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-P&e4sV{ j@!}r|-T 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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sV RkwY3s" 设计任务 o |iLBh$) 7k|(5P;
}C.{+U QovC*1' 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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ET 2|*} $t}1|q| 扫描参数空间以获取初始解 <LN $[&f#
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p>S/6 [X ,eCXT=6 初始解#1的参数优化 (=rv `1
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B,,d~\ YYW70k: 最终设计#1的性能分析 *rT(dp!Y
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?F{xDfqw 2zu~#qU[)M 最终设计#1的性能分析 f34&:xz2U ;bE6Y]"Rz
wP?q5r5 K~T\q_ZPZ VirtualLab Fusion一瞥 a*ymBGF
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%WR"85 IoOnS) VirtualLab Fusion中的工作流程 /GGu` f BwD1}1jp 构建
光栅结构
Xm'K6JH' Y'1V(5/& 分析光栅
衍射效率
H%aLkV!J vW3Zu B 使用参数运算寻找初始解
%$| k3[4V 0EXNq*=EE 使用参数优化确定最终解
Qpf]3 zAJUL VirtualLab Fusion技术 @8yFM%
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