白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
jhbH6=f4]^ @N_H]6z4 '=5_u 1. 建模任务 Aag)c~D /\$|D&e
2. 干涉条纹的变化 IS4K$Ac.
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nK'8Mo 3. VirtualLab Fusion概览 p'!,F; xX 2Yd~v| "/Q(UV<d 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 KdMA58) 设置输入场
(Dh;=xG E1ob+h:`d 定义组件的位置和方向
o4'4H y S,9WMti4x 正确设置通道以进行非顺序跟踪
h:;eh wR+`("2{r 使用
参数运行检查影响/变化
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