/ 8.34 诱导透射滤波器 186 RNX}W lo-s 8.35 诱导透射滤波器2 188 #0xvxg%{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 gdCU1D\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Sk;IAp#X9 8.35 增益平坦滤波器 193 w0*6GCP 8.38 啁啾反射镜 1 196 M9f*7{c 8.39 啁啾反射镜2 198 }E/L: 8.40 啁啾反射镜3 199 },i?3dSvl 8.41 带保护层的铝膜层 200 5YC(gv3/ 8.42 增加铝反射率膜 201 ' R=o,= 8.43 参考文献 202 &LL81u6=S 9 多层膜 204 })!n1kt 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 &G<ZK9Ot}0 9.2 内部透过率 204 ~}ewna/2 9.3 内部透射率数据 205 2d3wQ)2 9.4 实例 206 `b7o 9.5 实例2 210 jH:*x$@
= 9.6 圆锥和带宽计算 212 IRS^F;) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =e._b 7P 10 光学薄膜的颜色 216 ~Kb(`Px@ 10.1 导言 216 Kw?,A
10.2 色彩 216 9Hc#[Ml 10.3 主波长和纯度 220 8g0& (9<) 10.4 色相和纯度 221 `>#X,Lw$g 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 CWDo_g$ 10.6 色差 226
{'r*Jb0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ?xG #4P<C= 10.8 颜色渲染指数 234 VUt
6[~? 10.9 色差计算 235 qrOTb9&y 10.10 参考文献 236 [yVU
p+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 GuS3O)6Sg 11.1 短脉冲 238 RyM2CQg[ 11.2 群速度 239 49kY]z|"w 11.3 群速度色散 241 _@RW7iP> 11.4 啁啾(chirped) 245 "thu@~aC 11.5 光学薄膜—相变 245 CRqa[boU* 11.6 群延迟和延迟色散 246 h|-r t15 11.7 色度色散 246 U>I#f 11.8 色散补偿 249 4Fz^[L}[ 11.9 空间光线偏移 256 Q;^([39DI 11.10 参考文献 258 sP&E{{<QTF 12 公差与误差 260 }=L
>u>cP 12.1 蒙特卡罗模型 260 H R
V/ A 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 `kz_q/K 12.2.1 误差工具 267 CRx:3u!: 12.2.2 灵敏度工具 271 T-x`ut7c 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;x7SY;0* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 i &KbzOY 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Nyo6R9^ 12.3 参考文献 276 hFjW.~B 13 Runsheet 与Simulator 277 dGfWRqS] 13.1 原理介绍 277 [[|;Wr}2 13.2 截止滤光片设计 277 .9E`x>C 14 光学常数提取 289 WFdS#XfV 14.1 介绍 289 h?O-13v 14.2 电介质薄膜 289 kjmF-\ 14.3 n 和k 的提取工具 295 4 IHl'*D[# 14.4 基底的参数提取 302 jIW:O 14.5 金属的参数提取 306 !XicX9n 14.6 不正确的模型 306 aL`pvsnF 14.7 参考文献 311 JxWHrsh[ 15 反演工程 313 `=>Bop) 15.1 随机性和系统性 313 8[Qw8z5- 15.2 常见的系统性问题 314 X >**M 15.3 单层膜 314 ?|L)!LYx 15.4 多层膜 314 N,O[pTwj 15.5 含义 319 *?8Q:@: 15.6 反演工程实例 319 Ry(!<w, 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >i.+v[)# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 "- Ns1A8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 `?$R_uFh: 16.1 光学性质的热致偏移 329 QO
k%Q$^G 16.2 应力工具 335 "pH+YqJ$ 16.3 均匀性误差 339 EbW7Av 16.3.1 圆锥工具 339 s 2$R2, 16.3.2 波前问题 341 ;aF / <r 16.4 参考文献 343 x?%vqg^r 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 pUPb+:^R 17.1 引言 345 EmH{G 17.2 操作数 345 lH6t d 18 如何在Function中编写脚本 351 s4Wk2*7Mq 18.1 简介 351 n% *u;iG 18.2 什么是脚本? 351 YcGqT2oLP 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Jd%#eD*k9 18.4 基础 352 +-oXW>`& 18.4.1 Classes(类别) 352 \\'!<Bn2d 18.4.2 对象 352 Q`oi=OYB 18.4.3 信息(Messages) 352 dRu@5
:BP 18.4.4 属性 352 &
=frt3 18.4.5 方法 353 \nJrjHA 18.4.6 变量声明 353 uM\~*@ 18.5 创建对象 354 hA"N&v~ 18.5.1 创建对象函数 355 +EpT)FJX 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8@r+)2 18.5.3 丢弃对象 356 R=IeAuZR4k 18.5.4 总结 356 r^@*Cir 18.6 脚本中的表格 357 )kkO:j 18.6.1 方法1 357 Bb1dH/8 18.6.2 方法2 357 pa+y(!G 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;~@2YPj 18.8 3D Plots in Scripts 359 yx-{}Yj^ 18.9 注释 360 P_qxw-s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 O<+C$J| 18.11 一个更高级的脚本 362 r3KV.##u, 18.12 <esc>键 364 }R
J2\CP 18.13 包含文件 365 r67 3+ 18.14 脚本被优化调用 366 XjX<?W 18.15 脚本中的对话框 368 7{b|+0W 18.15.1 介绍 368 ,{.&xJ$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3w0m:~KS6V 18.15.3 输入框函数 370 x^SE>dy ?z 18.15.4 自定义对话框 371 ."H5.' 18.15.5 对话框编辑器 371 ha(hG3C 18.15.6 控制对话框 377 -nU_eDy 18.15.7 更高级的对话框 380 ; id 18.16 Types语句 384 FS20OD 18.17 打开文件 385 +}:c+Z< 18.18 Bags 387 k|BEAdQ%M 18.13 进一步研究 388 xxedezNko 19 vStack 389 Et7AAV*8g 19.1 vStack基本原理 389 Y[pGaiN: 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ,@2O_O`: 19.3 五棱镜 393 , X|oCD 19.4 光束距离 396 ebQYk$@ 19.5 误差 399 Bg34YmZ 19.6 二向分色棱镜 399 !Dun<\ 19.7 偏振泄漏 404 D'</eJ 19.8 波前误差—相位 405 dLo%+V#/A 19.9 其它计算参数 405 H p1cVs 20 报表生成器 406 @jjp\ ~ 20.1 入门 406 3L#KHTM 20.2 指令(Instructions) 406 8mMrGf[Q\ 20.3 页面布局指令 406 esxU44 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,g/ UPK8K= 20.5 表格中的常见参数 408 ?Bk"3{hl 20.6 迭代指令 408 }z[O_S,X 20.7 报表模版 408 /LJ?JwAvg5 20.8 开始设计一个报表模版 409 =WN6Fj` 21 一个新的project 413 "ua/65cq9 21.1 创建一个新Job 414 agt7b@-5= 21.2 默认设计 415 r$*k-c9Bf 21.3 薄膜设计 416 &?x^I{j 21.4 误差的灵敏度计算 420 jb77uH_ 21.5 显色指数计算 422 ~Fisno 21.6 电场分布 424 M a_! 1Y 后记 426 _Z2VS"yH
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