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Pz]bZPHn 内容简介 eyeNrk*2o Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 E`Jp(gK9F 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 jWH{;V&ZV 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 qQfqlD< jM5_8nS&d 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 (Wd_G-da 目录 ?HrK\f3wWO Preface 1 b8J@K" 内容简介 2 ;^R A!Nj 目录 i B{7Kzwh; 1 引言 1 lGdM80f 2 光学薄膜基础 2 C#MFpT 2.1 一般规则 2 m#oh?@0} 2.2 正交入射规则 3 YfE>Pn'r 2.3 斜入射规则 6 t"<s} ~ 2.4 精确计算 7 3@^MvoC 2.5 相干性 8 ;i<$7MR.e 2.6 参考文献 10 fCgBH~w,9 3 Essential Macleod的快速预览 10 01U
*_\ 4 Essential Macleod的特点 32 wYZT D*A2h 4.1 容量和局限性 33 G9DJa_]X 4.2 程序在哪里? 33 2R^O,Vu*W 4.3 数据文件 35 J+Q+&-a 4.4 设计规则 35 drW~)6Lr@ 4.5 材料数据库和资料库 37 N>+ P WE$ 4.5.1材料损失 38 exfmq 4.5.1材料数据库和导入材料 39 W7H&R, 4.5.2 材料库 41 V,V*30K5 4.5.3导出材料数据 43 q`XW5VV{K 4.6 常用单位 43 <&4nOt 4.7 插值和外推法 46 <0CzB"Ap 4.8 材料数据的平滑 50 !Citzor 4.9 更多光学常数模型 54 #@ 9)h 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]b 3/Es+ 4.11 撤销和重做 56 >A-<ZS*N 4.12 设计文档 57 6gXIt9B.h$ 4.10.1 公式 58 2ck4C/ h 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 4|`Yz%' 4.10.3 沉积密度 59 i=YXKe6fD 4.10.4 平行和楔形介质 60 vu=me?m?( 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 K*~]fy 4.10.4 性能 61 lWW+5 4.10.5 保存设计和性能 64 t)` p@]j 4.10.6 默认设计 64 `>s7M.|X 4.11 图表 64 *myG"@P4hW 4.11.1 合并曲线图 67 nSS>\$ 4.11.2 自适应绘制 68 c! @F 4.11.3 动态绘图 68 gw"~RV0 4.11.4 3D绘图 69 _5mc(' 4.12 导入和导出 73 Z1M>-[j) 4.12.1 剪贴板 73 $f#agq_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >&OUGu| 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 *I0Tbc
O 4.13 背景 77 PocYFhWQ` 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~3gru>qI& 4.15 生成Rugate 84 &-M]xo^ 4.16 参考文献 91 \i!Son.< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 EFAGP${F 5.1 Jobs 92 Y2C9(Zk
U 5.2 创建一个新Job(工作) 93 &rp!%]+xAM 5.3 输入材料 94 d6`OXTD 5.4 设计数据文件夹 95 Z?oG*G: 5.5 默认设计 95 qos`!=g? 6 细化和合成 97 [*)Z!) 6.1 优化介绍 97 yPV'pT) 6.2 细化 (Refinement) 98 ZU^IH9 6.3 合成 (Synthesis) 100 FW8-'~ 6.4 目标和评价函数 101 3J{vt"dS 6.4.1 目标输入 102 ,w{m3;]_% 6.4.2 目标 103 1j0 -9Kg' 6.4.3 特殊的评价函数 104 9XX>A* 6.5 层锁定和连接 104 9AHSs,.t 6.6 细化技术 104 _tAQ=eBO 6.6.1 单纯形 105
1S0pd-i 6.6.1.1 单纯形参数 106 HG%Z"d 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 e*C6uz9N 6.6.2.1 Optimac参数 108 'xnnLCm. 6.6.3 模拟退火算法 109 S_v(S^x6 6.6.3.1 模拟退火参数 109 /-4$7qd 6.6.4 共轭梯度 111 *f5l=lDOB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &.Q8Mi
aT 6.6.5 拟牛顿法 112 [3N[i(Wlk 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 w5KPB5/zu 6.6.6 针合成 113 u=r`t(Z1H 6.6.6.1 针合成参数 114 #`;/KNp 9 6.6.7 差分进化 114 2 -Xdoxw 6.6.8非局部细化 115 Wkzs<y" 6.6.8.1非局部细化参数 115 5l DFp9 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Z{R[Wx 6.7.1 细化 116 ]3B %8 6.7.2 合成 117 |.P/:e9 6.8 参考文献 117 w~Ff%p@9 7 导纳图及其他工具 118
4f^C\i+q 7.1 简介 118 @]HXP_lyD/ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 \*0yaSQF 7.2.1 四分之一波长规则 119 U47}QDh 7.2.2 导纳图 120 8' K0L(3[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
npp[@*~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 &\C [@_ 7.5 斜入射导纳图 141 R}:KE&tq 7.6 对称周期 141 g~S)aU\:, 7.7 参考文献 142 k~3.MU 8 典型的镀膜实例 143 -n5
B)uw= 8.1 单层抗反射薄膜 145 re &E{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ,xI%A,
(,; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 B[5r|d' 8.4 W-膜层 148 ;AJTytE>% 8.5 V-膜层 149 7=XL!:P 8.6 V-膜层高折射基底 150 %XTcP2pRJ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 4~z?" 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 &<pKx! 8.9 四层抗反射薄膜 153 3WY$WRv 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 aqU'
T 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Avlz=k1* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <spZ! #o 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Yw;D:Y( 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 r\`+R" 8.15十五层宽带抗反射膜 159 F^k.is
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 sJ
z@7. 8.17 1/4波长堆栈 162 $2~\eG=u H 8.18 陷波滤波器 163
IJIzXU 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 >q~l21dUi 8.20 褶皱 165 M$Zo.Bl$( 8.21 消偏振分光器1 169 f~{}zGTM: 8.22 消偏振分光器2 171 MZJ]Dwt] 8.23 消偏振立体分光器 172 <M]h{BS= 8.24 消偏振截止滤光片 173 8ho[I] 8.25 立体偏振分束器1 174 9@ 16w 8.26 立方偏振分束器2 177 '3IC*o" 8.27 相位延迟器 178 `qVjwJ!+ 8.28 红外截止器 179 fq[;%cr4 8.29 21层长波带通滤波器 180 SJt<+kg 8.30 49层长波带通滤波器 181 _ee
dBpV 8.31 55层短波带通滤波器 182 RP5+d 8.32 47 红外截止器 183 4)>FS'= 8.33 宽带通滤波器 184 F}GPZ=T; 8.34 诱导透射滤波器 186 ] b9-k 8.35 诱导透射滤波器2 188 kql0J|P? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 )vg5((C 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 P|tNL}2`; 8.35 增益平坦滤波器 193 Wo~vhv$E 8.38 啁啾反射镜 1 196 l7{oi! 8.39 啁啾反射镜2 198 /walu+]h 8.40 啁啾反射镜3 199 JO<wK 8.41 带保护层的铝膜层 200 !\8 ;d8 8.42 增加铝反射率膜 201 7pA/ 8.43 参考文献 202 Cv
ejb+ 9 多层膜 204 0$+fkDf 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 A\_ |un% 9.2 内部透过率 204 vDl- "!G1 9.3 内部透射率数据 205 oh"O07 9.4 实例 206 <s5qy- 9.5 实例2 210 ~_IHaw$hg 9.6 圆锥和带宽计算 212 v:Tzv^ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 e!Y0-=?nf# 10 光学薄膜的颜色 216 jcNT<}k
C 10.1 导言 216 iy.2A!f^. 10.2 色彩 216 :c9U>1`g& 10.3 主波长和纯度 220 3p2P=
T 10.4 色相和纯度 221 V7G7&' 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 lv vs%@b> 10.6 色差 226 7QKr_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 53-v|'9' 10.8 颜色渲染指数 234 ac kqH+' 10.9 色差计算 235 "H-" 10.10 参考文献 236 wn_b[tdxq 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #P]#9Ty: 11.1 短脉冲 238 >9RD_QG7 11.2 群速度 239 w.,Q1\*rPp 11.3 群速度色散 241 LK6; ?m 11.4 啁啾(chirped) 245 )o-Q!<*1 11.5 光学薄膜—相变 245 ZxV"(\$n 11.6 群延迟和延迟色散 246 I$E.s*B9 11.7 色度色散 246 b@3_L4~ 11.8 色散补偿 249 pfu1O6R 11.9 空间光线偏移 256 h~{aGo 11.10 参考文献 258 H$G0`LP0/a 12 公差与误差 260 DvvT?K 12.1 蒙特卡罗模型 260 ) ri}nL. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?4H i- 12.2.1 误差工具 267 2I*;A5$N1 12.2.2 灵敏度工具 271
Bs?7:kN( 12.2.2.1 独立灵敏度 271 /Q~gU< 12.2.2.2 灵敏度分布 275 HB
Iip? 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Y"-^%@|p 12.3 参考文献 276 L?5Ck<!xG 13 Runsheet 与Simulator 277 '*\|;l#1 13.1 原理介绍 277 "#( T 13.2 截止滤光片设计 277 ;<G=M2 14 光学常数提取 289 F(na{<g}; 14.1 介绍 289 L\y;LSTU 14.2 电介质薄膜 289 Qne/g}PD` 14.3 n 和k 的提取工具 295 h3dsd 14.4 基底的参数提取 302 0b4R 14.5 金属的参数提取 306 It2" x; 14.6 不正确的模型 306 u,}{I}x_ 14.7 参考文献 311 vjjSKP6B 15 反演工程 313 u%~igt@x 15.1 随机性和系统性 313 &\apwD 15.2 常见的系统性问题 314 CHV*vU<N 15.3 单层膜 314 7 ^w >Rj 15.4 多层膜 314 JK.ZdY% 15.5 含义 319 p~*UpU8u 15.6 反演工程实例 319 ,t\* ZTt$ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 \GHiLs,! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 V+I|1{@i0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 i1S>yV^l 16.1 光学性质的热致偏移 329 2h[85\4 16.2 应力工具 335 [HCAmnb 16.3 均匀性误差 339 keB&Bjd& 16.3.1 圆锥工具 339 {uGP&cS~( 16.3.2 波前问题 341 P(t[
eXe 16.4 参考文献 343 < yC 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &3yD_P_3 17.1 引言 345 hs}8xl 17.2 操作数 345 n u'M
39{ 18 如何在Function中编写脚本 351 qhT@;W/X 18.1 简介 351 Zh_|m#) 18.2 什么是脚本? 351 R'S0 zp6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 271&i 18.4 基础 352 -!c"k}N= 18.4.1 Classes(类别) 352 qIld;v8w"g 18.4.2 对象 352 T0&f8 18.4.3 信息(Messages) 352 C-iK$/U 18.4.4 属性 352 ;]_o4e6\p 18.4.5 方法 353 [,TkFbDq"J 18.4.6 变量声明 353 {J^lX/D 18.5 创建对象 354 n> ^[T[.S 18.5.1 创建对象函数 355 1UKg=A-q 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 (
H6c{'& 18.5.3 丢弃对象 356 }N*_KzPIa 18.5.4 总结 356 1 5A*7| 18.6 脚本中的表格 357 }!6\|;Qsz, 18.6.1 方法1 357 D$T%\
P 18.6.2 方法2 357 n_'s=] ~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 NMA}Q$o
s 18.8 3D Plots in Scripts 359 YfRkwKjy( 18.9 注释 360 C:Hoq( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 wQRZ"ri, 18.11 一个更高级的脚本 362 e*L.U~ZR 18.12 <esc>键 364 >Jp:O
7 18.13 包含文件 365 8jyG"%WO 18.14 脚本被优化调用 366 3;a<_cE*@ 18.15 脚本中的对话框 368 48Mpf=f` 18.15.1 介绍 368 ` \+@Fwfx 18.15.2 消息框-MsgBox 368 p ZZc:\fJ 18.15.3 输入框函数 370 7^g&)P 18.15.4 自定义对话框 371 sVl-N&/ 18.15.5 对话框编辑器 371 CP6LHkM9 18.15.6 控制对话框 377 'D@- 18.15.7 更高级的对话框 380 9D4NX<_ 18.16 Types语句 384 '{(UW.Awo 18.17 打开文件 385 ;6!Pwb;hY 18.18 Bags 387 <A#
l
35 18.13 进一步研究 388 /RMPS.
d
{ 19 vStack 389 !tp1:'KG 19.1 vStack基本原理 389 $H-!j%hV 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 AhNq/?Q Q~ 19.3 五棱镜 393 >$ e9igwe 19.4 光束距离 396 5:kH;/U 19.5 误差 399 G8;w{-{m 19.6 二向分色棱镜 399 bP^Je&nS* 19.7 偏振泄漏 404 ;v$4$D]L 19.8 波前误差—相位 405 =dFv/F/RW 19.9 其它计算参数 405 PP!SK2u"L 20 报表生成器 406 l~M_S<4n 20.1 入门 406 vPD]hs 20.2 指令(Instructions) 406 [h,Q Bz 20.3 页面布局指令 406 n-%s8aaVf 20.4 常见的参数图和三维图 407 Z"AQp _ 20.5 表格中的常见参数 408 >hr{JJe 20.6 迭代指令 408 %%4t~XC# 20.7 报表模版 408 Uy$)%dYfq5 20.8 开始设计一个报表模版 409 3%E74 mOcD 21 一个新的project 413 u07pq4Ly 21.1 创建一个新Job 414 X#e1KZ 21.2 默认设计 415 ,JEFGI{ 21.3 薄膜设计 416 rW0FA 21.4 误差的灵敏度计算 420 B4mR9HMh 21.5 显色指数计算 422 HTyLJe 21.6 电场分布 424 B|&"#Q 后记 426 /IM#.v
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