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/ >As9|% 内容简介 :AzP3~BI Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !6 k{]v 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ' >F_y t9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7H=^~J Mb2rHUr 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 "V>7u{T 目录 kV mJG# Preface 1 ^9ZW}AAO 内容简介 2 pH'1be{K 目录 i 'h:[[D%H` 1 引言 1 POouO/r$ 2 光学薄膜基础 2 (_Ld^^| 2.1 一般规则 2 GkutS.2G# 2.2 正交入射规则 3 o YZmz 2.3 斜入射规则 6 *YhX6J1 2.4 精确计算 7 :2\H>^uV 2.5 相干性 8 T&5dF9a 2.6 参考文献 10 @Qa)@'u 3 Essential Macleod的快速预览 10 #f 4" 4 Essential Macleod的特点 32 }&o*ZY-1 4.1 容量和局限性 33 MvO!p 4.2 程序在哪里? 33 ,iUYsY 4.3 数据文件 35 S(5aJ[7Zm 4.4 设计规则 35 aJ"Tt>Y[.~ 4.5 材料数据库和资料库 37 nKoc%TNqe 4.5.1材料损失 38 c20'{kH 4.5.1材料数据库和导入材料 39 <XfCQq/ 4.5.2 材料库 41 'x-PQQ 4.5.3导出材料数据 43 2yFXX9!@ 4.6 常用单位 43 xP1`FSO8= 4.7 插值和外推法 46 }+_Z|>qv 4.8 材料数据的平滑 50 KLc<c1BZ 4.9 更多光学常数模型 54 f17pwJ~= 4.10 文档的一般编辑规则 55 tvC7LL NP< 4.11 撤销和重做 56 4eOQP 4.12 设计文档 57 mB:I8g7 4.10.1 公式 58 +bj[. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 4I[g{S
nF 4.10.3 沉积密度 59 !u}} V 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^H,o I* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `GG PkTN 4.10.4 性能 61 U73{Uv 4.10.5 保存设计和性能 64 #hBDOXHPf 4.10.6 默认设计 64 ={a8=E!; 4.11 图表 64 CENA!WWQ 4.11.1 合并曲线图 67 FL5tIfV+ 4.11.2 自适应绘制 68 L;},1
\ 4.11.3 动态绘图 68 w:}RS.AK 4.11.4 3D绘图 69 }b#KV?xgW 4.12 导入和导出 73 <3!jra,h 4.12.1 剪贴板 73 ^[d|^fRH Q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 C?FUc cI 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ef;OrE"" 4.13 背景 77 |7jUf$Q\p 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 !2('Cq_^ 4.15 生成Rugate 84 +^c;4-X
0 4.16 参考文献 91 YdgaZJs 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 t._W643~ 5.1 Jobs 92 mn=G6h
T}W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 v:YW[THre 5.3 输入材料 94 ACg5" 5.4 设计数据文件夹 95 Xm7Nr# 5.5 默认设计 95 (aX5VB ** 6 细化和合成 97 .[-d( #l{l 6.1 优化介绍 97 &b 2Vt 6.2 细化 (Refinement) 98 `]^JOw5o 6.3 合成 (Synthesis) 100 NhxTSyT"t 6.4 目标和评价函数 101 %2<G3]6^U 6.4.1 目标输入 102 +3
2"vq)_ 6.4.2 目标 103 su}>
>07 6.4.3 特殊的评价函数 104 dpO ZqhRs. 6.5 层锁定和连接 104 t`
R#pQ 6.6 细化技术 104 iBy:HH 6.6.1 单纯形 105 FuNc#n> 6.6.1.1 单纯形参数 106 nQc]f* 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Xi'y-cV
^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 R}Ih~zw 6.6.3 模拟退火算法 109 9HlRf6S 6.6.3.1 模拟退火参数 109 bBkF,`/f$ 6.6.4 共轭梯度 111 9L}=xX`>? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 i/nA(%_ 6.6.5 拟牛顿法 112 6xs_@Vk|d 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 pJ6Z/3] 6.6.6 针合成 113 m<>3GF,5bP 6.6.6.1 针合成参数 114 ZB'/DO=i 6.6.7 差分进化 114 R=IZFwr 6.6.8非局部细化 115 ~+{OSx<S 6.6.8.1非局部细化参数 115 DiyviH 6.7 我应该使用哪种技术? 116 [N}:Di,S 6.7.1 细化 116 3,8>\yf` 6.7.2 合成 117 @N`) Z3P+ 6.8 参考文献 117 n|vIo) 7 导纳图及其他工具 118 Si#b"ls' 7.1 简介 118 1&~u:RUXe 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 :,$:@ 7.2.1 四分之一波长规则 119 cn$E?&- 7.2.2 导纳图 120 1!"0fZh9U 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !5Ko^: +Y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /s3AZ j9 7.5 斜入射导纳图 141 Iaf"j 2B 7.6 对称周期 141 sO~:e?F 7.7 参考文献 142 YFD'&N,sx 8 典型的镀膜实例 143 Lrgv:n 8.1 单层抗反射薄膜 145 T|NNd1> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 >|L,9lR_b 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 "VxZnT 8.4 W-膜层 148 g&y'#,'Q~, 8.5 V-膜层 149 \}Jy=[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 kAbRXID 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <N11$t&_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8BC F.y 8.9 四层抗反射薄膜 153 Yxye?R-: 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 u+eA>{ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ~9JU_R^%m 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 GwHMXtj4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 woJO0hHR 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 3A%/H` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 *a* \E
R 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;aKdRhDo 8.17 1/4波长堆栈 162 F
i?2sa 8.18 陷波滤波器 163 Z-`j)3Y 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 & IVwm" 8.20 褶皱 165 jW5n^Y) 8.21 消偏振分光器1 169 $:kG>R@\t 8.22 消偏振分光器2 171 [6Y6{.%~ 8.23 消偏振立体分光器 172 $}0q=Lg%wv 8.24 消偏振截止滤光片 173 oR>o/$z$)g 8.25 立体偏振分束器1 174 V`$Jan 8.26 立方偏振分束器2 177 `JyTS~v$ 8.27 相位延迟器 178 Tx%6whd/' 8.28 红外截止器 179 E]` ) 8.29 21层长波带通滤波器 180 %-!ruc"} 8.30 49层长波带通滤波器 181 R9Wh/@J] 8.31 55层短波带通滤波器 182 hc}dS$=C 8.32 47 红外截止器 183 6k"'3AKaR 8.33 宽带通滤波器 184 d?(#NP#; 8.34 诱导透射滤波器 186 Q6Z%T.1 8.35 诱导透射滤波器2 188 )=TD}Xb 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 @BWroNg{ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 A2VN%dB 8.35 增益平坦滤波器 193 +v:t 8.38 啁啾反射镜 1 196 w*[i!i 8.39 啁啾反射镜2 198 t6&6kl 8.40 啁啾反射镜3 199 sXp>4MomV 8.41 带保护层的铝膜层 200 !4cR&@[ 8.42 增加铝反射率膜 201 *[jG^w0z8~ 8.43 参考文献 202 ;o]'7qGb 9 多层膜 204 jPg 8>Z&D 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 <d~P;R(@ 9.2 内部透过率 204 xg %EQ 9.3 内部透射率数据 205 U2z1HIs 9.4 实例 206 \D(6t!Ox 9.5 实例2 210 PLR[nB7K 9.6 圆锥和带宽计算 212 RWtD81(oC' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
]5W0zNb* 10 光学薄膜的颜色 216 O1IR+"0 10.1 导言 216 ?ihkV?;) 10.2 色彩 216 pASNiH698 10.3 主波长和纯度 220 J<Di2b+ 10.4 色相和纯度 221 h')@NnFP1 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $6w[h7 10.6 色差 226 laN:H mR8 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 u5^fiw]C 10.8 颜色渲染指数 234 A\Rkt;: 10.9 色差计算 235 mw)KyU#l,: 10.10 参考文献 236 [<P(S~J 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 S'qEBz
11.1 短脉冲 238 &3lg\&" 11.2 群速度 239 \G}EI|Wo 11.3 群速度色散 241 6}"P m 11.4 啁啾(chirped) 245 =!m5'$Uz> 11.5 光学薄膜—相变 245 $6.CN# 11.6 群延迟和延迟色散 246 IFNs)* 11.7 色度色散 246 ;$Q`JN= 11.8 色散补偿 249 w1B!z 11.9 空间光线偏移 256 f$$l,wo 11.10 参考文献 258 r4/G&m[V 12 公差与误差 260 E>f+ E8? 12.1 蒙特卡罗模型 260 ;n_ |t/= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 9 lE[oAC 12.2.1 误差工具 267 =?>f[J5 12.2.2 灵敏度工具 271 ^6s< 12.2.2.1 独立灵敏度 271 |Fz/9+I 12.2.2.2 灵敏度分布 275 f<WP<!N% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 R=P=?U. 12.3 参考文献 276 tcyami6D4 13 Runsheet 与Simulator 277
5Z/x Y& 13.1 原理介绍 277 7K3S\oPej 13.2 截止滤光片设计 277 4E]w4BG) 14 光学常数提取 289 M72. 14.1 介绍 289 X@KF}x's 14.2 电介质薄膜 289 C o v,#j j 14.3 n 和k 的提取工具 295 *4#)or 14.4 基底的参数提取 302 "&*O7cs$pA 14.5 金属的参数提取 306 %LeG.~? 14.6 不正确的模型 306 b,"gBg 14.7 参考文献 311 zu}oeAQc$ 15 反演工程 313 ! iuDmL 15.1 随机性和系统性 313 h`n,:Y^++P 15.2 常见的系统性问题 314 7/QQ&7+NkS 15.3 单层膜 314 =W'a6)WE 15.4 多层膜 314 *TQXE:vZ[ 15.5 含义 319 1'DD9d{qN 15.6 反演工程实例 319 Z18T<e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 @\0U`*]^) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1y@d`k`t: 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 $sK8l=# 16.1 光学性质的热致偏移 329 /H.w0fu&.S 16.2 应力工具 335 ApHs`0=( 16.3 均匀性误差 339 Z5iP1/&D 16.3.1 圆锥工具 339 i]&C=X 16.3.2 波前问题 341 Zp@j*P 16.4 参考文献 343 vYQ0e:P 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Qgx9JJ> 17.1 引言 345 .vsrZ_y? 17.2 操作数 345 h>\T1PM 18 如何在Function中编写脚本 351 6'CZfs\ 18.1 简介 351
h[~JCYA 18.2 什么是脚本? 351 4po zTe 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 EH{m~x[Ei 18.4 基础 352 BSt^QH-' 18.4.1 Classes(类别) 352 j"6r]nc& 18.4.2 对象 352 ybLl[K(D= 18.4.3 信息(Messages) 352 KMC]< 18.4.4 属性 352 V4I5PPz~ 18.4.5 方法 353 nvY3$ Ty 18.4.6 变量声明 353 T
DOOq;+ 18.5 创建对象 354 kT6h}d^/^ 18.5.1 创建对象函数 355 o
4G%m>$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 #1fT\aP 18.5.3 丢弃对象 356 q"){PRTm/ 18.5.4 总结 356 >g7}JI& 18.6 脚本中的表格 357 r}351S5( 18.6.1 方法1 357 >h:rYEsh8V 18.6.2 方法2 357 @qj4rt" 18.7 2D Plots in Scripts 358 '}#=I 9=ss 18.8 3D Plots in Scripts 359 kaM=Fk=t 18.9 注释 360 %N5gQXg 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4<%(Y-_sF 18.11 一个更高级的脚本 362 }AfX0[!O 18.12 <esc>键 364 4 mj\wBp 18.13 包含文件 365 Bgb~ Tz' 18.14 脚本被优化调用 366 U9w0kcUw#J 18.15 脚本中的对话框 368 6ub-NtVu 18.15.1 介绍 368 @yc/1u$r 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ,U`:IP/L 18.15.3 输入框函数 370 hr@c7/L 18.15.4 自定义对话框 371 ~,#zdm1r@ 18.15.5 对话框编辑器 371 0
D^d-R, 18.15.6 控制对话框 377 9*s''= 18.15.7 更高级的对话框 380 *}fs@"S
18.16 Types语句 384 B=dF\.&Z 18.17 打开文件 385 TA;r 18.18 Bags 387 ',Y`XP"Q 18.13 进一步研究 388 ^a+W! 19 vStack 389 NTq#'O) f 19.1 vStack基本原理 389 x=-dv8N? 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 R1'tW= 19.3 五棱镜 393 Qm9r>m6p@N 19.4 光束距离 396 $D;/b+a 19.5 误差 399 #63)I9> 19.6 二向分色棱镜 399 <'(O0 19.7 偏振泄漏 404 LPuc&8lGWf 19.8 波前误差—相位 405 w3,DsEXu 19.9 其它计算参数 405 '7BJ. 20 报表生成器 406 *=G~26*!V 20.1 入门 406 W`^euBr7R> 20.2 指令(Instructions) 406 #B_Em$ 20.3 页面布局指令 406 W^U6O&-K 20.4 常见的参数图和三维图 407 @34Z/%A 20.5 表格中的常见参数 408 =;tDYuFc! 20.6 迭代指令 408 v67utISNI 20.7 报表模版 408 op!ft/Yyb 20.8 开始设计一个报表模版 409 jV W .=FK 21 一个新的project 413 Z\1*g k 21.1 创建一个新Job 414 cXcrb4IKD 21.2 默认设计 415 \/qo2'V
j` 21.3 薄膜设计 416 vI84=n 21.4 误差的灵敏度计算 420 MxXf.iX& 21.5 显色指数计算 422 aC!e#(q 21.6 电场分布 424 _ ^ JhncL 后记 426 9^yf'9S1 有兴趣扫码加微 <H; z4
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