白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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i|LO Kv\uBMJNW 3. VirtualLab Fusion概览 g>f_'7F& ~{yQsEU \G]vTK3 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 24_/JDz 设置输入场
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[ pB]+c%\ 定义组件的位置和方向
+Xr87x; [E%Ov0OC 正确设置通道以进行非顺序跟踪
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参数运行检查影响/变化
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