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(QLk 内容简介 G!},jO*" Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 o3*IfD 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 K$_ Rno" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 hYRGIpu5 ]Cd1& 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 BEM_y:# 目录 sXm8KV Preface 1 (,$ H!qKy 内容简介 2 D)z'FOaI 目录 i J5Rr7=:*S 1 引言 1 [oN}zZP] 2 光学薄膜基础 2 `F<)6fk 2.1 一般规则 2 .m_yx{FZ= 2.2 正交入射规则 3 pVe@HJy6G 2.3 斜入射规则 6 )%p.v P'p 2.4 精确计算 7 "-JJ6Bk 2.5 相干性 8 QW :-q(s 2.6 参考文献 10 SrzlR) 3 Essential Macleod的快速预览 10 zRtaO'G( 4 Essential Macleod的特点 32 -Si'[5@ 4.1 容量和局限性 33 ^luAX
}* 4.2 程序在哪里? 33 6b+\2-eq 4.3 数据文件 35 0KqG J:Ru 4.4 设计规则 35 F XJI,(:- 4.5 材料数据库和资料库 37 &$uQ$]&H 4.5.1材料损失 38 VQE8hQ37 4.5.1材料数据库和导入材料 39
>QRpRHtb 4.5.2 材料库 41 :@KU_U)\ 4.5.3导出材料数据 43 w6>'n
} 4.6 常用单位 43 ^SnGcr|a' 4.7 插值和外推法 46 :Bc)1^I 4.8 材料数据的平滑 50 zp[Uh]-dMK 4.9 更多光学常数模型 54 xEtzqP<] 4.10 文档的一般编辑规则 55 \IY)2C<e 4.11 撤销和重做 56 l
+RT>jAmK 4.12 设计文档 57 (!kOM% 3{ 4.10.1 公式 58 5`,qKJ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Y%!3/3T 4.10.3 沉积密度 59 D*3\4=6x 4.10.4 平行和楔形介质 60 \YO1 ;\W 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 01Bs7@"+ 4.10.4 性能 61 _ +Ww1f 4.10.5 保存设计和性能 64 9?B}CCE<LR 4.10.6 默认设计 64 )M(; :#le 4.11 图表 64 yiyyw,iy 4.11.1 合并曲线图 67 NYtp&[s2- 4.11.2 自适应绘制 68 @$'k1f(u> 4.11.3 动态绘图 68 [FLRrTcE 4.11.4 3D绘图 69 "l~wzPY) 4.12 导入和导出 73 ,Zs:e. 4.12.1 剪贴板 73 _YzItge* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 LY}%|w 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 9ui_/[K 4.13 背景 77 kQ4-W9u 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 f ?:
o 4.15 生成Rugate 84 -1t"(v 4.16 参考文献 91
qk~ ni8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 HV'xDy[) 5.1 Jobs 92 9?<WRM3a> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 wN/d
J 5.3 输入材料 94 v-2_# 5.4 设计数据文件夹 95 TR3_!0 5.5 默认设计 95 KK"uSC 6 细化和合成 97 jSVIO v: 6.1 优化介绍 97 |@KW~YlE 6.2 细化 (Refinement) 98 I3uS?c 6.3 合成 (Synthesis) 100 N{v
<z 6 6.4 目标和评价函数 101 >#).3 6.4.1 目标输入 102 oiYI$ql3L 6.4.2 目标 103 1~\YJEsb}d 6.4.3 特殊的评价函数 104 9:zW$Gt& 6.5 层锁定和连接 104 eqD|3YX 6.6 细化技术 104 z
zL@3/<j 6.6.1 单纯形 105 fsqK(io28 6.6.1.1 单纯形参数 106 zr%2oFeX, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 E
O^j,x g 6.6.2.1 Optimac参数 108 ~i 'Ib_%h 6.6.3 模拟退火算法 109 h-u63b1"? 6.6.3.1 模拟退火参数 109 BL1$~0 6.6.4 共轭梯度 111 ^(7<L<H 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .s-X%%e\ 6.6.5 拟牛顿法 112 M]&F1< 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 7+wy`xi 6.6.6 针合成 113 6$-Ex 6.6.6.1 针合成参数 114 Z
4,nl 6.6.7 差分进化 114 7i?"akr4 6.6.8非局部细化 115 WVDkCo@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 @{16j#'R 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Vg9nb 6.7.1 细化 116 Htd-E^/ 6.7.2 合成 117 kBZnR$Cl 6.8 参考文献 117 z0[_5Cm/ 7 导纳图及其他工具 118 k2{*WF 7.1 简介 118 O>UG[ZgW 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?,8|K B 7.2.1 四分之一波长规则 119 \xD.rBbt 7.2.2 导纳图 120 #(6^1S%
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `8^4, 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ]hY'A>4Uq 7.5 斜入射导纳图 141 l1*qDzb 7.6 对称周期 141 ]6)^+(zU 7.7 参考文献 142 Gs^hqT;h 8 典型的镀膜实例 143 @H%)!f]zWt 8.1 单层抗反射薄膜 145 ,S(^r1R 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ,h1
z8.wD| 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 c*LB=;npI 8.4 W-膜层 148 A2 'W 8.5 V-膜层 149 :u$nH9kwv 8.6 V-膜层高折射基底 150 ph*9,\c8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Ni]V)wGE; 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 aH7i$U& 8.9 四层抗反射薄膜 153 +o+e*B7Eh 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 LLE\ ;,bv 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 l* C> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8Mx+tA 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 i*-[-hn-V 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ;MH((M/AN 8.15十五层宽带抗反射膜 159 hKa<9>MI` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 @'UbTB! 8.17 1/4波长堆栈 162 Q+L;k
R 8.18 陷波滤波器 163 CJ+/j=i;~c 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @Z9X^Y+u^h 8.20 褶皱 165 B",5"'id 8.21 消偏振分光器1 169 CG@3z@*?. 8.22 消偏振分光器2 171 GQ=Zp3[ 8.23 消偏振立体分光器 172 iveJh2!#< 8.24 消偏振截止滤光片 173 2>%|PQ 8.25 立体偏振分束器1 174 z4GcS/3K 8.26 立方偏振分束器2 177 KVQ^-^ 8.27 相位延迟器 178 kn2s,%\`<p 8.28 红外截止器 179 ) -yJKmV 8.29 21层长波带通滤波器 180 @\{L%y%a0 8.30 49层长波带通滤波器 181 Da.eVU; 8.31 55层短波带通滤波器 182 fC6zDTis8A 8.32 47 红外截止器 183 QH~;B[-> 8.33 宽带通滤波器 184 S$O+p&!X 8.34 诱导透射滤波器 186 tOUpK20q.@ 8.35 诱导透射滤波器2 188 25e*W>SLw 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *`D}voU 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 e:W]B)0/e 8.35 增益平坦滤波器 193 )Z4ilpU, 8.38 啁啾反射镜 1 196 ^qB
a~
8.39 啁啾反射镜2 198 0j{Rsy 8.40 啁啾反射镜3 199 &6ymGo 8.41 带保护层的铝膜层 200 2HA-q),6 8.42 增加铝反射率膜 201 HpbSf1VvAf 8.43 参考文献 202 0v7#vZ 9 多层膜 204 o2AfMSt. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 1Ce7\A 9.2 内部透过率 204 RCZ"BxleU 9.3 内部透射率数据 205 Ez()W,6]g 9.4 实例 206 .DX 9.5 实例2 210 (!cG*FrN 9.6 圆锥和带宽计算 212 =&%}p[
3g 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Ry47Fze 10 光学薄膜的颜色 216 &A/k{(.XP 10.1 导言 216 Gm`#0)VC 10.2 色彩 216 pCacm@(hG 10.3 主波长和纯度 220 V{A_\ 10.4 色相和纯度 221 kZb #k# 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 RA];hQI? 10.6 色差 226 azK7kM~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 K_SURTys 10.8 颜色渲染指数 234 -hd@<+;E 10.9 色差计算 235 dG8_3T}i 10.10 参考文献 236 *'i9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 RpmOg
11.1 短脉冲 238 e]9Z]a2 11.2 群速度 239 $O'IbA 11.3 群速度色散 241 0|i3#G_~ 11.4 啁啾(chirped) 245 K*!qt(D& 11.5 光学薄膜—相变 245 b((>?=hh 11.6 群延迟和延迟色散 246 I$0O4 11.7 色度色散 246 nrEG4X9 11.8 色散补偿 249 =Ch^;Wyt 11.9 空间光线偏移 256 2gasH11M 11.10 参考文献 258 ID_#a9N 12 公差与误差 260 `erKHZ]S 12.1 蒙特卡罗模型 260 +nAbcBJAl 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 f(Su 12.2.1 误差工具 267 @ajt
D-_2 12.2.2 灵敏度工具 271 VY#nSF` 12.2.2.1 独立灵敏度 271
;2y4^ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 V|3^H^\5P 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .QvH7 12.3 参考文献 276 <q`'[1Y4 13 Runsheet 与Simulator 277 $-i(xnU/nl 13.1 原理介绍 277 %&iodo,EP' 13.2 截止滤光片设计 277 e,K.bgi 14 光学常数提取 289 m[}@\y 14.1 介绍 289 WGwIc7 14.2 电介质薄膜 289 btR~LJb 14.3 n 和k 的提取工具 295 Q"vhl2RX 14.4 基底的参数提取 302 8a8CY,n{ 14.5 金属的参数提取 306 4{lrtNd~K 14.6 不正确的模型 306 8wEUly 14.7 参考文献 311 14pyHMOR 15 反演工程 313 xNd p]u 15.1 随机性和系统性 313 gyz_$T@x 15.2 常见的系统性问题 314 }vXiq T 15.3 单层膜 314 H~NK:qRzK 15.4 多层膜 314 @ogj -ol& 15.5 含义 319 }?)U`zF)7} 15.6 反演工程实例 319 kNd(KQ<.17 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 PcQ\o>0") 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ul<:Yt&nI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 "wR1=&gk 16.1 光学性质的热致偏移 329 *x-@}WY$U 16.2 应力工具 335 z -c1,GOD 16.3 均匀性误差 339 r_hs_n!6 16.3.1 圆锥工具 339 B,fVNpqo 16.3.2 波前问题 341 ipe8U1Sc 16.4 参考文献 343 $
~Ks!8'P 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 nv<t$r 17.1 引言 345 3;JF5e\?x 17.2 操作数 345 9Ca }+ 18 如何在Function中编写脚本 351 Sq SiuO.D 18.1 简介 351 $@HW|Y 18.2 什么是脚本? 351 FnPn#Cv>* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 w
m|WER*. 18.4 基础 352 }nRTw2-z 18.4.1 Classes(类别) 352 I {%Y0S 18.4.2 对象 352 60G(jO14 18.4.3 信息(Messages) 352 \iRmGvT 18.4.4 属性 352 !l-Q.=yw 18.4.5 方法 353 l@0${&n 18.4.6 变量声明 353 /K(l[M 18.5 创建对象 354 m}(M{^\| 18.5.1 创建对象函数 355 d=0{vsrB 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Z<iK(?@O 18.5.3 丢弃对象 356 -EJj j { 18.5.4 总结 356 jcp6-XM 18.6 脚本中的表格 357 . {vMn0c 18.6.1 方法1 357 I|l5e2j 18.6.2 方法2 357 e>m+@4*sn 18.7 2D Plots in Scripts 358 7_R[=t 18.8 3D Plots in Scripts 359 cGyR_8:2cv 18.9 注释 360 \fsNI T/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 PLJDRp 2o 18.11 一个更高级的脚本 362 u2S8DuJ 18.12 <esc>键 364 *nK4XgD 18.13 包含文件 365 ,e^~(ITaq 18.14 脚本被优化调用 366 ^-Rqlr,F; 18.15 脚本中的对话框 368 {9FL}Jrt 18.15.1 介绍 368 u+O"c 18.15.2 消息框-MsgBox 368 IF cre 18.15.3 输入框函数 370 ~3Za"q*0s 18.15.4 自定义对话框 371 zE Ly1v\" 18.15.5 对话框编辑器 371 AyNpY_B0c 18.15.6 控制对话框 377 >`l^
C 18.15.7 更高级的对话框 380 'ka}x~EF 18.16 Types语句 384 'jXJ!GFw 18.17 打开文件 385 <iBn-EG l> 18.18 Bags 387 |~@yXc5a 18.13 进一步研究 388 kC ALJRf~d 19 vStack 389 IML.6<,(Z 19.1 vStack基本原理 389 oE_*hp+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 l cM 19.3 五棱镜 393 QnJLTBv 19.4 光束距离 396 B@@tKn_CQ 19.5 误差 399 (-],VB
(+ 19.6 二向分色棱镜 399 ,vo]WIQ\: 19.7 偏振泄漏 404 v cUGBGX_& 19.8 波前误差—相位 405 k[}WYs+r 19.9 其它计算参数 405 4M!wm]n/%5 20 报表生成器 406 E5#ff5 20.1 入门 406 +4p=a [ 20.2 指令(Instructions) 406 ^ZIs >.' 20.3 页面布局指令 406 ?,]eN&` 20.4 常见的参数图和三维图 407 /'zXb_R,$ 20.5 表格中的常见参数 408 -Mf-8zw8G 20.6 迭代指令 408 =4sx(< 20.7 报表模版 408 |S~$IFN4 20.8 开始设计一个报表模版 409 ~xv3R 21 一个新的project 413 \mTi@T!& 21.1 创建一个新Job 414 N{}8Zh4op 21.2 默认设计 415 'BUfdb8d 21.3 薄膜设计 416 W56VA>ia 21.4 误差的灵敏度计算 420 4\ |/S@. 21.5 显色指数计算 422 q{%~(A5*H 21.6 电场分布 424 ;W|GUmADf 后记 426 .2U3_1dX
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