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wOl]N2< f87lm*wZ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
p-%m/d? @0%^\Qf2 设计任务 kc"SUiy/ #tt*yOmiH
)G$0:-J- `S/;S<'; 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
x):h|/B H|B4.z 扫描参数空间以获取初始解 {(`xA,El
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&28%~&L nnnq6Z} 初始解#1的参数优化 ^Hv4t
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+C9l7 q " [K>faV 最终设计#1的性能分析 Nc[u?-
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h-RL`X ;PX>] r5U0 初始解#2的参数优化 q{oppali
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= @ VirtualLab Fusion一瞥 +`~6Weay
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5KDN8pJN SpX6PwM VirtualLab Fusion中的工作流程 f^k H[C $n@B:kv5p 构建
光栅结构
G^/8lIj :B]yreg 分析光栅
衍射效率
K-drN)o X=i",5; 使用参数运算寻找初始解
|4|j5<5 k'JfXrW<! 使用参数优化确定最终解
YA%0{Tdxz "AUHe6Yv VirtualLab Fusion技术 T:(c/>
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