白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
LE?u`i,e=+ _baYn`tFw- j_?cpm{~ml 1. 建模任务 dTEJ=d40 fm1X1T . 2. 干涉条纹的变化 Oi:JiD=
*.y' (tj[ IKvBf'%- 3. VirtualLab Fusion概览 %IpSK 0<Sp U6 82Th rlok%Rt4Z 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 #`GbHxd 设置输入场
w#PZu+ @kngI7=E 定义组件的位置和方向
o6j"OZcv o%(bQV-T 正确设置通道以进行非顺序跟踪
%/0gWG Zcd7*EBdx 使用
参数运行检查影响/变化
0yof u D#sf i,O ((3t:
m>Ux`Gp+ .+#Lx;}) 5. VirtualLab Fusion 技术 qc!xW,I #!!AbuhzK{