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la{?&75] 内容简介 ti+e U$ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 F4\:9ws 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [6VM4l" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 @-)S*+8 X{#^O/ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 X40gJV< 目录 0t!ZMH Preface 1 $CB&>?~ 内容简介 2 -btNwE6[. 目录 i 15 {^waR6 1 引言 1 b$Hbo;_ 2 光学薄膜基础 2 uO1^Q;F 2.1 一般规则 2 ^iEf"r 2.2 正交入射规则 3 S<]k0bC 2.3 斜入射规则 6 yam'LF 2.4 精确计算 7 49E|
f
^q 2.5 相干性 8 \Nik`v*Pd 2.6 参考文献 10 LF.i0^#J 3 Essential Macleod的快速预览 10 ,'c%S|]U7 4 Essential Macleod的特点 32 %u%;L+0Q[ 4.1 容量和局限性 33 MMa`}wSs 4.2 程序在哪里? 33 7vgRNzZoq 4.3 数据文件 35 O8hx}dOjA 4.4 设计规则 35 <6]Hj2 4.5 材料数据库和资料库 37 {0j,U\ kb 4.5.1材料损失 38 $]?pAqU\ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ){GJgk|P 4.5.2 材料库 41 %pg)*>P h 4.5.3导出材料数据 43 BpA7
z / 4.6 常用单位 43 9hK8dJw 4.7 插值和外推法 46 IJ.H/l}h 4.8 材料数据的平滑 50 WClprSl8 4.9 更多光学常数模型 54 v0WB.`rO 4.10 文档的一般编辑规则 55 a. u{b&+9 4.11 撤销和重做 56 L'
_%zO 4.12 设计文档 57 bL<H$DB6 4.10.1 公式 58 Usht\<{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 (Ajhf}zJ 4.10.3 沉积密度 59 <2j$P Y9 4.10.4 平行和楔形介质 60 ZD50-w; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ?}^ y6 4.10.4 性能 61 +
,]&& 4.10.5 保存设计和性能 64 s7E %Et 4.10.6 默认设计 64 q@1A2L\Om 4.11 图表 64 zhE4:g9v 4.11.1 合并曲线图 67 "j`T'%EV 4.11.2 自适应绘制 68 xg%{p`` 4.11.3 动态绘图 68 ZK{1z| 4.11.4 3D绘图 69 `o_i+?E 4.12 导入和导出 73 ,f>^q" 4.12.1 剪贴板 73 U#Kw+slM 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 RU.j[8N$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 tvJl-&'N 4.13 背景 77 M2:3k 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 d?U,}tv 4.15 生成Rugate 84 kdA]gpdw 4.16 参考文献 91 mMZ=9 ?m 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 tre`iCH~ 5.1 Jobs 92 YedF% 5.2 创建一个新Job(工作) 93 4u p7:? 5.3 输入材料 94 +CEt:KQ 5.4 设计数据文件夹 95 |L;Hd.l7^* 5.5 默认设计 95 6EWCJ%_ 6 细化和合成 97 pOy(XUV9O 6.1 优化介绍 97 ctgH/SU 6.2 细化 (Refinement) 98 |[V6R\l39 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]w)uo4<^J 6.4 目标和评价函数 101 <1sUK4nQ, 6.4.1 目标输入 102 *}r6V"pH~ 6.4.2 目标 103 y#ON=8l 6.4.3 特殊的评价函数 104 99zMdo S 6.5 层锁定和连接 104 cw
BiT 6.6 细化技术 104 "H=fWz5z 6.6.1 单纯形 105 +ZwTi!W 6.6.1.1 单纯形参数 106 }sZy |dd 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 BhyLcUBuB 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,({%t 6.6.3 模拟退火算法 109 _}`y3"CD7 6.6.3.1 模拟退火参数 109 aIfB^M*c5 6.6.4 共轭梯度 111 48GaZ@v 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 cJ,`71xop, 6.6.5 拟牛顿法 112 2zjY|g/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 + L5 6.6.6 针合成 113 ]w8h#p 6.6.6.1 针合成参数 114 Xp|$z ~ 6.6.7 差分进化 114 HBa6Y&)< 6.6.8非局部细化 115 /X\:3P 6.6.8.1非局部细化参数 115 (yeN> x}_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 2Q/V D,yU 6.7.1 细化 116 toox`| 6.7.2 合成 117 dfeN_0`- 6.8 参考文献 117 Bm^8"SSN 7 导纳图及其他工具 118 Gm\jboef] 7.1 简介 118 No/D"S# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6:TA8w| 7.2.1 四分之一波长规则 119 L-3wez;hm 7.2.2 导纳图 120 BI6`@}%7> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 TsRbIq[
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 XOY\NMo 7.5 斜入射导纳图 141 ,Hc,]TPC4
7.6 对称周期 141 cmLI!"RLe 7.7 参考文献 142 SQ`ec95', 8 典型的镀膜实例 143 MB5X$5it 8.1 单层抗反射薄膜 145 HtI>rj/\
x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 H,1Iz@W1 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |VX0o2 8.4 W-膜层 148 hniTMO 8.5 V-膜层 149 dC}4Er 8.6 V-膜层高折射基底 150 Fc"+L+h@W 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 y=WCR*N 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 'P >h2^z 8.9 四层抗反射薄膜 153 h6gtO$A|p= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 `X wKCI 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 O$&4{h` 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 u&Y1,:hiL 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `>$l2, 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
-+.-Ab7 8.15十五层宽带抗反射膜 159 7y>{Y$n 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Bdf]?s[] 8.17 1/4波长堆栈 162 ZltY_5l 8.18 陷波滤波器 163 E@ !~q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 :sb+jk 8.20 褶皱 165 \M-$|04Qt 8.21 消偏振分光器1 169 F|W(_llfM 8.22 消偏振分光器2 171 kv/mqKVr 8.23 消偏振立体分光器 172 yNmzRH u 8.24 消偏振截止滤光片 173 rexy*Xv`2p 8.25 立体偏振分束器1 174 e/u(Re 8.26 立方偏振分束器2 177 a{8g9a4 8.27 相位延迟器 178 _M}}H3 8.28 红外截止器 179 X6c ['Zrc 8.29 21层长波带通滤波器 180 y <21~g= 8.30 49层长波带通滤波器 181 \wo'XF3: 8.31 55层短波带通滤波器 182 EPwM+#|e- 8.32 47 红外截止器 183 `BZX\LPHm 8.33 宽带通滤波器 184 |zSoA=7? 8.34 诱导透射滤波器 186 FZhjI 8+,~ 8.35 诱导透射滤波器2 188 0_-NE4SM/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 nHi6$}
I 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3P2L phW 8.35 增益平坦滤波器 193
HvVS<Ke 8.38 啁啾反射镜 1 196 c1Ta!p{% 8.39 啁啾反射镜2 198 W_N!f=HW 8.40 啁啾反射镜3 199 O_wRI\! 8.41 带保护层的铝膜层 200 :>otlI<0t 8.42 增加铝反射率膜 201 ZYX(Cf 8.43 参考文献 202 `]:&h' 9 多层膜 204 v/lQ5R1 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (|<.7K N 9.2 内部透过率 204 u~a@:D/F{G 9.3 内部透射率数据 205 g{06d~Y 9.4 实例 206 9gokTFoN 9.5 实例2 210 s\dF7/b 9.6 圆锥和带宽计算 212 !>5!Fb=Sy 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^iq$zHbc0u 10 光学薄膜的颜色 216 ;iEFG^'tG 10.1 导言 216 pI|H9 10.2 色彩 216 #r_&Q`!eU 10.3 主波长和纯度 220 7 V+rQ 10.4 色相和纯度 221 P*;zDQy 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ^d2bl,1 10.6 色差 226 ^yB>0/{)z 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 w oS I
2i 10.8 颜色渲染指数 234 Z,osdF 10.9 色差计算 235 BSu
]NOwe 10.10 参考文献 236 OjiQBsgnj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 h0fbc;l 11.1 短脉冲 238 W=T}hA#` 11.2 群速度 239 "Q ~-C|x 11.3 群速度色散 241 G}b LWA 11.4 啁啾(chirped) 245 *Q8d&$ ^ 11.5 光学薄膜—相变 245 ?0VLx,kp 11.6 群延迟和延迟色散 246 a_0G4@=T 11.7 色度色散 246 3;J)&(j0 11.8 色散补偿 249 sy|{}NkA! 11.9 空间光线偏移 256 D'823,-). 11.10 参考文献 258 c|'hs 12 公差与误差 260 pPdOwK# 12.1 蒙特卡罗模型 260 V0h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 JUlV$b.)J 12.2.1 误差工具 267 ei8OLcw:x 12.2.2 灵敏度工具 271 Px)/`'D 12.2.2.1 独立灵敏度 271 x-_!I>l& 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Nz&J&\X)tD 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 7QlA/iKqK 12.3 参考文献 276 2ajQ*aNq 13 Runsheet 与Simulator 277 rtz%(4aS 13.1 原理介绍 277 <eq93 13.2 截止滤光片设计 277 IYy2EK[s 14 光学常数提取 289 f&S,l3H< 14.1 介绍 289 W1s4[rL!Ht 14.2 电介质薄膜 289 ^xGdRaU# 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;Vad| - 14.4 基底的参数提取 302 %@{);5[ 14.5 金属的参数提取 306 eFPDW; 14.6 不正确的模型 306 K/y#hP 14.7 参考文献 311 'lU9*e9 15 反演工程 313 IdlW[h3`[ 15.1 随机性和系统性 313 Iky'x[p,D 15.2 常见的系统性问题 314 U&6!2s- 15.3 单层膜 314 * SG0-_S 15.4 多层膜 314 #GYCU! 15.5 含义 319 }cll? 2 15.6 反演工程实例 319 $ #C$V> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 H5Rn.n( | 15.6.2 反演工程提取折射率 327 otXB:a 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 'W~O? 16.1 光学性质的热致偏移 329 xcz1(R 16.2 应力工具 335 =J,aB p 16.3 均匀性误差 339 mB$r>G/' 16.3.1 圆锥工具 339 0j1I 16.3.2 波前问题 341 j+n1k^jC 16.4 参考文献 343 )ll`F7B- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >Z?3dM~ [ 17.1 引言 345 <dzE5]%\ 17.2 操作数 345 >sP-)ZeuU[ 18 如何在Function中编写脚本 351 tLpDIA_8 18.1 简介 351 `?Wak=]g 18.2 什么是脚本? 351 B_[^<2_ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 H;<hmbN?d 18.4 基础 352 #Vanw ! 18.4.1 Classes(类别) 352 "6n~,$ 18.4.2 对象 352 KX9+*YY, 18.4.3 信息(Messages) 352 ?0+D1w 18.4.4 属性 352 itM6S$ 18.4.5 方法 353 6tM CpSJ 18.4.6 变量声明 353 #5T+P8 18.5 创建对象 354 )L`0VTw'M 18.5.1 创建对象函数 355 !h2ZrT9
_ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 A1p;Ye>o~ 18.5.3 丢弃对象 356 S"w$#"EJA 18.5.4 总结 356 "7RQrz 18.6 脚本中的表格 357 L& |