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P\JpE sp%7iNs 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
2k_Bo~. c1i7Rc{q 设计任务 ~X/T6(n$ 15COwc*k
'5%DKz 7Do)++t 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
8Bhng;jX L@wnzt 扫描参数空间以获取初始解 JsV#:
7j+.H/2
(w*$~p ="`y<J P 初始解#1的参数优化 <FP-]R)
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,Gfnf%H\8> x{rt\OT 最终设计#1的性能分析 04s N4C
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MmX42;Pw jV(ISD 初始解#2的参数优化 #r1x0s40D
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bnlL-]]9z `F)Iv:;y, 最终设计#1的性能分析 IAfYlS#<yD |:\h3M
Th8xh=F[ t/3veDh@ VirtualLab Fusion一瞥 !`SR$dnE
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*q^'%' v#~,)-D& VirtualLab Fusion中的工作流程 ~Sh}\&3p F?UL0Q|u v 构建
光栅结构
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)T`?y 3yTBkFI! 分析光栅
衍射效率
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使用参数运算寻找初始解
? f%@8%px <a'j8pw9i 使用参数优化确定最终解
62W3W1: W h.67]U7m VirtualLab Fusion技术 G^+0</Q
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