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>~%EB?8 内容简介 tc|`cB3f Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 rnkq. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [|vE*&:uO 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 <[oPh(!V \{GBaMwG~ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 'Nqa=_<WW 目录 !{WIN%O Preface 1 QE#Ar8tU 内容简介 2 I7S#vIMXR. 目录 i 34Fc
oud); 1 引言 1 *EB`~s 2 光学薄膜基础 2 C.#\Pz0 2.1 一般规则 2 HCCEIgCT 2.2 正交入射规则 3 &az
:YTq 2.3 斜入射规则 6 5PRS|R7 2.4 精确计算 7 *l-f">?| 2.5 相干性 8 TV['"'D&i 2.6 参考文献 10 hoDE*>i 3 Essential Macleod的快速预览 10 4Y>J,c 4 Essential Macleod的特点 32 )-u0n], 4.1 容量和局限性 33 yu~o9 4.2 程序在哪里? 33 Q4[^JQsR2 4.3 数据文件 35 4g%BCGsys 4.4 设计规则 35 #Bih=A
# 4.5 材料数据库和资料库 37 nZtP!^# 4.5.1材料损失 38 fqY;>Z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 J^Mq4& 4.5.2 材料库 41 !D \u2h 4.5.3导出材料数据 43 MB"TwtW 4.6 常用单位 43 IQm[,Fh 4.7 插值和外推法 46 Il8,g+W] 4.8 材料数据的平滑 50 ^W*T~V*8 4.9 更多光学常数模型 54 =.Hq]l6+ 4.10 文档的一般编辑规则 55 -aV!ZODt 4.11 撤销和重做 56 >Av[`1a2F 4.12 设计文档 57 qb[UA5S\` 4.10.1 公式 58 zZhA]J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 01_*^iCf5 4.10.3 沉积密度 59 O^L#(8bC 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;/79tlwq 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 yPmo@aw]1 4.10.4 性能 61 5.TeH@( 4.10.5 保存设计和性能 64 BPwn!ii| 4.10.6 默认设计 64 }}Kjb 4.11 图表 64 ~Q3y3,x 4.11.1 合并曲线图 67 g2|qGfl{C 4.11.2 自适应绘制 68 xl]1{$1M 4.11.3 动态绘图 68 !,0%ZG}]7 4.11.4 3D绘图 69 )<+t#5" 4.12 导入和导出 73 ->rr4xaK C 4.12.1 剪贴板 73 *pP&$!bH% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 5dNM:1VoE 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 o]jPG 4.13 背景 77 cN&]JS, 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >Hd0l L 4.15 生成Rugate 84 6]D%|R,Q#} 4.16 参考文献 91 4[P]+Z5b+ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +!F+mV9 5.1 Jobs 92 ^F? }MY> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1OOMqFn} L 5.3 输入材料 94 )zK6>-KWA 5.4 设计数据文件夹 95 i*\\j1mf 5.5 默认设计 95 xaw)iC[gI{ 6 细化和合成 97 hUo}n>Aa 6.1 优化介绍 97 u;/5@ADW 6.2 细化 (Refinement) 98 ~A-vIlGt! 6.3 合成 (Synthesis) 100 }QzF.![~z 6.4 目标和评价函数 101 n]Z() "D 6.4.1 目标输入 102 YKV?I
6.4.2 目标 103 \}p!S$` 6.4.3 特殊的评价函数 104 O`rKxP 6.5 层锁定和连接 104 Q&k1' nT5 6.6 细化技术 104 ;NJx9)7< 6.6.1 单纯形 105 {Y7dE?!`7 6.6.1.1 单纯形参数 106 sPxDo?1x- 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^8q(_#w`K 6.6.2.1 Optimac参数 108 9!u&8#i 6.6.3 模拟退火算法 109 # ^q87y 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Kwmtt 6.6.4 共轭梯度 111 >K@Y8J+e# 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 vS1#ien# 6.6.5 拟牛顿法 112 5%#V>|@e# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 T4fVZd)x 6.6.6 针合成 113 U-6pia/o 6.6.6.1 针合成参数 114 X?gH(mn 6.6.7 差分进化 114 ->S# `"@$ 6.6.8非局部细化 115 S@^o=B]] 6.6.8.1非局部细化参数 115 D9
\!9 7 6.7 我应该使用哪种技术? 116 CEXD0+\q 6.7.1 细化 116 N, SbJ Z 6.7.2 合成 117 7mT
iO?/y< 6.8 参考文献 117 BufXnMh. 7 导纳图及其他工具 118 DPg\y".4Y& 7.1 简介 118 s)BB(vQ]6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^NB\[ & 7.2.1 四分之一波长规则 119 _rakTo8BY 7.2.2 导纳图 120 uozK'L 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 _@L{]6P%V 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ]Dd}^khv
7.5 斜入射导纳图 141 (`cXS5R 7.6 对称周期 141 p*5QV 7.7 参考文献 142 /<e<-C*d&< 8 典型的镀膜实例 143 BTAt9Z8qK 8.1 单层抗反射薄膜 145 cME|Lg(J$ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 sogdM{tz\ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 SsBiCctn 8.4 W-膜层 148 vAt]N)R 8.5 V-膜层 149 [yn\O=%5 8.6 V-膜层高折射基底 150 3[r9v!l 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 0Bn35.K 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 {Q~HMe`, 8.9 四层抗反射薄膜 153 jM5w<T-2/ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 '?O_(%3F0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Y=$PsDh! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1@<PcQBp 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 CY</v,\:# 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {^*K@c 8.15十五层宽带抗反射膜 159 A9;!\Wo 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Usl963A#'F 8.17 1/4波长堆栈 162 4Je[!X@C 8.18 陷波滤波器 163 H/''lI{k) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -
U Elu4n& 8.20 褶皱 165 Hpj7EaMZ_ 8.21 消偏振分光器1 169 6^VPRp 8.22 消偏振分光器2 171 k%Wj+\93f 8.23 消偏振立体分光器 172 C;\R
62' 8.24 消偏振截止滤光片 173 `3?5Z/,y 8.25 立体偏振分束器1 174 ojG;[@V 8.26 立方偏振分束器2 177 M;j)F 8.27 相位延迟器 178 |E?,hTRe5 8.28 红外截止器 179 ]y\Wc0q 8.29 21层长波带通滤波器 180 y{g"w 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,p)Qu%' 8.31 55层短波带通滤波器 182 *o}7&Hw#9f 8.32 47 红外截止器 183 }MIg RQ9 8.33 宽带通滤波器 184 EN/r{Cm$B 8.34 诱导透射滤波器 186 e pGC
Ta 8.35 诱导透射滤波器2 188 )N3XbbV 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Ux-i iH#s 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 vJ9IDc|[ 8.35 增益平坦滤波器 193 P<C=9@`! 8.38 啁啾反射镜 1 196 xRbtiFk9H 8.39 啁啾反射镜2 198 sIzy/W0iV 8.40 啁啾反射镜3 199 ^Rh`XE 8.41 带保护层的铝膜层 200 vX}#wDNP 8.42 增加铝反射率膜 201 3XSfXS{lwP 8.43 参考文献 202 &HB!6T/ 9 多层膜 204 5*\]F} 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (Tv~$\= 9.2 内部透过率 204 i5#4@ 4aC 9.3 内部透射率数据 205 VM}7 ~ 9.4 实例 206 RMs+pN<5 9.5 实例2 210 ^E&WgXlb 9.6 圆锥和带宽计算 212 E(!b_C& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 cq"#[y$r 10 光学薄膜的颜色 216 U28frRa 10.1 导言 216 ]XjL""EbC 10.2 色彩 216 8 -YC#& 10.3 主波长和纯度 220 9?tG?b0 10.4 色相和纯度 221 9 GtVcucN 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jK\AVjn 10.6 色差 226 vw6DHN)k 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 qGdoRrp0Ov 10.8 颜色渲染指数 234 #c$z&J7e 10.9 色差计算 235 61Wh %8- 10.10 参考文献 236 #+8G` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 oH;9s-Be 11.1 短脉冲 238 vLIaTr gz 11.2 群速度 239 SNc $! 11.3 群速度色散 241 9xOTR#B:_V 11.4 啁啾(chirped) 245 uc
Ph*M 11.5 光学薄膜—相变 245 & ^;3S*p 11.6 群延迟和延迟色散 246 W!V-m 11.7 色度色散 246 c Rv#aV 11.8 色散补偿 249 ?izl#? 11.9 空间光线偏移 256 R!rj:f!> 11.10 参考文献 258 c@Xb6 z_> 12 公差与误差 260 n;LjKE 12.1 蒙特卡罗模型 260 >e!Y 63` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 j8W<iy 12.2.1 误差工具 267 nL+y"O 12.2.2 灵敏度工具 271 6h7TM?lt 12.2.2.1 独立灵敏度 271 (bAw>
12.2.2.2 灵敏度分布 275 t"?)x&dS 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 sBa&]9>m 12.3 参考文献 276 elz0t<V 13 Runsheet 与Simulator 277 \)i,`bz 13.1 原理介绍 277 g(dReC 13.2 截止滤光片设计 277 o>HU4O} 14 光学常数提取 289 3fxcH 14.1 介绍 289 (_=R<: 14.2 电介质薄膜 289 O!P7Wu 14.3 n 和k 的提取工具 295 z) x.6 14.4 基底的参数提取 302 nd }Z[) 14.5 金属的参数提取 306 M9~6ry-_ 14.6 不正确的模型 306 ]]P@*4! 14.7 参考文献 311 $|t={s34 15 反演工程 313 V[0
ZNT& 15.1 随机性和系统性 313 M9Xq0BBu 15.2 常见的系统性问题 314 ajW2HH*9}A 15.3 单层膜 314 biV NZdA 15.4 多层膜 314 /D964VR1M\ 15.5 含义 319 I&`aGnr^^ 15.6 反演工程实例 319 B$qTH5)W 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 A0OA7m:~4 15.6.2 反演工程提取折射率 327 bd H+M?k 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 }X. Fm'` 16.1 光学性质的热致偏移 329 %/
"yt}"| 16.2 应力工具 335 rBOH9L 16.3 均匀性误差 339 X#HH7V> 16.3.1 圆锥工具 339 O[\mPFu5 16.3.2 波前问题 341 %cBOi_}}~ 16.4 参考文献 343
: 76zRF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (\o4 c0UzK 17.1 引言 345 -/2B fIq 17.2 操作数 345 j{D tjV8 18 如何在Function中编写脚本 351 w OOu/Y 18.1 简介 351 E#,\[<pc 18.2 什么是脚本? 351 4sW'pH 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 UA(4mbz+ 18.4 基础 352 5A<}*T 18.4.1 Classes(类别) 352 xGFbh4H=8p 18.4.2 对象 352 } =Xlac_U 18.4.3 信息(Messages) 352 {rK]Q! yj 18.4.4 属性 352 EwmNgmYq 18.4.5 方法 353 =iH9=}aBFC 18.4.6 变量声明 353 'Lw8l `7 18.5 创建对象 354 jT!?lqr(Rb 18.5.1 创建对象函数 355 3V7WIj< 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 b I`JG:^b 18.5.3 丢弃对象 356 \&~YFj B 18.5.4 总结 356 *Mb'y d/| 18.6 脚本中的表格 357 #eX<=H] 18.6.1 方法1 357 ooBBg@ 18.6.2 方法2 357 IZ\fvYp 18.7 2D Plots in Scripts 358 Djdd|Z+*{ 18.8 3D Plots in Scripts 359 UWhJkJsX 18.9 注释 360 i=1crJ: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 *K|ah:(r1\ 18.11 一个更高级的脚本 362 (&v,3>3] 18.12 <esc>键 364 A\W)uwyN 18.13 包含文件 365 luyu7` 18.14 脚本被优化调用 366 8vtembna4 18.15 脚本中的对话框 368 nA{yH}D4 18.15.1 介绍 368 a>rDJw: 18.15.2 消息框-MsgBox 368 42p1P6d 18.15.3 输入框函数 370 UvM4-M%2JN 18.15.4 自定义对话框 371 h&n1}W+ 18.15.5 对话框编辑器 371 xRdx`
YY u 18.15.6 控制对话框 377 _*n
`*" 18.15.7 更高级的对话框 380 H?!DcUg CC 18.16 Types语句 384 |i#06jIq 18.17 打开文件 385 #ti%hm 18.18 Bags 387 k{=dV 18.13 进一步研究 388 mlCg&fnDB 19 vStack 389 7!h>
< sx 19.1 vStack基本原理 389 4T;<`{] 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3Pgokj
19.3 五棱镜 393 m(d|TwG{ 19.4 光束距离 396 d0C _:_ 19.5 误差 399 VumM`SH 19.6 二向分色棱镜 399 )B)f`(SA"< 19.7 偏振泄漏 404 c8Ud<M . 19.8 波前误差—相位 405 ^sFO[cYo 19.9 其它计算参数 405 pT3icy!A= 20 报表生成器 406 1r_V$o$ 20.1 入门 406 zx,9x*g 20.2 指令(Instructions) 406 , ,ng]&%i 20.3 页面布局指令 406 A0U9,M 20.4 常见的参数图和三维图 407 Pr(@&:v: 20.5 表格中的常见参数 408 R&&&RI3{ 20.6 迭代指令 408 =6O*AJ 20.7 报表模版 408 GBWL0'COV 20.8 开始设计一个报表模版 409 Kd58'$ 21 一个新的project 413 zH6@v+gb 21.1 创建一个新Job 414 9jX_Eoxy 21.2 默认设计 415 )p1~Jx( \ 21.3 薄膜设计 416 #p55/54ZI 21.4 误差的灵敏度计算 420 h3&|yS| 21.5 显色指数计算 422 Mp>(cs 21.6 电场分布 424 kd\Hj~* 后记 426 CaO-aL 有兴趣扫码加微 a h_>:x "}`)s_rt
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