白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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+jtA&1cf ob'n{T+lZ 3. VirtualLab Fusion概览 PRD_!VOW +3Y!xD?= H>?F8R_iq 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 !h>D;k6 e 设置输入场
1~'_K9eE NY@"&p'Q 定义组件的位置和方向
]NtSu%u QsOhz 正确设置通道以进行非顺序跟踪
>Rt9xP ,-@5NY1q 使用
参数运行检查影响/变化
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W/r^ugDV (S oo<.9~ 5. VirtualLab Fusion 技术 TFy7HX\Oq 9=
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