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Z=: oIAe 内容简介 T;- Zl[H Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Fa(}:Ug 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 b0a'Y"oef4 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Z$R2Z$f k&nhF9Y4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 B3I\= 目录 (vIrXF5Dnj Preface 1 'e6W$?z 内容简介 2 `Tzqvnn 目录 i "?j|;p@!> 1 引言 1 c%.f|/.k
2 光学薄膜基础 2 +n(H"I7cU 2.1 一般规则 2 $XS0:C0 2.2 正交入射规则 3 Q^Ln`zMe 2.3 斜入射规则 6 3)f=Z2U> 2.4 精确计算 7 XEqg%f 2.5 相干性 8 `
n{rzenPX 2.6 参考文献 10 dE5DH~ldV 3 Essential Macleod的快速预览 10 !2x"'o 4 Essential Macleod的特点 32 #SY8Zv 4.1 容量和局限性 33 ^_<>o[qE 4.2 程序在哪里? 33 v)JQb-< 4.3 数据文件 35 K*J8(/WkD 4.4 设计规则 35 rL URP2~ 4.5 材料数据库和资料库 37 PiB)pUYj 4.5.1材料损失 38 *f8,R"]-g 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +N[dYm 4.5.2 材料库 41 MW9B
-x 4.5.3导出材料数据 43 ej,MmLu~^ 4.6 常用单位 43 [ hj|8) 4.7 插值和外推法 46 \3q{E",\>@ 4.8 材料数据的平滑 50 #f|-l$a)3a 4.9 更多光学常数模型 54 mxHNK4/ 4.10 文档的一般编辑规则 55 4\(;}M-R{ 4.11 撤销和重做 56 #},]`"n\ 4.12 设计文档 57 )ymF:]QC 4.10.1 公式 58 pmCBe6n\l 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 lGB7( 4.10.3 沉积密度 59 ;lGa.RD[a 4.10.4 平行和楔形介质 60 p!'wOThO` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 se_zCS4Y 4.10.4 性能 61 +bm2vIh$ 4.10.5 保存设计和性能 64 y<F$@ 4.10.6 默认设计 64 :&)RK~1m_ 4.11 图表 64 7\ff=L-b 4.11.1 合并曲线图 67 5d}PrYa 4.11.2 自适应绘制 68 ?vRz}hiy 4.11.3 动态绘图 68 %8o(x 0 4.11.4 3D绘图 69 NtTLvO6 4.12 导入和导出 73 q1dYiG.-Z 4.12.1 剪贴板 73 ECkfFE` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~73"AWlp 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 wX 41R]pF 4.13 背景 77 8zj09T[ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _;01/V"q6 4.15 生成Rugate 84 ( kp}mSw 4.16 参考文献 91 Wc3!aLNx 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 kq%`9,XE 5.1 Jobs 92 (%0X\zvu/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 qC\$>QU} 5.3 输入材料 94 x6DH0*[. 5.4 设计数据文件夹 95 6%S>~L66 5.5 默认设计 95 ^DZiz[X+| 6 细化和合成 97 c<&+[{| 6.1 优化介绍 97 =r0!-[XCa 6.2 细化 (Refinement) 98 |P?8<8p 6.3 合成 (Synthesis) 100 kj0A%q#'} 6.4 目标和评价函数 101 FeV=4tsy 6.4.1 目标输入 102 A v2 _A 6.4.2 目标 103 n;rOH[P 6.4.3 特殊的评价函数 104 _ux6SIyp` 6.5 层锁定和连接 104 ==FzkRA) 6.6 细化技术 104 R&xD|w8UjM 6.6.1 单纯形 105 hChM hc 6.6.1.1 单纯形参数 106 6AQ;P 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 g"Ii'JZ? 6.6.2.1 Optimac参数 108 *R~oA` 6.6.3 模拟退火算法 109 "\_}"0H 6.6.3.1 模拟退火参数 109 c7rYG] 6.6.4 共轭梯度 111 n@mUQ6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 D[-Ct 6.6.5 拟牛顿法 112 u|:VQzPd- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 JAiV7v4&R 6.6.6 针合成 113 |x5w;= 6.6.6.1 针合成参数 114 ]ipVN 6.6.7 差分进化 114 )d.7xY7! 6.6.8非局部细化 115 ptDA))7M/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 h,p&/oU4U 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ^cAJCbp7 6.7.1 细化 116 O3BU.X1'% 6.7.2 合成 117 /Cg/Rwl 6.8 参考文献 117 HdnSs0/ 7 导纳图及其他工具 118 d?{2A84S 7.1 简介 118 &0C!P=-p 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 LAwS8t', 7.2.1 四分之一波长规则 119 50R+D0^mh 7.2.2 导纳图 120 ^#t<ILUa 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 E
Fv+[ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 r2Z`4tN: 7.5 斜入射导纳图 141 {
o;0Fx 7.6 对称周期 141 a0LX<} 7.7 参考文献 142 uBMNkN8 8 典型的镀膜实例 143 B+Bv(p 8.1 单层抗反射薄膜 145 :YI>AaYWDO 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 sO6t8)$b 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~w*ojI 8.4 W-膜层 148 '{u#:TTj 8.5 V-膜层 149 'K"*4B^3 8.6 V-膜层高折射基底 150 |$w-}$jq5 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Qp?+_<{ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 S8cFD):q 8.9 四层抗反射薄膜 153 Uh8ieb 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 iGlZFA 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ge?ymaU$a 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5(|ud)v 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 1`AE] 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h
,n!x:zy@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 .KLuGb3JJ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 N|)V/no 6 8.17 1/4波长堆栈 162 gjWH
}(K 8.18 陷波滤波器 163 ]a%Kn]HI&2 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;lEiOF+d 8.20 褶皱 165 18HHEW{ 8.21 消偏振分光器1 169 SYwNx">Bq 8.22 消偏振分光器2 171 $3Ia+O 8.23 消偏振立体分光器 172 w#$k$T) 8.24 消偏振截止滤光片 173 }<S2W\,G 8.25 立体偏振分束器1 174 >dGYZfqD 8.26 立方偏振分束器2 177 %G
SSy_c 8.27 相位延迟器 178 Lgfr"{C 8.28 红外截止器 179 *Wa u7 8.29 21层长波带通滤波器 180 |Wgab5D>V 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,'6GG+ 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?n+\T'f! 8.32 47 红外截止器 183 6;*(6$; 8.33 宽带通滤波器 184 c2f$:XiM 8.34 诱导透射滤波器 186 lq5E?B 8.35 诱导透射滤波器2 188 {cI<4>< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 pk4&-iu9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 sJlKN 8.35 增益平坦滤波器 193 cOgtBEhn 8.38 啁啾反射镜 1 196 jY.%~Y1y 8.39 啁啾反射镜2 198 i5" q1dRQ 8.40 啁啾反射镜3 199 qsRh ihPX 8.41 带保护层的铝膜层 200 QMY4%uyY! 8.42 增加铝反射率膜 201 8(;i~f:bCW 8.43 参考文献 202 IA4(^-9 9 多层膜 204 p'4P2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "LWuN> 9.2 内部透过率 204 _JDr?Kg 9.3 内部透射率数据 205 Jx< 9.4 实例 206 .#J3UZ 9.5 实例2 210 9R[','x 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;p ('cwU% 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ZM?r1Z4 10 光学薄膜的颜色 216 K=)R!e8 10.1 导言 216 NZ5~\k 10.2 色彩 216 s`YuH <8 10.3 主波长和纯度 220 1%`:8 10.4 色相和纯度 221 QR'g*Bro 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 pH[lj8S 10.6 色差 226 MvmP["%J4_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 O2dgdtm 10.8 颜色渲染指数 234 gEsR-A!m 10.9 色差计算 235 r|@?v , 10.10 参考文献 236 Ke'2"VkQt 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3(&F.&C$$ 11.1 短脉冲 238 Qknc.Z} 11.2 群速度 239 CK</2 w+ 11.3 群速度色散 241 $O8V!R* 11.4 啁啾(chirped) 245 y9hZ2iT 11.5 光学薄膜—相变 245 u'1=W5$rK 11.6 群延迟和延迟色散 246 {eEWfMKIn 11.7 色度色散 246 uek3Y[n 11.8 色散补偿 249 F w m:c[G 11.9 空间光线偏移 256 pQ{t< > 11.10 参考文献 258 !ei20@ 12 公差与误差 260 :t^})% 12.1 蒙特卡罗模型 260 C>dJ:.K%H 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ew$Z5N: 12.2.1 误差工具 267 Dys"|,F 12.2.2 灵敏度工具 271 %
cdP* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 :<8V2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 qEr[fC@x 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 x^2/jUc#B 12.3 参考文献 276 v6\2mc. 13 Runsheet 与Simulator 277 ~[q:y|3b 13.1 原理介绍 277 p9WskYpm 13.2 截止滤光片设计 277 `kSCH; mwP 14 光学常数提取 289 KBe { 14.1 介绍 289 eE%yo3 14.2 电介质薄膜 289 neFno5d j 14.3 n 和k 的提取工具 295 vPNZFi-( 14.4 基底的参数提取 302 ,z)NKt# 14.5 金属的参数提取 306 "Cj#bUw 14.6 不正确的模型 306 6CRPdLTDf 14.7 参考文献 311 /exl9Ilt] 15 反演工程 313 d<? :Q 15.1 随机性和系统性 313 -yGm^EwP 15.2 常见的系统性问题 314 {WOfT6y+ 15.3 单层膜 314 SkRQFm0a~ 15.4 多层膜 314 RpP[ymMZJ 15.5 含义 319 jdf)bO(9# 15.6 反演工程实例 319 SfSEA^@| 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 6G$tYfX 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H)aC'M^ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 `Kw8rG\]: 16.1 光学性质的热致偏移 329 t>@3RBEK 16.2 应力工具 335 nY-9
1q?Y 16.3 均匀性误差 339 ,ri--< 16.3.1 圆锥工具 339 q.[[c 16.3.2 波前问题 341 pY>-N 16.4 参考文献 343 91d`LsP 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 \1C!,C 17.1 引言 345 S_VncTIO 17.2 操作数 345 7d8qs%nA 18 如何在Function中编写脚本 351 c$:=d4t5$ 18.1 简介 351 Rbc2g"] 18.2 什么是脚本? 351 |Umfq:W`y_ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 KqUSTR1e[ 18.4 基础 352 T KL(97)< 18.4.1 Classes(类别) 352 k:)u7A+ 18.4.2 对象 352 Mqf}Aiqk; 18.4.3 信息(Messages) 352 zRE8299%z 18.4.4 属性 352 ":^
NLBm>5 18.4.5 方法 353 &|"I0|tJ 18.4.6 变量声明 353 u4M2Ec 18.5 创建对象 354 -JhjTA 18.5.1 创建对象函数 355 Is6 _ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
C|;Mhe'r= 18.5.3 丢弃对象 356 C*6)Ut ' 18.5.4 总结 356 2$W,R/CLh 18.6 脚本中的表格 357 'Qq_Xn8 18.6.1 方法1 357 UMi`u6# 18.6.2 方法2 357 iA{jKk= 18.7 2D Plots in Scripts 358 7RC096 ?} 18.8 3D Plots in Scripts 359 9AddF*B 18.9 注释 360 *[~o~e/YCb 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4FE@s0M, 18.11 一个更高级的脚本 362 9f%y)[ \ 18.12 <esc>键 364 bKJ7vXC05 18.13 包含文件 365 bKMR7&e.Ep 18.14 脚本被优化调用 366 v;}`?@G 18.15 脚本中的对话框 368 C9Z\G 3 18.15.1 介绍 368 pH l2!{z 18.15.2 消息框-MsgBox 368 UK_aqB 18.15.3 输入框函数 370 ^C)T M@+
18.15.4 自定义对话框 371 l(w vQO 18.15.5 对话框编辑器 371 .A!0.M| 18.15.6 控制对话框 377 $gl<{{ 18.15.7 更高级的对话框 380 8u5
'g1M 18.16 Types语句 384 xm,`4WdG 18.17 打开文件 385 +\8 krA 18.18 Bags 387 ._MAHBx+G 18.13 进一步研究 388 :Ip:sRz 19 vStack 389 !+DJhw&c, 19.1 vStack基本原理 389 <RPoQ'.^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 XZdr`$z f 19.3 五棱镜 393 ;!JX-J q 19.4 光束距离 396 5H :~6z 19.5 误差 399 V>j hGf 19.6 二向分色棱镜 399 8u'O`j 19.7 偏振泄漏 404 'bI ~61{A 19.8 波前误差—相位 405 d
O46~ 19.9 其它计算参数 405 Z'*Z@u3 20 报表生成器 406 /sT
^lf= 20.1 入门 406 mh#FYSp 20.2 指令(Instructions) 406 ;y~{+{{Ow 20.3 页面布局指令 406 )x8;.@U 20.4 常见的参数图和三维图 407 %w8GGm8^/ 20.5 表格中的常见参数 408 c6Aut`dK 20.6 迭代指令 408 ~l*?D7[o 20.7 报表模版 408 H&=n:'k^ 20.8 开始设计一个报表模版 409 \aVY>1` 21 一个新的project 413 6(J4IzZ 21.1 创建一个新Job 414 (YYj3#| 21.2 默认设计 415 G]mWaA 21.3 薄膜设计 416 ,s><kHJ 21.4 误差的灵敏度计算 420 M9s43XL(& 21.5 显色指数计算 422 pgd8`$(Q 21.6 电场分布 424 B&i0j5L 后记 426 JYg% ~tW'
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