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E~1"Nh I->4Q&3 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
6='x}Qb \H =B"^#n ; 设计任务 sF p% T4j vSGvv43G
ihopQb+k^m |\SwZTr 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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yQ<O> 扫描参数空间以获取初始解 VHx:3G
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初始解#1的参数优化 P#qQde/y
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|Gr| $@<cZ4 最终设计#1的性能分析 $WG<
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xoN?[ /U@Y2$TOF 初始解#2的参数优化 3/4r\%1b+
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#\gx.2W7 =J^FV_1rJ VirtualLab Fusion一瞥 ]xN)>A2
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R9O1#s^ zAO|{m<A2 VirtualLab Fusion中的工作流程 aYcc2N%C [PL]!\NJ 构建
光栅结构
.X{U\{c| a D@o8Gerq~ 分析光栅
衍射效率
YB"=eld OQh4MN#$ 使用参数运算寻找初始解
T:!Re*=JJ ljJR7< 使用参数优化确定最终解
kr>F=|R] </9@RO VirtualLab Fusion技术 =x}p>#o,J
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