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x/bO;9E%U4 内容简介 '00DUUa Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 5wP(/?sRy 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 t~,!a? S7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Hagj^8 z4H!b+ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 h`&mW w 目录 ;(VJZ_ Preface 1 }5zH3MPQH 内容简介 2 N[dhNK" 目录 i kf&id/|
1 引言 1 /rKrnxw 2 光学薄膜基础 2 tv\P$|LV`8 2.1 一般规则 2 D#^v=U 2.2 正交入射规则 3 2R:['QT 2.3 斜入射规则 6 `'+[Y;s_ 2.4 精确计算 7 f^m8 4o' 2.5 相干性 8 ;l}TUo 2.6 参考文献 10 m'z <d 3 Essential Macleod的快速预览 10 mbJ#-^}V 4 Essential Macleod的特点 32 z}u 4.1 容量和局限性 33 u+XZdV 4.2 程序在哪里? 33 wjKW 3 4.3 数据文件 35 (p^q3\ 4.4 设计规则 35 J=zh+oLCV 4.5 材料数据库和资料库 37 _U#ue 4.5.1材料损失 38 @qg=lt|(F 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &[23DrI8 4.5.2 材料库 41 L{<E'#@F 4.5.3导出材料数据 43 Ms^,]Q1{ 4.6 常用单位 43 VGq2ITg9eE 4.7 插值和外推法 46 vTP'\^; 4.8 材料数据的平滑 50 RHVMlMX 4.9 更多光学常数模型 54 rs 7R5 F 4.10 文档的一般编辑规则 55 Wa,[#H 4.11 撤销和重做 56 19;\:tN 4.12 设计文档 57 B>|@XfPM 4.10.1 公式 58 u_zp?Nc 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 +4B>gS[ F 4.10.3 沉积密度 59 !mq+Oz~ 4.10.4 平行和楔形介质 60 YujhpJ< 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 j/dNRleab 4.10.4 性能 61 t6s#19g 4.10.5 保存设计和性能 64 txTDuS 4.10.6 默认设计 64 d&.)Dw 4.11 图表 64 %hcY
[F< 4.11.1 合并曲线图 67 M)Ogb'@# 4.11.2 自适应绘制 68 $p}7CP 4.11.3 动态绘图 68 u=RF6V| 4.11.4 3D绘图 69 /v=MGX@r 4.12 导入和导出 73
V4ayewVX 4.12.1 剪贴板 73 }
Tp!Ub\Cc 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 gQ,PG 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 viY _Y.Yjy 4.13 背景 77 mA3C)V 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 LT#*nr 4.15 生成Rugate 84 <:>a51HBX 4.16 参考文献 91 DkQy. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 sh E>gTe 5.1 Jobs 92 e9N"{kDs6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \BUr2] 5.3 输入材料 94 vY}/CBmg 5.4 设计数据文件夹 95 ~hYG% 5.5 默认设计 95 %'k^aqFL 6 细化和合成 97 <Cn-MOoM 6.1 优化介绍 97 ewY+a ,t 6.2 细化 (Refinement) 98 cFD(Ap 6.3 合成 (Synthesis) 100 z/6eP`jj 6.4 目标和评价函数 101 a:v&pj+|< 6.4.1 目标输入 102 ?
vk;b! 6.4.2 目标 103 d,+d8X 6.4.3 特殊的评价函数 104 { p1#H` 6.5 层锁定和连接 104 ?5jkb 6.6 细化技术 104 n\wO[l) 6.6.1 单纯形 105 h]vA%VuE'E 6.6.1.1 单纯形参数 106 ` *h-j/M 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 4CfPa6_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?IGT !' 6.6.3 模拟退火算法 109 !NjC+ps] 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ZU7,=B= 6.6.4 共轭梯度 111 I>b!4?h 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?_}[@x 6.6.5 拟牛顿法 112 9m%[
y1v0 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 7L? ~;;L$ 6.6.6 针合成 113 "qR
qEpD% 6.6.6.1 针合成参数 114 }_:^&cT 6.6.7 差分进化 114 W@JmG`Sy 6.6.8非局部细化 115 W32bBzhL 6.6.8.1非局部细化参数 115 GC~Tf rf=r 6.7 我应该使用哪种技术? 116 jrZM 6.7.1 细化 116 u ; f~ 6.7.2 合成 117 5e6]v2 k 6.8 参考文献 117 ^)D[ W(* 7 导纳图及其他工具 118 O: :X$O7 7.1 简介 118 50uNgLs 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Y(-4Agq 7.2.1 四分之一波长规则 119 /\_0daUx 7.2.2 导纳图 120 ^MKvZ DOP 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 bAGQ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,eF}` 7.5 斜入射导纳图 141 `SZ^~O 7.6 对称周期 141 ]fnc.^{ 7.7 参考文献 142 [8(e`6xePb 8 典型的镀膜实例 143 -*M/,O 8.1 单层抗反射薄膜 145 al(t-3`< 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -|"mB"Dc 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 {ajaM'x 8.4 W-膜层 148 R<a7TkL4? 8.5 V-膜层 149 E,>/6AU 8.6 V-膜层高折射基底 150 TmvI+AY/ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 \%K< S 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
4b,N"w{v 8.9 四层抗反射薄膜 153 zdlysr# 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 w|OMT>. 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 AQDT6E: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 b(wW;C'#0p 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 4
B"tz! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Fi14_{ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >Ke4lO" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 am]$`7R5d 8.17 1/4波长堆栈 162 *[) b}? 8.18 陷波滤波器 163 5<0&y3 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 _%?}e|epy 8.20 褶皱 165 Rs$k3 8.21 消偏振分光器1 169 `$ql>k-6C 8.22 消偏振分光器2 171 <w}YD @(f 8.23 消偏振立体分光器 172 PxhB=i!'$ 8.24 消偏振截止滤光片 173 C{`+h163\ 8.25 立体偏振分束器1 174 t,gKN^P_ 8.26 立方偏振分束器2 177 <7~HG(ks 8.27 相位延迟器 178 !iN=py 8.28 红外截止器 179 /59jkcA+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 e23}'qb 8.30 49层长波带通滤波器 181 {0 IEizQ|i 8.31 55层短波带通滤波器 182 .z^ePZ|mV 8.32 47 红外截止器 183 6}qp;mR
E] 8.33 宽带通滤波器 184 :aS8%m 8.34 诱导透射滤波器 186 l{[{pAm 8.35 诱导透射滤波器2 188 "94e-Nx 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 swss#?.se 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,_,Z<X/ 8.35 增益平坦滤波器 193 D(yU:^L 8.38 啁啾反射镜 1 196 $b,o3eC 8.39 啁啾反射镜2 198 &U^6N+l9 8.40 啁啾反射镜3 199 u0(H! 8.41 带保护层的铝膜层 200 oKLL~X>!U 8.42 增加铝反射率膜 201 Rf||(KC< 8.43 参考文献 202 W3Oj6R 9 多层膜 204 Q*u4q-DE 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 A>8"8=C 9.2 内部透过率 204 ;7Cb!v1 9.3 内部透射率数据 205 kTZ`RW&0 9.4 实例 206 aKkL0D 9.5 实例2 210 j
qfxQ 9.6 圆锥和带宽计算 212 }pxMO? h$ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 xdGmiHN 10 光学薄膜的颜色 216 FR"yGx#$ 10.1 导言 216 ];P$w.0 10.2 色彩 216 Nj4= 10.3 主波长和纯度 220 M S$^m2 10.4 色相和纯度 221 }SpjB 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 96x$Xl; 10.6 色差 226 iOXxxP%# 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 CV&+^_j'k 10.8 颜色渲染指数 234 8@pY:AY 10.9 色差计算 235 v[~e=^IIsl 10.10 参考文献 236 0%$E^` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 f86h"#4 11.1 短脉冲 238 Z.TYi~d/9D 11.2 群速度 239 I-<U u2 11.3 群速度色散 241 lJ1_Zs ` 11.4 啁啾(chirped) 245 |+K3\b 11.5 光学薄膜—相变 245 \ t4:(Jp 3 11.6 群延迟和延迟色散 246 tl5}#uJ 11.7 色度色散 246 {8`V5: 11.8 色散补偿 249 !ZlBM{C 11.9 空间光线偏移 256 .hO) R. 11.10 参考文献 258 pD;'uEFBQ 12 公差与误差 260 GIG\bQSv2 12.1 蒙特卡罗模型 260 wtlIyE 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8ExEhBX8 12.2.1 误差工具 267 9+><:(, 12.2.2 灵敏度工具 271 c%,@O&o 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Xo^P=uf% 12.2.2.2 灵敏度分布 275 TrA&yXXL 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /BeA-\B 12.3 参考文献 276 G- nS0Kn: 13 Runsheet 与Simulator 277 A9qbE 13.1 原理介绍 277 "*E06=fiG 13.2 截止滤光片设计 277 wyG7SA 14 光学常数提取 289 od\-o:bS 14.1 介绍 289 W:s`;8iM$ 14.2 电介质薄膜 289 :K
J#_y\rt 14.3 n 和k 的提取工具 295 N1dv}!/*.+ 14.4 基底的参数提取 302 6jS:_[p 14.5 金属的参数提取 306 /~=W3lhY 14.6 不正确的模型 306 @q8h'@sX 14.7 参考文献 311 bp"@vlv 15 反演工程 313 Z|l/6L8 15.1 随机性和系统性 313 !Miw.UmPm 15.2 常见的系统性问题 314 _4~'K? 15.3 单层膜 314 =Rv!c+? 15.4 多层膜 314 /XEt2,sI9 15.5 含义 319 ?4QX;s7 15.6 反演工程实例 319 FZdZGK 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 R1A|g=kF 15.6.2 反演工程提取折射率 327 "}/$xOl" 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 rt +a/:4+ 16.1 光学性质的热致偏移 329 z _A]mJ 16.2 应力工具 335 YC,s]~[[ 16.3 均匀性误差 339 6d%V=1^F 16.3.1 圆锥工具 339 Xx)PyO 16.3.2 波前问题 341 0 Z{;sW 16.4 参考文献 343 Cf&.hod 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 A!xx#+M 17.1 引言 345 [yFf(>B 17.2 操作数 345 Nj~3FL 18 如何在Function中编写脚本 351 kx3?'=0;5 18.1 简介 351 3y9R1/! 18.2 什么是脚本? 351 g$CWGB*%lm 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 :9c[J$R4 18.4 基础 352 XXwe/>J 18.4.1 Classes(类别) 352 o'#ow(X 18.4.2 对象 352 CN(}0/ 18.4.3 信息(Messages) 352 Uxll<z, 18.4.4 属性 352 G&7!3u 18.4.5 方法 353 ON()2@Y4 18.4.6 变量声明 353 9?xD"Z
18.5 创建对象 354 d<,'9/a> 18.5.1 创建对象函数 355 m@A?'gD 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 PP1?UT=] 18.5.3 丢弃对象 356 1\XR6q:2 18.5.4 总结 356
MjjN 18.6 脚本中的表格 357 0UbY0sYo 18.6.1 方法1 357 h!yI(cY 18.6.2 方法2 357 qL;T^lj P 18.7 2D Plots in Scripts 358 Y<vHL<G 18.8 3D Plots in Scripts 359 )fGIe rS 18.9 注释 360 {D>@ZC 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :_0"t- 18.11 一个更高级的脚本 362 Q)lN7oD 18.12 <esc>键 364 \jHHj\LLr. 18.13 包含文件 365 GE S_|[Q 18.14 脚本被优化调用 366 78u9> H 18.15 脚本中的对话框 368 D~^P}_e. 18.15.1 介绍 368 *IGCFZbp41 18.15.2 消息框-MsgBox 368 QGq8r> 18.15.3 输入框函数 370 <F%c"Rkh 18.15.4 自定义对话框 371 Dwx^hNh 18.15.5 对话框编辑器 371 \H&8.<HJ 18.15.6 控制对话框 377 LA9'HC(5 18.15.7 更高级的对话框 380 3<"!h1x5 18.16 Types语句 384 ;1[a*z<l&s 18.17 打开文件 385 kWZ@v+Mk3 18.18 Bags 387 kMJA#{< 18.13 进一步研究 388 .,l4pA9v 19 vStack 389 l.iT+T 19.1 vStack基本原理 389 >@ : m#d 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 nD5+&M0 19.3 五棱镜 393 m|by^40A( 19.4 光束距离 396 R5b!Ao 19.5 误差 399 Xus TU 19.6 二向分色棱镜 399 eE0'3?q( 19.7 偏振泄漏 404 EvJ<X,Bo 19.8 波前误差—相位 405 < |