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@5JLjCN 内容简介 $a)JCErN Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 A;b=E[iv 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 CAA tco5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 3m?@7 F 5?S{W 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 i,C0o 目录 UA1]o5K Preface 1 Y8{T.\%\+ 内容简介 2 M^!C?(Hx^x 目录 i iDyMWlV 1 引言 1 )ylv(qgV 2 光学薄膜基础 2 ;Hz`0V 2.1 一般规则 2 L5i#Kh_ 2.2 正交入射规则 3 \pT^Zhp) 2.3 斜入射规则 6 _3-RoA'UZr 2.4 精确计算 7 d"QM;9 2.5 相干性 8 j=!(F`/ 2.6 参考文献 10 Z{8exym 3 Essential Macleod的快速预览 10 $X{B*
WF 4 Essential Macleod的特点 32 OtrXYiKB
4.1 容量和局限性 33 |*/uN~[ 4.2 程序在哪里? 33 ({ :yw 4.3 数据文件 35 EN5G:hD 4.4 设计规则 35 VPq5xSc? 4.5 材料数据库和资料库 37 .x\/XlM 4.5.1材料损失 38 %Q>~7P 4.5.1材料数据库和导入材料 39 "^e}C@ 4.5.2 材料库 41 {7j6$.7J$& 4.5.3导出材料数据 43 gdkLPZ<< 4.6 常用单位 43 y^0HCp{ 4.7 插值和外推法 46 v '"1/% L 4.8 材料数据的平滑 50 sM);gI14 4.9 更多光学常数模型 54 =0jmm(:Jh 4.10 文档的一般编辑规则 55 P22y5z~ 4.11 撤销和重做 56 T7WZ(y
3C 4.12 设计文档 57 k:(e79 4.10.1 公式 58 p4<M|1Z& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 6_ 33*/>=c 4.10.3 沉积密度 59 `W.vW8!# 4.10.4 平行和楔形介质 60 9~Y)wz 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 f0N)N}y 4.10.4 性能 61 Dn{19V.L 4.10.5 保存设计和性能 64 [E..VesrM 4.10.6 默认设计 64 7><*
9iOW 4.11 图表 64 &)fhlp5 4.11.1 合并曲线图 67 jN5} 2 p* 4.11.2 自适应绘制 68 :"y7Weh 4.11.3 动态绘图 68 m;$F@JJ 4.11.4 3D绘图 69 K"t:B 4.12 导入和导出 73 (<g;-pZH% 4.12.1 剪贴板 73 gpO_0U4lQ] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 0qotC6l~_w 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 v"Ud mv " 4.13 背景 77 Sx4UaV~" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 r~Is,.zZ} 4.15 生成Rugate 84 y<Z#my$`|n 4.16 参考文献 91 oto
wvm 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 MU^xu&MB 5.1 Jobs 92 y[ rB" 5.2 创建一个新Job(工作) 93 nfCd*f 5.3 输入材料 94 4BUK5)B 5.4 设计数据文件夹 95 }fa%JN %E 5.5 默认设计 95 L3hxe]mr 6 细化和合成 97 #u]_7/(</` 6.1 优化介绍 97 %+j]vP 6.2 细化 (Refinement) 98 ;?Y`e 6.3 合成 (Synthesis) 100 HnKF#<
6.4 目标和评价函数 101 l#5k8+s 6.4.1 目标输入 102 *9U4^lJjn 6.4.2 目标 103 yg]nS<K~4 6.4.3 特殊的评价函数 104 07G*M ] 6.5 层锁定和连接 104 |
xErA 6.6 细化技术 104 Ry*I~<m 6.6.1 单纯形 105 ovBd%wJ 0 6.6.1.1 单纯形参数 106 f4\p1MYQ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0o^#Fmuz 6.6.2.1 Optimac参数 108 Al-%j- j@- 6.6.3 模拟退火算法 109 -T>wi J 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {1-CfQ0
8 6.6.4 共轭梯度 111 Q1>Op$>h 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 i+
&lMgh 6.6.5 拟牛顿法 112 >i#_)th"U! 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9 %.<V_$ 6.6.6 针合成 113 tRrY)eElS 6.6.6.1 针合成参数 114 bZ@53 6.6.7 差分进化 114 5fDtSsW 6.6.8非局部细化 115 p6k'Q 6.6.8.1非局部细化参数 115 FoelOq6 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ]&tr\-3 6.7.1 细化 116 ]F)-}
6.7.2 合成 117 owS@dbO 6.8 参考文献 117 BNKo6:wy 7 导纳图及其他工具 118 3M:B?2 7.1 简介 118 Z?j='/u>@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 G<WDyoN=O 7.2.1 四分之一波长规则 119 _F$t#.o 7.2.2 导纳图 120 Nz;*;BQK: 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 @xM!: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :$Di.|l@7 7.5 斜入射导纳图 141 #*aGzF 7.6 对称周期 141 (R|FQdH 7.7 参考文献 142 Gy Xs{* 8 典型的镀膜实例 143 yp/V8C 8.1 单层抗反射薄膜 145 1#X=&N 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 CCvBE, ux 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 k2,oyUT=S 8.4 W-膜层 148 `0WA!(W 8.5 V-膜层 149 e.Q K% 8.6 V-膜层高折射基底 150 p'c<v)ia 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 D"XQ!1B% 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \fFy$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 2P>za\ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 CR PE?CRQF 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 vz_g2.7l\ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 YKxA2`3v% 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 $iz pH 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 L-:L=
snO 8.15十五层宽带抗反射膜 159 oHFDg?Z` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y\9*e5?`I3 8.17 1/4波长堆栈 162 D$!p+Q 8.18 陷波滤波器 163 <|.! Px86 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 xgw)`>p,W 8.20 褶皱 165 U.sPFt 8.21 消偏振分光器1 169 KGLhl;a 8.22 消偏振分光器2 171 K1{nxw!` 8.23 消偏振立体分光器 172 ?RAR 8.24 消偏振截止滤光片 173 *RE-K36m|u 8.25 立体偏振分束器1 174 `}Zbfe~ 8.26 立方偏振分束器2 177 Cspm\F 8.27 相位延迟器 178 )0V]G{QN 8.28 红外截止器 179 @X><lz 8.29 21层长波带通滤波器 180 nVA'O 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?D 9#dGK 8.31 55层短波带通滤波器 182 W%ZU& YBc 8.32 47 红外截止器 183 ;Sl0kSu 8.33 宽带通滤波器 184 ]~eWr2uG? 8.34 诱导透射滤波器 186 }Fe{s; 8.35 诱导透射滤波器2 188 GoA>sK 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 w*kFtNBfU 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ={vtfgxl 8.35 增益平坦滤波器 193 ij5=f0^4. 8.38 啁啾反射镜 1 196 ewPd hCK 8.39 啁啾反射镜2 198 L*oLKigT 8.40 啁啾反射镜3 199 T eTOj| 8.41 带保护层的铝膜层 200 @[Qg}'i 8.42 增加铝反射率膜 201 =QO[zke: 8.43 参考文献 202 \@"
.
GM% 9 多层膜 204 eZkz 1j~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 -2Cf)>`v 9.2 内部透过率 204 <Y'YpH`l 9.3 内部透射率数据 205 \I{A33i2w 9.4 实例 206 6Tmb@<I_ 9.5 实例2 210 6]49kHgMhe 9.6 圆锥和带宽计算 212 RWcQT` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 p<['FRf" 10 光学薄膜的颜色 216 PY<V 10.1 导言 216 717m.t,x 10.2 色彩 216 <?}g[]i 10.3 主波长和纯度 220 <:t\P. 10.4 色相和纯度 221 )F2tV ]k\ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 =9MH 10.6 色差 226 ^K[tO54 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >{=RQgGy 10.8 颜色渲染指数 234 rmoEc]kt] 10.9 色差计算 235 )yAPYC 10.10 参考文献 236 R6.#gb8^oS 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [cs8/Q8+ 11.1 短脉冲 238 Vs(Zs[ 11.2 群速度 239 Ot<!Y M 11.3 群速度色散 241 $X]v;B)J| 11.4 啁啾(chirped) 245 \{mJO>x 11.5 光学薄膜—相变 245 EmoU7iy 11.6 群延迟和延迟色散 246 d0,F'?.0| 11.7 色度色散 246 +JVfnTd 11.8 色散补偿 249 `Pbn 11.9 空间光线偏移 256 >p:fWQ6 11.10 参考文献 258 +:Zi(SuS] 12 公差与误差 260 l'f!za0 12.1 蒙特卡罗模型 260 <p
.[E]a2_ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 U<gw<[>f 12.2.1 误差工具 267 _/\H3 12.2.2 灵敏度工具 271 8R D)yRJ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 :AGQkJb 12.2.2.2 灵敏度分布 275 :M`BVZ1t 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 5E|2S_)G 12.3 参考文献 276 i*>yUav" 13 Runsheet 与Simulator 277 ((q(Q9(F 13.1 原理介绍 277 :]jtV~E\ 13.2 截止滤光片设计 277 {` 14 光学常数提取 289 t9{EO#o'k 14.1 介绍 289 ajr8tp' 14.2 电介质薄膜 289 @ U|u _S@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 (#`o>G( 14.4 基底的参数提取 302 =c4U%d2 14.5 金属的参数提取 306 z<*]h^!3 14.6 不正确的模型 306 (7
iMIY 14.7 参考文献 311 C(hg"_W ou 15 反演工程 313 A/aQpEb% 15.1 随机性和系统性 313 #1k,t 15.2 常见的系统性问题 314 ks4
,2f,2 15.3 单层膜 314 v_h{_b8 15.4 多层膜 314 j=4>In?x 15.5 含义 319 `6su_8Hno 15.6 反演工程实例 319 2Mp;/b! 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _>I5Ud8(- 15.6.2 反演工程提取折射率 327 %4J?xhd 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
`SrVMb( 16.1 光学性质的热致偏移 329 _A*0K,F- 16.2 应力工具 335 2ra4t]f6 16.3 均匀性误差 339 RPwSo.c4 16.3.1 圆锥工具 339 {lJpcS 16.3.2 波前问题 341 (""&$BJQ| 16.4 参考文献 343 s5e}X: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 M`'2
a 17.1 引言 345 +>j_[O5Y 17.2 操作数 345 f0+ 18 如何在Function中编写脚本 351 gw:BKR'o 18.1 简介 351 P])O\<)J 18.2 什么是脚本? 351 Sq>UMfl& 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 |Sm/Uq(c 18.4 基础 352
KW\`&ki 18.4.1 Classes(类别) 352 zT"#9"[" 18.4.2 对象 352 x`&W[AA4 18.4.3 信息(Messages) 352 5B6:pH6e 18.4.4 属性 352 `N+ P, 18.4.5 方法 353 Vv]mME@ 18.4.6 变量声明 353 1)y}.y5S 18.5 创建对象 354 Re_.<_$ 18.5.1 创建对象函数 355 A[MEtI=Q J 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \&fK 8H1 18.5.3 丢弃对象 356 he@swE& 18.5.4 总结 356 l"/O s_4O 18.6 脚本中的表格 357 sKtH4d5) 18.6.1 方法1 357 GU`2I/R 18.6.2 方法2 357 N{0 D <" 18.7 2D Plots in Scripts 358 %Ok.XBS) 18.8 3D Plots in Scripts 359 gC_U7a w 18.9 注释 360 wB@A?&UY 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 u}$3.]-.?T 18.11 一个更高级的脚本 362 %|Vq"MW,I 18.12 <esc>键 364 XQ>m8K?\d 18.13 包含文件 365 n7vi@^lf( 18.14 脚本被优化调用 366 lOZZ- 18.15 脚本中的对话框 368 Jh1fM`kB5K 18.15.1 介绍 368 .vg;K@{ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Gwe9<
y 18.15.3 输入框函数 370 &LE/hA 18.15.4 自定义对话框 371 ~9=g" v 18.15.5 对话框编辑器 371 t V</x0# 18.15.6 控制对话框 377 NeH^g0Q2,g 18.15.7 更高级的对话框 380 v2NzPzzyb 18.16 Types语句 384 /OEj]DNY 18.17 打开文件 385 SX#ATf6# 18.18 Bags 387 t+t&eg 18.13 进一步研究 388 A#}IbcZ|b 19 vStack 389 =>9`qcNW_ 19.1 vStack基本原理 389 idHBz*3~ps 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Onao'sjY 19.3 五棱镜 393 yd$y\pN=< 19.4 光束距离 396 sHNt>5p 19.5 误差 399 xpae0vw 19.6 二向分色棱镜 399 ==&=3 19.7 偏振泄漏 404 09r.0Ks 19.8 波前误差—相位 405 nL9m{$Zv 19.9 其它计算参数 405 #~"jo[ 20 报表生成器 406 CAk.2C/ 20.1 入门 406 kjH0u$n 20.2 指令(Instructions) 406 R b'"09)$ 20.3 页面布局指令 406 z[th@!3 20.4 常见的参数图和三维图 407 C
7v
8 20.5 表格中的常见参数 408 i -+B{H 20.6 迭代指令 408 .M04n\ 20.7 报表模版 408 ne%ckW?ks 20.8 开始设计一个报表模版 409 ffd yDUzQ 21 一个新的project 413 8D-g%Aj- 21.1 创建一个新Job 414 E8/P D 21.2 默认设计 415 {B34^H: 21.3 薄膜设计 416 =4G9ev
4 21.4 误差的灵敏度计算 420
W<t,Ivg 21.5 显色指数计算 422 9i n& \ 21.6 电场分布 424 _ 95V"h 后记 426 I<DS07K 详情请扫码咨询 UPH:$Fk& [!"u&iu`
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