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VK/i5yT5N 内容简介 _/RP3" # Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 W<OO:B.ty 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 mP+rPDGp 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 tRzo}_+N QMBV"E_aY 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 a4D4*=!G0 目录 V~ [I /Vi Preface 1 X0zE-h6P 内容简介 2 ~\~XD+jy" 目录 i .,( ,< 1 引言 1 S$%Y{ 2 光学薄膜基础 2 Nbm=;FHB` 2.1 一般规则 2 [.*o<
KP 2.2 正交入射规则 3 r/BiR0$E 2.3 斜入射规则 6 Nk/Ms:57y 2.4 精确计算 7 2apQ4)6#[H 2.5 相干性 8 oQ_n:<3X 2.6 参考文献 10 hP]zC1s 3 Essential Macleod的快速预览 10 @V5'+^O 4 Essential Macleod的特点 32 V[BlT|t 4.1 容量和局限性 33 #Cz6c%yK 4.2 程序在哪里? 33 -Drm4sTpDb 4.3 数据文件 35 WA 79(B 4.4 设计规则 35 m[!AOln) 4.5 材料数据库和资料库 37 ICI8xP}a? 4.5.1材料损失 38 lITZ|u 4.5.1材料数据库和导入材料 39 MB]Y|Vee 4.5.2 材料库 41 *3W e5 4.5.3导出材料数据 43 4,g3 c 4.6 常用单位 43 d8T,33>T 4.7 插值和外推法 46 /DQcM.3
4.8 材料数据的平滑 50 uyDYS 4.9 更多光学常数模型 54 L~~Dj:%uq 4.10 文档的一般编辑规则 55 !WReThq 4.11 撤销和重做 56 Ch9A6?=Hj8 4.12 设计文档 57 `L<)9* 4.10.1 公式 58 ;q&\>u: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 p; ZEz<M 4.10.3 沉积密度 59 &5u[q 4.10.4 平行和楔形介质 60 59I} 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 S.Fip_ 4.10.4 性能 61 /+F|+1 4.10.5 保存设计和性能 64 |uE_aFQs 4.10.6 默认设计 64 f{[,!VG 4.11 图表 64 sP NAG
4.11.1 合并曲线图 67 TAu*lL(F 4.11.2 自适应绘制 68 .DkDMg1US 4.11.3 动态绘图 68 4c_F>Jw[ 4.11.4 3D绘图 69 @tLoU% 4.12 导入和导出 73 8Bnw//_pT 4.12.1 剪贴板 73 @9rmm)TZ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 N#`aVW'{v2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 'D4KaM.d 4.13 背景 77 m'%Z53& 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 'k9hzk(* 4.15 生成Rugate 84 $PQlaivA 4.16 参考文献 91 %KmB>9 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 =9;jVaEMJL 5.1 Jobs 92 Px4zI9;cB 5.2 创建一个新Job(工作) 93 aUy=D:\ 5.3 输入材料 94 p3eJFg$ 5.4 设计数据文件夹 95 )LYj,do 5.5 默认设计 95 $u4esg 6 细化和合成 97 ,b@0Qa" 6.1 优化介绍 97 g/q$;cB 6.2 细化 (Refinement) 98 0OMyE9jJJ 6.3 合成 (Synthesis) 100 dMwVgc: 6.4 目标和评价函数 101 V6d*O`
6.4.1 目标输入 102 ~j\/3;^s
6.4.2 目标 103 XfxNyZsy&> 6.4.3 特殊的评价函数 104 @$79$:q N 6.5 层锁定和连接 104 +G_6Ek4 6.6 细化技术 104 '}5}wCLA 6.6.1 单纯形 105 8[FC 6.6.1.1 单纯形参数 106 #1zWzt|DW 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 % KY&E>^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 9&W\BQ 6.6.3 模拟退火算法 109 5Wi5`8m 6.6.3.1 模拟退火参数 109 R^F99L 6.6.4 共轭梯度 111 /d >fp 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 i
c]f o 6.6.5 拟牛顿法 112 Z<r&- !z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 7@vcQv
kC 6.6.6 针合成 113 C_#0Y_O 6.6.6.1 针合成参数 114 kkrQ;i)Z 6.6.7 差分进化 114 =dX*:An 6.6.8非局部细化 115 ZF;S}1 6.6.8.1非局部细化参数 115 AX1'.
6.7 我应该使用哪种技术? 116 @Ds? 6.7.1 细化 116 0{PK]qp7 6.7.2 合成 117 ,h]N*Z-I" 6.8 参考文献 117 Ok6Y'P 7 导纳图及其他工具 118 2.&v{gq 7.1 简介 118 jVRd[ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ;lAz@jr+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 F;ONo.v; 7.2.2 导纳图 120 -r-`T
s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 u(ZS sftat 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /p>"|z 7.5 斜入射导纳图 141 ]jHB'Y 7.6 对称周期 141 8`VMdo9 7.7 参考文献 142 6w}:w?=6 8 典型的镀膜实例 143 v!F(DP.)Z 8.1 单层抗反射薄膜 145 4g1u9Sc0 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 JpDYB 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 >/bl
r}5
H 8.4 W-膜层 148 '*3+'> 8.5 V-膜层 149 ']vX 8.6 V-膜层高折射基底 150 (I[o;0w 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 LwGcy1F. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 9$DVG/ 8.9 四层抗反射薄膜 153 xJ&StN/' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 c=
a+7> 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 cR5<.$aY 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Y5MHd>m 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }(tGjx] 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Tz*5;y%4 8.15十五层宽带抗反射膜 159 //+UQgl6 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Z@ws,f^e 8.17 1/4波长堆栈 162 ~4`wfOvO 8.18 陷波滤波器 163 ,+X8?9v 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -~(0:@o ; 8.20 褶皱 165 5h>
gz 8.21 消偏振分光器1 169 N{9<Tf * 8.22 消偏振分光器2 171 Y*}Sq|y 8.23 消偏振立体分光器 172 <m(nZ'Zqz2 8.24 消偏振截止滤光片 173 56bB~=c 8.25 立体偏振分束器1 174 |\_O8=B% 8.26 立方偏振分束器2 177 E>g'! 8.27 相位延迟器 178 \:=Phbn 8.28 红外截止器 179 v;$^1 I 8.29 21层长波带通滤波器 180 gN]`$==c[ 8.30 49层长波带通滤波器 181 ev?>Nq+Z 8.31 55层短波带通滤波器 182 P!O#"(r2] 8.32 47 红外截止器 183 r\NnWS J 8.33 宽带通滤波器 184 ;:!LAe
8.34 诱导透射滤波器 186 S$H4xkKs 8.35 诱导透射滤波器2 188 0"QE,pLe4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Lw#hnLI. 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 e+6~JbMV 8.35 增益平坦滤波器 193 Z9sg6M@s 8.38 啁啾反射镜 1 196 {[9^@k 8.39 啁啾反射镜2 198 k{bba=< 8.40 啁啾反射镜3 199 h NoN=J 8.41 带保护层的铝膜层 200 LTY.i3
8.42 增加铝反射率膜 201 d)G-K+&B 8.43 参考文献 202 b]Y,& 8}[+ 9 多层膜 204 pj )I4C) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 u3ZG;ykM 9.2 内部透过率 204 ;% !?dH6 9.3 内部透射率数据 205 =_1" d$S& 9.4 实例 206 S77Gc:[;8 9.5 实例2 210 o&AUB`.9~ 9.6 圆锥和带宽计算 212 l1:j/[B= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 82=][9d # 10 光学薄膜的颜色 216 -12v/an]L7 10.1 导言 216 aH$~':[93 10.2 色彩 216 M)xK+f2_[ 10.3 主波长和纯度 220 zR
.MXr 10.4 色相和纯度 221 vK{K#{ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 z]WT>4 10.6 色差 226 CeJ|z{F\ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 TB[vpTC9) 10.8 颜色渲染指数 234 OiOL4}5( 10.9 色差计算 235 Ya. $x~ 10.10 参考文献 236 Lf-8G5G 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Q d./G5CC 11.1 短脉冲 238 bk?\=4B:E 11.2 群速度 239 ]@P*&FRcZ 11.3 群速度色散 241 s_[?(Ip{ 11.4 啁啾(chirped) 245 Kaa*;T![ 11.5 光学薄膜—相变 245 f
LW>-O73 11.6 群延迟和延迟色散 246 @bx2= 11.7 色度色散 246 ~4^e a 11.8 色散补偿 249 |<V{$),k 11.9 空间光线偏移 256 L~$RF {$ 11.10 参考文献 258 4TKi)0
#7 12 公差与误差 260 3q>"#+R.t 12.1 蒙特卡罗模型 260 9VByFQgM 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 TGNeEYr 12.2.1 误差工具 267 d5\1-d_uz 12.2.2 灵敏度工具 271 6)$_2G%Zq 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _e3'f:
12.2.2.2 灵敏度分布 275 J$Q-1fjj 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 a#IJ<^[8 12.3 参考文献 276 =FbfV*K9 13 Runsheet 与Simulator 277 W% [5~N 13.1 原理介绍 277 ,54<U~Lg: 13.2 截止滤光片设计 277 x\DkS,O 14 光学常数提取 289 wl%1B64
14.1 介绍 289 q{hq. KZ 14.2 电介质薄膜 289 "Pc,+>vh 14.3 n 和k 的提取工具 295 ~c^-DAgB 14.4 基底的参数提取 302 agYKaM1N 14.5 金属的参数提取 306 a)1,/:7' 14.6 不正确的模型 306 ie!4z34 14.7 参考文献 311 ASvPr*q/ 15 反演工程 313 IMZKlU3 15.1 随机性和系统性 313 @_Zx'mTI 15.2 常见的系统性问题 314 &J b.OCf 15.3 单层膜 314 ~30Wb9eL 15.4 多层膜 314 WI6E3,ejB1 15.5 含义 319 t}7wRTG 15.6 反演工程实例 319 rieQ&Jt" 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 eFQi
K6`i 15.6.2 反演工程提取折射率 327 uFm-HR@4 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 76b7-Nj" 16.1 光学性质的热致偏移 329 S;'eoqN8 16.2 应力工具 335 pqSE|3*l 16.3 均匀性误差 339 DBUwf1=qj 16.3.1 圆锥工具 339 qt(:bEr^6b 16.3.2 波前问题 341 \bOjb\ w$ 16.4 参考文献 343 `<zb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 S nHAY< 17.1 引言 345 F4x7;?W{* 17.2 操作数 345 =T)2wcXBB 18 如何在Function中编写脚本 351 M9#QS`G 18.1 简介 351 |S{P`)z%f 18.2 什么是脚本? 351 bJm0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 L{f>;[FR 18.4 基础 352 Wts{tb 18.4.1 Classes(类别) 352 Wu( 8G 18.4.2 对象 352 $O'2oeM 18.4.3 信息(Messages) 352 Y:,R7EO{! 18.4.4 属性 352 0JNOFX 18.4.5 方法 353 ?+5{HFx 18.4.6 变量声明 353 ogqV]36Idh 18.5 创建对象 354 b3xkJ&Z 18.5.1 创建对象函数 355 V(u2{4gZ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 wW8
6rB 18.5.3 丢弃对象 356 b@/ON}gX 18.5.4 总结 356 {*;]I?9Al 18.6 脚本中的表格 357 Oq,.Kz 18.6.1 方法1 357 #2jn4> 18.6.2 方法2 357 {@5WeWlz~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 e6HlOGPVQH 18.8 3D Plots in Scripts 359 vvAk<[
18.9 注释 360 8(5E<&JP 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 |OZ>/l { 18.11 一个更高级的脚本 362 $|(|Qzi% 18.12 <esc>键 364 4AOS}@~W 18.13 包含文件 365 ]HV~xD7\ 18.14 脚本被优化调用 366 MLBg_< 18.15 脚本中的对话框 368 :{:?D\%6 18.15.1 介绍 368 )O@^H 18.15.2 消息框-MsgBox 368 =9 M|o0aY 18.15.3 输入框函数 370 IS2Ij 18.15.4 自定义对话框 371 ;b?+:L 18.15.5 对话框编辑器 371 V-;nj,.mY 18.15.6 控制对话框 377 ] ZGvRA& 18.15.7 更高级的对话框 380 9/daRq$ 18.16 Types语句 384 NzAtdcwR 18.17 打开文件 385 3Ge <G 18.18 Bags 387 5**5b9bj-9 18.13 进一步研究 388 @MZ6E$I 19 vStack 389 U.Chf9a- 19.1 vStack基本原理 389 [gkRXP[DGs 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 C}=_8N 19.3 五棱镜 393 9U9c"'g 19.4 光束距离 396 p
(xD/E 19.5 误差 399 \kV7NA 19.6 二向分色棱镜 399 B N*,!fx 19.7 偏振泄漏 404 vQYfoam; 19.8 波前误差—相位 405 |g\. 5IM#W 19.9 其它计算参数 405 7
Mki?EG 20 报表生成器 406 |:=b9kv 20.1 入门 406 \e:FmG 20.2 指令(Instructions) 406 %*5g<5 20.3 页面布局指令 406 _X%6 +0M
20.4 常见的参数图和三维图 407 Fm$n@RbX 20.5 表格中的常见参数 408 +?j?|G 20.6 迭代指令 408 ?%dCU~ z 20.7 报表模版 408 S?nNZW\6[ 20.8 开始设计一个报表模版 409 DtF![0w/ 21 一个新的project 413 <[3lV)~t 21.1 创建一个新Job 414 4-M6C 5#. 21.2 默认设计 415 {7TJgS 21.3 薄膜设计 416 lYZ@a4TA 21.4 误差的灵敏度计算 420 +<!)k? 21.5 显色指数计算 422 `!,\kc1 21.6 电场分布 424 N}+B:l]Qy 后记 426 SJ@8[n.x
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