FLi)EgZXt &g|-3)A `NrxoU= 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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VJ3 设计任务 ]5B5J )|3?7?X 2}t2k> |_Z(}%
<o 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
waldLb>7D 1)H+iN|im/ 扫描参数空间以获取初始解 |R DPx6!V
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0zetOlFbO m%l\EE 初始解#1的参数优化 `9%@{Ryo
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9>%ti&_-jt "\Z.YZUa\ 最终设计#1的性能分析 e%SQ~n=H 9
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rV)JA 初始解#2的参数优化 K'Wg_ihA
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U)o(}:5xF W/L~&.' 最终设计#1的性能分析 hxGZ}zq*S ):31!IC ymiOtA Z ^,qi`Tk VirtualLab Fusion一瞥 N\BB8<F
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mv Hcq?7_) VirtualLab Fusion中的工作流程 1!~=8FTv |1uyJ?%B 构建
光栅结构
?zM]p"M B;@7 分析光栅
衍射效率
)OS^tG[= +:+q,0~*] 使用参数运算寻找初始解
=`Pgo5A 1
\:5ow&a 使用参数优化确定最终解
TFjb1a,) buu~#m1z VirtualLab Fusion技术 :q/%uca9
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