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mUA!GzJ~u- 内容简介 '-X[T} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 s k_TKN`+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 }iIZA>eF 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 J~}sQ{ 0 zCji]: 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 z|bAZKSRYx 目录 ;-kC&GZf Preface 1 O#MaZ.= 内容简介 2 :_k5[KT.]9 目录 i L0.F}~S 1 引言 1 vB<9M-sa0 2 光学薄膜基础 2 @B\$
me 2.1 一般规则 2 {'cm;V+ 2.2 正交入射规则 3 2:oAS 2.3 斜入射规则 6 z94#:jPmG 2.4 精确计算 7 `:.a5 2.5 相干性 8 n{$! ]^> 2.6 参考文献 10 B@k2lHks( 3 Essential Macleod的快速预览 10 F/
o }5H 4 Essential Macleod的特点 32 3!M|Sf<s 4.1 容量和局限性 33 dOX"7kZ 4.2 程序在哪里? 33 >npTUOGL=n 4.3 数据文件 35 [,L>5:T 4.4 设计规则 35 >t#5eT`_ w 4.5 材料数据库和资料库 37 fU<_bg 4.5.1材料损失 38 G4rd<V0[D 4.5.1材料数据库和导入材料 39 S ^]mF>xX8 4.5.2 材料库 41 (&MtK1;; 4.5.3导出材料数据 43 +I3j2u8L 4.6 常用单位 43 BEtFFi6ot 4.7 插值和外推法 46 ;F|8#! ( 4.8 材料数据的平滑 50 X'{o/U. 4.9 更多光学常数模型 54 nc3usq 4.10 文档的一般编辑规则 55 "^Vnnb:Z*o 4.11 撤销和重做 56 I;Pd}A_}=_ 4.12 设计文档 57 |@5G\N - 4.10.1 公式 58 % oJH 6F 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 RiG]-K: 4.10.3 沉积密度 59 #(}'G* 4.10.4 平行和楔形介质 60 `y>BbJqy 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 H1c>3c 4.10.4 性能 61 6<fcG 4.10.5 保存设计和性能 64 :.=#U 4.10.6 默认设计 64 %mAwK<MY` 4.11 图表 64 <ivq}(%72 4.11.1 合并曲线图 67 {8 # 4.11.2 自适应绘制 68 j1HeX 4.11.3 动态绘图 68 VpX*l3 4.11.4 3D绘图 69 !i_~<6Wa7 4.12 导入和导出 73 3"Zc|Ck <? 4.12.1 剪贴板 73
RK/>5 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 `-MCI)Fq_R 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 5(thDZ ! 4.13 背景 77 b#-=Dbe 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 r:M0#
2 4.15 生成Rugate 84 JFdMYb 4.16 参考文献 91 .P#t"oW} 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 i0u`J 5.1 Jobs 92 K5 EJ#1ov 5.2 创建一个新Job(工作) 93 5/R
~<z 5.3 输入材料 94 yU>ucuF 5.4 设计数据文件夹 95 q'9; 5.5 默认设计 95 H#M;TjR 6 细化和合成 97 [HhaBy9 6.1 优化介绍 97 %%9T-+T 6.2 细化 (Refinement) 98 H2'djZ 6.3 合成 (Synthesis) 100 a4XK.[O 6.4 目标和评价函数 101 >y+?Sz! 6.4.1 目标输入 102 Wcbm,O4u 6.4.2 目标 103 .pG`/[*a 6.4.3 特殊的评价函数 104 kzVK%[/ 6.5 层锁定和连接 104 ^fV-m&F)K* 6.6 细化技术 104 FE1'MUT_ 6.6.1 单纯形 105 =QIu3%& 6.6.1.1 单纯形参数 106 I+QM":2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 w\M"9T 6.6.2.1 Optimac参数 108 [b3$em<^JV 6.6.3 模拟退火算法 109 e5D\m g) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Tv `& 6.6.4 共轭梯度 111 r)B55;*Fh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 W6RjQ1 6.6.5 拟牛顿法 112 9VMk? 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 <E:_9#Z0sc 6.6.6 针合成 113 (Vn3g ra 6.6.6.1 针合成参数 114 H6Ytp^~> 6.6.7 差分进化 114 oBs5xH7@- 6.6.8非局部细化 115 A@;{#.O 6.6.8.1非局部细化参数 115 ZENblh8fs 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ']d(m? 6.7.1 细化 116 (Q.tH 6.7.2 合成 117 Y-,S_59 6.8 参考文献 117 G5lBCm 7 导纳图及其他工具 118 #=72/[ 7.1 简介 118 7q:;3;"9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 "([lkn 7.2.1 四分之一波长规则 119 AF,;3G 7.2.2 导纳图 120 _Ea1;dJmq 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3EH@tlTl 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 nm)/BK 7.5 斜入射导纳图 141 3T>6Q#W5eO 7.6 对称周期 141 i ~)V>x 7.7 参考文献 142 "Xl"H/3r 8 典型的镀膜实例 143 O_ vH w^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 +HjSU2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 / 8u}VYE 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4;(W0RQa 8.4 W-膜层 148 VCT1GsnE 8.5 V-膜层 149 LoOw]@> 8.6 V-膜层高折射基底 150 9Z"WV5o 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 zn0%%x+!g 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 m8eoD{ 8.9 四层抗反射薄膜 153 !|
q19$ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 FE:}D;$ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 P)~olrf 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \^!<Y\\ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 sxdDI?W4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 eT?vZH[N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {DE4PE` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 E 0OHl 8.17 1/4波长堆栈 162 R*lq.7
8.18 陷波滤波器 163 A;e"_$yt8 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 K.Cx 9 8.20 褶皱 165 n\$.6
_@x 8.21 消偏振分光器1 169 T hVq5 8.22 消偏振分光器2 171 #MviO!@ 8.23 消偏振立体分光器 172 x]608I
T 8.24 消偏振截止滤光片 173 .4Mc4' 8.25 立体偏振分束器1 174 BqavI&1= 8.26 立方偏振分束器2 177 MM&qLAa"f 8.27 相位延迟器 178 .3SP#mI 8.28 红外截止器 179 iszVM 8.29 21层长波带通滤波器 180 Yf1%7+V35 8.30 49层长波带通滤波器 181 2+K-I 8.31 55层短波带通滤波器 182 o*[[nK*fL 8.32 47 红外截止器 183 VkId6k:>6C 8.33 宽带通滤波器 184 H2+V1J= 8.34 诱导透射滤波器 186 d6zq,x!cI 8.35 诱导透射滤波器2 188 \ >#y*W< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2ppJ;P{k 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0}e&ONDQ 8.35 增益平坦滤波器 193 )/z+W[t 8.38 啁啾反射镜 1 196 #wGOlW;R 8.39 啁啾反射镜2 198 d7Z$/ $ 8.40 啁啾反射镜3 199 UI wTf2B 8.41 带保护层的铝膜层 200 ,0i72J 8.42 增加铝反射率膜 201 ,0?3k 8.43 参考文献 202 \=(U tro 9 多层膜 204 >QBDxm 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 @[5] ?8\o 9.2 内部透过率 204 MEtKFC|p 9.3 内部透射率数据 205 TUQe.oAi 9.4 实例 206 !1<>][F 9.5 实例2 210 JaN53,&< 9.6 圆锥和带宽计算 212 }9Q<<a 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 qIO)<5\[%d 10 光学薄膜的颜色 216 Xx^v%[!`+ 10.1 导言 216 +@do<2l] 10.2 色彩 216 4EhWK;ra
10.3 主波长和纯度 220 SPINV. 10.4 色相和纯度 221 xfqU
atC 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 )<T2J0* 10.6 色差 226 QQ99sy 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 bGik~ 10.8 颜色渲染指数 234 h3p~\%^ 10.9 色差计算 235 1R#1Fy% 10.10 参考文献 236 uTmT'u:} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 h~#.s*0.F 11.1 短脉冲 238 :|=Xh"l" 11.2 群速度 239 *{=q:E$ 11.3 群速度色散 241 ]w!=1( 11.4 啁啾(chirped) 245 k[1w] l8 11.5 光学薄膜—相变 245 T6=~vOzTJ 11.6 群延迟和延迟色散 246 sb%l N 11.7 色度色散 246 [t]q#+Zs 11.8 色散补偿 249 Gx(%AB~9$ 11.9 空间光线偏移 256 2K2*UC`f 11.10 参考文献 258 ASr3P5/ 12 公差与误差 260 a*o k*r 12.1 蒙特卡罗模型 260 s)9sbJ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 %z["TVH 12.2.1 误差工具 267 :Lq=)'d;6 12.2.2 灵敏度工具 271 ::Pf\Lb> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Bs<LJzS{V 12.2.2.2 灵敏度分布 275 8qs8QK 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =jvN8R*[ 12.3 参考文献 276 0"u=g)3 13 Runsheet 与Simulator 277 .1[pO_ 13.1 原理介绍 277 LhKUZX,P8 13.2 截止滤光片设计 277 4Gsq)i17j 14 光学常数提取 289 (FOJHjtkM 14.1 介绍 289 h6e,w$IL 14.2 电介质薄膜 289 sV`XJ9e| 14.3 n 和k 的提取工具 295 1<wolTf 14.4 基底的参数提取 302 ^bXCYkx 14.5 金属的参数提取 306 'WoB\y569 14.6 不正确的模型 306 >V@,K z1 14.7 参考文献 311 .u;'eVH)a} 15 反演工程 313 6`)Ss5jzk 15.1 随机性和系统性 313 PjU.4aZ 15.2 常见的系统性问题 314 w1t0X{ 15.3 单层膜 314 lDG.\u 15.4 多层膜 314 BWsD~Ft 15.5 含义 319 5K|s]Y; 15.6 反演工程实例 319 Oz.Zxw 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 'h{DjNSM
15.6.2 反演工程提取折射率 327 ~VJP:Y{[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 SSr2K 16.1 光学性质的热致偏移 329 Y1 6pT 16.2 应力工具 335 `aaT
#r 16.3 均匀性误差 339 A
Zv| |8p 16.3.1 圆锥工具 339 Nv\<>gA: 16.3.2 波前问题 341 H=5#cPI#(^ 16.4 参考文献 343 :']O4v#^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 f2{qj5 K 17.1 引言 345 avH3{V 17.2 操作数 345 q^b_'We_9 18 如何在Function中编写脚本 351 qAuq2pHA+d 18.1 简介 351 %(kf#[zQ 18.2 什么是脚本? 351 'a enhj 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 A*3R@G*h 18.4 基础 352 p9iCrqi 18.4.1 Classes(类别) 352
.y~~[QF}8 18.4.2 对象 352 #>qA&*+{n 18.4.3 信息(Messages) 352 Re'Ek 18.4.4 属性 352 c# WIB 4 18.4.5 方法 353 vX}mwK8
18.4.6 变量声明 353 |b)N;t 18.5 创建对象 354 2&U<Wiu\} 18.5.1 创建对象函数 355 }ilX
2s?> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 WWWfQ_u2 18.5.3 丢弃对象 356 ki|w?0s 18.5.4 总结 356 "_/5{Nc$ 18.6 脚本中的表格 357 Jl,\^)DSw 18.6.1 方法1 357 MYeGr3V3 18.6.2 方法2 357 [{9&KjI0K 18.7 2D Plots in Scripts 358 fT_swhIO 18.8 3D Plots in Scripts 359 8^dsx1U# 18.9 注释 360 FI(M 1iJ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 x$tzq+N 18.11 一个更高级的脚本 362 <2RxyoDL6 18.12 <esc>键 364 5V/CYcO 18.13 包含文件 365 wenJ (0L| 18.14 脚本被优化调用 366 J*O$)K%Hx 18.15 脚本中的对话框 368 ,<?M/'4}G 18.15.1 介绍 368 j<*`?V^ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >@U
lhJtW 18.15.3 输入框函数 370 yj{:%Km:` 18.15.4 自定义对话框 371 5Ai$1'*p 18.15.5 对话框编辑器 371 <0I=XsE1iX 18.15.6 控制对话框 377 H0i\#)Xs 18.15.7 更高级的对话框 380 _a=f.I 18.16 Types语句 384 pGGx.&5#82 18.17 打开文件 385 YJ^TO\4WM 18.18 Bags 387 dbLxm!;( 18.13 进一步研究 388 S~DY1e54GF 19 vStack 389 o] 7U;W 19.1 vStack基本原理 389 Vl+,OBy 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 |1(9_=i' 19.3 五棱镜 393 Gk5SG_o 19.4 光束距离 396 )z?Kq0 19.5 误差 399 Bh,LJawE 19.6 二向分色棱镜 399 0,`$ KbV\ 19.7 偏振泄漏 404 I3V>VLv 19.8 波前误差—相位 405 #`H^8/!e 19.9 其它计算参数 405 /1q] D8 20 报表生成器 406 }ZWeb#\ 20.1 入门 406 >ak53Ij$ 20.2 指令(Instructions) 406 3
e9fziQ~ 20.3 页面布局指令 406 7eg//mL"6 20.4 常见的参数图和三维图 407 lCyp&b#(L 20.5 表格中的常见参数 408 sIJ37;ZA 20.6 迭代指令 408 XP-4=0 zd 20.7 报表模版 408 9jwo f}OU 20.8 开始设计一个报表模版 409 +iPS=?S 21 一个新的project 413 %lU$;cY 21.1 创建一个新Job 414 &j7l#Urq 21.2 默认设计 415 VgNt 21.3 薄膜设计 416 +>5
"fs$Y 21.4 误差的灵敏度计算 420 RFu]vFff 21.5 显色指数计算 422
Dk fw*Oo 21.6 电场分布 424 Aq{m42EAj 后记 426 ,uP1U@Cas 有兴趣扫码加微 N7xkkAS{ ^MWfFpJV!]
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