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`SSP53R(0 内容简介 qW` XA Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 -Lz1#S k]A 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .3g\[p 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ZipK;!9by 4`EvEv$i 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 &})4?5 目录 O #uaGziFf Preface 1 eX]9mQ]E 内容简介 2 { 8|Z}?I 目录 i .aAw7LW 1 引言 1 z?IY3]v*z< 2 光学薄膜基础 2 [W8iM7D 2.1 一般规则 2 gzJ{Gau{) 2.2 正交入射规则 3 JXZ:Wg 2.3 斜入射规则 6 |tolgdj 2.4 精确计算 7 XyKKD&j 2.5 相干性 8 eW }jS/g` 2.6 参考文献 10 $O8EiC!f6 3 Essential Macleod的快速预览 10 /hA}9+/ 4 Essential Macleod的特点 32 F~uA-g 4.1 容量和局限性 33 )oz-<zW 4.2 程序在哪里? 33 .-1{,o/&Q 4.3 数据文件 35 'piF_5(@ 4.4 设计规则 35 2=UTH%1D 4.5 材料数据库和资料库 37 ;MdK3c 4.5.1材料损失 38 zxynEdO 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %(wsGNd 4.5.2 材料库 41 =:R[gdA#1 4.5.3导出材料数据 43 pN^G[ 4.6 常用单位 43 \VhpB
4.7 插值和外推法 46 ED =BZR 4.8 材料数据的平滑 50 R~seUW7uv" 4.9 更多光学常数模型 54 $BO}D 4.10 文档的一般编辑规则 55 s"^YW+HMb 4.11 撤销和重做 56 L-X
_b3E\ 4.12 设计文档 57 WTy8 N 4.10.1 公式 58 xr7<(:d 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "
:nVigw& 4.10.3 沉积密度 59
;] `NR 4.10.4 平行和楔形介质 60 vng8{Mx90* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 AQBx
k[ 4.10.4 性能 61 b3HTCO-,fC 4.10.5 保存设计和性能 64 #.t$A9' 4.10.6 默认设计 64 G4`sRaT. 4.11 图表 64 YaE['a 4.11.1 合并曲线图 67 <xh'@592 4.11.2 自适应绘制 68 +
1%^c(3 4.11.3 动态绘图 68 HDXjH|of 4.11.4 3D绘图 69 V~^6 TS( 4.12 导入和导出 73 #}]il0d 4.12.1 剪贴板 73 (k HQKQmq 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #p9z#kin 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 }JTgj 4.13 背景 77 `LHfAXKN 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 pUEok + 4.15 生成Rugate 84 $A!h=] 4.16 参考文献 91 #,9TJ:~N 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 a_fW{;}[ 5.1 Jobs 92 8J(zWV7 r 5.2 创建一个新Job(工作) 93 kk7:A0._ 5.3 输入材料 94 C5n=2luI_ 5.4 设计数据文件夹 95 ^Th"`Av5 5.5 默认设计 95 ZCF-*nm 6 细化和合成 97 Dp |FyP_w 6.1 优化介绍 97 o%JIJ7M 6.2 细化 (Refinement) 98 V$F.`O!hfi 6.3 合成 (Synthesis) 100 S/:QVs 6.4 目标和评价函数 101 FoXQ]X7" 6.4.1 目标输入 102 EF^=3 6.4.2 目标 103 0*M}QXt 6.4.3 特殊的评价函数 104 umn~hb5O 6.5 层锁定和连接 104 qO3BQ]UF 6.6 细化技术 104 1kw4'#J8 6.6.1 单纯形 105 U$JIF/MO_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 %[CM;|?B4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 >u#VHaB 6.6.2.1 Optimac参数 108 < 3+&DV-<N 6.6.3 模拟退火算法 109 DT]p14@t9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |Ie`L(" 6.6.4 共轭梯度 111 m-FDCiN> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :\;uJ5
6.6.5 拟牛顿法 112 1Moh` 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +rO<'H:umJ 6.6.6 针合成 113 [jn;|
3 6.6.6.1 针合成参数 114 '
1]bjW*! 6.6.7 差分进化 114 l5nDt$Ex 6.6.8非局部细化 115 O,Gn2Do 6.6.8.1非局部细化参数 115 q;~>h 6.7 我应该使用哪种技术? 116 R'HA>?D 6.7.1 细化 116 0BD((oNg 6.7.2 合成 117 ;<R_j%* 6.8 参考文献 117 O}!@28|3" 7 导纳图及其他工具 118 To?
bp4 7.1 简介 118 j;'Wf[V 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 5&Kn # 7.2.1 四分之一波长规则 119 :Rx"WY 7.2.2 导纳图 120 O +}EE^*a 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Y rnqi-P 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 fR;_6?p*B 7.5 斜入射导纳图 141 YEoT_>A$dB 7.6 对称周期 141 ;!sGfrs0$ 7.7 参考文献 142 ~,-O 8 典型的镀膜实例 143
C2i..iD 8.1 单层抗反射薄膜 145 {S(T1ua 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <s3( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 DA@hf 8.4 W-膜层 148 jn Y3G 8.5 V-膜层 149 ^{bEq\5& 8.6 V-膜层高折射基底 150 ^}\R]})w" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 K8c#/o 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ^i1:PlW] 8.9 四层抗反射薄膜 153 bj{f[nZ d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $zi\ /Yw 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 c)fp;^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Bz~h- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 n9-[z2n 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 'PbA/MN 8.15十五层宽带抗反射膜 159 RyD$4jk+T" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 4 Z)]Cq*3 8.17 1/4波长堆栈 162 $O!<Zz 8.18 陷波滤波器 163 =(\!,S' 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 AE
_~DZ:%c 8.20 褶皱 165 +[`%b3N k 8.21 消偏振分光器1 169 6LQ O>k 8.22 消偏振分光器2 171 ?\r3
_ 8.23 消偏振立体分光器 172 r!iuwE@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 /=} vPey 8.25 立体偏振分束器1 174 }dl(9H=4 8.26 立方偏振分束器2 177 X
jN.X 8.27 相位延迟器 178 l/NK.Jr 8.28 红外截止器 179 NZP,hAUK, 8.29 21层长波带通滤波器 180 4gENV{L 8.30 49层长波带通滤波器 181 1X.1t^HH: 8.31 55层短波带通滤波器 182 gv-k}2u_ 8.32 47 红外截止器 183 u)pBFs<dn 8.33 宽带通滤波器 184 RVnYe=' 8.34 诱导透射滤波器 186 h]P$L> 8.35 诱导透射滤波器2 188 zt0 zKXw 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 JqZ5DjI: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 a| cD{d 8.35 增益平坦滤波器 193 /d'u1FnA= 8.38 啁啾反射镜 1 196 a-y5 \x 8.39 啁啾反射镜2 198 UkV] F] 8.40 啁啾反射镜3 199 4/|=0TC; 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;0gpS y$# 8.42 增加铝反射率膜 201 zY-m]7Yf 8.43 参考文献 202 ` 454=3H 9 多层膜 204 zPYa@0I
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 {{,%p#/b 9.2 内部透过率 204 ]"6<"1) 9.3 内部透射率数据 205 bHnQLJ 9.4 实例 206 IIZsN*^ 9.5 实例2 210 jU$PO\UTk 9.6 圆锥和带宽计算 212 P+UK@~D+G 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Tp13V.| 10 光学薄膜的颜色 216 sTz*tSwQv 10.1 导言 216 u'p J9>sC 10.2 色彩 216 1-#tx*>AY 10.3 主波长和纯度 220 HV(Kz 10.4 色相和纯度 221 #v-!GK_< 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ,z3b2$
&A 10.6 色差 226 _#:1Axx1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9iE66N>z 10.8 颜色渲染指数 234 _JH6bvbQ 10.9 色差计算 235 YBP{4Rl 10.10 参考文献 236 DVl:s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 |*$_eb 11.1 短脉冲 238 7@?b _ 11.2 群速度 239 8Yh2K} 11.3 群速度色散 241 T2{+fRvN 11.4 啁啾(chirped) 245 0"N %Vm 11.5 光学薄膜—相变 245
/rW{rf^ 11.6 群延迟和延迟色散 246 NL 37Y{b 11.7 色度色散 246 4SYN$?.Mp 11.8 色散补偿 249 MR}\fw$(. 11.9 空间光线偏移 256 RAC-;~$WB 11.10 参考文献 258 KJiwM(o 12 公差与误差 260 )[1m$> 12.1 蒙特卡罗模型 260 X#y l8k_ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 QS}=oOR@k 12.2.1 误差工具 267 ~a $%
a 12.2.2 灵敏度工具 271 ,o)MiR9-[A 12.2.2.1 独立灵敏度 271
CvN~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 dQ[lXV[}v 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Gm.hBNgp 12.3 参考文献 276 C6n4OU 13 Runsheet 与Simulator 277 ]^y}}y 13.1 原理介绍 277 /Q!F/HY3ZS 13.2 截止滤光片设计 277 nCrNZ&P 14 光学常数提取 289 ( nh!tC 14.1 介绍 289 <T wq{kt
14.2 电介质薄膜 289 #d~"bn q;c 14.3 n 和k 的提取工具 295 L2qF@!Yy= 14.4 基底的参数提取 302 ;%1^k/b6t 14.5 金属的参数提取 306 e([&Nr8h 14.6 不正确的模型 306 ZLkJYZk 14.7 参考文献 311 ^?2txLv,6 15 反演工程 313 RA6D dqT~ 15.1 随机性和系统性 313 )~`zjVx_ 15.2 常见的系统性问题 314 [>-k(D5D 15.3 单层膜 314 H2]I__t/u 15.4 多层膜 314
51j 15.5 含义 319 -cKR15 15.6 反演工程实例 319 F!xK#~e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4Qv|Z+$i 15.6.2 反演工程提取折射率 327 !o@-kl 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 "#7i-?= 16.1 光学性质的热致偏移 329 CqoL5qt 16.2 应力工具 335 ^.(]i\V_ 16.3 均匀性误差 339 JI^w1I, T 16.3.1 圆锥工具 339 Bg`b*(Q 16.3.2 波前问题 341 ,w6?}
N 16.4 参考文献 343 -4Xr5j%o 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (/Ubw4unI 17.1 引言 345 L,WKL. 17.2 操作数 345 bYtF#Y 18 如何在Function中编写脚本 351 !rWib`% 18.1 简介 351 \c]/4C +/ 18.2 什么是脚本? 351 cZu:dwE 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 rdb%/@.- 18.4 基础 352
<ygO?m{ 18.4.1 Classes(类别) 352 mK4a5H 18.4.2 对象 352 <ESAoY"RPN 18.4.3 信息(Messages) 352 >eC^]#c 18.4.4 属性 352 `drvu?F 18.4.5 方法 353 !
>:O3*/ 18.4.6 变量声明 353 zme:U![ 18.5 创建对象 354 O7.Is88! 18.5.1 创建对象函数 355 WFkXz*7B 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 #U1soZ7 18.5.3 丢弃对象 356 w
Bl=]BW!% 18.5.4 总结 356 {?C7BClB 18.6 脚本中的表格 357 /90@ 85%r 18.6.1 方法1 357 %$cwbh-{{ 18.6.2 方法2 357 DgdW.Kj|IL 18.7 2D Plots in Scripts 358 '1w<<?vX? 18.8 3D Plots in Scripts 359 !O5UE 18.9 注释 360 xWD wg@ P 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 jk|0 <-3 18.11 一个更高级的脚本 362 a%AU9?/q# 18.12 <esc>键 364 :70oO}0m. 18.13 包含文件 365 %:??QD* 18.14 脚本被优化调用 366 :>,d$f^tqE 18.15 脚本中的对话框 368 53L)+\7w 18.15.1 介绍 368 ?LZ)r^ger 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Kg.E~ 18.15.3 输入框函数 370 nyIb8=f 18.15.4 自定义对话框 371 9Kqr9U--v 18.15.5 对话框编辑器 371 ss[8d%V 18.15.6 控制对话框 377 ^D h2_vbI 18.15.7 更高级的对话框 380 7.5G4 18.16 Types语句 384 "evLI? 18.17 打开文件 385 H&GMq5)B 18.18 Bags 387 hP7nt 18.13 进一步研究 388 B^6P6, 19 vStack 389 -du+iOe? 19.1 vStack基本原理 389 p*^O8o 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @<};Bo' 19.3 五棱镜 393 UL oTPx@N 19.4 光束距离 396 Tv(s?T6f 19.5 误差 399 PKwx)!
Rz 19.6 二向分色棱镜 399 %o?fE4o' 19.7 偏振泄漏 404 -<|Ebh d3 19.8 波前误差—相位 405 p0@iGyd 19.9 其它计算参数 405 %TLAn[LW( 20 报表生成器 406 i} q6^;uTF 20.1 入门 406 @50Js3R1q 20.2 指令(Instructions) 406 =^{^KHzIl3 20.3 页面布局指令 406 _ p?q/-[4 20.4 常见的参数图和三维图 407 E&97;VH 20.5 表格中的常见参数 408 = U^B,q 20.6 迭代指令 408 .M_;mhRI 20.7 报表模版 408 9J>DLvl; 20.8 开始设计一个报表模版 409 2bCa|HTv 21 一个新的project 413 lRO4-
y 21.1 创建一个新Job 414 x.d9mjLN8m 21.2 默认设计 415 ncWASw` 21.3 薄膜设计 416 fBQZ=zh 21.4 误差的灵敏度计算 420 i4- >XvC 21.5 显色指数计算 422 V-jo2+Y5= 21.6 电场分布 424 {2V=BDS|?K 后记 426 2[WQq)\ 有兴趣扫码加微 :}E*u^v K :\.v\.wm
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