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zCuB+r=C 内容简介 =J4|"z: Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0EF~Ouef 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 lLDZ#'&An 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 nwh @F1| Qn,6s%n
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 15hqoo9! 目录 M(zZ8# Preface 1 9h?'zyX
B 内容简介 2 u>n"FL'e 目录 i %4f.<gz~r| 1 引言 1 _bi)d201 2 光学薄膜基础 2 Lm=;Y6'`N 2.1 一般规则 2 xhOoZ- 2.2 正交入射规则 3 !3Pbu=(cte 2.3 斜入射规则 6 ykx^RmD`~ 2.4 精确计算 7 oFf9KHorW 2.5 相干性 8 >W;NMcN~ 2.6 参考文献 10 ]jFl?LA%7 3 Essential Macleod的快速预览 10 4A6Yl6\Y 4 Essential Macleod的特点 32 F,{mF2U*$ 4.1 容量和局限性 33 o$buoGSPc 4.2 程序在哪里? 33 C!a1.&HHZ7 4.3 数据文件 35 bD{k=jum 4.4 设计规则 35 mr^3Y8$s 4.5 材料数据库和资料库 37 @(~:JP?KNC 4.5.1材料损失 38 80wzn,o
S 4.5.1材料数据库和导入材料 39 V@!)Pw 4.5.2 材料库 41 4a"Fu<q 4.5.3导出材料数据 43 z8'1R6nq 4.6 常用单位 43 Iz5NA0[=2 4.7 插值和外推法 46 \7uM5 k}l 4.8 材料数据的平滑 50 |7tD&9< 4.9 更多光学常数模型 54 yjg&/6 4.10 文档的一般编辑规则 55 L_NiU;cr% 4.11 撤销和重做 56 `X}:(O^GO 4.12 设计文档 57 1XMR7liE 4.10.1 公式 58 m&Mupl 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 P}Kgh7)3 4.10.3 沉积密度 59 Zn'tNt/ 4.10.4 平行和楔形介质 60 sfj+-se(K. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 odsFgh 4.10.4 性能 61 :Ko6.| 4.10.5 保存设计和性能 64 q.VYPkEib 4.10.6 默认设计 64 u]};QR 4.11 图表 64 RhH1nf2UR 4.11.1 合并曲线图 67 Y~-y\l;Tr 4.11.2 自适应绘制 68 OegeZV 4.11.3 动态绘图 68 !qj[$x-ns 4.11.4 3D绘图 69 B6Vlc{c5SO 4.12 导入和导出 73 M
9t7y 4.12.1 剪贴板 73 _XV%}Xb' 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [d6! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &)%+DUV| 4.13 背景 77 S{rltT- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 .h7s.p? 4.15 生成Rugate 84 L^3&
4.16 参考文献 91 _`|1B$@x 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 K>@yk9)vi 5.1 Jobs 92 \ ;npdFy 5.2 创建一个新Job(工作) 93 xzm]v9k& 5.3 输入材料 94 Nr4:Gih 5.4 设计数据文件夹 95 MC}t8L= 5.5 默认设计 95 ?m
|}}a 6 细化和合成 97 '4[=*!hs! 6.1 优化介绍 97 l@4_D;b3o" 6.2 细化 (Refinement) 98 sU ZA!sv 6.3 合成 (Synthesis) 100 GiV%Hcx 6.4 目标和评价函数 101 -3EQRqVg 6.4.1 目标输入 102 0=j }` 6.4.2 目标 103 &riGzU] 6.4.3 特殊的评价函数 104 1cLtTE 6.5 层锁定和连接 104 Z<-_Y]4j 6.6 细化技术 104 ,^UqE{ 6.6.1 单纯形 105 h[ DNhR 6.6.1.1 单纯形参数 106 ;sZG=y@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $;qi-K3j 6.6.2.1 Optimac参数 108 tnRf!A;m 6.6.3 模拟退火算法 109 Je1d|1!3 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `Y#At3{ 6.6.4 共轭梯度 111 )/H;5 cn 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 r]DiB:. 6.6.5 拟牛顿法 112 `@~e<s`j 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 E.oJ[; 6.6.6 针合成 113 {ez$kz 6.6.6.1 针合成参数 114 <v_=k],W 6.6.7 差分进化 114 0bg"Q4 6.6.8非局部细化 115 M"~jNe| 6.6.8.1非局部细化参数 115 t'eqk#rq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ti\
${C3 6.7.1 细化 116 9y7N}T6 6.7.2 合成 117 Z*%;;&? 6.8 参考文献 117 kQ`tY`3F 7 导纳图及其他工具 118 'cW^ S7 7.1 简介 118 =}^NyLE? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 >XD?zF)6 7.2.1 四分之一波长规则 119 PsY![CPrW 7.2.2 导纳图 120 9u B?-. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pP. _%5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 lvs
XL 7.5 斜入射导纳图 141 XE}gl&\ 7.6 对称周期 141 _4ag-'5 7.7 参考文献 142 )ZG;.j
8 典型的镀膜实例 143 CRb8WD6. 8.1 单层抗反射薄膜 145 <$~lFV 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 u6qK4*eAD 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !#tVQ2O 8.4 W-膜层 148 Q]:O#;"< 8.5 V-膜层 149 P6:9o}K6 8.6 V-膜层高折射基底 150 D'"
T'@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |3*9+4]a 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 IGdiIhH~2 8.9 四层抗反射薄膜 153 n
~t{]if" 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
FaL\6w 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6K/RO) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 #@XBHJD\# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 p=8Qv 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "[ bkdL< 8.15十五层宽带抗反射膜 159 '%N?r,x
C 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 =
tv70d' 8.17 1/4波长堆栈 162 i]JTKL{\q 8.18 陷波滤波器 163 m5\T, 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 w+M/VsL 8.20 褶皱 165 gD,&TW 8.21 消偏振分光器1 169 j#NyNv(jE1 8.22 消偏振分光器2 171 ]%\,.&=hT 8.23 消偏振立体分光器 172 @KN+)q P 8.24 消偏振截止滤光片 173 ,6)N. 8.25 立体偏振分束器1 174 pGbfdX
8.26 立方偏振分束器2 177 A~zn; 8.27 相位延迟器 178 Y"Cf84E 8.28 红外截止器 179 P}bIp+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 ]z'&oz 8.30 49层长波带通滤波器 181 {15j'Qwm 8.31 55层短波带通滤波器 182 !b8V&< 8.32 47 红外截止器 183 o3J#hQrl 8.33 宽带通滤波器 184 ({f}Z-% 8.34 诱导透射滤波器 186 _jWs(OmJ 8.35 诱导透射滤波器2 188 k[6J;/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Ltlp9 S 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 /<LZt<K 8.35 增益平坦滤波器 193 J2mHPVA3 8.38 啁啾反射镜 1 196 /x VHd 8.39 啁啾反射镜2 198 UhxM85M;x 8.40 啁啾反射镜3 199 _y@28t 8.41 带保护层的铝膜层 200 c4JV~VS+ 8.42 增加铝反射率膜 201 ^Hd[+vAvR 8.43 参考文献 202 LGP"S5V 9 多层膜 204 ;kFD769DLw 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 5mH[|_ 9.2 内部透过率 204 6g(;2gY 9.3 内部透射率数据 205 s :vNr@TS 9.4 实例 206 p|>*M\LE# 9.5 实例2 210 u'YXI="( 9.6 圆锥和带宽计算 212 M'*s5:i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 S{c/3k~ 10 光学薄膜的颜色 216 q<3nAE$?= 10.1 导言 216 z.vQ1~s 10.2 色彩 216 =i/Df? 10.3 主波长和纯度 220 OO:S2-]Y>e 10.4 色相和纯度 221 B8&q$QV 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 N*Y[[N( 10.6 色差 226 qmS9*me
{ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 o`T.Zaik, 10.8 颜色渲染指数 234 s~M4. 06P 10.9 色差计算 235 $?= $F 10.10 参考文献 236 *?)MJ@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 uD\R3cY 11.1 短脉冲 238 &@~K8*tmK 11.2 群速度 239 Cxf K(F 11.3 群速度色散 241 0~|0D#klB 11.4 啁啾(chirped) 245 M/3;-g 11.5 光学薄膜—相变 245 _l
d.Xmvd 11.6 群延迟和延迟色散 246 0'^M}&zCi 11.7 色度色散 246 Kb~nC6yJc 11.8 色散补偿 249 |t,sK aL 11.9 空间光线偏移 256 &l(T},-X 11.10 参考文献 258 _O`prX.:B0 12 公差与误差 260 <)qa{,GX\ 12.1 蒙特卡罗模型 260 )nUdU
= m 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 r!r08yf 12.2.1 误差工具 267 ~ua(Qm 12.2.2 灵敏度工具 271 }$ y.qqG 12.2.2.1 独立灵敏度 271 |J$A%27 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Gu;40)gm 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 u[a-9^&g 12.3 参考文献 276 E-A9lJWr 13 Runsheet 与Simulator 277 x]^d'o:cDP 13.1 原理介绍 277 FFT)m^4p. 13.2 截止滤光片设计 277 lrrTeE* 14 光学常数提取 289 ,NO[Piok 14.1 介绍 289 YPK@BmAdE 14.2 电介质薄膜 289 5'!fi]Z 14.3 n 和k 的提取工具 295 z)Rkd0/X 14.4 基底的参数提取 302 Kz'GAm\ 14.5 金属的参数提取 306 ak 7% 14.6 不正确的模型 306 K1
f1T 14.7 参考文献 311 {`HbpM<=m] 15 反演工程 313 B`SX3,3 15.1 随机性和系统性 313 Yy~x`P'g! 15.2 常见的系统性问题 314 GSA+A7sZ 15.3 单层膜 314 [R]V4Hb 15.4 多层膜 314 |nMjv]# 15.5 含义 319 7%h;To-<6 15.6 反演工程实例 319 '5}hm1, 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 RDps{),E;d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ys=2!P-[# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,='Ihi 16.1 光学性质的热致偏移 329 bTs2$81[ 16.2 应力工具 335 (Mc{nFqS 16.3 均匀性误差 339 tI^91I 16.3.1 圆锥工具 339 E:`_P+2p 16.3.2 波前问题 341 Tv%7=P;r 16.4 参考文献 343 Tzd#!Lvm:, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 *`a$6F7m4 17.1 引言 345 0fc;H}B* 17.2 操作数 345 m"L^tSD~ 18 如何在Function中编写脚本 351 )U/Kz1U 18.1 简介 351 XX=OyDLqP 18.2 什么是脚本? 351 ch#)XomN 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {-)^?Zb
@ 18.4 基础 352 U|wST&rU| 18.4.1 Classes(类别) 352 %YVPm*J~ 18.4.2 对象 352 uc9h}QJ* 18.4.3 信息(Messages) 352 VEV?$R7; 18.4.4 属性 352 nJ2B*(S'v. 18.4.5 方法 353 yp~z-aRa 18.4.6 变量声明 353 ^"Bhp:o2 18.5 创建对象 354 S @[]znH 18.5.1 创建对象函数 355 gj|5"'g% 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =8_b&4.:& 18.5.3 丢弃对象 356 <*vR_?!
18.5.4 总结 356
c@A.jc 18.6 脚本中的表格 357 :1d;jx> 18.6.1 方法1 357 ;X}2S!7Ko 18.6.2 方法2 357 vhZXgp0X 18.7 2D Plots in Scripts 358 m9h<)D '> 18.8 3D Plots in Scripts 359 #x 6/"Y2 18.9 注释 360 wn"\@Qv G 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 +*OAClt+] 18.11 一个更高级的脚本 362 q:_:E*o 18.12 <esc>键 364 zE;|MU@| 18.13 包含文件 365 %C%3c4+Oh 18.14 脚本被优化调用 366 CLND[gc 18.15 脚本中的对话框 368 -|x7<$Hw 18.15.1 介绍 368 K0>;4E>B 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;$tdn?| 18.15.3 输入框函数 370 5$
How! 18.15.4 自定义对话框 371 tk0m[HN@eV 18.15.5 对话框编辑器 371 &wQ<sVQ0$ 18.15.6 控制对话框 377 H2iIBGu|L 18.15.7 更高级的对话框 380 eNfH9l2k 18.16 Types语句 384 ,t_&tbf3 18.17 打开文件 385 yR5XcPoKI 18.18 Bags 387 5VE=Oo#& 18.13 进一步研究 388 Tkr~)2,(I! 19 vStack 389 lP=,|xFra 19.1 vStack基本原理 389 wsdZwik 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 E2l"e?AN~ 19.3 五棱镜 393 ~LI } 19.4 光束距离 396 Uhu?G0>O 19.5 误差 399 \[!{tbK`2 19.6 二向分色棱镜 399 0~<?*{~ 19.7 偏振泄漏 404 Z/Wf 19.8 波前误差—相位 405 hxdjmc- 19.9 其它计算参数 405 Ju5Dd\ 20 报表生成器 406 ZKW1HL ]m 20.1 入门 406 5X8 i=M; 20.2 指令(Instructions) 406 DK2Wjr; 20.3 页面布局指令 406 UV|{za$&/ 20.4 常见的参数图和三维图 407 !pfpT\i]N: 20.5 表格中的常见参数 408 "r`2V-E 20.6 迭代指令 408 Sj)?! 20.7 报表模版 408 (4z_2a(Dl, 20.8 开始设计一个报表模版 409 BgN^].z& 21 一个新的project 413 J_a2DM6d 21.1 创建一个新Job 414 ZK?V{X{"; 21.2 默认设计 415 irh Z 21.3 薄膜设计 416 };rEN`L 21.4 误差的灵敏度计算 420 `C7pM 21.5 显色指数计算 422 m5/]+xdNX 21.6 电场分布 424 "z6p=B"?3 后记 426 ZC$u8$+P
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