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]J 光学干涉装置广泛用于精密的表面或波前测试和细节分析,特别是菲索
干涉仪作为工业上应用最广泛的表面轮廓检测技术之一,正占据着重要的地位。我们在
VirtualLab Fusion中构建了一个基于斐索干涉仪的测试
光学系统,使用几种类型的表面作为测试对象,并观察不同的干涉条纹。此外,还介绍了用于
镜头测试的马赫-曾德尔干涉仪。
ABX%oZ7[|o 用于光学测试的菲索干涉仪 q1( [mHZ
.t5.(0Xk[A 9ziFjP+1 利用非
序列场追迹技术建立了菲索干涉仪,给出了不同测试表面的干涉条纹。
MmR6V#@: 马赫-曾德尔干涉仪
oDz|%N2s| P*OG`%y wG3b{0 我们在VirtualLab Fusion中构建了马赫-曾德尔干涉仪,并演示了元件的倾斜和偏移对干涉条纹的影响