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5!57<n 内容简介 d_&~^*> Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >
lI2r} 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )/z+W[t 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7{V N27Fa_ R[#B|$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 =`!#V/= 目录 }_Y\6fcd Preface 1 Z5*O\kJv 内容简介 2 aCyn9Y$= 目录 i eMP0BS" 1 引言 1 fJ%A_N} 2 光学薄膜基础 2 Qe]& 2.1 一般规则 2 1R]h>' 2.2 正交入射规则 3 }!WuJz" 2.3 斜入射规则 6 X1Kze 2.4 精确计算 7 ;9)=~) 2.5 相干性 8 )X6I#q8 2.6 参考文献 10 MEtKFC|p 3 Essential Macleod的快速预览 10 }To-c' 4 Essential Macleod的特点 32 !OOOc 4.1 容量和局限性 33 K~qKr<) 4.2 程序在哪里? 33 JP]-a!5Ru 4.3 数据文件 35 #-PUm0| 4.4 设计规则 35 -(E-yCu 4.5 材料数据库和资料库 37 #BI6+rfv| 4.5.1材料损失 38 wFJ*2W: 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Gd|jE 4.5.2 材料库 41 `Tr !Gj_ 4.5.3导出材料数据 43 I=k`VI d: 4.6 常用单位 43 cdg&) 4.7 插值和外推法 46 zB6&),[,v 4.8 材料数据的平滑 50 ^>s{o5H& 4.9 更多光学常数模型 54 !!])~+4pP 4.10 文档的一般编辑规则 55 LOk J 4.11 撤销和重做 56 uTmT'u:} 4.12 设计文档 57 |+1k7S, 4.10.1 公式 58 :eSwXDy& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 f%%'M.is 4.10.3 沉积密度 59 %,udZyO3uR 4.10.4 平行和楔形介质 60 = Fwzm^}6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 %:Zp7O2UB' 4.10.4 性能 61 |YrvY1d! 4.10.5 保存设计和性能 64 ro^T L 4.10.6 默认设计 64 ?T>N vKF 4.11 图表 64 :]`JcJ 4.11.1 合并曲线图 67 QhPpo#^ 4.11.2 自适应绘制 68 +F^X1 4.11.3 动态绘图 68 oXGP6# 4.11.4 3D绘图 69 J*qo3aJjE 4.12 导入和导出 73 #3-hE 4.12.1 剪贴板 73 JL?|NV- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 p49T3V 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 *35o$P46 4.13 背景 77 Bh6lK}9 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 q/3co86c 4.15 生成Rugate 84 N||s# 4.16 参考文献 91 }ct*<zj[~u 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 p5bM/{DP;K 5.1 Jobs 92 >soSOJ[ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 !jN$U%/,%. 5.3 输入材料 94 TA+/35^? 5.4 设计数据文件夹 95 D 6F/9| 5.5 默认设计 95 .Mzrj{^Y 6 细化和合成 97 %?z;'Y7D 6.1 优化介绍 97 }Q{4G 6.2 细化 (Refinement) 98 RH;Kbu 6.3 合成 (Synthesis) 100 QtfLJ5vi 6.4 目标和评价函数 101 z9^_5la# 6.4.1 目标输入 102 +fq;o8q 6.4.2 目标 103 &fifOF#[e 6.4.3 特殊的评价函数 104 g)iw.M2 6.5 层锁定和连接 104 }-paGM@'Nd 6.6 细化技术 104 :$oi P 6.6.1 单纯形 105 Y1 6pT 6.6.1.1 单纯形参数 106 `aaT
#r 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 A
Zv| |8p 6.6.2.1 Optimac参数 108 Nv\<>gA: 6.6.3 模拟退火算法 109 |r53>,oR<: 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \MtdT[* 6.6.4 共轭梯度 111 b'4r5@GO 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 f8L3+u 6.6.5 拟牛顿法 112 ^Kh>La:>O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 .t{?doOT 6.6.6 针合成 113 SwmX_F#_ 6.6.6.1 针合成参数 114 aB4L$M8x 6.6.7 差分进化 114 Py#iC#g~ 6.6.8非局部细化 115 < nyk:E 6.6.8.1非局部细化参数 115 H3qL&xL 6.7 我应该使用哪种技术? 116 iTeFy-Ct 6.7.1 细化 116 "yxBD
7 6.7.2 合成 117 '5n=tRx 6.8 参考文献 117 /4u:5G 7 导纳图及其他工具 118 4(\7Or('' 7.1 简介 118 |n.ydyu` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 I,!>ZG@6 7.2.1 四分之一波长规则 119 |}K7Q 7.2.2 导纳图 120 v:@ud,d< 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 nB86oQ/S 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
tD}HL_ 7.5 斜入射导纳图 141 \(xQ'AQ- 7.6 对称周期 141 .#ATI<t 7.7 参考文献 142 !<MW*7P= 8 典型的镀膜实例 143 k3t2{=&'&x 8.1 单层抗反射薄膜 145 Q@#Gm9m 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Q*AgFF%wn 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 *gXm&/2* 8.4 W-膜层 148 w'Q2Czso 8.5 V-膜层 149 ;V3d"@R, 8.6 V-膜层高折射基底 150 NbW5a3= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 \Rvsy;7 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 b1qli5 8.9 四层抗反射薄膜 153 "Q<*H<e 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ecy41y'~: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 S~ 3| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,@*`2I>` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 q CB9z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 QYTwGThWR 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^7~w yAr 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %epK-q9[ 8.17 1/4波长堆栈 162 ._z[T@!9 8.18 陷波滤波器 163 :7Q,
`W9 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 },LW@Z} 8.20 褶皱 165 }\/f~?tEh 8.21 消偏振分光器1 169 EaGS}=qY5 8.22 消偏振分光器2 171 abM4G 8.23 消偏振立体分光器 172 Yhd|1,m9f 8.24 消偏振截止滤光片 173 r#[YBaCZJ 8.25 立体偏振分束器1 174 4\yKd8I 8.26 立方偏振分束器2 177 h8_~ OX 8.27 相位延迟器 178 _Uz}z#jt 8.28 红外截止器 179 BV
HO_ 8.29 21层长波带通滤波器 180 c F(]`49( 8.30 49层长波带通滤波器 181 VG`A* Vj
8.31 55层短波带通滤波器 182 9#@CmiIhy 8.32 47 红外截止器 183 !Rw\k'<GKX 8.33 宽带通滤波器 184 ^~dvA)bH 8.34 诱导透射滤波器 186 )WFSUZ~ 8.35 诱导透射滤波器2 188 K06/ D!RD4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 8h2! 8' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 lC i_G3C 8.35 增益平坦滤波器 193 4hv'OEl 8.38 啁啾反射镜 1 196 e?D,=A4mV" 8.39 啁啾反射镜2 198 =`]yq;(C7j 8.40 啁啾反射镜3 199 $wn"+wX 8.41 带保护层的铝膜层 200 Zb7:qe<UN 8.42 增加铝反射率膜 201 jTx,5s- 8.43 参考文献 202 TGz5t$]I 9 多层膜 204 BDg6ZI<n 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 f V.(v& 9.2 内部透过率 204 f6P5J|' 9.3 内部透射率数据 205 G#4cWn' 9.4 实例 206 ~U~4QQ V 9.5 实例2 210 (IR'~:W 9.6 圆锥和带宽计算 212 ngJES`0d 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 d0 tN73( 10 光学薄膜的颜色 216 .W&rcqy 10.1 导言 216 w`Dzk.2 10.2 色彩 216 a|\_'# 10.3 主波长和纯度 220 wWflZ"% 10.4 色相和纯度 221 Q=9S?p
M 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 5aTyM_x 10.6 色差 226 7c6-S@L 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 yXw xq(32 10.8 颜色渲染指数 234 .n`MPx' 10.9 色差计算 235 pz^"~0o5 10.10 参考文献 236 EQ>bwEG 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 <_H0Q_/( 11.1 短脉冲 238 0nz
k?iP 11.2 群速度 239 B%9[ 11.3 群速度色散 241 o=_4v^ 11.4 啁啾(chirped) 245 ? F fw'O 11.5 光学薄膜—相变 245 b,G+=&6u 11.6 群延迟和延迟色散 246 =k`(!r2"# 11.7 色度色散 246 N[ArwV2O 11.8 色散补偿 249 W.n@ 11.9 空间光线偏移 256 i4!n Oyk 11.10 参考文献 258 {\ziy4<II 12 公差与误差 260 m=fmf( 12.1 蒙特卡罗模型 260 J\
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 BoIe<{X(9 12.2.1 误差工具 267 #D+Fq^="P 12.2.2 灵敏度工具 271 mXF
pGo5 s 12.2.2.1 独立灵敏度 271 qr=U=oK 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ^ I,1kl~i 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 foE2rV/Y 12.3 参考文献 276 7!JoP?! 13 Runsheet 与Simulator 277 8yFD2(# 13.1 原理介绍 277 /IV:JVT 13.2 截止滤光片设计 277 ,-DE;l^Q= 14 光学常数提取 289 `Xmpm4 ] 14.1 介绍 289 _I|wp<R 14.2 电介质薄膜 289 p|Rxy"} 14.3 n 和k 的提取工具 295 i$:CGUb 14.4 基底的参数提取 302 ZVIBmx 14.5 金属的参数提取 306 0#*\o1r\p 14.6 不正确的模型 306 2 >xV& |