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n.P$7%G`2 [4B.;MS( 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
?-[.H^]s~ J&4LyIpQ 设计任务 \
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1V(tt{ $[txZN 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
`P}T{!P+6 <_&tP=h 扫描参数空间以获取初始解 J'B6l#N
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!m(5N4:vV 1HK5OT& 初始解#1的参数优化 7RNf)nz
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\:ntqj&A| NFTEp0eP 最终设计#1的性能分析 v`8dRVN
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&z;F'>" Z=`\U?, 初始解#2的参数优化 7Wub@Mp
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H ^P uC ( O@St^o*A} 最终设计#1的性能分析 rQgRD)_%w {'P7D4w
l?E7'OEF: V4p4m@z^u VirtualLab Fusion一瞥 2@WF]*Z
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zTb!$8D"g `ro~l_U;A VirtualLab Fusion中的工作流程 gE8p**LT+ {iiHeSD 构建
光栅结构
J{c-'Of2yi f%ude@E3 分析光栅
衍射效率
L/,#:J :/'2@M 使用参数运算寻找初始解
.T0w2Dv/ t~m > \(& 使用参数优化确定最终解
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QA^gxW VirtualLab Fusion技术 >g8H
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