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j4RM'_*G 内容简介 Wo=Q7~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !m(5N4:vV 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 4KF
1vw 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 | W:JI Q?rb(u( 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 j.OPDe{LU 目录 \NwL #bQ~ Preface 1 v{9< ATi 内容简介 2 \:ntqj&A| 目录 i
N6H/J_: 1 引言 1 Q)x`'[3"7W 2 光学薄膜基础 2 W_( 2.1 一般规则 2 n|
=k9z<y8 2.2 正交入射规则 3 [P`t8 2.3 斜入射规则 6 u1d{|fF 2.4 精确计算 7 vhiP8DQ 2.5 相干性 8 oyV@BHJO@ 2.6 参考文献 10 O.4ty)* 3 Essential Macleod的快速预览 10 Z{nJ\` 4 Essential Macleod的特点 32 v
WKUV| 4.1 容量和局限性 33 &scHyt 4.2 程序在哪里? 33 |NFX"wv:c< 4.3 数据文件 35 +FiM?,G 4.4 设计规则 35 O@St^o*A} 4.5 材料数据库和资料库 37 DP`$gd 4.5.1材料损失 38 Xao
0cb.R 4.5.1材料数据库和导入材料 39 aLapb5VV 4.5.2 材料库 41 I8
Ai_^P 4.5.3导出材料数据 43 ':6!f 4.6 常用单位 43 Z'iXuI49 4.7 插值和外推法 46 Q.:SIBP 4.8 材料数据的平滑 50 hKP!;R 4.9 更多光学常数模型 54 ;\yY* 4.10 文档的一般编辑规则 55 T1yJp$yD" 4.11 撤销和重做 56 G\3@QgyQ 4.12 设计文档 57 e-vL!&;2 4.10.1 公式 58 `Cy-*$$ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 yAOYe"d 4.10.3 沉积密度 59 hQ`g
B.DR 4.10.4 平行和楔形介质 60 xv;'27mUt 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 VE{[52 4.10.4 性能 61 {iiHeSD 4.10.5 保存设计和性能 64 .} <$2. 4.10.6 默认设计 64 \5.36Se 4.11 图表 64 R /J@XP 4.11.1 合并曲线图 67 a!YpSFr 4.11.2 自适应绘制 68 "F%w{bf 4.11.3 动态绘图 68 y)N57#e 4.11.4 3D绘图 69 HSEfpbh 4.12 导入和导出 73 :/'2@M 4.12.1 剪贴板 73 nE+OBdl 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 6FuZMasr* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ],{b&\ 4.13 背景 77 2:0'fNXop 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4kZX$ct} 4.15 生成Rugate 84 mk#xbvvG 4.16 参考文献 91 k@r%>Ul@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ?h)Z ;,} 5.1 Jobs 92 I_66q7U"0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Zhb)n 5.3 输入材料 94 W.b?MPy] 5.4 设计数据文件夹 95 "bZ{W(h 5.5 默认设计 95 4L}i`)CmB 6 细化和合成 97 %7WQb]y 6.1 优化介绍 97 g/Q hI 6.2 细化 (Refinement) 98 (izGF;N+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 YB{hQ<W 6.4 目标和评价函数 101 eZ+pZ q 6.4.1 目标输入 102 2t'^ 6.4.2 目标 103 s"5f5Cn/Wh 6.4.3 特殊的评价函数 104 1I< <`7' 6.5 层锁定和连接 104 Dj!v+<b 6.6 细化技术 104 NUH;\*]8s 6.6.1 单纯形 105 <:=}1t.Z 6.6.1.1 单纯形参数 106 4E[ 9)n+YV 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 p&'oJy.P 6.6.2.1 Optimac参数 108 LPr34BK 6.6.3 模拟退火算法 109 *`D(drnT{ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 gaeMcL_^a 6.6.4 共轭梯度 111 Sb@:ercC, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 (3kz(6S 6.6.5 拟牛顿法 112 3Z.<=D 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *h59Vaoc 6.6.6 针合成 113 ;OjxEXaq 6.6.6.1 针合成参数 114 @64PdM!L 6.6.7 差分进化 114 $RA8U:Q!1e 6.6.8非局部细化 115 [|{2&830 6.6.8.1非局部细化参数 115 w\wS?E4G 6.7 我应该使用哪种技术? 116 D*!p8J8Ku 6.7.1 细化 116 YCJc Dab 6.7.2 合成 117 x;d*?69f] 6.8 参考文献 117 SymBb}5 7 导纳图及其他工具 118 p'PHBb8I 7.1 简介 118 0< i]ph 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 $#q:\yQsPC 7.2.1 四分之一波长规则 119 ,S.<qmf 7.2.2 导纳图 120 @lvvI<U 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 $Pw@EC] 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ]PlDe8 7.5 斜入射导纳图 141 1+`Bli]dE 7.6 对称周期 141 <\i}zoPO 7.7 参考文献 142 dg#w/}}m 8 典型的镀膜实例 143 Vgzw ['L} 8.1 单层抗反射薄膜 145 J=QuZwt 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 r3.A!*! 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 t;?M#I\,{ 8.4 W-膜层 148 9='a9\((mH 8.5 V-膜层 149 ~loJYq'y 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~fL:pVp 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 cWG>w6FI 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 e) Q{yO 8.9 四层抗反射薄膜 153 .9r+LA{ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (sX=#<B% 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 .Z[Bz7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 cb ICO 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Co`O{|NS}! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ){ywk 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }6YD5?4 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 >eF4YZ" 8.17 1/4波长堆栈 162 0#K?SuY.eN 8.18 陷波滤波器 163 cL/6p0S 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 3aMfZa<= 8.20 褶皱 165
U~%V;*|4 8.21 消偏振分光器1 169 879x(JII 8.22 消偏振分光器2 171 5v1f?btc 8.23 消偏振立体分光器 172 lHg&|S&J 8.24 消偏振截止滤光片 173 G-5wv 8.25 立体偏振分束器1 174 R4xoc;b 8.26 立方偏振分束器2 177 \?n4d#=$o 8.27 相位延迟器 178 2L=+z1%I 8.28 红外截止器 179 4}mp~AXy;z 8.29 21层长波带通滤波器 180 9wR-0E
) 8.30 49层长波带通滤波器 181 3_%lN4sz 8.31 55层短波带通滤波器 182 EVovx7dr 8.32 47 红外截止器 183 {z":hmt 8.33 宽带通滤波器 184 ZHA6BVVT 8.34 诱导透射滤波器 186 T(<
[k:` 8.35 诱导透射滤波器2 188 ?`& l Y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {Pi+VuLE 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 sY @S
8.35 增益平坦滤波器 193 jlhyn0 8.38 啁啾反射镜 1 196 CYIp 3D'k 8.39 啁啾反射镜2 198 irqNnnMGEa 8.40 啁啾反射镜3 199 j/I^\Ms 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;QMRm<CLV 8.42 增加铝反射率膜 201 k-o(Q"[ ' 8.43 参考文献 202 l)JNNcej 9 多层膜 204 )(&Z&2~A 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /jBjqE;_ 9.2 内部透过率 204 `R}q&|o7< 9.3 内部透射率数据 205 k]J!E-yI8 9.4 实例 206 ;
E Nhy 9.5 实例2 210 k91ctEp9> 9.6 圆锥和带宽计算 212 H
l'za 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 N$Pi4 10 光学薄膜的颜色 216 ifo^
M]v 10.1 导言 216 U g'y 10.2 色彩 216 j%|#8oV 10.3 主波长和纯度 220 <<xUh|zE 10.4 色相和纯度 221 P)hZFX 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 L^}i7nJ 10.6 色差 226 Ww8C}2g3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 egOZ.oV 10.8 颜色渲染指数 234 )v1y
P 10.9 色差计算 235 7/p&]0w 10.10 参考文献 236 ^|h5*Tb 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 }3G`f> s 11.1 短脉冲 238 HM'P<< 11.2 群速度 239 y)`f$Hl@1 11.3 群速度色散 241 ]Q?`|a+i 11.4 啁啾(chirped) 245 }Mh@%2$ 11.5 光学薄膜—相变 245 mM6g-)cV 11.6 群延迟和延迟色散 246 3<5E254N 11.7 色度色散 246 @S69u s} 11.8 色散补偿 249 O$'BJKj-4 11.9 空间光线偏移 256 ~Ibq,9i 11.10 参考文献 258 RyI(6TZl 12 公差与误差 260 X\?PnD`, 12.1 蒙特卡罗模型 260 $:{r#mM 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 {'.[N79xP 12.2.1 误差工具 267 Ch3{q/-g 12.2.2 灵敏度工具 271 ?CaMn b8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ^/K]id7 2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 F XpI-?#E< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 i)vbmV 12.3 参考文献 276 B%~hVpm,eM 13 Runsheet 与Simulator 277 x.=Np\#\G- 13.1 原理介绍 277 m)5,ut/ 13.2 截止滤光片设计 277 {8'f>YP 14 光学常数提取 289 `v]|x,l+C 14.1 介绍 289 <ptskbu 14.2 电介质薄膜 289 o09)esy 14.3 n 和k 的提取工具 295 X:aLed_{f 14.4 基底的参数提取 302 cqP)1V] 14.5 金属的参数提取 306 NJ^H"FLS: 14.6 不正确的模型 306 G5C=p:o{/ 14.7 参考文献 311 #:^aE|s 15 反演工程 313 In[!g 15.1 随机性和系统性 313 aFCma2 15.2 常见的系统性问题 314 SN${cs% 15.3 单层膜 314 *bi!iz5F 15.4 多层膜 314 oWJ0>) 15.5 含义 319 9n(.v} 15.6 反演工程实例 319 0j=xWC 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Gr1WBYK 15.6.2 反演工程提取折射率 327 K,ccM[hu| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =/ b2e\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 T#HW{3 16.2 应力工具 335 {LwV&u( 16.3 均匀性误差 339
l ~b 16.3.1 圆锥工具 339 NuL.l__W 16.3.2 波前问题 341 3RwDIk?>% 16.4 参考文献 343 2Hh5gD|> 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7GY3_` 17.1 引言 345 ?+Q?K30: 17.2 操作数 345 E<
57d,3l 18 如何在Function中编写脚本 351 _LVi}mM 18.1 简介 351 -&AgjzN! 18.2 什么是脚本? 351 OoG Nij 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 u$vA9g4 18.4 基础 352 m1d*Lt>F@ 18.4.1 Classes(类别) 352 HDV@d^]- 18.4.2 对象 352 g>@T5&1q* 18.4.3 信息(Messages) 352 ZQY]c
18.4.4 属性 352 " R=,W{= 18.4.5 方法 353 K!L0|WH%! 18.4.6 变量声明 353 |
Ns-l
(l 18.5 创建对象 354 5{`a \;* 18.5.1 创建对象函数 355 nm8XHk] 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 KOYU'hw 18.5.3 丢弃对象 356 1N3qMm^ 18.5.4 总结 356 w=|"{-ijo 18.6 脚本中的表格 357 ;5ANw"Dq 18.6.1 方法1 357 lRy^Wp 18.6.2 方法2 357 bL6, fUS 18.7 2D Plots in Scripts 358 E8`AU< 18.8 3D Plots in Scripts 359 2.
t'!uwI 18.9 注释 360 i]8 +JG6 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 _?aI/D 18.11 一个更高级的脚本 362 p7Q}xx 18.12 <esc>键 364 <i!:{'% 18.13 包含文件 365 KKFV+bK) 18.14 脚本被优化调用 366 p+ki1!Ed 18.15 脚本中的对话框 368 'yIz<o 18.15.1 介绍 368 )0tq& 18.15.2 消息框-MsgBox 368 h)~i?bq!/ 18.15.3 输入框函数 370 (^U
8wit/ 18.15.4 自定义对话框 371 ,;
81FK 18.15.5 对话框编辑器 371 W%&[gDp 18.15.6 控制对话框 377 Z7$"0% 18.15.7 更高级的对话框 380 dXBXV>rbB 18.16 Types语句 384
M%aA1!@/ 18.17 打开文件 385 EN\
uX! 18.18 Bags 387 40M/Gu: 18.13 进一步研究 388 gO9\pI2 19 vStack 389 s|q]11r+H 19.1 vStack基本原理 389 #mFY?Zp) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 #_U[T 19.3 五棱镜 393 d i;Fj 19.4 光束距离 396 It@1!_tO2 19.5 误差 399 x&['g*[L0 19.6 二向分色棱镜 399
4u.v7r 19.7 偏振泄漏 404 ?h1r6?Sug{ 19.8 波前误差—相位 405 )W0zu\fL = 19.9 其它计算参数 405 ;_ TP Jy 20 报表生成器 406 kJfMTfl, 20.1 入门 406 kX1#+X 20.2 指令(Instructions) 406 av; ~e< 20.3 页面布局指令 406 Y6R+i0guz 20.4 常见的参数图和三维图 407 U6sPJc< 20.5 表格中的常见参数 408 5@3hb ]J 20.6 迭代指令 408 HUuZ7jJwf 20.7 报表模版 408 =D}]|ie 20.8 开始设计一个报表模版 409 >'MT]@vez
21 一个新的project 413 eGEeWJ}[$ 21.1 创建一个新Job 414 BQ
/0z^A 21.2 默认设计 415 wq6.:8Or-] 21.3 薄膜设计 416 &
6-8$ 21.4 误差的灵敏度计算 420 {i!@C(M3 21.5 显色指数计算 422 kbR!iPM-; 21.6 电场分布 424 | GqKa 后记 426 {CVn&|}J
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