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agQ5%t# [y^)&L$= 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
NpmPm1Ix . -
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设计任务 fwR3=:5~ Y>OL2g
bXN-q! [,GXA)j 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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@^@l$ 5fh@nR 扫描参数空间以获取初始解 iEDZ\\,
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>{DHW1kF? >v4k_JX 初始解#1的参数优化 Effp^7 3
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/)80@ ^q"wd?((h VirtualLab Fusion一瞥 Y^dVNC3vd
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B3I\= ':,6s VirtualLab Fusion中的工作流程 l<<G".? 2|k*rv}l 构建
光栅结构
ArkFC '-#6;_ i< 分析光栅
衍射效率
<_*8a(j3 H*QN/{|RU 使用参数运算寻找初始解
}@'xEx D#%J|| 使用参数优化确定最终解
nf< <]iHf hp(n;(OR VirtualLab Fusion技术 =J8)Z'Jr
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