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6;;2e> e 内容简介 ES8(:5 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 w(K|0|t 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 : t/0 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ?TI]0) {CNJlr@z 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 [8%q@6[ 目录 %,zHS?)l Preface 1 Ge^,hAM' 内容简介 2 X-J85b_e 目录 i zL'S5'<F| 1 引言 1 $aN%[ 2 光学薄膜基础 2 5".bM8o 2.1 一般规则 2 2<:dA >1 2.2 正交入射规则 3 zS h9`F 2.3 斜入射规则 6 hTmJ
~m'J 2.4 精确计算 7 Oqq'r "S 2.5 相干性 8 !!w(`kmn1 2.6 参考文献 10 s!>9od6^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 =%s6QFR 4 Essential Macleod的特点 32 gyhy0 4.1 容量和局限性 33 =K}T; c 4.2 程序在哪里? 33 q03+FLEfC 4.3 数据文件 35 q?@* 4.4 设计规则 35 >y(loMl 4.5 材料数据库和资料库 37 IM5[O}aq 4.5.1材料损失 38 8=zREt<Se 4.5.1材料数据库和导入材料 39 5)5yH bS 4.5.2 材料库 41 ^7Z;=]8J 4.5.3导出材料数据 43 B<n[yiJ} 4.6 常用单位 43 '2|P-/jU 4.7 插值和外推法 46 _6'@#DN 4.8 材料数据的平滑 50 c27(en( 4.9 更多光学常数模型 54 D5f[: 4.10 文档的一般编辑规则 55 (U
4n} J 4.11 撤销和重做 56 gGx(mX._L? 4.12 设计文档 57 lNl.lI\t)y 4.10.1 公式 58 .yFO]
r1aL 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 \fuz`fK: 4.10.3 沉积密度 59 lnm@DWhf 4.10.4 平行和楔形介质 60 o=K9\ l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 FK`:eP{ 4.10.4 性能 61 w{So(AF 4.10.5 保存设计和性能 64 NL;sn" 4.10.6 默认设计 64 -Dy<B 4.11 图表 64 _`p^B%[ 4.11.1 合并曲线图 67 p
.P#S 4.11.2 自适应绘制 68 } # L_R 4.11.3 动态绘图 68 3la `S$c 4.11.4 3D绘图 69 \NEk B&^n 4.12 导入和导出 73 c h((u(G 4.12.1 剪贴板 73 AO|1m$xf 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #g0N/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 T?6<1nU) 4.13 背景 77 C=v+e%)x@ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 vqO#Z 4.15 生成Rugate 84 HavlN}h 4.16 参考文献 91 ~I%164B+/ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ~(huUW 5.1 Jobs 92 pV;0Hcy 5.2 创建一个新Job(工作) 93 x(R;xB 5.3 输入材料 94 o?Cc 5.4 设计数据文件夹 95 ^;.u}W 5.5 默认设计 95 D
.LR-Z 6 细化和合成 97
MI^$df 6.1 优化介绍 97 `Syfl^9B 6.2 细化 (Refinement) 98 h z{-- 6.3 合成 (Synthesis) 100 !E_|Zp]up 6.4 目标和评价函数 101 R5(([C1 6.4.1 目标输入 102 $`ptSR 6.4.2 目标 103 @TX@78fWz= 6.4.3 特殊的评价函数 104 3dLqlJ^7B 6.5 层锁定和连接 104 /h.{g0Xc 6.6 细化技术 104 A'b$X1h 6.6.1 单纯形 105 '5[(QM5Gi& 6.6.1.1 单纯形参数 106 )b>misb/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 " zD9R4\X. 6.6.2.1 Optimac参数 108 VBF:MAA 6.6.3 模拟退火算法 109 Y~A I2H S 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #N>66!/V 6.6.4 共轭梯度 111 <eS/-W%n6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 (_>SuQK 6.6.5 拟牛顿法 112 J:>o\%sF 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 8>6<GdGL<n 6.6.6 针合成 113 gO"G/ 6.6.6.1 针合成参数 114 VKX|0~ 6.6.7 差分进化 114 = >tkc/aa 6.6.8非局部细化 115 "VSx?74q 6.6.8.1非局部细化参数 115 5B2p_$W# 6.7 我应该使用哪种技术? 116 3&AJN#c 6.7.1 细化 116 s@7h oU-+ 6.7.2 合成 117 ~ss6yQ$ 6.8 参考文献 117 g<M!]0OK 7 导纳图及其他工具 118 B@i%B+qCLv 7.1 简介 118 nGYimRYO 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 S7nx4c2xK~ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ha=2isq 7.2.2 导纳图 120 xT*c## 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 m*N8!1Ot 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 PlLt^q.z[ 7.5 斜入射导纳图 141 udA@9a^; 7.6 对称周期 141 j3/6hE> 7.7 参考文献 142 5|K[WvG@Co 8 典型的镀膜实例 143 7H{1i 8.1 单层抗反射薄膜 145 .udLMS/_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 OW\vbWX 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 S2*sh2-&6 8.4 W-膜层 148 RO/(Ldh 8.5 V-膜层 149 ~h
Dp-R; 8.6 V-膜层高折射基底 150 5 m-/N?c 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 0+@:f^3]! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0!0e$!8l 8.9 四层抗反射薄膜 153 .IdbaH
_a 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 K$/"I0YyI 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 83/m^^F{] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 TaHcvjhR 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 p!^K.P1 ' 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 5>0\= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 z+6PVQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 .nrbd#i- 8.17 1/4波长堆栈 162 0NZ'(qf~9 8.18 陷波滤波器 163 uK"FopUJ4i 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
wLqj<ot 8.20 褶皱 165 f)z(9JJL 8.21 消偏振分光器1 169 !8[A;+o3P 8.22 消偏振分光器2 171 ?z l<"u 8.23 消偏振立体分光器 172 iz`>'wpC 8.24 消偏振截止滤光片 173 Jk&!(YK& 8.25 立体偏振分束器1 174 ny1O- `!1 8.26 立方偏振分束器2 177 ZlMT) ~fM& 8.27 相位延迟器 178 {x,)OgK!{ 8.28 红外截止器 179 +ynhN\S$/ 8.29 21层长波带通滤波器 180 ui#nN 8.30 49层长波带通滤波器 181 5=
&2= 8.31 55层短波带通滤波器 182 l$9k:#\FD 8.32 47 红外截止器 183 FVrB#Hw~ 8.33 宽带通滤波器 184 l~]] RgU 8.34 诱导透射滤波器 186 v:/!OvLe 8.35 诱导透射滤波器2 188 M`'DD-Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |a#ikY _nd 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 &k}B66 8.35 增益平坦滤波器 193 _%D7D~2r| 8.38 啁啾反射镜 1 196 sZ&|omN 8.39 啁啾反射镜2 198 $G"\@YC< 8.40 啁啾反射镜3 199 #vyf*jPr 8.41 带保护层的铝膜层 200 aaY AS"/: 8.42 增加铝反射率膜 201 lD[@D9 8.43 参考文献 202 r1%{\< 9 多层膜 204 <zn)f@W 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 AJ*17w 9.2 内部透过率 204 h?SRX_ 9.3 内部透射率数据 205 C@`#@1X 9.4 实例 206 T{+a48,; 9.5 实例2 210 |LQ%sV 9.6 圆锥和带宽计算 212 {*GBUv5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 H6 x 10 光学薄膜的颜色 216 ~=OJCKv5( 10.1 导言 216 zc)nDyn 10.2 色彩 216 zytN leyc 10.3 主波长和纯度 220 IP#vfM 10.4 色相和纯度 221 ~s HdOMw 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 L$OZ]
10.6 色差 226 N^[
F+y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #1'q'f:7& 10.8 颜色渲染指数 234 |U{~t<BF# 10.9 色差计算 235 mp$IhJ6# 10.10 参考文献 236 |f$+|9Q? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6z U 11.1 短脉冲 238 A9BoH[is7 11.2 群速度 239 ,ESli/6 11.3 群速度色散 241 g{}<ptx] 11.4 啁啾(chirped) 245 Y(7&3+'K 11.5 光学薄膜—相变 245 g tMR/P:S 11.6 群延迟和延迟色散 246 xtv%C 11.7 色度色散 246 1K@ieVc 11.8 色散补偿 249 k0V]<#h87 11.9 空间光线偏移 256 e Fz$h2*B 11.10 参考文献 258 -9{N7H 12 公差与误差 260 @Drl5C}+ 12.1 蒙特卡罗模型 260 %4!^AA% 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 1PdG1' 12.2.1 误差工具 267 :~"myn, 12.2.2 灵敏度工具 271 G^dp9A 12.2.2.1 独立灵敏度 271 \a;xJzc9 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oZY|o0/9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ?y>ji1 12.3 参考文献 276 xgIb6<qwY 13 Runsheet 与Simulator 277 )JTQZ,f3] 13.1 原理介绍 277 WIi,`/K+ 13.2 截止滤光片设计 277 tP! %(+V 14 光学常数提取 289 cb)7$S 14.1 介绍 289 $nmt&lm 14.2 电介质薄膜 289 AH'c:w]~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 sv%E5@ 14.4 基底的参数提取 302 @,sjM] 14.5 金属的参数提取 306 lJFy(^KQG, 14.6 不正确的模型 306 ^rq\kf*] 14.7 参考文献 311 `O2P&!9& 15 反演工程 313 Z9M$*Zp 15.1 随机性和系统性 313 u5ZyOZ; 15.2 常见的系统性问题 314 l([aKm# 15.3 单层膜 314 Jb*QlsGd 15.4 多层膜 314 6ZHeAb]" 15.5 含义 319 "A
Bt 15.6 反演工程实例 319 ER9{D$ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 r?[[.zm"7 15.6.2 反演工程提取折射率 327 [Y*>x2X 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
hq{{XQ 16.1 光学性质的热致偏移 329 xf;>o$oN0P 16.2 应力工具 335 ZPE- 16.3 均匀性误差 339 m0^ "fMV 16.3.1 圆锥工具 339 J7",fb 16.3.2 波前问题 341 %eofG]VM< 16.4 参考文献 343 %D#&RS 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Ow> u!P! 17.1 引言 345 6:%lxG 17.2 操作数 345 H:hM(m0?q 18 如何在Function中编写脚本 351 2C:u)}R7D 18.1 简介 351 B`R@%US 18.2 什么是脚本? 351 !Q~>)$Cf^ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 zT)cg$8%fY 18.4 基础 352 Vv(buG 18.4.1 Classes(类别) 352 T\p>wiY2|F 18.4.2 对象 352 #lqH/>`> 18.4.3 信息(Messages) 352 ^(+q1O' 18.4.4 属性 352 <h9nt4F 18.4.5 方法 353 U{ 0~& 18.4.6 变量声明 353 ~xY"P)(x; 18.5 创建对象 354
G-1qxK 18.5.1 创建对象函数 355 _PPC?k{z! 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 C@ q#s 18.5.3 丢弃对象 356 Hl%Og$q3 18.5.4 总结 356 z6J12tu 18.6 脚本中的表格 357 bK#ZY 18.6.1 方法1 357 4t =Kt 18.6.2 方法2 357 "Ua-7Q&A 18.7 2D Plots in Scripts 358 xa'U_]m 18.8 3D Plots in Scripts 359 vzfMME17 18.9 注释 360 g)Hsd0 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 N`IXSE 18.11 一个更高级的脚本 362 \H>T[ 18.12 <esc>键 364 d m"R0> 18.13 包含文件 365 \,/ozfJ7dT 18.14 脚本被优化调用 366 nkPlfH 18.15 脚本中的对话框 368 9*FA=E 18.15.1 介绍 368 E<-W & a } 18.15.2 消息框-MsgBox 368 U3B&3K} ~ 18.15.3 输入框函数 370 =/a`X[9vI 18.15.4 自定义对话框 371 a"xRc 18.15.5 对话框编辑器 371 *jc
>?)k 18.15.6 控制对话框 377 7Z:HwZ 18.15.7 更高级的对话框 380 FLQke"6i0: 18.16 Types语句 384 v `/nX-> 18.17 打开文件 385 -a_qZ7 18.18 Bags 387 X4:84 18.13 进一步研究 388 viU} 19 vStack 389 9+m>|"F0 19.1 vStack基本原理 389 1t/c@YUTy 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 L''VBY"? 19.3 五棱镜 393 }03?eWk/y 19.4 光束距离 396 CZ]Dm4 19.5 误差 399 8d'/w}GV 19.6 二向分色棱镜 399 UGM:'xa<T 19.7 偏振泄漏 404 3v3cK1K@oE 19.8 波前误差—相位 405 &/^p:I 19.9 其它计算参数 405 y=\&z&3$ 20 报表生成器 406 9HN&M*} 20.1 入门 406 2l V`UIa 20.2 指令(Instructions) 406 @+M1M2@Xz 20.3 页面布局指令 406 +|S)Mm8- 20.4 常见的参数图和三维图 407 7lF;(l^Z>} 20.5 表格中的常见参数 408 Kk=>"?& 20.6 迭代指令 408 7\$}|b[9 20.7 报表模版 408 /KnIU|; 20.8 开始设计一个报表模版 409 _G-6G=q 21 一个新的project 413 ;9)nG,P3 21.1 创建一个新Job 414 [?<v|k
21.2 默认设计 415 YSB> WBS-< 21.3 薄膜设计 416 V+>RF 21.4 误差的灵敏度计算 420 0# 1~'e 21.5 显色指数计算 422 KMb'm+ 21.6 电场分布 424 zBTxM 后记 426 h){ #dU+&
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