白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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}:t 2. 干涉条纹的变化 v]{uxlh
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;uC~L l/png: 3. VirtualLab Fusion概览 >'}=.3\ I' ! r qQxA@kdd 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 JYg% ~tW' 设置输入场
EwD3d0udL lTr*'fX 定义组件的位置和方向
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参数运行检查影响/变化
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O b8B WfRfx#MMt 5. VirtualLab Fusion 技术 :/v,r=Y9p Jh43)#G-