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"N 内容简介 %ae|4u#b Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 fjD/<`}v 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @D$^-
S6 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 T
>BlnA #j!RbW 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 dY|~"6d) 目录 =~qQ?;on Preface 1 w +pK=R 内容简介 2 "}"hQ.kAz 目录 i v2Lx4:dzi 1 引言 1 H[H+s!)" 2 光学薄膜基础 2 OAlV7cfD 2.1 一般规则 2 Xaz`L 2.2 正交入射规则 3 +OEheG8 2.3 斜入射规则 6 x?5D>M/Y 2.4 精确计算 7 G3Z>,"w;= 2.5 相干性 8 .X2fu/} 2.6 参考文献 10 8\V 3 Essential Macleod的快速预览 10 O$
p 4 Essential Macleod的特点 32 \L6kCY 4.1 容量和局限性 33 ]'
ck!eG 4.2 程序在哪里? 33 \&[Jtv * 4.3 数据文件 35 #ZzFAt 4.4 设计规则 35 } vx+/J 4.5 材料数据库和资料库 37 JI"&3H")g% 4.5.1材料损失 38 q$#5>5& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 }MW7,F 4.5.2 材料库 41 E;I'b:U` 4.5.3导出材料数据 43 c;RL<83: 4.6 常用单位 43 Z{Si`GA 4.7 插值和外推法 46 <in#_Of{E 4.8 材料数据的平滑 50 `lI(SS]w 4.9 更多光学常数模型 54 S9cAw5E(yN 4.10 文档的一般编辑规则 55 n:TWZ.9 4.11 撤销和重做 56 A(j9T,! 4.12 设计文档 57 *F4"mr|\ 4.10.1 公式 58 O1C|{
M 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 jUtFDw 4.10.3 沉积密度 59 "#ctT-g`6 4.10.4 平行和楔形介质 60 s2IjZF { 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 seNJ6p=` 4.10.4 性能 61 ET2^1X#j 4.10.5 保存设计和性能 64 LtJl\m.th 4.10.6 默认设计 64 `<cnb!] 4.11 图表 64 Un~
}M/ 4.11.1 合并曲线图 67 !@.9>"FU 4.11.2 自适应绘制 68 a;GuFnfn, 4.11.3 动态绘图 68 G8sxg&bf{ 4.11.4 3D绘图 69 3zr95$Mt 4.12 导入和导出 73 v@qU<\Y> 4.12.1 剪贴板 73 W`vgH/lSnZ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 |(evDS5 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ?QbxC,& i 4.13 背景 77 w6Owfq'v 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 fV>12ici 4.15 生成Rugate 84 [9-&Lq_ g 4.16 参考文献 91 O7})1|>1 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2#y-3y<G 5.1 Jobs 92 neLQ>WT
L 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^yl)c
\` 5.3 输入材料 94 MS>QU@z7c 5.4 设计数据文件夹 95 OV.f+_LS 5.5 默认设计 95 1xf
Pe# 6 细化和合成 97 _MmSi4]yd 6.1 优化介绍 97 )iU@P7W= 6.2 细化 (Refinement) 98 ]cKxYX)J 6.3 合成 (Synthesis) 100 Ra!Br6 6.4 目标和评价函数 101 [$x&J6jF. 6.4.1 目标输入 102 -jPrf:3) 6.4.2 目标 103 NUQ?QQ 6.4.3 特殊的评价函数 104 }Dc7'GZ 6.5 层锁定和连接 104 SJ%h.u@&@F 6.6 细化技术 104 P
{0iEA|k 6.6.1 单纯形 105 o`{@':%D` 6.6.1.1 单纯形参数 106 ab!Cu8~v 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 LBw$K0 6.6.2.1 Optimac参数 108 DI)!x {" 6.6.3 模拟退火算法 109 GN=ugP 9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 # fe%E. 6.6.4 共轭梯度 111 _U<r@ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 d#W>"Cqxqa 6.6.5 拟牛顿法 112 8TE2q Pm 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 qhQeQ 6.6.6 针合成 113 XwlF[3VbiX 6.6.6.1 针合成参数 114 [S:{$4& 6.6.7 差分进化 114 0rA&Q0 6.6.8非局部细化 115 |jhu 6.6.8.1非局部细化参数 115 C25EIIdRb 6.7 我应该使用哪种技术? 116 <J
o\RUx 6.7.1 细化 116 rGt/ /6 6.7.2 合成 117 D=^|6} 6.8 参考文献 117 qF? n&>YG 7 导纳图及其他工具 118 `^G?+p2E 7.1 简介 118 "BvAiT{u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 XD8Q2un 7.2.1 四分之一波长规则 119 u]$e@Vw. 7.2.2 导纳图 120 "0sk(kT 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Yp@i{$IUW 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $:u5XJx 7.5 斜入射导纳图 141 nvOJY6)$V 7.6 对称周期 141 ZDl6F` 7.7 参考文献 142 Fu$JI8 8 典型的镀膜实例 143 4COo ~d 8.1 单层抗反射薄膜 145 \pwg8p[4Q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 JO =kfWW 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 tXg>R _\C 8.4 W-膜层 148 d#>iFD+ 8.5 V-膜层 149 Q^@z]Sc[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 g54b}vzm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 F4|U\,g 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ^)%TQ. 8.9 四层抗反射薄膜 153 RK\$>KFE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 nf,u'}psdJ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _!:*&{ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 L
>HyBB 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 7@u:F?c 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 lG/h[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4RDdfY\%u 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
.% {4B,d$ 8.17 1/4波长堆栈 162 (d?sFwOt\ 8.18 陷波滤波器 163 CS\T@)@t 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 c-".VF 8.20 褶皱 165 Pgo^$xn'6 8.21 消偏振分光器1 169 tEl_a~s*3? 8.22 消偏振分光器2 171 fZNWJo# `. 8.23 消偏振立体分光器 172 <"HbX 8.24 消偏振截止滤光片 173 tjWf`#tH>H 8.25 立体偏振分束器1 174
LmjzH@3 8.26 立方偏振分束器2 177 ;Svs|]d 8.27 相位延迟器 178 %7[Z/U= 8.28 红外截止器 179 s+7#Tdh A 8.29 21层长波带通滤波器 180 !W48sZr1& 8.30 49层长波带通滤波器 181
.{-C* 8.31 55层短波带通滤波器 182 d>k"#| 8.32 47 红外截止器 183 tO8<N'TD 8.33 宽带通滤波器 184 WcZck{ehd 8.34 诱导透射滤波器 186 VqBb=1r%o7 8.35 诱导透射滤波器2 188 >u/ T`$ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 N799@:. 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9yWQ}h 8.35 增益平坦滤波器 193 ? 1
~C`I; 8.38 啁啾反射镜 1 196 E,$5V^
9 8.39 啁啾反射镜2 198 W"&Y7("y 8.40 啁啾反射镜3 199 [~UCYYl 8.41 带保护层的铝膜层 200 :+Okv$v4 8.42 增加铝反射率膜 201 $*N)\>~X 8.43 参考文献 202 Pp~:e} 9 多层膜 204 4O1[D?)`x 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Puodsd 9.2 内部透过率 204 x17K8De 9.3 内部透射率数据 205 /AhN$)(O 9.4 实例 206 O$,bNu/g 9.5 实例2 210 5rPK7Jh`B 9.6 圆锥和带宽计算 212 )DwHLaLW 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 IuN:*P 10 光学薄膜的颜色 216 QsC6\Gt# 10.1 导言 216 rFl6xM;F 10.2 色彩 216 j _p|>f<} 10.3 主波长和纯度 220 }Gi4`Es 10.4 色相和纯度 221 #a|.cm>6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 d%w#a3( 10.6 色差 226 CTh!|mG 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 %wk3&EC. 10.8 颜色渲染指数 234 au~}s |# 10.9 色差计算 235 XPd@>2 10.10 参考文献 236 p*OpO&oodu 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 gkRbb
11.1 短脉冲 238 lq*{2M{[ 11.2 群速度 239 MQ7Hn;`B 11.3 群速度色散 241 de$0D fK 11.4 啁啾(chirped) 245 \Zbi`;m? 11.5 光学薄膜—相变 245 SZ3UR 11.6 群延迟和延迟色散 246 ZGZ+BOFL 11.7 色度色散 246 ,[{Z_co 11.8 色散补偿 249 p"k[ac{ 11.9 空间光线偏移 256 #s]'2O 11.10 参考文献 258 Qk h}=3u 12 公差与误差 260 zM+eb| >cr 12.1 蒙特卡罗模型 260 D5gDVulsh
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )"4v0dv 12.2.1 误差工具 267 %FSY}65 12.2.2 灵敏度工具 271 rUOl+p_47 12.2.2.1 独立灵敏度 271 TF7~eyLg 12.2.2.2 灵敏度分布 275 jGaI6G'N 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 k<i#agq 12.3 参考文献 276 H(,D5y`k1 13 Runsheet 与Simulator 277 6
~LCj" 13.1 原理介绍 277 %SJ2W>e 13.2 截止滤光片设计 277 6&KvT2?tA` 14 光学常数提取 289 NR|t~C+ 14.1 介绍 289 e3!0<A[X 14.2 电介质薄膜 289 Q( g&/O 14.3 n 和k 的提取工具 295 @24)*d^1 14.4 基底的参数提取 302 g+ P
14.5 金属的参数提取 306 -lDAxp6p 14.6 不正确的模型 306 3wf&,4`EX 14.7 参考文献 311 fOtzbYVC 15 反演工程 313 |z%:{ 15.1 随机性和系统性 313 ?D8+wj 15.2 常见的系统性问题 314 KCc7u8
15.3 单层膜 314 zc#$hIi 15.4 多层膜 314 `iT{H]po 15.5 含义 319 d@aPhzLu 15.6 反演工程实例 319 "B"Yfg[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 8\])p sb9 15.6.2 反演工程提取折射率 327 T**v!Ls 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 `Eq~W@';Q0 16.1 光学性质的热致偏移 329 | g[iK1 16.2 应力工具 335 ^p}|""\j 16.3 均匀性误差 339 75?z" i 16.3.1 圆锥工具 339 RjW<
H6a"K 16.3.2 波前问题 341 I2G:jMPy 16.4 参考文献 343 zvAUF8'_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 66 @#V 17.1 引言 345 ).D+/D/"2 17.2 操作数 345 ' En|-M5 18 如何在Function中编写脚本 351 &K@ RTgb 18.1 简介 351 rD":Gac 18.2 什么是脚本? 351 ]sL)[o 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 &U7INUL 18.4 基础 352 YOE!+MiO 18.4.1 Classes(类别) 352 PTZ/jg@71 18.4.2 对象 352 wcW8"J'AH 18.4.3 信息(Messages) 352 <A+n[h 18.4.4 属性 352 ;2\+O"}4H 18.4.5 方法 353 ?vn9HhTD 18.4.6 变量声明 353 Oll,;{<O 18.5 创建对象 354 .XTR
HL*: 18.5.1 创建对象函数 355 jPc"qER! 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !]*Cwbh.
u 18.5.3 丢弃对象 356 @B#\3WNt 18.5.4 总结 356 , tb\^ 18.6 脚本中的表格 357 ;FfDi*S7 18.6.1 方法1 357 Tt\h#E 18.6.2 方法2 357 "J(0J 18.7 2D Plots in Scripts 358 +p"}F PIK 18.8 3D Plots in Scripts 359 [3|&!:4g6 18.9 注释 360 *}< |