白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
L|Gk}n V\8
5 rnr8t] 1. 建模任务 >$9yQ9&| <(lSNGv5N 2. 干涉条纹的变化 'r <BaL
f9bz:_;W_ ![C$H5 3. VirtualLab Fusion概览 =ZL}Av} ,TA[el%# rKO*A7vE 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 gQt@xNO 设置输入场
5"]2@@b4 ]xeyXw84k 定义组件的位置和方向
u1Yp5jp^K l[0P*(I, 正确设置通道以进行非顺序跟踪
[gY__ h\ek2K 使用
参数运行检查影响/变化
vrDRSc6_ ~7H.<kJt Q]:%Jj2
6)YNjh.{* V1U[p3J-S 5. VirtualLab Fusion 技术 p&M'DMj+ UAO#$o(