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.c0u##/0 内容简介 -p>1:M < Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 A,=>
|&* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 *,*O.#<6 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 o90g;Vog |JHNFs 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 NJ-Ji> w 目录 B'`25u_e< Preface 1 $N;J) 内容简介 2 j|N<6GSke 目录 i BGwD{6`U 1 引言 1 re}PpXRC 2 光学薄膜基础 2 bqp^\yu-E 2.1 一般规则 2 {&B_b|g*fW 2.2 正交入射规则 3 ~/z%yg 2.3 斜入射规则 6 3]9Rmx 2.4 精确计算 7 H{S+^'5Y. 2.5 相干性 8 %N`_g' r! 2.6 参考文献 10 k.o8!aCm 3 Essential Macleod的快速预览 10 YhfQpe 4 Essential Macleod的特点 32 4#]g852 4.1 容量和局限性 33 ZZTf/s* 4.2 程序在哪里? 33 2/uZ2N|S 4.3 数据文件 35 %iEdU V\$ 4.4 设计规则 35 0chpC)#Q3; 4.5 材料数据库和资料库 37 8TP~=qU 4.5.1材料损失 38 CmBgay 4.5.1材料数据库和导入材料 39 o|c6=77043 4.5.2 材料库 41 Gau@RX:O 4.5.3导出材料数据 43 &NoA, `|7 4.6 常用单位 43 w\eC{,00: 4.7 插值和外推法 46 o$+R 4.8 材料数据的平滑 50 q1x[hv3
pP 4.9 更多光学常数模型 54 j2u'5kJ
G 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^,AE;ZT7 4.11 撤销和重做 56 gW--[ 4.12 设计文档 57 0j6b5<Gpc* 4.10.1 公式 58 wQjYH!u,YZ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 xU0iz{9 4.10.3 沉积密度 59
^RT_Lky 4.10.4 平行和楔形介质 60 cRD;a?0/6s 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ?*+U[*M 4.10.4 性能 61 xE^G*<mj: 4.10.5 保存设计和性能 64 F8{gJaP x 4.10.6 默认设计 64 H@$K/ 4.11 图表 64 !t"/w6X1I 4.11.1 合并曲线图 67 Ka-o$o[^u` 4.11.2 自适应绘制 68 ]BjYUTNm 4.11.3 动态绘图 68 UIU:^g0 4.11.4 3D绘图 69 ?Fny_{&^H 4.12 导入和导出 73 zuW4gJ 4.12.1 剪贴板 73 -s`Wd4AP 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L[Z^4l_! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 jQ%1lQ#R) 4.13 背景 77 CrL9|78 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 xR&:]M[Vg 4.15 生成Rugate 84 .PVYYhrt 4.16 参考文献 91 gT$WG$^i 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 lnyq%T[^ 5.1 Jobs 92 3'` &D/n 5.2 创建一个新Job(工作) 93 zF[Xem 5.3 输入材料 94 R+(f~ j' 5.4 设计数据文件夹 95 oST)E5X;7 5.5 默认设计 95 )V[j~uOU)] 6 细化和合成 97 RMT9tXe*5 6.1 优化介绍 97 [ij) k@. 6.2 细化 (Refinement) 98 ,\P|%yv 6.3 合成 (Synthesis) 100 gWa0x- 6.4 目标和评价函数 101 hLgX0QV 6.4.1 目标输入 102 #-G@ p 6.4.2 目标 103 fx(8 o+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 { >izfG,\ 6.5 层锁定和连接 104 S|k@D2k= 6.6 细化技术 104 r/a@ x9 6.6.1 单纯形 105 N~CQh=< 6.6.1.1 单纯形参数 106 CkNR{?S 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 .[]S!@+% 6.6.2.1 Optimac参数 108 _rIo
@v 6.6.3 模拟退火算法 109 I5l%X{u"N 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4_j_!QH87 6.6.4 共轭梯度 111 :'C?uk ? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 UR_Ty59 6.6.5 拟牛顿法 112 Zn
r4^i&( 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 IO"P /Q 6.6.6 针合成 113 T5ky:{Y( 6.6.6.1 针合成参数 114 m)pHCS 6.6.7 差分进化 114 h~Z &L2V 6.6.8非局部细化 115 JcmMbd&B 6.6.8.1非局部细化参数 115 3I( n]; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 E Zf|>^N 6.7.1 细化 116 8\'tfHL 6.7.2 合成 117 =UK:83R( 6.8 参考文献 117 G`0{31us 7 导纳图及其他工具 118 <|Lz#iV37 7.1 简介 118 Tb?X KO, 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^K1mh9O 7.2.1 四分之一波长规则 119 yy8BkG( 7.2.2 导纳图 120 @^ YXE, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;r"r1'a+@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 %pOz%v~ 7.5 斜入射导纳图 141 YB4
ZI 7.6 对称周期 141 P(7el 7.7 参考文献 142 &(,&mE 8 典型的镀膜实例 143 \{ QH^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 i>h3UIx\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 86-Rm 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +,)k@OI 8.4 W-膜层 148 ,JK0N_= 8.5 V-膜层 149 af>i 8.6 V-膜层高折射基底 150 z5iCQ4C< 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !BkE-9v?w 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 vW*Mf}= 8.9 四层抗反射薄膜 153 Vfy@?x=
& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 13v`rK`7o 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 z$%8' 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 k}<H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 -YQS\@? 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 B\rY\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ",gVo\^ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 CStNCBZ|\ 8.17 1/4波长堆栈 162 l6WEx
-d 8.18 陷波滤波器 163 &XCd2 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 r-EIoZ"P 8.20 褶皱 165 mMZ{W+"[f 8.21 消偏振分光器1 169 Hn)?
xw]x 8.22 消偏振分光器2 171 db1ZNw 8.23 消偏振立体分光器 172 sRcd{)|Cq 8.24 消偏振截止滤光片 173 M61Nl)|mx& 8.25 立体偏振分束器1 174 !*&5O~dfN 8.26 立方偏振分束器2 177 6o6yx: 8.27 相位延迟器 178 ^vG<Ma.yk 8.28 红外截止器 179 CXoiA"P 8.29 21层长波带通滤波器 180 (oy@j{G)c6 8.30 49层长波带通滤波器 181 %4x0^<k~ 8.31 55层短波带通滤波器 182 GR*sk#{ 8.32 47 红外截止器 183 g]z k` R5 8.33 宽带通滤波器 184 oupWzjo 8.34 诱导透射滤波器 186 zJ8T.+qJ 8.35 诱导透射滤波器2 188 {e2ZW] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ZyNgG9JL] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 A ?V-Sz# 8.35 增益平坦滤波器 193 )^qXjF 8.38 啁啾反射镜 1 196
dI7rx+L 8.39 啁啾反射镜2 198 ERK{smL 8.40 啁啾反射镜3 199 $RI$VyAjD 8.41 带保护层的铝膜层 200 _8 K|2$X 8.42 增加铝反射率膜 201 Nes|4Z< 8.43 参考文献 202 r 56~s5A 9 多层膜 204 s1W n.OGR4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0$Mxu7 / 9.2 内部透过率 204 .0U[nt6 9.3 内部透射率数据 205 z@19gD#8 9.4 实例 206
R7z @y o 9.5 实例2 210 1qn/*9W}= 9.6 圆锥和带宽计算 212 }I}GA:~$% 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 +[n#{;]< 10 光学薄膜的颜色 216 Xqm?@JN 10.1 导言 216 E x_dqko 10.2 色彩 216 'M? ptu?f 10.3 主波长和纯度 220 'NjeF6 10.4 色相和纯度 221 5GJkvZtFY 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 q*4@d)_& 10.6 色差 226 7vPGb:y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 NF |[j=? 10.8 颜色渲染指数 234 %|JL=E}%| 10.9 色差计算 235 dly -mPmP 10.10 参考文献 236 .7Qqs=Au 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 d<OdQvW. 11.1 短脉冲 238 K`X'Hg#_P2 11.2 群速度 239 SufM~9Ll 11.3 群速度色散 241 #;8VBbc\^ 11.4 啁啾(chirped) 245 B!)9
> 11.5 光学薄膜—相变 245 17l?li 11.6 群延迟和延迟色散 246 ESIJ QM-[+ 11.7 色度色散 246 @Bkg< 11.8 色散补偿 249 0lq?l:/ 11.9 空间光线偏移 256 sLTQm*jL 11.10 参考文献 258 e9:pS WA-n 12 公差与误差 260 GYJ j$' 12.1 蒙特卡罗模型 260 :si&A;k 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8VG~n?y 12.2.1 误差工具 267 `]19}GK~xo 12.2.2 灵敏度工具 271 "#8^":,4 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8?<J,zu@AV 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ]1GyEr: 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 69ycP( 12.3 参考文献 276 ^a3 (QKS 13 Runsheet 与Simulator 277 }NV<k 13.1 原理介绍 277 Ax@7RJ|| 13.2 截止滤光片设计 277 4C:dkaDq] 14 光学常数提取 289 /s(PFN8#Y 14.1 介绍 289 5?(dI9A"K 14.2 电介质薄膜 289 #
E8?2] 14.3 n 和k 的提取工具 295 !_c6 `oW 14.4 基底的参数提取 302 EXW?)_pg 14.5 金属的参数提取 306 6y`FW[ 14.6 不正确的模型 306 6b` Jq>v 14.7 参考文献 311 _Y6Ezh. 15 反演工程 313 6oq^n
s- 15.1 随机性和系统性 313 ?6N\AM' 15.2 常见的系统性问题 314 rniL+/-uU 15.3 单层膜 314 SZ4@GK 15.4 多层膜 314 @LU[po1I 15.5 含义 319 T2|<YJ= 15.6 反演工程实例 319 WoSKN7* 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 F$:mGyl5_ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 w+\RSqz/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9/&1lFKJ 16.1 光学性质的热致偏移 329 l9y %@7 16.2 应力工具 335 V j)"?|V 16.3 均匀性误差 339 h"2^`
)!u 16.3.1 圆锥工具 339 @ K2N cb7 16.3.2 波前问题 341 Mj19;nc0I 16.4 参考文献 343 FS?1O"_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >E,/|K* 17.1 引言 345 bgInIe 17.2 操作数 345 > -fXn 18 如何在Function中编写脚本 351 "4*QA0As 18.1 简介 351 9]{Ss$W3x 18.2 什么是脚本? 351 1&=2" 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 FY+@fy 18.4 基础 352 IL*MB;0> 18.4.1 Classes(类别) 352 9/#b1NGv 18.4.2 对象 352 wlP%
U 18.4.3 信息(Messages) 352 >Mm.MNU 18.4.4 属性 352 98{n6$\ 18.4.5 方法 353 $K|2k7 18.4.6 变量声明 353 n2F*a 18.5 创建对象 354 M&/e*Ta5 18.5.1 创建对象函数 355 0 R&7vn 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 OXoEA a 18.5.3 丢弃对象 356 4 T/ ~erc 18.5.4 总结 356 *Hh*!ePp 18.6 脚本中的表格 357 aJ]t1 18.6.1 方法1 357 @$!"}xDR' 18.6.2 方法2 357 U!nNT== 18.7 2D Plots in Scripts 358 Y$3liDeL= 18.8 3D Plots in Scripts 359 o3OJI_
v& 18.9 注释 360 w;Pe_m7\EO 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 _xP@kN~ 18.11 一个更高级的脚本 362 MF::At[4 18.12 <esc>键 364 1<M~# 18.13 包含文件 365 ;/^O7KM- 18.14 脚本被优化调用 366 +k 18.15 脚本中的对话框 368 V F"c} 18.15.1 介绍 368 2
t]=-@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ljh,%#95= 18.15.3 输入框函数 370 DEzL] 1;P 18.15.4 自定义对话框 371 34vH+,!u 18.15.5 对话框编辑器 371 Oo%%f+ 18.15.6 控制对话框 377 YE@!`!`d: 18.15.7 更高级的对话框 380 @Z~0!VY 18.16 Types语句 384 ^DR`!.ttr 18.17 打开文件 385 /Dk`? 18.18 Bags 387 d[ce3':z 18.13 进一步研究 388 vmtmiN8;d 19 vStack 389 4-xg+*() 19.1 vStack基本原理 389 maQOU1 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Vao3D8 19.3 五棱镜 393 Bq\WG=Fd 19.4 光束距离 396 ]G=^7O]`C! 19.5 误差 399 'KNUPi| 19.6 二向分色棱镜 399 qI\B;&hr( 19.7 偏振泄漏 404 <UJ5n) }"\ 19.8 波前误差—相位 405 `&A-m8X 19.9 其它计算参数 405 P-\T BS_O 20 报表生成器 406 A Rjox` 20.1 入门 406 )$FwB6^ 20.2 指令(Instructions) 406 (K>4^E8 20.3 页面布局指令 406 E`3[62C 20.4 常见的参数图和三维图 407 UrB{jS? 20.5 表格中的常见参数 408 _d3/="= 20.6 迭代指令 408 *IC9))PGJ 20.7 报表模版 408 }nNCgH 20.8 开始设计一个报表模版 409 e&="5.ik 21 一个新的project 413 :B4X/ 21.1 创建一个新Job 414 ()@+QE$ 21.2 默认设计 415 Y3f2RdGl 21.3 薄膜设计 416 Hh<}~s 21.4 误差的灵敏度计算 420 j}DG +M 21.5 显色指数计算 422 pd}af iF 21.6 电场分布 424 +p)kemJ~ 后记 426 km!jxs
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