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对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
)Z(TCJ~~! %K\?E98M 设计任务 RnhL<
Ywu 'f[T&o&L/ c%&:6QniZ LM}Ib. 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
V>R8GSx UG2nX3? 扫描参数空间以获取初始解 >c9a0A
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{jYOsl &m|wH4\ 初始解#1的参数优化 Sg6"WV{<
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Hz.(qW">5* Z7_m)@%;kk 最终设计#1的性能分析 wm)#[x #
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[c+. ^1Zeb$Nw' 9T|IvQK8 ]@uE#a:[ VirtualLab Fusion一瞥 \RvvHty-V
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5e$~)fL "\}@gV#r$A VirtualLab Fusion中的工作流程 Md0sK 7VMvF/ap]u 构建
光栅结构
e pU: \8<BLmf4U 分析光栅
衍射效率
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]YD f}1&HI8r 使用参数运算寻找初始解
q|Q k2M HYD"#m'TkB 使用参数优化确定最终解
H&]gOs3So =!`j7#: VirtualLab Fusion技术 hir4ZO%Zt
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