白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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/7Z;/|oU .JIn( 3. VirtualLab Fusion概览 W|_^Oe< ,TY&N- C<Q;3w`#1j 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 .[Ezg(U}ze 设置输入场
]Z?$ 5Ks qOO2@c 定义组件的位置和方向
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Pi%Z 正确设置通道以进行非顺序跟踪
{U?UM R(Y4n w+Y- 使用
参数运行检查影响/变化
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I9GRSm;0< yZJR7+ 5. VirtualLab Fusion 技术 O4xV "\ <t[WHDO`