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0 _A23.Y 内容简介 T#@{G,N Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 RDJ+QOVKg 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 F+ukAT
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 \lEkfcc |gv{z" 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 & fu z2xv 目录 cKjRF6w Preface 1 2JZdw 内容简介 2 I8u!\F 目录 i "Zcu[2, 1 引言 1 $mpO?D J~ 2 光学薄膜基础 2 )3%@9 2.1 一般规则 2 qSTW b% 2.2 正交入射规则 3 Z5B/|{ 2.3 斜入射规则 6 j;\[pg MR/ 2.4 精确计算 7 8KMvAc 2.5 相干性 8 %
5z
gd> 2.6 参考文献 10 6+3 $:? 3 Essential Macleod的快速预览 10 ^m%52Tm
h 4 Essential Macleod的特点 32 SkHYXe"] 4.1 容量和局限性 33 0Z
HDBh 4.2 程序在哪里? 33 I\zemW! 4.3 数据文件 35 E'EcP4eL 4.4 设计规则 35 s bnjy"Z% 4.5 材料数据库和资料库 37 S!hXf|*0[ 4.5.1材料损失 38 VEs5;]#<2D 4.5.1材料数据库和导入材料 39 "3}<8c 4.5.2 材料库 41 9S>g6}[E#0 4.5.3导出材料数据 43 f%XJ;y\,9H 4.6 常用单位 43 UpfZi9v?W 4.7 插值和外推法 46 ('hT 4.8 材料数据的平滑 50 CU$#0f> 4.9 更多光学常数模型 54 8lP6-VA 4.10 文档的一般编辑规则 55 M0w/wt| 4.11 撤销和重做 56 >o/95xk2 4.12 设计文档 57 O/b+CSS1 4.10.1 公式 58 $1Z6\G O 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 +Gh7^v|" 4.10.3 沉积密度 59 K_ke2{4Jm 4.10.4 平行和楔形介质 60 }x :f%Z5h 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {(tHk_q 4.10.4 性能 61 vFQ,5n;fF 4.10.5 保存设计和性能 64 4W;S=#1 4.10.6 默认设计 64 jfp z`zE 4.11 图表 64 QyGnDomQ 4.11.1 合并曲线图 67 wCCV2tk 4.11.2 自适应绘制 68 lV6dm=k 4.11.3 动态绘图 68 Zu/<NC
( 4.11.4 3D绘图 69 \/5RL@X} 4.12 导入和导出 73 O !&,5 Dy 4.12.1 剪贴板 73 :a0zT#u 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 NM#-Af*pg 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Q(Gl{#b 4.13 背景 77 ig+4S[L~n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 cWLqU 4.15 生成Rugate 84 ,}SCa'PB 4.16 参考文献 91 M.[rLJZ4 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 T!|=El> 5.1 Jobs 92 ig!7BxM)<h 5.2 创建一个新Job(工作) 93 L'Q<>{;Ig 5.3 输入材料 94 =L]Q2V} 5.4 设计数据文件夹 95 GJA`l8`SQ 5.5 默认设计 95 I#rubAl 6 细化和合成 97 '0Q, 6.1 优化介绍 97 iG<Som 6.2 细化 (Refinement) 98 ytAWOt}` 6.3 合成 (Synthesis) 100 7cTk@Gq 6.4 目标和评价函数 101 H/fUM 6.4.1 目标输入 102 (u1m]WYL 6.4.2 目标 103 wvby?MhPY 6.4.3 特殊的评价函数 104 z=Cr7- 6.5 层锁定和连接 104 '{b1!nC; 6.6 细化技术 104 =E*Gb[r_7 6.6.1 单纯形 105 |j~lkzPnV 6.6.1.1 单纯形参数 106 5&!c7$K0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $XnPwOj 6.6.2.1 Optimac参数 108 </`yd2 > 6.6.3 模拟退火算法 109 t18$x"\4k 6.6.3.1 模拟退火参数 109 +^|iZbZKx 6.6.4 共轭梯度 111 b #fTAC;< 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ;2xO`[# 6.6.5 拟牛顿法 112 PoSpkJH 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 j+IrqPKC^ 6.6.6 针合成 113 7^6uG6 6.6.6.1 针合成参数 114 ~+6Vdxm 6.6.7 差分进化 114 )Kd%\PP 6.6.8非局部细化 115 6<76H 6.6.8.1非局部细化参数 115 *m+BuGt| 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =/0=$\Ws 6.7.1 细化 116 7:E!b=o# 6.7.2 合成 117 G&f8n 6.8 参考文献 117 OQ&'Dti 7 导纳图及其他工具 118 \}0-^(9zd 7.1 简介 118 \;X+X,M 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 5 `/< v^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 {R6HG{"IS6 7.2.2 导纳图 120 eOT+'[3" 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 V@-)\RZm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =n(3o$r( 7.5 斜入射导纳图 141 C#0Qd% 7.6 对称周期 141 s#9Ui#[=h 7.7 参考文献 142 #'baPqdO 8 典型的镀膜实例 143 5s{j=.O 8.1 单层抗反射薄膜 145 LPd\-S_rsP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 c3%@Wj:fo 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 pc]J[ S?P 8.4 W-膜层 148 yY).mxRN 8.5 V-膜层 149 k(VB+k"3 8.6 V-膜层高折射基底 150 s@4nWe 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 e.d
#wyeX 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Hh;:`;}
8.9 四层抗反射薄膜 153 o+B:#@9? 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 T#@lDpO 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 WiL2 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ]y{WD=T 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &<TzGB* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^"\s eS 8.15十五层宽带抗反射膜 159 t&q N: J 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y*oDO$6 8.17 1/4波长堆栈 162 DE$q+j0P 8.18 陷波滤波器 163 n{0Ld -zH 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 CK+d!Eg 8.20 褶皱 165 B;6]NCxD 8.21 消偏振分光器1 169 $lA
V 6I. 8.22 消偏振分光器2 171 p/Sbt/R 8.23 消偏振立体分光器 172 Cs3^9m6;d 8.24 消偏振截止滤光片 173 ]va>ex$d 8.25 立体偏振分束器1 174 e> rRTN 8.26 立方偏振分束器2 177 EI~"L$? 8.27 相位延迟器 178 `$LWmm# 8.28 红外截止器 179 Rgy-OA 8.29 21层长波带通滤波器 180 BAj-akc f 8.30 49层长波带通滤波器 181 T VmH 8.31 55层短波带通滤波器 182 2zSG&",2D 8.32 47 红外截止器 183 M,5j5<7 8.33 宽带通滤波器 184 S{]7C?4` 8.34 诱导透射滤波器 186 uP3_FX:
e 8.35 诱导透射滤波器2 188 1F8 W9b^D 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ,fDEz9-, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 eK_*2=;XRW 8.35 增益平坦滤波器 193 OI1ud/>h 8.38 啁啾反射镜 1 196 %=we`& 8.39 啁啾反射镜2 198 pL=d% m.W 8.40 啁啾反射镜3 199 #m{{a]zm^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 F7L &=K$2y 8.42 增加铝反射率膜 201 -{XRA6 8.43 参考文献 202 thi1kJ`L 9 多层膜 204 |'ln?D:& 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 >>b3ZE|5 9.2 内部透过率 204 5vAf7\* 9.3 内部透射率数据 205 u=F+(NE" 9.4 实例 206 hf/2vt
m 9.5 实例2 210 AUVgPXOwd 9.6 圆锥和带宽计算 212 k#Of]mXXz 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 N /$`:8" 10 光学薄膜的颜色 216 keW~ NM 10.1 导言 216 LTV{{Z+ 10.2 色彩 216 9//+Bh 10.3 主波长和纯度 220 ,r^M?> 10.4 色相和纯度 221 $mmup|;( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9j]sD/L5q 10.6 色差 226 unJid8Lo 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .roqEasu8 10.8 颜色渲染指数 234 <}U'V}g 10.9 色差计算 235 8[CB>-9 10.10 参考文献 236 n,HE0Zn]Y_ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 4H5pr 11.1 短脉冲 238 U t-B^x)gl 11.2 群速度 239 1aVa0q< 11.3 群速度色散 241 X8dR+xd 11.4 啁啾(chirped) 245 07Gv* . 11.5 光学薄膜—相变 245 |6UtW{2I/
11.6 群延迟和延迟色散 246 )k&a}u5y 11.7 色度色散 246 k%wn0Erd 11.8 色散补偿 249 {8,<ZZ_ 11.9 空间光线偏移 256 O1 .w,U 11.10 参考文献 258 hUQ,z7- 12 公差与误差 260 &
gJV{V5Ay 12.1 蒙特卡罗模型 260 n,eJ$2!J 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Iz6y{E 12.2.1 误差工具 267 .6O"|
Mqb 12.2.2 灵敏度工具 271 v5;I]?72l~ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 6)oLus 12.2.2.2 灵敏度分布 275 W3vi@kb] 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 -[= drj9I 12.3 参考文献 276 8Y0"Cejq 13 Runsheet 与Simulator 277 ZKQ hbNT 13.1 原理介绍 277 Ftw;Yz 13.2 截止滤光片设计 277 +$xeoxU>; 14 光学常数提取 289 -U<Upn)2 14.1 介绍 289 Am8x74? 14.2 电介质薄膜 289 +,o0-L1D 14.3 n 和k 的提取工具 295 8ul&x~2;X 14.4 基底的参数提取 302 sS&Z ,A 14.5 金属的参数提取 306 cJM: 14.6 不正确的模型 306 ]
2DH; 14.7 参考文献 311 f:g,_|JD$ 15 反演工程 313 )$w*V9d 15.1 随机性和系统性 313 #`GY}-hL! 15.2 常见的系统性问题 314 Q0Nyqhvi 15.3 单层膜 314 p^(&qk?ut 15.4 多层膜 314 7nbB^2 15.5 含义 319 :16P.z1L 15.6 反演工程实例 319 awvDe 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Xtwun 15.6.2 反演工程提取折射率 327 \%sVHt`c 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7W6cM%_B 16.1 光学性质的热致偏移 329 @&D?e:|!U 16.2 应力工具 335 J 5h+s-' 16.3 均匀性误差 339 "NRDNqj( 16.3.1 圆锥工具 339 2F%W8Y3 16.3.2 波前问题 341 iHf-{[[Z 16.4 参考文献 343 6#j$GH * 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 R<i38/ ~G 17.1 引言 345 7bxA]s{m 17.2 操作数 345 IVr 2y8K 18 如何在Function中编写脚本 351 fYE(n8W3 18.1 简介 351 g%u&Zkevx 18.2 什么是脚本? 351 syip; ; 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 8 6f2'o+ 18.4 基础 352 )otb>w5 18.4.1 Classes(类别) 352 ,G#.BLH
cX 18.4.2 对象 352 ,@m@S^ 18.4.3 信息(Messages) 352 @\&m+;6 18.4.4 属性 352 jlFk@:y4 18.4.5 方法 353 qo)?8kx>l 18.4.6 变量声明 353 50dGBF 18.5 创建对象 354 {brMqE>P# 18.5.1 创建对象函数 355 (;. AS 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 y/V%&.$o= 18.5.3 丢弃对象 356 e T'nl,e| 18.5.4 总结 356 U|G|l|Bl 18.6 脚本中的表格 357 Nr2 C@FU:0 18.6.1 方法1 357 B12$I:x` 18.6.2 方法2 357 B=
keBO](@ 18.7 2D Plots in Scripts 358 xUF_1hY 18.8 3D Plots in Scripts 359 DoC(Z)o 18.9 注释 360 BQ^H? jo 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 C8a*Q" 18.11 一个更高级的脚本 362 @v\*AYr'M 18.12 <esc>键 364 ?Z\Yu' 18.13 包含文件 365 C1T_9}L-A 18.14 脚本被优化调用 366 4E44Hzs 18.15 脚本中的对话框 368 D+lzFn$3 18.15.1 介绍 368 yV)m"j 18.15.2 消息框-MsgBox 368 \b}~2oX 18.15.3 输入框函数 370 X5YiFLH>y\ 18.15.4 自定义对话框 371 7z_;t9Y 18.15.5 对话框编辑器 371 }U@m*dEG 18.15.6 控制对话框 377 %tA57Pn> 18.15.7 更高级的对话框 380 G0n'KB 18.16 Types语句 384 v+6@cC 18.17 打开文件 385 T5wjU*=IL 18.18 Bags 387 \EbbkN:D 18.13 进一步研究 388 9Qj2W 19 vStack 389 `ir3YnT+ 19.1 vStack基本原理 389 6]Q3Yz^h 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 .AV)'j#6P 19.3 五棱镜 393 ;%J5=f%z) 19.4 光束距离 396 ,1Qd\8N9 19.5 误差 399 jc_\'Gr+[ 19.6 二向分色棱镜 399 U7&x rif 19.7 偏振泄漏 404 JM0I(% Z% 19.8 波前误差—相位 405 ,xJrXPW 19.9 其它计算参数 405 6FfOH<\z6i 20 报表生成器 406 1;u4X`8 20.1 入门 406 9-*NW0 20.2 指令(Instructions) 406 x:K?\< 20.3 页面布局指令 406 B7NtkMK 20.4 常见的参数图和三维图 407
Ex@`O+ 20.5 表格中的常见参数 408 %@&a7JOL 20.6 迭代指令 408 M%Ku5X6:/ 20.7 报表模版 408 B_3QQtjAl 20.8 开始设计一个报表模版 409 2x$x;
\*j 21 一个新的project 413 $]d*0^J 6 21.1 创建一个新Job 414 x49!{} 21.2 默认设计 415 <MD;@_Nz\ 21.3 薄膜设计 416 7u11&(Lz 21.4 误差的灵敏度计算 420 GA^mgm"O 21.5 显色指数计算 422 u7]<=*V] 21.6 电场分布 424 g%J./F=@3 后记 426 |:iEfi]j
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