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^S 内容简介 9$)I=Rpk= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 r+6=b" 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @edx]H1~^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 I"TFj$Pg
DEj6 ky 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !zc?o?~z 目录 B(+J?0Dj Preface 1 ] B
ZSW 内容简介 2 JDi\?m d. 目录 i no6q3<re 1 引言 1 p%;n4*b2 2 光学薄膜基础 2 b^WTX 2.1 一般规则 2 `_`\jd@ 2.2 正交入射规则 3 mUFg(;ya 2.3 斜入射规则 6 MM_c{gFF 2.4 精确计算 7 'Em5AA`> 2.5 相干性 8 %ZT@& 2.6 参考文献 10 s];jroW@u 3 Essential Macleod的快速预览 10 =Kf]ZKj) 4 Essential Macleod的特点 32 ^! ?wh 4.1 容量和局限性 33 ]iP
+Y 4.2 程序在哪里? 33 oHo@rGU 4.3 数据文件 35 v?\Z4Z|f 4.4 设计规则 35 CKoRq|QG_ 4.5 材料数据库和资料库 37 wGRMv1|lIu 4.5.1材料损失 38 8RGU^& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9fLxp$`(T 4.5.2 材料库 41 Rn(6Fk? 4.5.3导出材料数据 43 kkvG= 4.6 常用单位 43 [nL{n bli 4.7 插值和外推法 46 EZICH&_ 4.8 材料数据的平滑 50 ?]1_ 2\M 4.9 更多光学常数模型 54 IdP"]Sv{< 4.10 文档的一般编辑规则 55 ElBpF8xJ|o 4.11 撤销和重做 56 o5k7$0:t/ 4.12 设计文档 57 ",9QqgY+ 4.10.1 公式 58 VZ69s{/.B 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 YzasT:EZN 4.10.3 沉积密度 59 S3cV^CzNg 4.10.4 平行和楔形介质 60 ((Jiv=% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 $F^p5EXkc6 4.10.4 性能 61 ~hx__^]d 4.10.5 保存设计和性能 64 jv<C#0E^ 4.10.6 默认设计 64 6;JlA}) 4.11 图表 64 aaa6R|>0 4.11.1 合并曲线图 67 _VvXE572 4.11.2 自适应绘制 68 ,\2w+L5TD 4.11.3 动态绘图 68 ~Vh< mt 4.11.4 3D绘图 69 *Fb|iR 4.12 导入和导出 73 ;:)1:Dy5 4.12.1 剪贴板 73 B <et&r; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Y*}xD;c
k 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 [\41 4.13 背景 77 P&3Z,f0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Hu4\4x$? 4.15 生成Rugate 84 7[ 82~jM[ 4.16 参考文献 91 Vdpvo;4uy 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 i'6>_,\( 5.1 Jobs 92 k|kn#X3X 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Py}] {? 5.3 输入材料 94 Ug2^cgL 5.4 设计数据文件夹 95 KUR9vo 5.5 默认设计 95 J~"h&>T 6 细化和合成 97 T/9`VB%N 6.1 优化介绍 97 -D?-ctFYj^ 6.2 细化 (Refinement) 98 CVa?L"lK 6.3 合成 (Synthesis) 100 OVy ZyZ# 6.4 目标和评价函数 101 Y1=.46Ezf 6.4.1 目标输入 102 W.|r=
6.4.2 目标 103 xD|/98 6.4.3 特殊的评价函数 104 ;XUiV$ 6.5 层锁定和连接 104 |mHxkd 6.6 细化技术 104 7QnQ=gu 6.6.1 单纯形 105 i,3[0*ge 6.6.1.1 单纯形参数 106 @U)k~z2Hk 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ,.Sd)JB' 6.6.2.1 Optimac参数 108 =
nIl$9 6.6.3 模拟退火算法 109
krt8yAkG 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \H6[6*JuB 6.6.4 共轭梯度 111 ug?])nO.C 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Lt<KRs 6.6.5 拟牛顿法 112 4fuKpLA 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 W)OoHpdw 6.6.6 针合成 113 i
wFI
lJ@ 6.6.6.1 针合成参数 114 "3\C;B6I 6.6.7 差分进化 114 S8S<>W 6.6.8非局部细化 115 76'vsg 6.6.8.1非局部细化参数 115 ue/GB+U 6.7 我应该使用哪种技术? 116 M~o\K' 6.7.1 细化 116 vwc)d{ND 6.7.2 合成 117 ){_D 6.8 参考文献 117 *
11|P 7 导纳图及其他工具 118 <D1>;C 7.1 简介 118 Q+r8qnL' 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Y+[Z,
7.2.1 四分之一波长规则 119 DqQ+8 w 7.2.2 导纳图 120 2)W~7GED 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <*4'H 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,'FdUq )i 7.5 斜入射导纳图 141 MT?;9ZV} 7.6 对称周期 141 v[}g+3a 7.7 参考文献 142 i^O(JC 8 典型的镀膜实例 143 FlqE!6[[ 8.1 单层抗反射薄膜 145 83|7#L 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 '7j!B1K- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 )]W|i9 8.4 W-膜层 148 \_#Z~I{ 8.5 V-膜层 149 Qgel^"t]i 8.6 V-膜层高折射基底 150 ^kF-mM= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 n>5/y
c"/q 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 j/h>G,>T= 8.9 四层抗反射薄膜 153 "=/YPw^0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ivi,/~L 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 7^3a296 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <-3_tu>l 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ryKc7< 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O0i)Iu(J7; 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4?vTuZ/
M 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]-7$wVQ< 8.17 1/4波长堆栈 162 AlH\IP 8.18 陷波滤波器 163 >E:V7Fa 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 e; #"t 8.20 褶皱 165 BPH-g\q 8.21 消偏振分光器1 169 [og_0; 8.22 消偏振分光器2 171 "F.0(<4) 8.23 消偏振立体分光器 172 vnrP;T=^ 8.24 消偏振截止滤光片 173 F^xhhz&e 8.25 立体偏振分束器1 174 ([+u U! 8.26 立方偏振分束器2 177 w QnW2)9! 8.27 相位延迟器 178 }5I+VY7a 8.28 红外截止器 179 iFi6,V*PRt 8.29 21层长波带通滤波器 180 %~$P.Zh 8.30 49层长波带通滤波器 181 %`F&,!d 8.31 55层短波带通滤波器 182 th 9I]g^=t 8.32 47 红外截止器 183 $!Pm*s 8.33 宽带通滤波器 184 pod=|(c 8.34 诱导透射滤波器 186 GCEcg&s=\S 8.35 诱导透射滤波器2 188
^kElb;d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }0%~x, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 At?]FjL6S 8.35 增益平坦滤波器 193 ;rK=
jz^Q 8.38 啁啾反射镜 1 196 s>VpbJ3S 8.39 啁啾反射镜2 198 n!Dy-)!`O 8.40 啁啾反射镜3 199 a#_=c>h; 8.41 带保护层的铝膜层 200 ap7ZT7KW 8.42 增加铝反射率膜 201 ~%8T_R /3 8.43 参考文献 202 Z%t"~r0PS 9 多层膜 204 %( tu< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 yGN2/>] 9.2 内部透过率 204 &/}reE* 9.3 内部透射率数据 205 ;#goC N. 9.4 实例 206 v"po}K 9.5 实例2 210 0j--X?- 9.6 圆锥和带宽计算 212 tt=JvI9> 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ]3%(
'8/ 10 光学薄膜的颜色 216 VPAi[<FzOG 10.1 导言 216 $}* bZ~ 10.2 色彩 216 ?)#qBE ] 10.3 主波长和纯度 220 !pwY@}oL 10.4 色相和纯度 221 =gYKAr^p5 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 U< |