8@]*X,umc
`bT!_ Ru ~XN--4%Q 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
T6m#sVq KY34Sc 设计任务 QEKSbxL\W vw5f.8T;w
=F'p#N0_2 4
AZ~<e\ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
PPk\W7G A'r 3%mC 扫描参数空间以获取初始解 HeABU(o4
.Uq?SmK
Cw42bO c.-h'1 初始解#1的参数优化 `Fa49B|`D
_Z?{&k
_J(n~"eR ?T=]?[ 最终设计#1的性能分析 D,q=?~
jXA!9_L7
nX4R ;, P-2\V/ 初始解#2的参数优化 DTmv2X
WeDeD\zy
2gz}]_ +13h* 最终设计#1的性能分析 AzAD76iNv ?&;d#z*4
f0p+l-iEv !<r+h,C VirtualLab Fusion一瞥 0q'd }D W
j_N><_Jc
9ZvBsG) h/~:}Bof VirtualLab Fusion中的工作流程 5tPBTS<<"L U
|I>CDp 构建
光栅结构
4;"^1 $ wKF #8Y 分析光栅
衍射效率
@_"B0$,-i W}m-5L 使用参数运算寻找初始解
F*V<L )"k>}&' 使用参数优化确定最终解
Ci%u =%( MuNM)pyxp VirtualLab Fusion技术 C
yg e
}OY]mAv-B
A4LGF