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mmEp'E 内容简介 Sd))vS^g Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 joa5|t!D9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 C}?0`!Cc% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 SQWafD #FYAV%pi 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 9B dt (}0A 目录 JI|6B Preface 1 V (rr"K+ 内容简介 2 Aaw(Ed 目录 i J^m<* 1 引言 1 q
(+ZwaV@ 2 光学薄膜基础 2 %8)W0WMe 2.1 一般规则 2 I,ci >/+b 2.2 正交入射规则 3 [9mL $;M
W 2.3 斜入射规则 6 `C_'|d<HA 2.4 精确计算 7 ]lS@}W\ 2.5 相干性 8 i2J q|9,g 2.6 参考文献 10 |%D%0TR&Q 3 Essential Macleod的快速预览 10 8I+d)(: 4 Essential Macleod的特点 32 *Q}[ ]g 4.1 容量和局限性 33 c 5`US 4.2 程序在哪里? 33 'GJVWpvUU 4.3 数据文件 35 w7-WUvxl 4.4 设计规则 35 ~VTs:h 4.5 材料数据库和资料库 37 Qbeeq6 4.5.1材料损失 38 5IqQ |/m<6 4.5.1材料数据库和导入材料 39
BRbV7&
4.5.2 材料库 41 $R^AEa7 4.5.3导出材料数据 43 h4fLl3%H 4.6 常用单位 43 F9XT
lA 4.7 插值和外推法 46 r;iV$Rq! 4.8 材料数据的平滑 50 TSL9ax4j 4.9 更多光学常数模型 54 cs_}&!c{ 4.10 文档的一般编辑规则 55 uD>z@J-v 4.11 撤销和重做 56 beZ(o?uK 4.12 设计文档 57 oP,9#FC|( 4.10.1 公式 58 GlR~%q-jiQ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 UP2.]B!d 4.10.3 沉积密度 59 VY'Q|[ 4.10.4 平行和楔形介质 60 L>Jd7;= 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 . p^xS6e{ 4.10.4 性能 61 S7n"3.k 4.10.5 保存设计和性能 64 zW4O4b$T 4.10.6 默认设计 64 gbOCR1PBg 4.11 图表 64 *j*Du+ 4.11.1 合并曲线图 67 `Y3( ~~YGn 4.11.2 自适应绘制 68 ~!+h?[miV 4.11.3 动态绘图 68 b; 9n'UX\ 4.11.4 3D绘图 69 i(HByI 4.12 导入和导出 73 fk5XvL 4.12.1 剪贴板 73 J(h3]J/Yw 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 uhn%lV] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 MV+i{] 4.13 背景 77 "dN< i 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 w;yx<1f 4.15 生成Rugate 84 ]1fZupM^6 4.16 参考文献 91 EIX\O6* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Li`hdrO'ii 5.1 Jobs 92 g0#q"v55 5.2 创建一个新Job(工作) 93 %my 5.3 输入材料 94 rS~qi}4X 5.4 设计数据文件夹 95 }.%s
xw 5.5 默认设计 95 /jrY%C 6 细化和合成 97 hWGZd~L 6.1 优化介绍 97 2mJ:c 6.2 细化 (Refinement) 98 boQ)fV" 6.3 合成 (Synthesis) 100 fwmLJ5o
N 6.4 目标和评价函数 101 /)1v9<vM" 6.4.1 目标输入 102 Y">4Qx4W 6.4.2 目标 103 /GsrGX8 6.4.3 特殊的评价函数 104 jmW^`%;7 6.5 层锁定和连接 104 kfpm=dKL 6.6 细化技术 104 QTh0SL 6.6.1 单纯形 105 Ysk,w,K 6.6.1.1 单纯形参数 106 cS~!8`Fwy 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 f4]&pcK 6.6.2.1 Optimac参数 108 {'(ej5,6 6.6.3 模拟退火算法 109 =jIxI, 6.6.3.1 模拟退火参数 109 g.*&BXZi 6.6.4 共轭梯度 111 URw!7bTz 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 +#v4B?NR 6.6.5 拟牛顿法 112 T0L+z/N_m. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 a"qR J-@ 6.6.6 针合成 113 T <A 6.6.6.1 针合成参数 114 YeIe\3x!N 6.6.7 差分进化 114 `Yogq)G} 6.6.8非局部细化 115 fu>Qi)@6a1 6.6.8.1非局部细化参数 115 Rrz'(KSDw 6.7 我应该使用哪种技术? 116 , ,{6m
d 6.7.1 细化 116 Z}f^qc+ 6.7.2 合成 117 F^TAd 6.8 参考文献 117 T5{T[YdX< 7 导纳图及其他工具 118 XWF7#xM 7.1 简介 118 M7U:g} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 vU9~[I`^p 7.2.1 四分之一波长规则 119 D5[VK`4Z 7.2.2 导纳图 120 AFtCqq#[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 p5qx=p~c 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 [0{wA9g 7.5 斜入射导纳图 141 `wV|q~ 7.6 对称周期 141 I3ho(Kdi 7.7 参考文献 142 6BPAux.] 8 典型的镀膜实例 143 F(G<*lA 8.1 单层抗反射薄膜 145 KQW!\y?$" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ._K$0U! 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 *?b@>_1K 8.4 W-膜层 148 toN 8.5 V-膜层 149 s9:%s*$u 8.6 V-膜层高折射基底 150 t!l/` e%J 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 .='3bQ(UZ4 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Ix4 jof6( 8.9 四层抗反射薄膜 153 2:/u2K 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 }RDb1~6C 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 J{^n=X9M0J 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <q1'Li)_R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~e+0c'n\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 |Pj9ZG# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 n1JC?+ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 dd19z% 8.17 1/4波长堆栈 162 haik 8.18 陷波滤波器 163 E.U0qK], 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 zdT ->% 8.20 褶皱 165 uJm #{[ 8.21 消偏振分光器1 169 )MMhlcNC 8.22 消偏振分光器2 171 S--/<a2 8.23 消偏振立体分光器 172 A@\qoS[ 8.24 消偏振截止滤光片 173 \/X{n*Hw? 8.25 立体偏振分束器1 174 kkHTbn=! 8.26 立方偏振分束器2 177 wFn@\3%l` 8.27 相位延迟器 178 o9~h%& 8.28 红外截止器 179 Qlf
9]ug) 8.29 21层长波带通滤波器 180
=05iW 8.30 49层长波带通滤波器 181 mC%%)F'Zf 8.31 55层短波带通滤波器 182 i)GeX: 8.32 47 红外截止器 183 f>?^uSpWH 8.33 宽带通滤波器 184 %h3L 8.34 诱导透射滤波器 186 CF,8f$:2 8.35 诱导透射滤波器2 188 s&Z35IM8| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 P7cge 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 K:Mujx: 8.35 增益平坦滤波器 193 }ty"fI3&iY 8.38 啁啾反射镜 1 196 DXt]b, 8.39 啁啾反射镜2 198 )#)nBM2\ 8.40 啁啾反射镜3 199 <8g *O2 8.41 带保护层的铝膜层 200 3^j~~"2,w 8.42 增加铝反射率膜 201 e!.7no 8.43 参考文献 202 5#yJK>a7 9 多层膜 204 ze*&*csO 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Zm`'MsgFr 9.2 内部透过率 204 .A )\F ",X 9.3 内部透射率数据 205 &S9f#Ui 9.4 实例 206 g?w2J6Z.`J 9.5 实例2 210 #>MO] 9.6 圆锥和带宽计算 212 iLjuE)6-$ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |E"Xavi> 10 光学薄膜的颜色 216 (ra:?B 10.1 导言 216 C+X)">/+L 10.2 色彩 216 ( [K2:n\ 10.3 主波长和纯度 220 oqm 10.4 色相和纯度 221 T_(qN;_ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 }C_G0'"F 10.6 色差 226 200L 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ._8xY$l$ 10.8 颜色渲染指数 234 BUcaj.S 10.9 色差计算 235 R>/QARX 10.10 参考文献 236 M"k3zK, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 fF8a 1XV 11.1 短脉冲 238 \f8P`oET~ 11.2 群速度 239 vgU hN_rK 11.3 群速度色散 241 P-/XYZ]` 11.4 啁啾(chirped) 245 j CTQsV 11.5 光学薄膜—相变 245 "3U{h] 11.6 群延迟和延迟色散 246 5KL9$J9k 11.7 色度色散 246 xn%l 11.8 色散补偿 249 o(B<!ji~' 11.9 空间光线偏移 256 ;zfQ3$@9 11.10 参考文献 258
>reaIBT 12 公差与误差 260 Qs}/x[I 12.1 蒙特卡罗模型 260 p?J~' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 kX ~-g 12.2.1 误差工具 267 [HC8-N^.} 12.2.2 灵敏度工具 271 *"|VNnB 12.2.2.1 独立灵敏度 271 lWu9/r 1 12.2.2.2 灵敏度分布 275 hLDch5J5~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 KdBq@ 12.3 参考文献 276 LUe>)eqw 13 Runsheet 与Simulator 277 1YF+(fk 13.1 原理介绍 277 el2*\(XT 13.2 截止滤光片设计 277 ~8KF<2c 14 光学常数提取 289 3{2^G@j 14.1 介绍 289 8o8b'tW^ 14.2 电介质薄膜 289 p=mCK@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 E<X{72fb> 14.4 基底的参数提取 302 1Pw(.8P 14.5 金属的参数提取 306 :Y}Y&mA4 14.6 不正确的模型 306 Rye~w6 14.7 参考文献 311 rL!_&| 15 反演工程 313 UX-_{I
QW 15.1 随机性和系统性 313 [*Aqy76Qa 15.2 常见的系统性问题 314 4Vb}i[</ 15.3 单层膜 314 F_p3:l 15.4 多层膜 314 1_33;gP 15.5 含义 319 c&| '3i+ 15.6 反演工程实例 319 xN{"%>Mx 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 rm5T=fNJ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 t+W=2w& 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 t?du+: 16.1 光学性质的热致偏移 329
Gh)sw72 16.2 应力工具 335 4."o.:8x 16.3 均匀性误差 339 KG4#BY&^ 16.3.1 圆锥工具 339 =ELDJt 16.3.2 波前问题 341 K#JabT 16.4 参考文献 343 g "K#& 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 s{1Deek= 17.1 引言 345 p ,[XT`q^ 17.2 操作数 345 uK4'n+_>\ 18 如何在Function中编写脚本 351 5 CY_Ay\ 18.1 简介 351 y'0dl "Dy\ 18.2 什么是脚本? 351 M<#)D 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 3gPD(r1g 18.4 基础 352 </+%R"` 18.4.1 Classes(类别) 352 M3jv aI 18.4.2 对象 352 P- `~]] 18.4.3 信息(Messages) 352 ; mo\ yW1 18.4.4 属性 352 3x(MvW30Lg 18.4.5 方法 353 T je o*n^ 18.4.6 变量声明 353 #pDGaqeX 18.5 创建对象 354 -hU>1ux&V 18.5.1 创建对象函数 355 *1o+o$hY2 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 T$.-{I 18.5.3 丢弃对象 356 Jm);|#y 18.5.4 总结 356 UgD'Bi 18.6 脚本中的表格 357 .5KC'? 18.6.1 方法1 357 C<wj?!v,F[ 18.6.2 方法2 357 lEYT{ 18.7 2D Plots in Scripts 358 8~[C'+r 18.8 3D Plots in Scripts 359 Qa7S'( 18.9 注释 360 QNa}M{5>h 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 \: _.N8" 18.11 一个更高级的脚本 362 z[|PsC3i: 18.12 <esc>键 364 >Xh(`^}SQ* 18.13 包含文件 365 xvx\H' 18.14 脚本被优化调用 366 ^pQo `T6 18.15 脚本中的对话框 368 \@}$Wjsl 18.15.1 介绍 368 CyK$XDHa 18.15.2 消息框-MsgBox 368 XoxR5arj 18.15.3 输入框函数 370 CSX$Pk* 18.15.4 自定义对话框 371 \9|] 18.15.5 对话框编辑器 371 NBg>i7KQ 18.15.6 控制对话框 377 (/x@W` 18.15.7 更高级的对话框 380 +U_-Lq ) 18.16 Types语句 384 Hdq/E>u 18.17 打开文件 385 @R OY}CZ{/ 18.18 Bags 387 'j"N2NJ 18.13 进一步研究 388 b~haP.Cl: 19 vStack 389 <v7KE*# 19.1 vStack基本原理 389 J?Ep Nie 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
yu?s5 19.3 五棱镜 393 0Yzb=QMD 19.4 光束距离 396 ~4 ~Tcn 19.5 误差 399 'd.@4 9
19.6 二向分色棱镜 399 i!d7,>l+Q~ 19.7 偏振泄漏 404 l-^XW?CfL 19.8 波前误差—相位 405 PRk%C0` 19.9 其它计算参数 405 *liPJ29C[ 20 报表生成器 406 :UhFou_D4l 20.1 入门 406 7f\^VG 20.2 指令(Instructions) 406 Qqhb]<z 20.3 页面布局指令 406 > ^v8N 20.4 常见的参数图和三维图 407 f`9rTc 20.5 表格中的常见参数 408 b%!`fn-; 20.6 迭代指令 408 N;ecT@Ug 20.7 报表模版 408 QV
H'06"{ 20.8 开始设计一个报表模版 409 mQA<t)1 21 一个新的project 413 ^n45N&916 21.1 创建一个新Job 414 kz VI: 21.2 默认设计 415 9hs{uxwuEE 21.3 薄膜设计 416 W] ;6u
21.4 误差的灵敏度计算 420 5G] #yb74 21.5 显色指数计算 422 {O&liU4 21.6 电场分布 424 +81+4{* 后记 426 sBXk$
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