's9)\LS>p 光学干涉装置广泛用于精密的表面或波前测试和细节分析，特别是菲索
干涉仪作为工业上应用最广泛的表面轮廓检测技术之一，正占据着重要的地位。我们在
VirtualLab Fusion中构建了一个基于斐索干涉仪的测试
光学系统，使用几种类型的表面作为测试对象，并观察不同的干涉条纹。此外，还介绍了用于
镜头测试的马赫-曾德尔干涉仪。
@U9ov >E 用于光学测试的菲索干涉仪 ?$gEX@5h
y@(U 6ZOyx "B\qp "N 利用非
序列场追迹技术建立了菲索干涉仪，给出了不同测试表面的干涉条纹。
Vw,dHIe(3 马赫-曾德尔干涉仪
AKHi$Bk 4}0s^>R tV T(!&( 我们在VirtualLab Fusion中构建了马赫-曾德尔干涉仪，并演示了元件的倾斜和偏移对干涉条纹的影响
