~MyP4x/
s>~!r.GC Tx0/3^\>8A 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
>
zh%CF$ ,Zzh. z::D 设计任务 *f.eyg#
q>r9ooN
\Yz>=rY ?;+=bKw0 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
O9A.WSJ
>} -a]oN:ERb 扫描参数空间以获取初始解 "f~S3 ?^!2
+uKlg#wqc
s}`ydwSg8 [xk1}D 初始解#1的参数优化 DM! vB+j+,
bU=!~W5
rcq(p(! tn6\0_5n 最终设计#1的性能分析 qUx!-DMY
-&M9Yg|Se
7&:gvhw eek5Xm 初始解#2的参数优化 4Me*QYD
s8{3~ Hv
ov#/v\|0 Bb]pUb 最终设计#1的性能分析 Ngu+V +J]3)8y+
:"3WCB X;v/$=-mz VirtualLab Fusion一瞥 ,/m<= `*N|
2hw3+o6
r=s,Ath JnmJN1@I VirtualLab Fusion中的工作流程 +0.$w 5(%+8<2 构建
光栅结构
niFX8%<hP ^lB1- ;ng 分析光栅
衍射效率
TWQf2 6BFtY+.y 使用参数运算寻找初始解
G!8O*4+A e~W35Y>A 使用参数优化确定最终解
g>_6O[;t% E6NkuBQ(( VirtualLab Fusion技术 ,@/b7BVv
X{9D fgW
%TPnC'2