白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
9,8/DW.K ]a IHd]B r1HG$^ 1. 建模任务 b}(c'W*z% ICz:>4M-dn 2. 干涉条纹的变化 "EpH02{i
ZY<RNwu ]EK(k7nH 3. VirtualLab Fusion概览 Lx_Jw\YO >)D=PvGlmp f%PLR9Nh5@ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 (g@X.*c8 设置输入场
@:im/SE GJWGT`" 定义组件的位置和方向
e;v"d!H/ %e[E@H 7 正确设置通道以进行非顺序跟踪
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参数运行检查影响/变化
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