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R~&i8n. 内容简介 MW6KEiQ" Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Um'r6ty 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 jIs2R3B 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 IB+)2 ` M,b^W:('4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 l]o)KM< 目录 'U'#_mYG Preface 1 '}q1 F<& 内容简介 2 HfgK0wIi 目录 i wk"zpI7L 1 引言 1 >ey-j\_v 2 光学薄膜基础 2 @|GKNW# 2.1 一般规则 2 _C97G& 2.2 正交入射规则 3 CAD:ifV 2.3 斜入射规则 6 T{%'"mm; 2.4 精确计算 7 ?nAKB5= 2.5 相干性 8 P7iU_CgyW 2.6 参考文献 10 ;c_pa0L 3 Essential Macleod的快速预览 10 /o_h'l|PS 4 Essential Macleod的特点 32 MjHjL~Tg 4.1 容量和局限性 33 dnP3{!"b 4.2 程序在哪里? 33 ].eY]o}= 4.3 数据文件 35 9w! G 4.4 设计规则 35 `b{.K, 4.5 材料数据库和资料库 37 ?) ~j>1"S 4.5.1材料损失 38 GCgpe(cQ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 dn1Tu6f;| 4.5.2 材料库 41 %aszZP 4.5.3导出材料数据 43 E0i_sB~T 4.6 常用单位 43 dIR6dI 4.7 插值和外推法 46 7o4 vf~ 4.8 材料数据的平滑 50 Xkv+"F=- 4.9 更多光学常数模型 54 O<x53MN^ 4.10 文档的一般编辑规则 55 ;#$zHR 4.11 撤销和重做 56 oEWx9c{~$ 4.12 设计文档 57 d[9NNm*htC 4.10.1 公式 58 {mp;^/O`er 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 LEJ7. 82 4.10.3 沉积密度 59 !\NKu1ta 4.10.4 平行和楔形介质 60 B`4[@$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 }<wj~f([ 4.10.4 性能 61 pP'-}% 4.10.5 保存设计和性能 64 Ik#>6 4.10.6 默认设计 64 A/U tf0{3" 4.11 图表 64 ~%Ws"1 4.11.1 合并曲线图 67 YSuwV)Y 4.11.2 自适应绘制 68 rwxJR@Ttn 4.11.3 动态绘图 68 +M\*C# 4.11.4 3D绘图 69 i#jCf3%+
h 4.12 导入和导出 73 y^ C;?B< 4.12.1 剪贴板 73 Mdh(Mp(w 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,
"zS
pN 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 FVsNOU 4.13 背景 77 B(MO!GNg= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Dz&4za+{ 4.15 生成Rugate 84 ubhem(p# 4.16 参考文献 91 OD"eB? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 qR_"aQ7s2 5.1 Jobs 92 `.dTkL 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,gU9ywg 5.3 输入材料 94 n20H{TA 5.4 设计数据文件夹 95 e<^tY0rR& 5.5 默认设计 95 $gZ|=(y&r 6 细化和合成 97 mId{f 6.1 优化介绍 97 ji(S ?^ 6.2 细化 (Refinement) 98 "VWxHRVg4M 6.3 合成 (Synthesis) 100 e7L;{+XI 6.4 目标和评价函数 101 q9Y0Lk 6.4.1 目标输入 102 @fpxGMy& 6.4.2 目标 103 "0L@cOyG 6.4.3 特殊的评价函数 104 =]E1T8| 6.5 层锁定和连接 104 !*%3um
6.6 细化技术 104 Pr<?E[ 6.6.1 单纯形 105 &TbnZnv 6.6.1.1 单纯形参数 106 oRu S_X 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 McnP>n 6.6.2.1 Optimac参数 108 XB;;OP12 6.6.3 模拟退火算法 109 zMrZ[AU 6.6.3.1 模拟退火参数 109 fWm;cDM
H 6.6.4 共轭梯度 111 n?,fF( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9/s-|jD 6.6.5 拟牛顿法 112 v2@M,xbxF: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 JmYi& 6.6.6 针合成 113 "<O?KO3K 6.6.6.1 针合成参数 114 0/K NXz 6.6.7 差分进化 114 6-X7C9`C 6.6.8非局部细化 115 1xtbhk]D 6.6.8.1非局部细化参数 115 w#b~R^U 6.7 我应该使用哪种技术? 116 OClY,@ 6.7.1 细化 116 C1G Wi4) 6.7.2 合成 117 ^ O` 6.8 参考文献 117 E$G"R= 7 导纳图及其他工具 118 .Yu,&HR 7.1 简介 118 @pkozE- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 \O/=g6w|t} 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^$#Q_Y| 7.2.2 导纳图 120 o!H"~5Trv! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3]VTQl{P 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #-VKk 7.5 斜入射导纳图 141 )O&$-4gL' 7.6 对称周期 141 Ns9g>~ 7.7 参考文献 142 [w4z)! 8 典型的镀膜实例 143 h'jnc. 8.1 单层抗反射薄膜 145 IaF79}^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 l/I W"A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 p' gv5\u[w 8.4 W-膜层 148 D>1Dao 8.5 V-膜层 149 &`%C'KZ 8.6 V-膜层高折射基底 150 n_+Iw,a'm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 4i19HD_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ``\H'^{B 8.9 四层抗反射薄膜 153 l:[=M:#p 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 G
dooy~cn 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /;>EyWW 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 4@Qq5kpk* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
~.Gk:M 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 P"#^i<ut@T 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >pYgF=J 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 a&<<X:$Hy 8.17 1/4波长堆栈 162 `<Ftn 8.18 陷波滤波器 163 &Y&zUfA 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 := 8vy 8.20 褶皱 165 doa$
;=wg 8.21 消偏振分光器1 169 }qg!Um0 8.22 消偏振分光器2 171 lV1|\~?4 8.23 消偏振立体分光器 172 93rE5eGs 8.24 消偏振截止滤光片 173 $200?[ 8.25 立体偏振分束器1 174 _96&P7 8.26 立方偏振分束器2 177 Xgm7>=l 8.27 相位延迟器 178 O//e0?]W 8.28 红外截止器 179 -Z@p
8.29 21层长波带通滤波器 180 prWid3} 8.30 49层长波带通滤波器 181 g=%&p?1@E 8.31 55层短波带通滤波器 182 ^Ve^}|qPc 8.32 47 红外截止器 183 0Nfj}sXCWE 8.33 宽带通滤波器 184 B+<k,ad 8.34 诱导透射滤波器 186 nZ*P:K t: 8.35 诱导透射滤波器2 188 L9.#/%I\ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 4M]8po/; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 JB|I/\(A 8.35 增益平坦滤波器 193 DjKjEZHgM 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?-f>zx8O 8.39 啁啾反射镜2 198 7-dwr?j7 8.40 啁啾反射镜3 199 oK>,MdB 8.41 带保护层的铝膜层 200 `4=b|N+b" 8.42 增加铝反射率膜 201 a !IH-XJ2 8.43 参考文献 202 xI@~I g 9 多层膜 204 ![ QQF| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _pS%tPw 9.2 内部透过率 204 Q^k#?j# 9.3 内部透射率数据 205 NR*SEbUU* 9.4 实例 206 q2Kn3{ 9.5 实例2 210 "Wm~\)t( 9.6 圆锥和带宽计算 212 0D'Wr(U( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |}`5<a!6U 10 光学薄膜的颜色 216 >4\xcL 10.1 导言 216 H@zk8]_P 10.2 色彩 216 'GFzI:Xr 10.3 主波长和纯度 220 >$y
> 10.4 色相和纯度 221 coWB KWF 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -db+Y:xUZ 10.6 色差 226 ]Q3Gj@6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ZwMw g t 10.8 颜色渲染指数 234 k mjm6 10.9 色差计算 235 xeI{i{8 10.10 参考文献 236 ZYA(Bg^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 "7HB3?2>W 11.1 短脉冲 238 my1kF%? 11.2 群速度 239 x}{VHp`|ld 11.3 群速度色散 241 Pio^5jhB6 11.4 啁啾(chirped) 245 IfcFlXmt2 11.5 光学薄膜—相变 245 gNwXOd u 11.6 群延迟和延迟色散 246 !A!\S/x4 11.7 色度色散 246 RVfe}4Stm# 11.8 色散补偿 249 K +~v<F 11.9 空间光线偏移 256 K\b O[J 11.10 参考文献 258 \ax%I)3 12 公差与误差 260 HhvG#Sam! 12.1 蒙特卡罗模型 260 2An`{') 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7m M;Q 12.2.1 误差工具 267 vrzX%' 12.2.2 灵敏度工具 271 PlZiTP 12.2.2.1 独立灵敏度 271 d<'xpdxc 12.2.2.2 灵敏度分布 275 N-gRfra+8L 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 "|%9xGX|D 12.3 参考文献 276 $1+K}tP 13 Runsheet 与Simulator 277 LzRiiP^q 13.1 原理介绍 277 A ? M]5d 13.2 截止滤光片设计 277 6mdnEmFM] 14 光学常数提取 289 ~-5@- V 14.1 介绍 289 pr txE&- 14.2 电介质薄膜 289 $VWzv4^: 14.3 n 和k 的提取工具 295 2~V Im#
14.4 基底的参数提取 302 $)Yo g]} 14.5 金属的参数提取 306 ]ufW61W6Ci 14.6 不正确的模型 306 Jj:6
c 14.7 参考文献 311 +ZKhmb! 15 反演工程 313 *Xoscc 15.1 随机性和系统性 313 U$)Hhn|X 15.2 常见的系统性问题 314 s.` d<(X? 15.3 单层膜 314 Eap/7U1Q 15.4 多层膜 314 -vHr1I< 15.5 含义 319 N@6OQ:,[F 15.6 反演工程实例 319 P/Kit?kngS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 `mjx4Lb 15.6.2 反演工程提取折射率 327 m> (h_j 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \oX8/-0 f 16.1 光学性质的热致偏移 329 Wk\@n+Q{] 16.2 应力工具 335 {~fCqP.2 16.3 均匀性误差 339 o^Yspp 16.3.1 圆锥工具 339 @b\ S. 16.3.2 波前问题 341 5xDN&su 16.4 参考文献 343 i ,pN1_- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 TE%#$q 17.1 引言 345 EWIc|b: 17.2 操作数 345 {|Ki^8 h/p 18 如何在Function中编写脚本 351 45sxF?GSwL 18.1 简介 351 DBJA}Cw 18.2 什么是脚本? 351 >}b6J7_ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 W[E3P,XS 18.4 基础 352 =kh>s$We 18.4.1 Classes(类别) 352 f&}A!uLe4x 18.4.2 对象 352 HDVl5X`j' 18.4.3 信息(Messages) 352 ie@`S&.8 T 18.4.4 属性 352 ZuvPDW% 18.4.5 方法 353 u=;nU(]M ' 18.4.6 变量声明 353 ]A72)1 18.5 创建对象 354 eQFb$C]R}y 18.5.1 创建对象函数 355 7sc<dM 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8a`+h# 18.5.3 丢弃对象 356 {Mr~%y4 18.5.4 总结 356 zLQ#GF 18.6 脚本中的表格 357 ,p!B"#
ot 18.6.1 方法1 357 ydND$@; Z 18.6.2 方法2 357 ]}[Yf 18.7 2D Plots in Scripts 358
xs'kO= 18.8 3D Plots in Scripts 359 +K%pxuVh 18.9 注释 360 nS+FX&_ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 'B (eMnLg 18.11 一个更高级的脚本 362 /.)[9bQ< 18.12 <esc>键 364 J+b!6t}mZn 18.13 包含文件 365 hyb +#R 18.14 脚本被优化调用 366 4b2mtLn_ 18.15 脚本中的对话框 368 g[s\~MF@s 18.15.1 介绍 368 )p<fL 18.15.2 消息框-MsgBox 368 <s/<b*T
^ 18.15.3 输入框函数 370 px|>v8 18.15.4 自定义对话框 371 !ml_S) 18.15.5 对话框编辑器 371 'Z.OF5|eGT 18.15.6 控制对话框 377 N
pXgyD 18.15.7 更高级的对话框 380 b>QM~mq3^I 18.16 Types语句 384 'sRg4?PT 18.17 打开文件 385 YxEbg(Y 18.18 Bags 387 LMFK3Gd[ 18.13 进一步研究 388 G7Z vfLR{: 19 vStack 389 Jf?S9r5 Q 19.1 vStack基本原理 389 .6#cDrK 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 6KEykw
j 19.3 五棱镜 393 lMBX!9z 19.4 光束距离 396 &^&$!Xmu9 19.5 误差 399 uZ\wwYY#M 19.6 二向分色棱镜 399 ]D LZ&5pv 19.7 偏振泄漏 404 PNbcy!\U 19.8 波前误差—相位 405 xN`r4 19.9 其它计算参数 405 4YDT%_h0 20 报表生成器 406 +_
*eu 20.1 入门 406 7-".!M 20.2 指令(Instructions) 406 LBmM{Gu 20.3 页面布局指令 406 4jX@m 20.4 常见的参数图和三维图 407 |Bx||=z` 20.5 表格中的常见参数 408 D[89*@v 20.6 迭代指令 408 @sw9A93A 20.7 报表模版 408 W?qpnPW 20.8 开始设计一个报表模版 409 7q%|4Z-~ 21 一个新的project 413 C}b|2y 21.1 创建一个新Job 414 5^i.;>(b 21.2 默认设计 415 <.,RBo 21.3 薄膜设计 416 y]}b?R~p= 21.4 误差的灵敏度计算 420 |} K 21.5 显色指数计算 422 =oE_.ux\ 21.6 电场分布 424 ^W
Y8-6 后记 426 ,
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