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=5+:<e,& 内容简介 (xMAo;s_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @A
g=2\9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,w
c|YI)E 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 bjbm"~ yhZ 2-*pTg 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 4W6gKY 目录 :0r@o:H Preface 1 !s5 _JO 内容简介 2 Nq-qks.& 目录 i /1Ndir^c 1 引言 1 k: D<Q 2 光学薄膜基础 2 0&zp9(G5 2.1 一般规则 2 ho 4~-xmN 2.2 正交入射规则 3 r-=#C1eY& 2.3 斜入射规则 6 C4ge_u# 2.4 精确计算 7 nD|Bo 9 2.5 相干性 8 %-> X$,Q
: 2.6 参考文献 10 FK>8(M/ 3 Essential Macleod的快速预览 10 o[aRG7C 4 Essential Macleod的特点 32 8KN0z< 4.1 容量和局限性 33 [WuN?H 4.2 程序在哪里? 33 _A1r6 4.3 数据文件 35 bDRl}^aO6 4.4 设计规则 35 #TXgV0\F 4.5 材料数据库和资料库 37 W
A-\2 4.5.1材料损失 38 rMUn ~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 #Mrof9 4.5.2 材料库 41 Sw%^&*J 4.5.3导出材料数据 43 "cj6i{x,~w 4.6 常用单位 43 U%_BgLwy% 4.7 插值和外推法 46 PIl:z?q({ 4.8 材料数据的平滑 50 [s"xOP9R 4.9 更多光学常数模型 54 &i$p5 4.10 文档的一般编辑规则 55 :.J Ad$>P 4.11 撤销和重做 56 6;Wns' 4.12 设计文档 57 7
wH9w 4.10.1 公式 58 "`s{fy~mV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 w`x4i fZ0q 4.10.3 沉积密度 59 !UDTNF?1 4.10.4 平行和楔形介质 60 \$$DM"+:;H 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 IZn|1X?}\s 4.10.4 性能 61 LB$#]
Z 4.10.5 保存设计和性能 64 =~15q=XY0 4.10.6 默认设计 64 [2ez" 4e 4.11 图表 64 `r+zNJ@q 4.11.1 合并曲线图 67 v4OroG=^ 4.11.2 自适应绘制 68 [`2V!rU 4.11.3 动态绘图 68 Lk#8G>U 4.11.4 3D绘图 69 gwO]U=Y 4.12 导入和导出 73 {Dup k0'( 4.12.1 剪贴板 73 sQwRlx 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ;auT!a~a# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 {_C2c{ 4.13 背景 77 9(eTCe-~6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Y#7sDd!N| 4.15 生成Rugate 84 SI\
O>a9{ 4.16 参考文献 91 |$ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ~)vq0]MRg 5.1 Jobs 92 bS7%%8C 5.2 创建一个新Job(工作) 93 NpI "XQ 5.3 输入材料 94 '3Ro`p{ 5.4 设计数据文件夹 95 xU9T8Lw 5.5 默认设计 95 ;iq H:wO 6 细化和合成 97 7!F<Uf,V3 6.1 优化介绍 97 t[}&*2"$/ 6.2 细化 (Refinement) 98 jJbS{1z 6.3 合成 (Synthesis) 100 &65I
6 6.4 目标和评价函数 101 o@2Y98~Q} 6.4.1 目标输入 102 `"Lk@ 6.4.2 目标 103 Z@(m.&ZRx 6.4.3 特殊的评价函数 104 7G':h0i8 6.5 层锁定和连接 104 v-(dh5e`
H 6.6 细化技术 104 \l-JU 6.6.1 单纯形 105 tqk^)c4FF( 6.6.1.1 单纯形参数 106 iewwL7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $/J4?Wik 6.6.2.1 Optimac参数 108 A9Kt^HR 6.6.3 模拟退火算法 109 0fE?(0pBj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Be;l!]i 6.6.4 共轭梯度 111 yo^M>^P\N 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ze"`5z26| 6.6.5 拟牛顿法 112 9KCeKT>v 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 MMU>55+- 6.6.6 针合成 113
W>y> 6.6.6.1 针合成参数 114 kltorlH 6.6.7 差分进化 114 Xx,Rah)X3 6.6.8非局部细化 115 aO&!Y\=@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 o#uhPUZ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 SiLWy=qbR 6.7.1 细化 116 Fe1^9ja 6.7.2 合成 117 .C|dGE?, 6.8 参考文献 117 #KUNZW 7 导纳图及其他工具 118 Lrjp 7.1 简介 118 >zX`qv&> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <IBWA0A=8a 7.2.1 四分之一波长规则 119 -[}Ah NYK 7.2.2 导纳图 120 HC!5AJ&+}v 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 @Ta0v:Y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 g|Xjw Ti8$ 7.5 斜入射导纳图 141 IE:;`e:\D 7.6 对称周期 141 Ve\.7s 7.7 参考文献 142 lk4U/: 8 典型的镀膜实例 143 7hlzuZob+y 8.1 单层抗反射薄膜 145 E>c*A40=.n 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 b
Bkg/p] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 f]NaQ!.
7 8.4 W-膜层 148 L'HO"EZFj 8.5 V-膜层 149 w&eq
*q 8.6 V-膜层高折射基底 150 o*5b]XWw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "G!,gtA~ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 9]gV#uF 8.9 四层抗反射薄膜 153 RveEA/&& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Hy1pIUsx 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 g?rK&UTU 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 C]a iu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 8;i'dF:) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 9~v#]Q}Z}4 8.15十五层宽带抗反射膜 159 .h-k*F0Ga) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 iw^"?:'% 8.17 1/4波长堆栈 162 CqLAtS X7 8.18 陷波滤波器 163 1`2lq~=GV 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 2m,t<Y; 8.20 褶皱 165 LG
vPy 8.21 消偏振分光器1 169 ~.Er 8.22 消偏振分光器2 171 |@rYh-5 8.23 消偏振立体分光器 172 LHMA-0$ ?) 8.24 消偏振截止滤光片 173 9gFfbvd 8.25 立体偏振分束器1 174 'XI-x[w 8.26 立方偏振分束器2 177 <z QUa 8.27 相位延迟器 178 .-:@+=( 8.28 红外截止器 179 IAd[_<9D 8.29 21层长波带通滤波器 180 >mMmc!u>G 8.30 49层长波带通滤波器 181 :0% $u>;O: 8.31 55层短波带通滤波器 182 uA%cie 8.32 47 红外截止器 183 <3 I0$?xL 8.33 宽带通滤波器 184 i9^m;Y)^I 8.34 诱导透射滤波器 186 Zr|\T7w 3 8.35 诱导透射滤波器2 188 es1'z.U J 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 \tfhF#' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ub-vtRpm 8.35 增益平坦滤波器 193 &ER,;^H`6 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,-)ww: 8.39 啁啾反射镜2 198 vPsf{[Kr 8.40 啁啾反射镜3 199 :@,UPc-+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 nXW]9zC"/ 8.42 增加铝反射率膜 201 |DUOyQ 8.43 参考文献 202 72sBx3 ; 9 多层膜 204 |#5_VEG 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +ooQ-Gh 9.2 内部透过率 204 i> PKE. 9.3 内部透射率数据 205 xL|4'8 9.4 实例 206 8 O.5ML{ 9.5 实例2 210 +pjU4>) 9.6 圆锥和带宽计算 212 ?>iZ){0, 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 {%8=qJ3@ 10 光学薄膜的颜色 216 hQLh}}B 10.1 导言 216 70E@h=oQ 10.2 色彩 216 Dl_SEf6b 10.3 主波长和纯度 220 S^ JUQx7 10.4 色相和纯度 221 ~c'R7E&Bfa 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9S{?@*V 10.6 色差 226 0hX@ta[Up 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .KxE>lJbqM 10.8 颜色渲染指数 234 fVxRK\a\\ 10.9 色差计算 235 l`vr({A 10.10 参考文献 236 C/!8NV1:4 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 y5:al7*P 11.1 短脉冲 238 4.'KT;[_1/ 11.2 群速度 239 33w(Pw 11.3 群速度色散 241 MKr:a]-'f~ 11.4 啁啾(chirped) 245 ]|4mD3O 11.5 光学薄膜—相变 245 fc9gi4y9 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?]2OT5@&s 11.7 色度色散 246 EhHW` 11.8 色散补偿 249 J!*Pg< 11.9 空间光线偏移 256 WyJXT. 11.10 参考文献 258 i
,g<y 12 公差与误差 260 E3E$_<^ 12.1 蒙特卡罗模型 260 }$1Aw%p^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?p!+s96 12.2.1 误差工具 267 *,p16"Q; 12.2.2 灵敏度工具 271 ;@I}eZ,f$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ZUUfn~ORc 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?mW;%d~] 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 qYR+qSAJP 12.3 参考文献 276 !FR1yO'd> 13 Runsheet 与Simulator 277 k<\]={|= 13.1 原理介绍 277 s`"ALn8m 13.2 截止滤光片设计 277 e3 {L%rQE 14 光学常数提取 289 von~-51; 14.1 介绍 289 4!tHJCq" 14.2 电介质薄膜 289 cRC)99HP 14.3 n 和k 的提取工具 295 0-w^y<\ 14.4 基底的参数提取 302 ^9I^A!w= 14.5 金属的参数提取 306 kEs=N( 14.6 不正确的模型 306 Ue0Q| h 14.7 参考文献 311 O"x/O#66 15 反演工程 313 {T[/B"QZG 15.1 随机性和系统性 313
\l8$1p 15.2 常见的系统性问题 314 \^%5! 15.3 单层膜 314 9=Rj9% 15.4 多层膜 314 \ |9KOulr 15.5 含义 319 r.;(Kx/M 15.6 反演工程实例 319 IWcYa.=tZ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 me`(J y< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 =.Q|gZ
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 O@bDMg 16.1 光学性质的热致偏移 329 MF^I] 7_ 16.2 应力工具 335 ';?b99 16.3 均匀性误差 339 u3H2\< 16.3.1 圆锥工具 339 n"{oj7E0a 16.3.2 波前问题 341 eX>X=Ku 16.4 参考文献 343 ^6
sT$set 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 <ArP_!
`3 17.1 引言 345 Wy%F
17.2 操作数 345 k6 f;A 18 如何在Function中编写脚本 351 P'6(HT>F? 18.1 简介 351 W[3)B(Vq<E 18.2 什么是脚本? 351 IK-E{,iKc 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o s
HE4x 18.4 基础 352 p
}bTI5 18.4.1 Classes(类别) 352 S
Yvifgp 18.4.2 对象 352 l@om2|B 18.4.3 信息(Messages) 352 :{tvAdMl7 18.4.4 属性 352 Az2$\ 18.4.5 方法 353 R`:NUGR 18.4.6 变量声明 353 0|:Ic, 18.5 创建对象 354 oa?eK 18.5.1 创建对象函数 355 _k@{>
?(a 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5!*5mtI 18.5.3 丢弃对象 356 VQvl,'z 18.5.4 总结 356 Yn}_"FO' 18.6 脚本中的表格 357 :*!u\lV \ 18.6.1 方法1 357 A2"xCJ0` 18.6.2 方法2 357 3EcmNwr 18.7 2D Plots in Scripts 358 w%k)J{\ 18.8 3D Plots in Scripts 359 Al`[Iu& 18.9 注释 360 q'?:{k$% 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 OI.2C F 18.11 一个更高级的脚本 362 (r.{v@h,dV 18.12 <esc>键 364 sHrpBm&O4 18.13 包含文件 365 bkl'0
p 18.14 脚本被优化调用 366 7
v<$l 18.15 脚本中的对话框 368 [lA[wCw 18.15.1 介绍 368 6mBX{-Z[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !DCJ2h%E[_ 18.15.3 输入框函数 370 L/GM~*Xp(O 18.15.4 自定义对话框 371 `R^g[0 w' 18.15.5 对话框编辑器 371 S~F:%@,* 18.15.6 控制对话框 377 5e,Dk0d 18.15.7 更高级的对话框 380 685o1c| 18.16 Types语句 384 #~.i\|VL 18.17 打开文件 385 ZjEO$ts=@ 18.18 Bags 387 UUY-EC7X 18.13 进一步研究 388 8'B\%.+"8e 19 vStack 389
jl2nRo 19.1 vStack基本原理 389 2ezuP F 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 z>i D 19.3 五棱镜 393 ooIMN = 19.4 光束距离 396 .KT+,Y 19.5 误差 399 !r.}y|t?; 19.6 二向分色棱镜 399 p^YE"2 - 19.7 偏振泄漏 404 ;.W0Aa 19.8 波前误差—相位 405 Xt=& 19.9 其它计算参数 405 _u;^w}0 20 报表生成器 406 Xx|&%b{{r 20.1 入门 406 z[v5hhI)4 20.2 指令(Instructions) 406 vtmO 20.3 页面布局指令 406 i?AZ|Ha[ 20.4 常见的参数图和三维图 407 |-_5ouN. 20.5 表格中的常见参数 408 vEzzdDwi6 20.6 迭代指令 408 =b% J@}m`& 20.7 报表模版 408 hDlk! #* 20.8 开始设计一个报表模版 409 ^MJGY,r6b 21 一个新的project 413 Op)0D:BmR 21.1 创建一个新Job 414 6ddkUPTF 21.2 默认设计 415 Z{p6Q1u 21.3 薄膜设计 416 aG}9Z8D 21.4 误差的灵敏度计算 420 pN0c'COy^ 21.5 显色指数计算 422 &"tce6& 21.6 电场分布 424 a
LmVOL{ 后记 426 mZ;yk(
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