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TF_wT28AU2 内容简介 >uLWfk+y1 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 zy'e|92aO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 /M2U7^9``" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 xTnFJ$RK2
nQ +$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 `_"loPu 目录 xyzYY}PS Preface 1 V*6o |# 内容简介 2 {e!3|&AX 目录 i yOTC>?p% 1 引言 1 L$t.$[~L 2 光学薄膜基础 2 4++
&P9 2.1 一般规则 2 "UYlC0 S\ 2.2 正交入射规则 3 TTagZI$ 2.3 斜入射规则 6 [zJ|61^ 2.4 精确计算 7
i"`N5 2.5 相干性 8 YQ|o0> 2.6 参考文献 10 -JfqY?Ue_2 3 Essential Macleod的快速预览 10 Yr)<1.K4,M 4 Essential Macleod的特点 32 Bv xLbl} 4.1 容量和局限性 33 !&adO,jN+= 4.2 程序在哪里? 33 {zIcEN$ ~ 4.3 数据文件 35 +aQM %~ 4.4 设计规则 35 2WUl8?f2Y 4.5 材料数据库和资料库 37 oM^VtH=> 4.5.1材料损失 38 .^xQtnq 4.5.1材料数据库和导入材料 39 f
= 'AI 4.5.2 材料库 41 RF[Uy?es 4.5.3导出材料数据 43 +[Izz~_p 4.6 常用单位 43 ~K@p`CRbV 4.7 插值和外推法 46 :z-?L0C=0 4.8 材料数据的平滑 50 uCHM 4.9 更多光学常数模型 54 }ijFvIHV 4.10 文档的一般编辑规则 55 "_0sW3rG 4.11 撤销和重做 56 9\Md.> 4.12 设计文档 57 B7.<A#y2 4.10.1 公式 58 3Yf~5csY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 PDpuHHB 4.10.3 沉积密度 59 14`S9SL{V 4.10.4 平行和楔形介质 60 \E1CQP- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .6c
Bx 4.10.4 性能 61 p`Ok(C_ 4.10.5 保存设计和性能 64 6!@p$ pm)a 4.10.6 默认设计 64 ]+5Y\~I 4.11 图表 64 G0u
H6x? 4.11.1 合并曲线图 67 [(; .D 4.11.2 自适应绘制 68 T"DG$R,Aj 4.11.3 动态绘图 68 |RH^|2:x9Q 4.11.4 3D绘图 69 /Yj; '\3 4.12 导入和导出 73 !{F\\D/ 4.12.1 剪贴板 73 XnKf<|j6k 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 uHuL9Q^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &,QBJx<# 4.13 背景 77 qzWnl[3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 \I7&F82e 4.15 生成Rugate 84 I@kMM12>c 4.16 参考文献 91 _D{{C 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 4}t$Lf_ 5.1 Jobs 92 &hEkm 5.2 创建一个新Job(工作) 93 h
^Wm03w 5.3 输入材料 94 s(:N>K5* 5.4 设计数据文件夹 95 =)f.Yf|A* 5.5 默认设计 95 nTE\EZ+=2 6 细化和合成 97 v2ab84
C* 6.1 优化介绍 97 je74As[ 6.2 细化 (Refinement) 98 ^YB3$:@$U 6.3 合成 (Synthesis) 100 r.' cjUs 6.4 目标和评价函数 101 |[@v+koq 6.4.1 目标输入 102 -+0!Fkt@, 6.4.2 目标 103 _6`H`zept 6.4.3 特殊的评价函数 104 ;?{OX 6.5 层锁定和连接 104 L2%npps 6.6 细化技术 104 Yq:+.UU 6.6.1 单纯形 105 fM3ZoH/ 6.6.1.1 单纯形参数 106
8#|PJc 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 L4<=,}KS 6.6.2.1 Optimac参数 108 brdY97s4 6.6.3 模拟退火算法 109 qhmA)AWG> 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ,IPryI 6.6.4 共轭梯度 111 {tuGkRY2~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E8.1jCL>{" 6.6.5 拟牛顿法 112 CtHsi8m 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 op,mP0b 6.6.6 针合成 113 EdCcnl?R6 6.6.6.1 针合成参数 114 t?FPmbjv 6.6.7 差分进化 114 W
. dm1 6.6.8非局部细化 115 ^=
'+#|: 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~,{nBp9* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 wx^1lC2 6.7.1 细化 116 ej[Y
`N 6.7.2 合成 117 r#c+{yY 6.8 参考文献 117 m, SWG[~ 7 导纳图及其他工具 118 t x1(6V&l; 7.1 简介 118 2SYV2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 :+ AqY(Gz 7.2.1 四分之一波长规则 119 :&m0eZZ% 7.2.2 导纳图 120 npcL<$<6X 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 960rbxKy3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 9 j1
tcT 7.5 斜入射导纳图 141 (o8?j^ -v 7.6 对称周期 141 b|U3\Fmc 7.7 参考文献 142 \P9HAz'6 8 典型的镀膜实例 143 Ns-3\~QSi 8.1 单层抗反射薄膜 145 #rx@
2zi 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?r R,
h{~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 @qB1:==@7 8.4 W-膜层 148 FD^s5>"Y+ 8.5 V-膜层 149 E>rWm_G 8.6 V-膜层高折射基底 150 Cce{aY 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 :2MHx}]il 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A"T*uv| 8.9 四层抗反射薄膜 153 #po}Y 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 s
]Db<f 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5x}OrfDU 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 I< Rai" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 **Q
K}j[D 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 zqb3<WP" 8.15十五层宽带抗反射膜 159 -;t]e6[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 6E.64+PJw 8.17 1/4波长堆栈 162 5OX5\#Ux 8.18 陷波滤波器 163 ysQ8==`38i 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^BQ*l5K 8.20 褶皱 165 S.NLxb/ 8.21 消偏振分光器1 169 .8Gmy07 8.22 消偏振分光器2 171 \"mLLnK?
8.23 消偏振立体分光器 172 !J+< M~o} 8.24 消偏振截止滤光片 173 ~f]I0FK 8.25 立体偏振分束器1 174 e[J0+
x#;r 8.26 立方偏振分束器2 177 3,{tGNl| 8.27 相位延迟器 178 q/t~`pH3 8.28 红外截止器 179 A[X~:p.^G 8.29 21层长波带通滤波器 180 \B
D'" 8.30 49层长波带通滤波器 181 YGr^uTQb 8.31 55层短波带通滤波器 182 S-)%# 8.32 47 红外截止器 183 I)F3sS45} 8.33 宽带通滤波器 184 ;PhX[y^* 8.34 诱导透射滤波器 186 D[R<H(( 8.35 诱导透射滤波器2 188 UP |#WegO 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 [<7Vv_\Q 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 +#R<emW 8.35 增益平坦滤波器 193 7I<] ;j 8.38 啁啾反射镜 1 196 )qx,>PL 8.39 啁啾反射镜2 198 b7? 2Pu 8.40 啁啾反射镜3 199 s1NRUV2E 8.41 带保护层的铝膜层 200 -4'yC_8t 8.42 增加铝反射率膜 201 }mSfg 8.43 参考文献 202 +BE_K_56 9 多层膜 204 0YVkq?1x9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 e{33%5 9.2 内部透过率 204 IMay`us]:8 9.3 内部透射率数据 205 / =2 9.4 实例 206 N5:muh
\
9.5 实例2 210 vd'd@T 9.6 圆锥和带宽计算 212 e6WKZ~
vo 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 J|2OmbJ e 10 光学薄膜的颜色 216 ^gD%#3>X 10.1 导言 216 >E`p@
e+ 10.2 色彩 216 @( H 10.3 主波长和纯度 220 ce\ F~8y 10.4 色相和纯度 221 zg83->[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 {^VvL'n 10.6 色差 226 P2;I0 ! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 tJ,x>s?Y 10.8 颜色渲染指数 234 -(fvb 10.9 色差计算 235 #D&]5"0cX 10.10 参考文献 236 xl~%hwBd 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ;n,@[v 11.1 短脉冲 238 9@."Y>1G 11.2 群速度 239 DIurFDQSS 11.3 群速度色散 241 uM9[ 11.4 啁啾(chirped) 245 vQpR0IEf]e 11.5 光学薄膜—相变 245 v"&Fj 11.6 群延迟和延迟色散 246 :LwNOuavN 11.7 色度色散 246 51k^?5cO 11.8 色散补偿 249 c~+;P(> 11.9 空间光线偏移 256 U ExK|t 11.10 参考文献 258 Zom7yI 12 公差与误差 260 Cq,ox'kGl 12.1 蒙特卡罗模型 260 d8? }69:h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,S i23S\ 12.2.1 误差工具 267 {D
jz']
12.2.2 灵敏度工具 271 o(I[_oUy\ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 @P^8?!i+ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 @]H:=Q'gj 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 tGs=08` 12.3 参考文献 276 .Qp 5wCkM 13 Runsheet 与Simulator 277 D$RQD{* 13.1 原理介绍 277 @,63% 13.2 截止滤光片设计 277 D+.h*{gD 14 光学常数提取 289 U>z8gdzu 14.1 介绍 289 "s]c79t 14.2 电介质薄膜 289 rI5)w_E? 14.3 n 和k 的提取工具 295 \Om<
FH} 14.4 基底的参数提取 302 I
=t{ u; 14.5 金属的参数提取 306 ':fq 14.6 不正确的模型 306 $:%?-xy( 14.7 参考文献 311 + (cTzY 15 反演工程 313 ~5HI9A4^ 15.1 随机性和系统性 313 k@eU #c5c 15.2 常见的系统性问题 314 Mlp[xk| 15.3 单层膜 314 tIgKnKr^) 15.4 多层膜 314 Z%Nl<i 15.5 含义 319 mACj>0Z' 15.6 反演工程实例 319 O7shY4 Sr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 a r#p7N 15.6.2 反演工程提取折射率 327 J>P{8Aw 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 L_.BcRy 16.1 光学性质的热致偏移 329 >Rw[ x 16.2 应力工具 335 kne{Tp 16.3 均匀性误差 339 dFF [2 16.3.1 圆锥工具 339 h'x|yy]@3 16.3.2 波前问题 341 P+sxlf:0 16.4 参考文献 343 +'H_sMmi{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ldo7}<s 17.1 引言 345 H[guJ)4#@ 17.2 操作数 345 A+T!DnVof 18 如何在Function中编写脚本 351 N9D<wAK##) 18.1 简介 351 <a |$Bl 18.2 什么是脚本? 351 kL,{H~iq; 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 WlF"[mU- 18.4 基础 352 |2\6X's 18.4.1 Classes(类别) 352 wj/\!V! 18.4.2 对象 352 8YAUy\ 18.4.3 信息(Messages) 352
c<j2wKz 18.4.4 属性 352 ~jb6 18.4.5 方法 353 q"5iza__H 18.4.6 变量声明 353 :luVsQ 18.5 创建对象 354 /'IOi`d 18.5.1 创建对象函数 355 5tg 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 9cAb\5c| 18.5.3 丢弃对象 356 %_wX9ZT 18.5.4 总结 356 5B!l6ST 18.6 脚本中的表格 357 \iAkF`OC 18.6.1 方法1 357 ,V3P.ni] 18.6.2 方法2 357 ^0R.U+?+ 18.7 2D Plots in Scripts 358 V+X>t7.Q 18.8 3D Plots in Scripts 359 D;It0" 18.9 注释 360 'H2TwSbIXI 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ^c}Z$V 18.11 一个更高级的脚本 362 RF
4u\ \ 18.12 <esc>键 364 ^WP`;e 18.13 包含文件 365 F_=RY] 18.14 脚本被优化调用 366 o~,dkV 18.15 脚本中的对话框 368 RV5X0 18.15.1 介绍 368 E)m{m$Hb 18.15.2 消息框-MsgBox 368 7</&=lly 18.15.3 输入框函数 370 IMjnj|Fj 18.15.4 自定义对话框 371 Ns2M8 18.15.5 对话框编辑器 371 bo rt2k 18.15.6 控制对话框 377 wxXp(o( 18.15.7 更高级的对话框 380 {%xwoMVc+ 18.16 Types语句 384 p q7G[ 18.17 打开文件 385 ~k?7XF I 18.18 Bags 387 :3$WY< 18.13 进一步研究 388 _h!OGLec 19 vStack 389 NH$a :> 19.1 vStack基本原理 389 NyI0[]z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 yHl1:cf(y 19.3 五棱镜 393 }<o.VY&;. 19.4 光束距离 396 @ 9D, f 19.5 误差 399 f(
5c 19.6 二向分色棱镜 399 Y"~I(,nx! 19.7 偏振泄漏 404 R+FBCVU&TJ 19.8 波前误差—相位 405 ;1&%Wj"d 19.9 其它计算参数 405 =vMFCp;mv 20 报表生成器 406 &Vfdq6Y] 20.1 入门 406 LFob1HH*8 20.2 指令(Instructions) 406 n1`D:XrE 20.3 页面布局指令 406 1u7Kc'.xc 20.4 常见的参数图和三维图 407 mL`,v
WL/` 20.5 表格中的常见参数 408 `:!mPNW# 20.6 迭代指令 408 eKNZ?!c= 20.7 报表模版 408 jXkz,]Iy 20.8 开始设计一个报表模版 409 m'k.R
j 21 一个新的project 413 tvynl;Y/ 21.1 创建一个新Job 414
XeDiiI 21.2 默认设计 415 NS@j`6/U 21.3 薄膜设计 416 N"/jn_>+j 21.4 误差的灵敏度计算 420 l=U@j
T 21.5 显色指数计算 422 5G cdz 21.6 电场分布 424 u
HqP b8 后记 426 cq+|fg~Yy 有兴趣扫码加微 %Kx:'m%U | ?3\xw
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