白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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Sa 8T'%W G5T( 1. 建模任务 n5z";:p p\G1O*Z 2. 干涉条纹的变化 QP~Iz*J'
/V"6Q'D }J0HEpn4 3. VirtualLab Fusion概览 !M(3[(Ni d cG)ql4d 6=3;(2u[C" 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 Bgf'Hm%r 设置输入场
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