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8Z_ 4%vUBg 内容简介 {:("oK6w Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 '2i !RT- 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 5O d]rE 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4oH ,_sr b=xn(HE8| 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 e3W~6P 目录 z'$1$~I Preface 1 TwI s_r: 内容简介 2 Y I;iG[T,& 目录 i knYp"<qj 1 引言 1 !&hqj$>-} 2 光学薄膜基础 2 M-@X&bm,S 2.1 一般规则 2 t"YsIOT:O" 2.2 正交入射规则 3 OR!W3
@ 2.3 斜入射规则 6 pc0{ 2.4 精确计算 7 .?Y"o3 2.5 相干性 8 0QW=2rs 2.6 参考文献 10 j}",+Hv 3 Essential Macleod的快速预览 10 ;m#4Q6k)V? 4 Essential Macleod的特点 32 72"H#dy%U 4.1 容量和局限性 33 )MK$E,W 4.2 程序在哪里? 33 Iq4B%xo6G 4.3 数据文件 35 eh<mJL%T 4.4 设计规则 35 abT,"a\h 4.5 材料数据库和资料库 37 uOeal^uS 4.5.1材料损失 38 wB[f%mHs
4.5.1材料数据库和导入材料 39 cPuXye 4.5.2 材料库 41 n`&D_AbQ 4.5.3导出材料数据 43 eBnx$ 4.6 常用单位 43 rG6G~|mS 4.7 插值和外推法 46 _Iav2=0Wi 4.8 材料数据的平滑 50 :,aY|2si 4.9 更多光学常数模型 54 2O[sRm) 4.10 文档的一般编辑规则 55 iaEQF]*cC 4.11 撤销和重做 56 ?@,EGY< 4.12 设计文档 57 mu@ J$\
4.10.1 公式 58 HrvyI)4{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 bA#9'Qu^j
4.10.3 沉积密度 59 S\N1qux{ 4.10.4 平行和楔形介质 60 n.2:fk 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 wV==sV 4.10.4 性能 61 >d
p/ 4.10.5 保存设计和性能 64 jL^@;"/XhC 4.10.6 默认设计 64 =X7kADRq 4.11 图表 64 *YeQCt-l 4.11.1 合并曲线图 67 n]'
r3 4.11.2 自适应绘制 68 G@`F{l 4.11.3 动态绘图 68 ~>u|7M$( 4.11.4 3D绘图 69 ,GYQ,9: 4.12 导入和导出 73 IUv#nB3 4.12.1 剪贴板 73 ^wd@mWxx 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 sb{K%xi% 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 3;BIwb_ 4.13 背景 77 3PU_STSix 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [5?Dov^j3 4.15 生成Rugate 84 h>\C2Q 4.16 参考文献 91 F6[F~^9D 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 <z,)4z++ 5.1 Jobs 92 "Esl I 5.2 创建一个新Job(工作) 93 #Z2'Y[@. 5.3 输入材料 94 Dc-K08c 5.4 设计数据文件夹 95 } jJKE 5.5 默认设计 95 lEFd^@t 6 细化和合成 97 ]5f;Kz) 6.1 优化介绍 97 [cd1Mf:[Y 6.2 细化 (Refinement) 98 1$vG Q 6.3 合成 (Synthesis) 100 6[A\cs 6.4 目标和评价函数 101 PO"lY'W.U 6.4.1 目标输入 102 nTr%S&<+" 6.4.2 目标 103 W"vLCHTh 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ldz]FB| 6.5 层锁定和连接 104 Deh3Dtg/k 6.6 细化技术 104 baII!ks 6.6.1 单纯形 105 r$={_M$ 6.6.1.1 单纯形参数 106 /#Aw7F$Ey 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 (46'#E z[F 6.6.2.1 Optimac参数 108 Qi`3$<W> 6.6.3 模拟退火算法 109 NLMvi!5w, 6.6.3.1 模拟退火参数 109 +ausm!~6 6.6.4 共轭梯度 111 /fp8tL2Y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?CQE6ch 6.6.5 拟牛顿法 112 sq_>^z3T 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 V@`b7GM 6.6.6 针合成 113 bu _ @>`S 6.6.6.1 针合成参数 114 R
xITMt 6.6.7 差分进化 114 X#&5?oq` 6.6.8非局部细化 115 Z\IM~- 6.6.8.1非局部细化参数 115 dRron_' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 h(/? 81: 6.7.1 细化 116 \
=hg^j 6.7.2 合成 117
pRobx 6.8 参考文献 117 cpa" ,8 7 导纳图及其他工具 118 8/aJ4w[A 7.1 简介 118 ;]-08lzO<4 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 aA|{r/.10K 7.2.1 四分之一波长规则 119 OCx'cSs-= 7.2.2 导纳图 120 ;\0|1Eem` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 HqWWWCWal 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 S!8<|WO^t 7.5 斜入射导纳图 141 JU>~[yAP 7.6 对称周期 141 &}p\&4 7.7 参考文献 142 h.vy SwF"j 8 典型的镀膜实例 143 _VT{2`|}) 8.1 单层抗反射薄膜 145 J -z. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 %1A8m-u]M 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 FSQB{9,H 8.4 W-膜层 148 .jQx2O 8.5 V-膜层 149 ;O hQBAC 8.6 V-膜层高折射基底 150 s9wzN6re 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 e` 4mrBtz| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %HG+|)b 8.9 四层抗反射薄膜 153 e#;43=/Ia 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 gtuSJ+up 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 -w"I 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %Y ZCdS 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 H2jypVs$2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 R@3HlGuRKw 8.15十五层宽带抗反射膜 159 W8 g13oAu" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 5_!L"sJ 8.17 1/4波长堆栈 162 eQ[akVMk 8.18 陷波滤波器 163 MM32\}Y6 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 V4Rs 8.20 褶皱 165 Sn-#Y(>]o0 8.21 消偏振分光器1 169 "QOQ 8.22 消偏振分光器2 171 gV@xu)l 8.23 消偏振立体分光器 172 $JOz7j( 8.24 消偏振截止滤光片 173 >k"O3Pc@ 8.25 立体偏振分束器1 174 i\IpS@/{-v 8.26 立方偏振分束器2 177 bKS/T^UQ 8.27 相位延迟器 178 */K[B(G 8.28 红外截止器 179 2@a'n@- 8.29 21层长波带通滤波器 180 %.$!VTO" 8.30 49层长波带通滤波器 181 _K#7#qp2 8.31 55层短波带通滤波器 182 _ooHB>sH 8.32 47 红外截止器 183 VzSkqWF/" 8.33 宽带通滤波器 184 @TALZk'% 8.34 诱导透射滤波器 186 la{?&75] 8.35 诱导透射滤波器2 188 [1(eSH 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ,.P]5 lE 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 zdJPMNHg 8.35 增益平坦滤波器 193 Bdh*[S\u@E 8.38 啁啾反射镜 1 196 6E) T;R(@ 8.39 啁啾反射镜2 198 _]*[TGap 8.40 啁啾反射镜3 199 \/1~5mQ+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 oX)a6FXK> 8.42 增加铝反射率膜 201 .'M.yE~5J 8.43 参考文献 202 2Di~}* 9& 9 多层膜 204 AIOGa<^ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 |iJz[% 9.2 内部透过率 204 RgoF4g+@ 9.3 内部透射率数据 205 i}LQ}35@ 9.4 实例 206 <T7@,_T 9.5 实例2 210
auN8M. 9.6 圆锥和带宽计算 212 l atm_\ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 TSFrv8L 10 光学薄膜的颜色 216 ,zZH>P 10.1 导言 216 :gRrM)n 10.2 色彩 216 *P
*.'XM 10.3 主波长和纯度 220 Ds]
.Ae 10.4 色相和纯度 221 mL1ZSX
o! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 %u%;L+0Q[ 10.6 色差 226 MMa`}wSs 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7vgRNzZoq 10.8 颜色渲染指数 234 O8hx}dOjA 10.9 色差计算 235 <6]Hj2 10.10 参考文献 236 hRuiuGC 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ZOqA8#\ 11.1 短脉冲 238 xy>$^/[$ 11.2 群速度 239 \|X
1 11.3 群速度色散 241 w#9.U7@. 11.4 啁啾(chirped) 245 D`n<!"xg@$ 11.5 光学薄膜—相变 245 e#5WX 11.6 群延迟和延迟色散 246 <*iFVjSI( 11.7 色度色散 246 =KR^0<2r 11.8 色散补偿 249 tx;2C|S$oU 11.9 空间光线偏移 256 TH4f"h+B3" 11.10 参考文献 258 q:up8-LAr 12 公差与误差 260 8Ie0L3d- 12.1 蒙特卡罗模型 260 Y]R=z*i% 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 LL:N/1ysG 12.2.1 误差工具 267 nS$4[!0 12.2.2 灵敏度工具 271 CNuE9|W(vI 12.2.2.1 独立灵敏度 271 dT1UYG}>j 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \W_ Dz*N 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 K&._fG 12.3 参考文献 276 Nc6y]eGz 13 Runsheet 与Simulator 277 m?Jnb\0 13.1 原理介绍 277 sfG9R" 13.2 截止滤光片设计 277 SN[yC 14 光学常数提取 289 _j$V[=kdM/ 14.1 介绍 289 i{:?Iw 'ay 14.2 电介质薄膜 289 6;Izw$X 14.3 n 和k 的提取工具 295 3mE8tTA$R 14.4 基底的参数提取 302 x2~fc 14.5 金属的参数提取 306 5Q}HLjG8Z 14.6 不正确的模型 306 ~>]Ie~E: ( 14.7 参考文献 311 o}36bi{ 15 反演工程 313 .}R'(gN\6 15.1 随机性和系统性 313 x6T$HN/2 15.2 常见的系统性问题 314 y54RD/`- 15.3 单层膜 314 kVWrZ>McK 15.4 多层膜 314 31g1zdT! 15.5 含义 319 VKXB)-'L 15.6 反演工程实例 319 k?pNmKVJM 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 V[44aN 15.6.2 反演工程提取折射率 327 mV7_O// 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 C>l (4*S 16.1 光学性质的热致偏移 329 '6WZi|(a 16.2 应力工具 335 ;(g"=9e 16.3 均匀性误差 339 K=sk1<>)m 16.3.1 圆锥工具 339 _n*gj- 16.3.2 波前问题 341 ('_S1?y 16.4 参考文献 343 _Axw$oYS 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 VF-[O 17.1 引言 345 UA0R)BH' 17.2 操作数 345 N:^4OnVR 18 如何在Function中编写脚本 351 z1e+Ob& 18.1 简介 351 %&O'>L 18.2 什么是脚本? 351 [eF|2: 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 g[{rX4~| 18.4 基础 352 F
j"]C.6B. 18.4.1 Classes(类别) 352 mh_GYzd 18.4.2 对象 352 Y^?PHz'Go 18.4.3 信息(Messages) 352 3z
5"Ckzb 18.4.4 属性 352 |[bQJ<v6 18.4.5 方法 353 &M\qVL%w 18.4.6 变量声明 353 \Zk<|T61$ 18.5 创建对象 354 b!;WF
18.5.1 创建对象函数 355 K8iQ? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]G~u8HPH!m 18.5.3 丢弃对象 356 Mb%[Qp60 18.5.4 总结 356 RCGpZyl 18.6 脚本中的表格 357 :)Nk 18.6.1 方法1 357 /3`fO^39Ta 18.6.2 方法2 357 .w~L0( 18.7 2D Plots in Scripts 358 vnsMh
18.8 3D Plots in Scripts 359 zy9W{{:P(1 18.9 注释 360 3V/|" R2s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 1UH_"Q03 18.11 一个更高级的脚本 362 49#?I:l 18.12 <esc>键 364 "FfP&lF/ 18.13 包含文件 365 cmLI!"RLe 18.14 脚本被优化调用 366 SQ`ec95', 18.15 脚本中的对话框 368 MB5X$5it 18.15.1 介绍 368 HtI>rj/\
x 18.15.2 消息框-MsgBox 368 YP}r15P 18.15.3 输入框函数 370 |VX0o2 18.15.4 自定义对话框 371 hniTMO 18.15.5 对话框编辑器 371 Z5>} 18.15.6 控制对话框 377 3DrW[\ 18.15.7 更高级的对话框 380 y{qKb:~wv 18.16 Types语句 384 ViG-tb 18.17 打开文件 385 FiN B$A 18.18 Bags 387 D|5Fo'O^AV 18.13 进一步研究 388 EG!):P 19 vStack 389 cNuBWLG 19.1 vStack基本原理 389 )0@&pEObm 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 }D#[yE,=\ 19.3 五棱镜 393 K}Pi"Le@W 19.4 光束距离 396 }KL( -Ui$ 19.5 误差 399 *&yt;|y 19.6 二向分色棱镜 399 /\uW[mt 19.7 偏振泄漏 404 {&Sr<d5 19.8 波前误差—相位 405 WPNvZg9*c 19.9 其它计算参数 405 ^cYt4NHXn 20 报表生成器 406 )pt#Pu
20.1 入门 406 +QFY.>KH 20.2 指令(Instructions) 406 h|&qWv 20.3 页面布局指令 406 k'Z$# 20.4 常见的参数图和三维图 407 V}"w8i+D? 20.5 表格中的常见参数 408 [kg*BaG: 20.6 迭代指令 408 p[gq^5WuC 20.7 报表模版 408 5},kXXN{+ 20.8 开始设计一个报表模版 409 9ioV R 21 一个新的project 413 ,1-#Z"~c 21.1 创建一个新Job 414 r*s)T`T}} 21.2 默认设计 415 DC%H(2 21.3 薄膜设计 416 2JRX ;s~ 21.4 误差的灵敏度计算 420 i/WiSwh: 21.5 显色指数计算 422 l7=WO#Pb 21.6 电场分布 424 FiJU
* 后记 426 f0lK,U@P
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