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8=u88?Bh 内容简介 zqxN/H]z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <`Qbb=* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 uTvf[%EHW 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 WF-^pfRq~ n^` `)" 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 pV*d"~T 目录 (dP9`Na] Preface 1 Se|h]+G 内容简介 2 (@Eb+8Zd 目录 i qdo_YPG 1 引言 1 >nO[5 2 光学薄膜基础 2 j43i:c;F 2.1 一般规则 2 Tsocc5gWZ* 2.2 正交入射规则 3 zC`ediyu 2.3 斜入射规则 6 ,{d=<j_ 2.4 精确计算 7 G%U!$\j:qd 2.5 相干性 8 j-v/;7s/B 2.6 参考文献 10 oI"gQFGu`u 3 Essential Macleod的快速预览 10 rBZ00} 4 Essential Macleod的特点 32 !,{-q)'D 4.1 容量和局限性 33 3v3`d+;& 4.2 程序在哪里? 33 |#EI(W?` 4.3 数据文件 35 xP &@|Ag 4.4 设计规则 35 at(gem 4.5 材料数据库和资料库 37 J]|S0JC` 4.5.1材料损失 38
pp()Hu3J 4.5.1材料数据库和导入材料 39 E//*bmww 4.5.2 材料库 41 S"/gZfxer 4.5.3导出材料数据 43 jV' tcFr4 4.6 常用单位 43 0oo_m6ie& 4.7 插值和外推法 46 G{0f*
cH) 4.8 材料数据的平滑 50 W=4|ahk$ 4.9 更多光学常数模型 54 [Vj|fy4 4.10 文档的一般编辑规则 55 tDtqTB} 4.11 撤销和重做 56 zKGr(9I 4.12 设计文档 57 /UtSZ( 4.10.1 公式 58 n6{nx[%7N7 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 /Q'O]h0a 4.10.3 沉积密度 59 )6
K)UA 4.10.4 平行和楔形介质 60 :-~x~ah- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 aZCxyoh + 4.10.4 性能 61 yppXecFJ 4.10.5 保存设计和性能 64 CFeAKjG 4.10.6 默认设计 64 %3T:W\h 4.11 图表 64 8xHjdQr 4.11.1 合并曲线图 67 i~tps 4.11.2 自适应绘制 68 `3.bux~ 4.11.3 动态绘图 68 =<U'Jtu6' 4.11.4 3D绘图 69 8},fu3Z 4.12 导入和导出 73 c}w[T 4.12.1 剪贴板 73 B|S X?X 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =h}PL22 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 s"l ^v5 4.13 背景 77 Ps~)l#gue 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ^@]yiED{g 4.15 生成Rugate 84
sVP2$? 4.16 参考文献 91 #J%Fi).^) 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (ewcj\l4* 5.1 Jobs 92 Dm`gzGl 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8TO5j 5.3 输入材料 94 y|YhDO 5.4 设计数据文件夹 95 rm,h\ 5.5 默认设计 95 = %wBC; 6 细化和合成 97 6H:EBj54? 6.1 优化介绍 97 sE0,b 6.2 细化 (Refinement) 98 >IHf5})R 6.3 合成 (Synthesis) 100 VqeW;8&*iv 6.4 目标和评价函数 101 CxVrnb[`q 6.4.1 目标输入 102 6/Z 8/PL 6.4.2 目标 103 qGie~S ## 6.4.3 特殊的评价函数 104 <@=w4\5j9 6.5 层锁定和连接 104 c1StA 6.6 细化技术 104 IF3 V5Q 6.6.1 单纯形 105 ~T&X#i 6.6.1.1 单纯形参数 106 KQ.cd]6 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 rE\.[mFI 6.6.2.1 Optimac参数 108 IeBb#Qedz 6.6.3 模拟退火算法 109 Xj21:IMR 6.6.3.1 模拟退火参数 109 U66oe3W 6.6.4 共轭梯度 111 92L{be;SY 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9R4q^tGR\ 6.6.5 拟牛顿法 112 7,3v,N| 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 n:YA4t7S 6.6.6 针合成 113
)F:UkS 6.6.6.1 针合成参数 114 RQ[6svfP 6.6.7 差分进化 114 ,YmTx 6.6.8非局部细化 115 sg,9{R ^ 6.6.8.1非局部细化参数 115 k!m9
l1x 6.7 我应该使用哪种技术? 116 H/O v8| 6.7.1 细化 116 ^os|yRzV*M 6.7.2 合成 117 q.PXO3T 6.8 参考文献 117 F6)/Iiv 7 导纳图及其他工具 118 $-f(.S 7.1 简介 118 xsXf_gGu 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 on0>_-n) 7.2.1 四分之一波长规则 119 6-uB[$ko 7.2.2 导纳图 120 g
[+_T{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 R~(_m#6`: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )9>E} SU/ 7.5 斜入射导纳图 141 '>r"+X^W 7.6 对称周期 141 o^~KAB7 7.7 参考文献 142 pc<A
,? 8 典型的镀膜实例 143 @0q*50 8.1 单层抗反射薄膜 145 +jX.::UPm 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 \+sP<'~M 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 B!z5P"C(~ 8.4 W-膜层 148 {siIRl2& 8.5 V-膜层 149 t~FOaSt 8.6 V-膜层高折射基底 150 e5fzV.' 5 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 n7K\\|X 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 XRR`GBI 8.9 四层抗反射薄膜 153 Iw) 'Yyg 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 -m>ng
E~q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5*7
\Yjk? 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <3c|S_|L*m 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 9`sIE _%+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 `1"Xj ^
YM 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4';(\42 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 o9uir"= 8.17 1/4波长堆栈 162 j#E&u*IR 8.18 陷波滤波器 163 n:[GK_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;]Bkw6o 8.20 褶皱 165 4PAuEM/z 8.21 消偏振分光器1 169 uPtS.j= 8.22 消偏振分光器2 171 %QrpFE5V5 8.23 消偏振立体分光器 172 j#)K/` 8.24 消偏振截止滤光片 173 }N<> z 8.25 立体偏振分束器1 174 ]QAMCu(> 8.26 立方偏振分束器2 177 G[5z3 8.27 相位延迟器 178 5 MD=o7O^ 8.28 红外截止器 179 |#=4]]>m 8.29 21层长波带通滤波器 180 " )_-L8 8.30 49层长波带通滤波器 181 %t\~3pw= 8.31 55层短波带通滤波器 182 Y:}!W 8.32 47 红外截止器 183 AjA.="3 8.33 宽带通滤波器 184 <:UP 8.34 诱导透射滤波器 186 $'>h7]. 8.35 诱导透射滤波器2 188 vtVc^j4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 g}=opw6z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 &*wc` U 8.35 增益平坦滤波器 193 Z>zW83a 8.38 啁啾反射镜 1 196 J 4OgV? 8.39 啁啾反射镜2 198 B)4>:j:{?W 8.40 啁啾反射镜3 199 oaJnLd90W 8.41 带保护层的铝膜层 200 c/G]r|k 8.42 增加铝反射率膜 201 +Qe"O0 8.43 参考文献 202
6:vdo~ 9 多层膜 204 ![*7HE>}, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 sAz]8(Fi0 9.2 内部透过率 204 @"=wn:O+ 9.3 内部透射率数据 205 _YgvLz
% 9.4 实例 206 _Q1[t9P" 9.5 实例2 210 #ig* ! 9.6 圆锥和带宽计算 212 <ny)yK 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 /
!*+9+h 10 光学薄膜的颜色 216 .[KXO0Ui6u 10.1 导言 216 ZeyAbo 10.2 色彩 216 ;K9rE3
10.3 主波长和纯度 220 [10;Mg 10.4 色相和纯度 221 %>G(2)Fb\\ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 g$j ZpU 10.6 色差 226 %"0g}tK6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 R2[-Q"|Ra 10.8 颜色渲染指数 234 RIO4`, 10.9 色差计算 235 $M=W`E[g 10.10 参考文献 236 *U=%W4?W 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ()>,L?y 11.1 短脉冲 238 ?yq1\G)] 11.2 群速度 239 9As K=/Buf 11.3 群速度色散 241 x)<Hr,wd 11.4 啁啾(chirped) 245 w_hGWpm 11.5 光学薄膜—相变 245 8#MiM . f 11.6 群延迟和延迟色散 246 8XUm.nV 11.7 色度色散 246 E{Ux|r~ 11.8 色散补偿 249 _#8OHG.x 11.9 空间光线偏移 256 pjP
R3
r 11.10 参考文献 258 Dqw?3 KB 12 公差与误差 260 8T#tB,<fFW 12.1 蒙特卡罗模型 260 c)tG1|Og] 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 kr|u || 12.2.1 误差工具 267 ![,W? 12.2.2 灵敏度工具 271 cj!Ew}o40D 12.2.2.1 独立灵敏度 271 k7gm)}RKcu 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =#"ZO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &~xzp^& 12.3 参考文献 276 2-<i#nA3 13 Runsheet 与Simulator 277 RN%*3{- 13.1 原理介绍 277 4/Yk;X[jk 13.2 截止滤光片设计 277 >; A7mi/ 14 光学常数提取 289 kCu" G 14.1 介绍 289 G-)Q*p{i| 14.2 电介质薄膜 289 `]8z]PD 14.3 n 和k 的提取工具 295 $C;) Tlh 14.4 基底的参数提取 302 6?3f+=e"~! 14.5 金属的参数提取 306 n^Uu6 14.6 不正确的模型 306 H^c8r^# 14.7 参考文献 311 FesXY856E 15 反演工程 313 D# "ppa} 15.1 随机性和系统性 313 B7fV_-p: G 15.2 常见的系统性问题 314 & bwhD.:= 15.3 单层膜 314 Ae0jfTv 15.4 多层膜 314 $dp;$X3 15.5 含义 319 .qcIl)3 15.6 反演工程实例 319 VqeK~,} 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 /@<&{_sybp 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ]d}U68$T+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ue5C
] 16.1 光学性质的热致偏移 329 ,p,$(V 16.2 应力工具 335 'TF5CNX 16.3 均匀性误差 339 )\bA'LuFy 16.3.1 圆锥工具 339 #]iSh(|8 16.3.2 波前问题 341 ?J<V-,i 16.4 参考文献 343 cF[L6{Oe 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 TA.ugF)h 17.1 引言 345 DaV:Slp9 17.2 操作数 345 @nuMl5C-` 18 如何在Function中编写脚本 351 $fhb-c3 18.1 简介 351 !5hNG('f 18.2 什么是脚本? 351 9Dq^x&z( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 i58&o@.H<u 18.4 基础 352 g8JO/s5xV 18.4.1 Classes(类别) 352 I,*zZNvRi 18.4.2 对象 352 1gA9h-'w 18.4.3 信息(Messages) 352 J\kGD 18.4.4 属性 352 _NfdJ=[Xh 18.4.5 方法 353 J 8z|ua 18.4.6 变量声明 353 pQGlg[i2/ 18.5 创建对象 354 zT\nj&7 18.5.1 创建对象函数 355 }, < dGmkx 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 fL #e4 18.5.3 丢弃对象 356 5d7AE^SHsH 18.5.4 总结 356 7wivu*0 18.6 脚本中的表格 357 ^ucmScl 18.6.1 方法1 357 56;^
NE4 18.6.2 方法2 357 (Q_J{[F 18.7 2D Plots in Scripts 358 i;u#<y{E 18.8 3D Plots in Scripts 359 qSg#:;(O 18.9 注释 360 >tmv3_<= 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 XYi-o][Mf 18.11 一个更高级的脚本 362 Dsl,(qm5 18.12 <esc>键 364 l@
amAusE 18.13 包含文件 365 N-0kB vo 18.14 脚本被优化调用 366 " vW4"R6 18.15 脚本中的对话框 368 }de{- 18.15.1 介绍 368 _(U|Kpi 18.15.2 消息框-MsgBox 368 i#&iT P` 18.15.3 输入框函数 370 A#yZh\# 18.15.4 自定义对话框 371 H2ZRUFu 18.15.5 对话框编辑器 371 |XDbf3^6 18.15.6 控制对话框 377 Bb,l.w 18.15.7 更高级的对话框 380 {Dc{e5K 18.16 Types语句 384 <}\!FuC 18.17 打开文件 385 0tL#-47 18.18 Bags 387 I%^Bl:M 18.13 进一步研究 388 6.!aJJLN 19 vStack 389 )p$a1\~m 19.1 vStack基本原理 389 B<p-qPR K 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ,P%a0\ 19.3 五棱镜 393 ;p/%)WW 19.4 光束距离 396 AYVkJq ? 19.5 误差 399 yDuMn< |