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<#BK(W~$ 内容简介 &J/!D# Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 "Fmq$.$% 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 66>X$nx(z 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 n5~Dxk >yn?@ve@ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 *j83E[(] 目录 Y_]y :H Preface 1 [MAPa 内容简介 2 9-j-nx
@) 目录 i &0T7Uv-` 1 引言 1 5D/Td#T04 2 光学薄膜基础 2 (&*Bl\YoX 2.1 一般规则 2 iDDq<a.A 2.2 正交入射规则 3 9mtndTT 5u 2.3 斜入射规则 6 FiReb3zR 2.4 精确计算 7 Rh~j -; 2.5 相干性 8 ;LC|1_ ' 2.6 参考文献 10 "(H%m9K 3 Essential Macleod的快速预览 10 R+0fs$su 4 Essential Macleod的特点 32 -+qg 4.1 容量和局限性 33 ~^Al#@ 4.2 程序在哪里? 33 aTHf+; 4.3 数据文件 35 ,%/F,O+# 4.4 设计规则 35 C4X3;l Z%S 4.5 材料数据库和资料库 37 LmsPS.It 4.5.1材料损失 38 7{"F%`7L 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9gK1Gx: 4.5.2 材料库 41 [xfg6 4.5.3导出材料数据 43 WB (?6" 4.6 常用单位 43 XOS^&; 4.7 插值和外推法 46 5't9/8i 4.8 材料数据的平滑 50 c-7Zk!LfD 4.9 更多光学常数模型 54 "_dJ4<8 4.10 文档的一般编辑规则 55 XkW@"pf&Fh 4.11 撤销和重做 56 bjj
F{T 4.12 设计文档 57 Bd>ATc+580 4.10.1 公式 58 o+^e+ptc 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 }]=A:*jD 4.10.3 沉积密度 59 2l+'p[b0> 4.10.4 平行和楔形介质 60 uuUjIZCtz 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 +K=RM qM-8 4.10.4 性能 61 x )q$.u+ 4.10.5 保存设计和性能 64 4Im}!q5;:< 4.10.6 默认设计 64 YSZ[~?+ 4.11 图表 64 f .h$jyp( 4.11.1 合并曲线图 67 *D7oHwDU 4.11.2 自适应绘制 68 =/xXB 4.11.3 动态绘图 68 (Zy=e?E, 4.11.4 3D绘图 69 LXe'{W+bk 4.12 导入和导出 73 Oh}@c~7; 4.12.1 剪贴板 73 e
[F33% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 a ?wg~|g 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;ov}%t>UD 4.13 背景 77 lnxA/[`a 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 !\&4,l( 4.15 生成Rugate 84 5'0kf7 4.16 参考文献 91 l4^8$@;s 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 O#U_mgfzJ 5.1 Jobs 92 }4>#s$.2 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \ItAc2,Fl 5.3 输入材料 94 RQn3y-N] 5.4 设计数据文件夹 95 }M\G 5.5 默认设计 95 C2%Yr y 6 细化和合成 97 rHtX4;f+>< 6.1 优化介绍 97 Xb*>7U/'T 6.2 细化 (Refinement) 98 A5dH*< } 6.3 合成 (Synthesis) 100 jmnrpXaAx 6.4 目标和评价函数 101 "w{,ndZ 6.4.1 目标输入 102 D_cd
l^ 6.4.2 目标 103 tbi(e49S 6.4.3 特殊的评价函数 104 _k
W:FB 6.5 层锁定和连接 104 %gx>| 6.6 细化技术 104 :&D$Q
4 6.6.1 单纯形 105 5 s2/YG= 6.6.1.1 单纯形参数 106 o&:n>:im 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 KTu&R6| 6.6.2.1 Optimac参数 108 $S!WW|9j. 6.6.3 模拟退火算法 109 O Bp/:] 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |a[ :L 6.6.4 共轭梯度 111 8"S?
Toqq 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ,}42]%$G 6.6.5 拟牛顿法 112 k+&1?] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ?{6[6T 6.6.6 针合成 113 S1n'r}z8 6.6.6.1 针合成参数 114 &($Zs'X 6.6.7 差分进化 114 bYH! P/ 6.6.8非局部细化 115 kOuQR$9s 6.6.8.1非局部细化参数 115 ud.Bzg:/ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 }GTy{Y*& 6.7.1 细化 116 _.Bite^ 6.7.2 合成 117 [?`c> 6.8 参考文献 117 ?|9$o/Q} 7 导纳图及其他工具 118 S$I:rbc 7.1 简介 118 eDSBs3k7H 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Q,`Y 7.2.1 四分之一波长规则 119 RsDI7v 7.2.2 导纳图 120 ;EfMTI}6K 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 H{T)?J~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,P d2ZfZ 7.5 斜入射导纳图 141 Fw5r\J87c 7.6 对称周期 141 /_554q 7.7 参考文献 142 MY["
zv 8 典型的镀膜实例 143 4[&6yHJ^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 2WOdTM{u 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 b\\?aR
| 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~+$l9~`{ 8.4 W-膜层 148 3^us;aOr 8.5 V-膜层 149 !J'xk 8.6 V-膜层高折射基底 150 `"CF/X^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 BWX&5"" 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 (<.1o_Q-LU 8.9 四层抗反射薄膜 153 aV(*BE/@F 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 a Ts_5q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^j=_=Km] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 7F'61}qL 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 1
)j%]zd2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 W3 8=fyD 8.15十五层宽带抗反射膜 159 IW1]H~1w 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $@&bK2@.( 8.17 1/4波长堆栈 162 s_Dl8O4u 8.18 陷波滤波器 163 h=4{.EegG& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 y~S[0]y> 8.20 褶皱 165 b8v$*{ 8.21 消偏振分光器1 169 T)Nis~ 8.22 消偏振分光器2 171 "iZ-AG!C 8.23 消偏振立体分光器 172 BkqIfV%O 8.24 消偏振截止滤光片 173 *,-YWx4 8.25 立体偏振分束器1 174 VBCj.dw 8.26 立方偏振分束器2 177 3P\I;xM 8.27 相位延迟器 178 Y]gt86 8.28 红外截止器 179 &gEu%s^wR 8.29 21层长波带通滤波器 180 X7 ZaQ . 8.30 49层长波带通滤波器 181 #i]@"R 8.31 55层短波带通滤波器 182 Dk"M8_-_ 8.32 47 红外截止器 183 Iw<c 9w8 8.33 宽带通滤波器 184 F#<PFT4i 8.34 诱导透射滤波器 186 #U_u~7?H$ 8.35 诱导透射滤波器2 188 J/=A f
[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *nC,=2 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 |(H|2]b4= 8.35 增益平坦滤波器 193 jN<]yhqf 8.38 啁啾反射镜 1 196 4*,q1yK 8.39 啁啾反射镜2 198 88*RlxU 8.40 啁啾反射镜3 199 'OihA^e 8.41 带保护层的铝膜层 200 qlxW@| 8.42 增加铝反射率膜 201 /g9{zR [ 8.43 参考文献 202 ^/BE=$E\ 9 多层膜 204 \9?<E[ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 eJA{]^Zf 9.2 内部透过率 204 [O)Zof 9.3 内部透射率数据 205 @/u`7FO$& 9.4 实例 206 F@lpjW 9.5 实例2 210 WuQYEbap 9.6 圆锥和带宽计算 212 &sgwY 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 prs<ZxbQb 10 光学薄膜的颜色 216 _Kj. 10.1 导言 216 oQXkMKZ 10.2 色彩 216 K{P#[X*5 10.3 主波长和纯度 220 . R}y"O\ 10.4 色相和纯度 221 #G=QL(f>/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 XOwMT,=Z) 10.6 色差 226 2ML6Lkk 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 gWo~o]f 10.8 颜色渲染指数 234 1Qu,]i` 10.9 色差计算 235 oI~Qo*4eh 10.10 参考文献 236 6)$N[FNs 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 LD~'^+W 11.1 短脉冲 238 hNo>)$v!s 11.2 群速度 239 &RrQ()<as 11.3 群速度色散 241 Kc\'s65.] 11.4 啁啾(chirped) 245 vxT"BvN 11.5 光学薄膜—相变 245 Lp)8SmN 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?|J+dW 11.7 色度色散 246 5(7MQuRR 11.8 色散补偿 249 :*'?Ac
? 11.9 空间光线偏移 256 _5w?v~6 5 11.10 参考文献 258 5 hadA>d 12 公差与误差 260 }C"*ACjF 12.1 蒙特卡罗模型 260 .l5 "X> 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 MxEAs}MDv 12.2.1 误差工具 267 ^!F5Cz 48 12.2.2 灵敏度工具 271
Z:J.FI@ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ?67I|@^ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 &E
riskI 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Zt2@?w; 12.3 参考文献 276 x<\D@X^ 13 Runsheet 与Simulator 277 *Yu\YjLPG 13.1 原理介绍 277 ' VEr4& 13.2 截止滤光片设计 277 :U. )YHY 14 光学常数提取 289 Q_0x6]/! 14.1 介绍 289 'b?.\Bm; 14.2 电介质薄膜 289 ZHF(q6T 14.3 n 和k 的提取工具 295 2C]la 14.4 基底的参数提取 302 t<k[W'# 14.5 金属的参数提取 306 6 _5d 14.6 不正确的模型 306 _RL-6jw#o 14.7 参考文献 311 :6j :9lYL2 15 反演工程 313 C{hcK 1-K 15.1 随机性和系统性 313 51M^yG&M 15.2 常见的系统性问题 314 %FyygT b;S 15.3 单层膜 314 "c/s/$k// 15.4 多层膜 314 LJ(n?/z% 15.5 含义 319 u[i7:V% 15.6 反演工程实例 319 d$_q=ywc 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $?)3&\)R 15.6.2 反演工程提取折射率 327 KHlIK`r 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 -[pCP_`)u 16.1 光学性质的热致偏移 329 3K#mF7)a 16.2 应力工具 335 crNjI`%tw 16.3 均匀性误差 339 0/:=wn^pg 16.3.1 圆锥工具 339 .b#9q6F-/ 16.3.2 波前问题 341 f>8B'%] 16.4 参考文献 343 t{X?PF\>o 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .IH@_iX 17.1 引言 345 #$t}T@t> 17.2 操作数 345 R#/?AD& 18 如何在Function中编写脚本 351 2>$F0
M 18.1 简介 351 L-z;:Ztk 18.2 什么是脚本? 351 X7H'Uk9: 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 CzSZ>E$%U 18.4 基础 352 <rB3[IJo 18.4.1 Classes(类别) 352 v\%B 18.4.2 对象 352 feI./E 18.4.3 信息(Messages) 352 5 o#<`_=J 18.4.4 属性 352 7$ =Y\P 18.4.5 方法 353 ~!ZmF(: 18.4.6 变量声明 353 _~;&)cn,0 18.5 创建对象 354 X&(<G 18.5.1 创建对象函数 355 )u8*zwq 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 <&5m N 18.5.3 丢弃对象 356 C,A!tj7@ 18.5.4 总结 356 V#0
dGP-Z 18.6 脚本中的表格 357 q^a|wTC 18.6.1 方法1 357 D XV@DQ 18.6.2 方法2 357 Vd+td;9( 18.7 2D Plots in Scripts 358 wG1y,u' 18.8 3D Plots in Scripts 359 bLgL0}=n 18.9 注释 360 L[?nST18% 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 e-X HN 18.11 一个更高级的脚本 362 i;o}o*= 18.12 <esc>键 364 x\hWyY6J[ 18.13 包含文件 365 I-b_h5ZD6 18.14 脚本被优化调用 366 J["H[T* 18.15 脚本中的对话框 368 |3}5:k 18.15.1 介绍 368 yu)q4C7ek 18.15.2 消息框-MsgBox 368 VeZey)Q 18.15.3 输入框函数 370 w*50ZS;N 18.15.4 自定义对话框 371 } h[>U 18.15.5 对话框编辑器 371 ?c!:81+\ 18.15.6 控制对话框 377 w
|_GV}#_ 18.15.7 更高级的对话框 380 0$6*o}N% 18.16 Types语句 384 dUS ZNY 18.17 打开文件 385 5m4DS:& 18.18 Bags 387 mjb{~ 18.13 进一步研究 388 #G_F`& 19 vStack 389 x(8n
9Q> 19.1 vStack基本原理 389 G.g|jP'n 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @mf({Q> 19.3 五棱镜 393 l&Z
Sm 19.4 光束距离 396 B'-I{~'/ 19.5 误差 399 7JUb Va% 19.6 二向分色棱镜 399 -ynBi;nH 19.7 偏振泄漏 404 @6 /yu>% 19.8 波前误差—相位 405 \fZiL!E^7 19.9 其它计算参数 405 brh=NAzt 20 报表生成器 406 fc@'9-pt 20.1 入门 406 -DP*q3 20.2 指令(Instructions) 406 $&hN*7Ts 20.3 页面布局指令 406 vJ"i.:Gf4 20.4 常见的参数图和三维图 407 s)zJT 20.5 表格中的常见参数 408 @w\I qr
20.6 迭代指令 408 ExVDkt0 20.7 报表模版 408 VO=!8Yx[ 20.8 开始设计一个报表模版 409 3`*Kav>" 21 一个新的project 413 `
#OSl 21.1 创建一个新Job 414 n[,XU|2 21.2 默认设计 415 ZF6c{~D 21.3 薄膜设计 416 }4&/VvN 21.4 误差的灵敏度计算 420 "
.4,." 21.5 显色指数计算 422 H4:&%"j7 21.6 电场分布 424 6cz/n8M g 后记 426 }rq9I"/L
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