+t(Gt0+
T5_rPz /^`do3a} 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
+0:]KG!Zs. sDkO!P 设计任务 6L-3cxqf\ \M*c3\&~,e
Z{_YH7_ \{o<-S;h 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Z_Y gV:jc O#)YbaE 扫描参数空间以获取初始解 e`?o`@vO,
v/,,z+%-
161IWos Ubh)}G,Mg 初始解#1的参数优化 >{"E~U
&p55Cg@e)
VrJf g 2Xv$ 最终设计#1的性能分析 ,
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zSBR_N51
RZ?abE8 k%;oc$0G-3 初始解#2的参数优化 iVb7>d9}
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1CS\1[E $WsyAUl 最终设计#1的性能分析 4@Bl 1b[< w`F'loUEt
QF$s([ |zy` ]p9 VirtualLab Fusion一瞥 dfXBgsc6i
<#)Q.P
s=<65 xQNGlVipZ@ VirtualLab Fusion中的工作流程 v
`;Hd8 O*>`md?MH 构建
光栅结构
,S&p\(r. ,be$~7qS 分析光栅
衍射效率
$kxu- BoHNni 使用参数运算寻找初始解
7H?lR~w ,]tMZ?n8 使用参数优化确定最终解
!fJy7Y X: QRy9] VirtualLab Fusion技术 4@M`BH`
9r 5(
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