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6\Z^L1973 内容简介 UetmO`qju Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ^\6UTnS. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Lf:Z
(Z> 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0x &^{P~ PaZYs~EO
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 oaK~:' 目录 950b9Vn& Preface 1 Rq9gtx8,= 内容简介 2 :ox CF0Y 目录 i M@K[i*e 1 引言 1 NAU<?q<) 2 光学薄膜基础 2 MDq @:t 2.1 一般规则 2 \*N1i`99 2.2 正交入射规则 3 o MAK[$k; 2.3 斜入射规则 6 {h=Ai[|l4Q 2.4 精确计算 7 k$2Y)
2.5 相干性 8 \[&]kPcDl 2.6 参考文献 10 Ygl!fC
4b 3 Essential Macleod的快速预览 10 F)IP~BE-k 4 Essential Macleod的特点 32 9e5UTJ 4.1 容量和局限性 33 3/e !7 4.2 程序在哪里? 33 d]^i1 4.3 数据文件 35 k$>T(smh 4.4 设计规则 35 k);!H + 4.5 材料数据库和资料库 37 )?WoLEjq 4.5.1材料损失 38 ;$i'A&)OC 4.5.1材料数据库和导入材料 39 *+z({S_Nv 4.5.2 材料库 41 4kM<L}J# 4.5.3导出材料数据 43 ivq4/Y]-X 4.6 常用单位 43 u&Fm}/x 4.7 插值和外推法 46 t]ZSo- 4.8 材料数据的平滑 50 t|m3b~Oyv 4.9 更多光学常数模型 54 Ame%:K!t 4.10 文档的一般编辑规则 55 *8p</Q 4.11 撤销和重做 56 S`G\Cd;5 4.12 设计文档 57 hTm}j,H 4.10.1 公式 58 [ n2udV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 v+G:,Tc" 4.10.3 沉积密度 59 On^#x] 4.10.4 平行和楔形介质 60 k.ZfjX" 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Xwi&uyvU& 4.10.4 性能 61 #L)rz u 4.10.5 保存设计和性能 64 Z7^}G=* 4.10.6 默认设计 64 1#(1Bs6X 4.11 图表 64 f-<6T 4.11.1 合并曲线图 67 SXEiyy[7v 4.11.2 自适应绘制 68 "->:6Oe2 4.11.3 动态绘图 68 >g&`g}xZQ 4.11.4 3D绘图 69 v`&Z.9!Tz^ 4.12 导入和导出 73 8(}sZ)6 4.12.1 剪贴板 73 +0 MKh 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 1 GdD 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ]YP?bP,: 4.13 背景 77 g$b*# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 : [y(<TLw 4.15 生成Rugate 84 hbeC|_+ 4.16 参考文献 91 * 5n:+Tw( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 d%3BJ+J 5.1 Jobs 92 o1Ln7r. 5.2 创建一个新Job(工作) 93 kR|y0V {K* 5.3 输入材料 94 d3GK.8y_z 5.4 设计数据文件夹 95 S2)S/ nf 5.5 默认设计 95 }U9jsm 6 细化和合成 97 Qx;A; n!lw 6.1 优化介绍 97 u*{ _WL[( 6.2 细化 (Refinement) 98 WIm7p1U#V 6.3 合成 (Synthesis) 100 Be+:-t) 6.4 目标和评价函数 101 %5%Wo(W' 6.4.1 目标输入 102 TXcKuo= 6.4.2 目标 103 YW<2:1A| 6.4.3 特殊的评价函数 104 ]aNnY?qW5 6.5 层锁定和连接 104 w>uZ$/ 6.6 细化技术 104 0K ?(xB 6.6.1 单纯形 105 rLxX^[Fp3 6.6.1.1 单纯形参数 106 +pvJ?"J 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @3YuV=QfH 6.6.2.1 Optimac参数 108 fP58$pwu 6.6.3 模拟退火算法 109 {M/c! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 7h1gU 6.6.4 共轭梯度 111 NrcCUZ .:N 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @
WaYU 6.6.5 拟牛顿法 112 AvZ) 1( 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 moR2iyO_ 6.6.6 针合成 113 2(Uz9!<V 6.6.6.1 针合成参数 114 x[UO1% _o- 6.6.7 差分进化 114 VU9P\|c@< 6.6.8非局部细化 115 s2~dmZ_B|_ 6.6.8.1非局部细化参数 115 *K'ej4"u 6.7 我应该使用哪种技术? 116 cg00t+ 6.7.1 细化 116 OL5HofgNm 6.7.2 合成 117 Aw;vg/#~md 6.8 参考文献 117 ?(yFwR,( 7 导纳图及其他工具 118 |+-i'N9 7.1 简介 118 4rG 7\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4iqmi<[(" 7.2.1 四分之一波长规则 119 Y,btL'[W 7.2.2 导纳图 120 .A)Un/k7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 dM{~Ubb 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 I^(#\vRW 7.5 斜入射导纳图 141 vN:[ 7.6 对称周期 141 p"IS"k% 7.7 参考文献 142 x}'4^Cv 8 典型的镀膜实例 143 h;qy5KS 8.1 单层抗反射薄膜 145 8G&+ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 uhB!k-ir 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 {@__%=`CCS 8.4 W-膜层 148 @jSbMI 8.5 V-膜层 149 d`uO7jlm 8.6 V-膜层高折射基底 150 PMhhPw] 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ++DQS9b{ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 yr2L 8.9 四层抗反射薄膜 153 lc7a@qnw 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ,Bw)n, 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 7G(f1Y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 e>9Z:vY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :5<9/ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 F(9
Y/UXH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 A]Tcj^# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 fGf-fh;s 8.17 1/4波长堆栈 162 ?%/u/*9rj 8.18 陷波滤波器 163 ywynx<Wg 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~vSAnjeR 8.20 褶皱 165 !{tiTA 8.21 消偏振分光器1 169 ?4[Oh/]R 8.22 消偏振分光器2 171 a`b zFu{ 8.23 消偏振立体分光器 172 $KWYe{# 8.24 消偏振截止滤光片 173 Qy5Os?9" 8.25 立体偏振分束器1 174 5%?b5(mnD 8.26 立方偏振分束器2 177 "lz[zFnO 8.27 相位延迟器 178 ``|RO[+2 8.28 红外截止器 179 Ldhk^/+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 2FIR]@MQd 8.30 49层长波带通滤波器 181 7X{bB 8.31 55层短波带通滤波器 182 *UBP]w 8.32 47 红外截止器 183 $dh4T"; 8.33 宽带通滤波器 184 &49$hF
g6" 8.34 诱导透射滤波器 186 4 %)N(%u 8.35 诱导透射滤波器2 188 !\-4gr?`! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (;pi"/x[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 dG-or 8.35 增益平坦滤波器 193 AR~$MCR]"k 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ft;u\KT 8.39 啁啾反射镜2 198 6Z&u 8.40 啁啾反射镜3 199 p/k<wCm6 8.41 带保护层的铝膜层 200 a,'Ncg 8.42 增加铝反射率膜 201 qwF*(pTHq 8.43 参考文献 202 a WeBav}_ 9 多层膜 204 yw.~trF&% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 3p3WDL7 9.2 内部透过率 204 xshArJ&A 9.3 内部透射率数据 205 @>G&7r:U 9.4 实例 206 'ZC}9=_g 9.5 实例2 210 b-BM"~N' 9.6 圆锥和带宽计算 212 |ck
ZyDA 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 w3=)S\ 10 光学薄膜的颜色 216 ~|'y+h89 10.1 导言 216 h;%i/feFg 10.2 色彩 216 XpgV09.EE 10.3 主波长和纯度 220 NSS4vtA 10.4 色相和纯度 221 J-tq8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 gX$0[
sIS. 10.6 色差 226 jF2[bzY4 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 tS (i711 10.8 颜色渲染指数 234 6Q2orn[ 10.9 色差计算 235 T)(e!Xz 10.10 参考文献 236
!@pV)RUv7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
\f/#<|Hm 11.1 短脉冲 238 CZJHE> 11.2 群速度 239 L19MP 11.3 群速度色散 241 'h^-t^:<>b 11.4 啁啾(chirped) 245 -@ZzG uS( 11.5 光学薄膜—相变 245 Ht|",1yr+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 #vj#! 1
11.7 色度色散 246 +urS5c*
j 11.8 色散补偿 249 3}B5hht"D 11.9 空间光线偏移 256 ~V2ajM1Z&O 11.10 参考文献 258 %2Epgh4? 12 公差与误差 260 .Vo"AuC} 12.1 蒙特卡罗模型 260 3@^>#U
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 .!JMPf"QEI 12.2.1 误差工具 267 -`!_h[ 12.2.2 灵敏度工具 271 cBifZv*l 12.2.2.1 独立灵敏度 271 XogvtK* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 (PS$e~Hs 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _W0OM[ 12.3 参考文献 276 CKv&Re 13 Runsheet 与Simulator 277 Nush`?]J"_ 13.1 原理介绍 277 k42b:W5% 13.2 截止滤光片设计 277 xLx"*jyL 14 光学常数提取 289 ~`t%M?l 14.1 介绍 289 !8xKf*y 14.2 电介质薄膜 289 yS[z2:! 14.3 n 和k 的提取工具 295 Hp\Ddx >Jd 14.4 基底的参数提取 302 T3PX gL)o 14.5 金属的参数提取 306 v%lv8Lar' 14.6 不正确的模型 306 b fp,zs 14.7 参考文献 311 !0Idp% 15 反演工程 313 >P<z |8 15.1 随机性和系统性 313 >0PUWr$8 15.2 常见的系统性问题 314 yp=|7 15.3 单层膜 314 aS,a_b] 15.4 多层膜 314 +0]'| t F> 15.5 含义 319 2m_'z 15.6 反演工程实例 319 b.#^sm// 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 9nn>O? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 sFLcOPj-% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 EdEoXY-2 16.1 光学性质的热致偏移 329 f
hQy36i@ 16.2 应力工具 335 q@w{c= 16.3 均匀性误差 339 n`% 2Mj c 16.3.1 圆锥工具 339 a3Y{lc#z} 16.3.2 波前问题 341 XVw-G
}5 16.4 参考文献 343 ^8:VWJM 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 '!!e+\h# 17.1 引言 345 :.#z 17.2 操作数 345 9C_*3?6 18 如何在Function中编写脚本 351 u7HvdLql 18.1 简介 351 /D0RC 18.2 什么是脚本? 351 oEJaH 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Bi e?M 18.4 基础 352 )ZGYhE 18.4.1 Classes(类别) 352 D!oZ?dGCo6 18.4.2 对象 352 2\VAmPG.Zs 18.4.3 信息(Messages) 352 {AOG"T&< 18.4.4 属性 352 q]px( 18.4.5 方法 353 F\5X7ditD 18.4.6 变量声明 353 & g:%*>7P 18.5 创建对象 354 A t{U~^ 18.5.1 创建对象函数 355 SSE3tcRRl 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 u?F (1iN= 18.5.3 丢弃对象 356 20aZI2sk` 18.5.4 总结 356 n@
4@, 18.6 脚本中的表格 357 ^]6M["d/p 18.6.1 方法1 357 RU0i#suiz 18.6.2 方法2 357 Uo2+:p 18.7 2D Plots in Scripts 358 )u;JwFstX 18.8 3D Plots in Scripts 359 , 9mgYp2 18.9 注释 360 `mzb(bE 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ~Rs#|JWB2V 18.11 一个更高级的脚本 362 ;hwzYXWF 18.12 <esc>键 364 bni)Qw 18.13 包含文件 365 <FUon 18.14 脚本被优化调用 366 T7{<arL$ 18.15 脚本中的对话框 368 f ba&` 18.15.1 介绍 368 n#BvW,6J 18.15.2 消息框-MsgBox 368 RvyuGU 18.15.3 输入框函数 370 mQ}Gh_'ps 18.15.4 自定义对话框 371 H?tUCbw 18.15.5 对话框编辑器 371 1"?]= j: 18.15.6 控制对话框 377 w$j{Hp6m 18.15.7 更高级的对话框 380 %x2uP9 18.16 Types语句 384 /Pvk),ca 18.17 打开文件 385 RNTa XR+Zn 18.18 Bags 387 hGI+:Js6 18.13 进一步研究 388 KY$k`f6?P 19 vStack 389 SWs3SYJ\ 19.1 vStack基本原理 389 :=<0=JE# 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;L~p|sF 19.3 五棱镜 393 URA0ey` 19.4 光束距离 396 KlN/\N\ 19.5 误差 399 fN)x#? 19.6 二向分色棱镜 399 v^SsoX>WMH 19.7 偏振泄漏 404 D`pQ7 19.8 波前误差—相位 405 2no$+4+z 19.9 其它计算参数 405 "_< 9PM1t 20 报表生成器 406 r|GY]9 20.1 入门 406 m`y9Cuk 20.2 指令(Instructions) 406 sb^mLH] 3 20.3 页面布局指令 406 h?Nek+1' 20.4 常见的参数图和三维图 407 I{ ryD -! 20.5 表格中的常见参数 408 T#EFXHPr 20.6 迭代指令 408 r\2vl8X~ 20.7 报表模版 408 M0L&~p_F 20.8 开始设计一个报表模版 409 53Yxz3v 21 一个新的project 413 uSN"vpc4D 21.1 创建一个新Job 414 ,%[4j9#!_ 21.2 默认设计 415 e[1>(l}Ss 21.3 薄膜设计 416 ?Ik4 21.4 误差的灵敏度计算 420 ^lj7( 21.5 显色指数计算 422 c2 A ps 21.6 电场分布 424 ObG=>WPJa 后记 426 6L9,'Bg
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