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2 ][DZl Q4]4@96Aj 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
,El!fgL YUWn;# 设计任务 ~p1EF;4 # f:JlZ&
/B3R1kNf| 3(E
$I5 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
&dB-r&4;+ .^(/n9|o- 扫描参数空间以获取初始解 }WLh8i?_
Pt,ebL~
giY80!GX k"UO c= 初始解#1的参数优化 iP@6hG`:
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Y-!YhWsS $D1w5o- 最终设计#1的性能分析 qQ[b VD\*
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dtStTT \*vHB`.,ey 初始解#2的参数优化 ?i\;:<e4
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I&yVx8aH} $m$;v<PSe 最终设计#1的性能分析 kh$_!BT {2d_"lHBt
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dfR!&J VirtualLab Fusion一瞥 l~:v
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)KSoq/ 6c4&VW VirtualLab Fusion中的工作流程 6aO2:|:yP jR ~DToQ 构建
光栅结构
imB# Eo4eY ^?"\?M1 分析光栅
衍射效率
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>\N |H}sYp 使用参数运算寻找初始解
,Dmc2D q-$`k 使用参数优化确定最终解
RSfM]w}Hq# y8Xv~4qQW VirtualLab Fusion技术 q(o/yx{bm
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