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KUHkjA_ wZKmU 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
4.~<|T8 {)Shc;Qh 设计任务 HLc3KYIk Pw6%,?lQ
]A1'+!1$ i4M%{]G3Y 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
-uhVw_qq# sJ5#T iX 扫描参数空间以获取初始解 \H1t<B,
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J'k^(ZZ 8u1?\SYnb 初始解#1的参数优化 (''w$qq"D
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80Q%c(i ^a1k"|E?f 最终设计#1的性能分析 [Ov/&jD"
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`z- 初始解#2的参数优化 D/,(xWaT
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C@pn4[jTl pkTVQdtRG 最终设计#1的性能分析 E[BM0.#bZ JcfGe4
W[>qiYf^b )lJi7 ^, VirtualLab Fusion一瞥 _'n]rQ'
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RRl`;w? ]]y,FQ,r VirtualLab Fusion中的工作流程 #wkSru&LS tC.etoh 构建
光栅结构
w U1[/ 6:Y2z!MLO 分析光栅
衍射效率
j'lC]}kH {]dvzoE] 使用参数运算寻找初始解
/fU-0a8 RPjw12Ly 使用参数优化确定最终解
X}ihYM3y/ l j+p}dt VirtualLab Fusion技术 UXwI?2L
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