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$vTU|o>| 内容简介 -_%n\# Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 B+*F?k[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Y2yVl+ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +[V?3Gdb ;5q=/ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 i0L)hkV 目录 X[(u]h` Preface 1 z./u;/: 内容简介 2 G3OqRH 目录 i |TkMrj0 1 引言 1 #QXB2x<* 2 光学薄膜基础 2 [9Q2/V;Uk% 2.1 一般规则 2 [wjA8d. 2.2 正交入射规则 3 mmu{K$9}I 2.3 斜入射规则 6 |bO}|X 2.4 精确计算 7 ZxwI< T:& 2.5 相干性 8 cmZ39pjBJ 2.6 参考文献 10 L/F!Y%=;[ 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]}w~fjq 4 Essential Macleod的特点 32 Hb#8?{ 4.1 容量和局限性 33 wg<DV!GZ 4.2 程序在哪里? 33 ]Yp;8#:1 4.3 数据文件 35 V'mQ{[{R 4.4 设计规则 35 t1 OnA#]/_ 4.5 材料数据库和资料库 37 #:v|/2 4.5.1材料损失 38 E-MEMran4 4.5.1材料数据库和导入材料 39
=BMON{K 4.5.2 材料库 41 {qp
XzxV 4.5.3导出材料数据 43 * A@~!@XE4 4.6 常用单位 43 :;#^h]Q 4.7 插值和外推法 46 6*lTur9ni 4.8 材料数据的平滑 50 v<ASkkh> 4.9 更多光学常数模型 54 @v2_gjRe 4.10 文档的一般编辑规则 55 !eMz;GZ 4.11 撤销和重做 56 Z7V1e<E 4.12 设计文档 57 (ye1t96 4.10.1 公式 58 fx_7X15 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 kbN2dL 4.10.3 沉积密度 59 Ww{bh-nyq 4.10.4 平行和楔形介质 60 x<>#G~- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 VA&_dU]* 4.10.4 性能 61 ,j:`yB]4, 4.10.5 保存设计和性能 64 \3"4;fM!i 4.10.6 默认设计 64 LS}u6\( 4.11 图表 64 z|Q)^ 4.11.1 合并曲线图 67 9G[!"eZ} 4.11.2 自适应绘制 68 -v/1R1$e1 4.11.3 动态绘图 68 c/jU+,_g 4.11.4 3D绘图 69 %|*tL7 4.12 导入和导出 73 N<zD<q 4.12.1 剪贴板 73 ?xWO>#/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ",k"c}3G 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 E].hoq7WiB 4.13 背景 77 *?zmo@- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~Y7>P$G) 4.15 生成Rugate 84 6U Q~Fv`] 4.16 参考文献 91 ]u?|3y^( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -,)&?S 5.1 Jobs 92 _ho9}7 > 5.2 创建一个新Job(工作) 93 E z?O
gE{ 5.3 输入材料 94 5/F1|N4 5.4 设计数据文件夹 95 C< 3`]l 5.5 默认设计 95 tBd-?+~7 6 细化和合成 97 ><V<}&:y$( 6.1 优化介绍 97 }^+E S^~ 6.2 细化 (Refinement) 98 E#[_"^n 6.3 合成 (Synthesis) 100 oCg|*
c|+ 6.4 目标和评价函数 101 CBN,~wzP* 6.4.1 目标输入 102 J&CA#Bg:w 6.4.2 目标 103 o%;R4 s, 6.4.3 特殊的评价函数 104 H*51GxK 6.5 层锁定和连接 104 O`j1~o<{ 6.6 细化技术 104 97l<9^$ 6.6.1 单纯形 105 4
3V{q 6.6.1.1 单纯形参数 106 OyH>N/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 eS-akx^@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 L1ro\ H 6.6.3 模拟退火算法 109 |(u6xPs;P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \5M1; 6.6.4 共轭梯度 111 i=T!4'Zu 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 *eL&fC 6.6.5 拟牛顿法 112 `yJ3"{uO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 2n+tc 6.6.6 针合成 113 Of0(.-Q w 6.6.6.1 针合成参数 114 )-VpDW!%_ 6.6.7 差分进化 114 ]dIcW9a 6.6.8非局部细化 115 r&+8\/{ 6.6.8.1非局部细化参数 115 0Lb:N]5m8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 dDYD6 6.7.1 细化 116 ~+|Vzm|S} 6.7.2 合成 117 w_qX~d/ 6.8 参考文献 117 0"}qND 7 导纳图及其他工具 118 ZZq]I 7.1 简介 118 7"Qj(N 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 #djby}hi 7.2.1 四分之一波长规则 119 n x4:n@J 7.2.2 导纳图 120 qJ(XW N H 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 O{^8dwg 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =D;n#n 7 7.5 斜入射导纳图 141 3Gi^TXE] 7.6 对称周期 141 X'FDQoH 7.7 参考文献 142 <ks+JkW_ 8 典型的镀膜实例 143 4N6JKS 8.1 单层抗反射薄膜 145 wtM1gYl^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 +2xgMN6B@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 (;VlK#rnC 8.4 W-膜层 148 sbv2*fno5 8.5 V-膜层 149 | KtI:n4d 8.6 V-膜层高折射基底 150 XM1;
>#kz 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %9v l 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Jlp nR#@ 8.9 四层抗反射薄膜 153 IC"Z.'Ph 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ba-4V8w 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 lT^/8Z<g 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 /U26IbJ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 cl04fqX 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ibH!bS{ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 KE[!{O^(a 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 "hid3"G 8.17 1/4波长堆栈 162 *'w?j)}A9g 8.18 陷波滤波器 163 |xawguJ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 8;Zz25* 8.20 褶皱 165 x" lcE@( 8.21 消偏振分光器1 169 7+9o<j@@o 8.22 消偏振分光器2 171 U7#C. Z 8.23 消偏振立体分光器 172
)Fgu' 8.24 消偏振截止滤光片 173 R_W6} 8.25 立体偏振分束器1 174 +Jm~Um! 8.26 立方偏振分束器2 177 t)|~8xpP 8.27 相位延迟器 178 D*&#}c,* 8.28 红外截止器 179 n
g%~mt
8.29 21层长波带通滤波器 180 v}LI-~M>U 8.30 49层长波带通滤波器 181 `L
LS|S] 8.31 55层短波带通滤波器 182 `^ZhxFX 8.32 47 红外截止器 183 {8I,uQO 8.33 宽带通滤波器 184 Ptm=c6H(' 8.34 诱导透射滤波器 186 '8Cg2v5&w 8.35 诱导透射滤波器2 188 {oSdVRI 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 dBw7l} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?;VsA>PV 8.35 增益平坦滤波器 193 GQ(*k)'a 8.38 啁啾反射镜 1 196 H +'6*akV 8.39 啁啾反射镜2 198 Yt[LIn-v: 8.40 啁啾反射镜3 199 cgnMoBIc 8.41 带保护层的铝膜层 200 nW)?cQ
I 8.42 增加铝反射率膜 201 ZIN1y;dJ 8.43 参考文献 202 /!?b&N/d) 9 多层膜 204 EXMW, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 kXV;J$1 9.2 内部透过率 204 ~R&rQJJeJ 9.3 内部透射率数据 205 7Kf 9.4 实例 206 L{&>,ww 9.5 实例2 210 S B~opN 9.6 圆锥和带宽计算 212 C$p012D1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ~&?57Sw*m 10 光学薄膜的颜色 216 fMIRr5 10.1 导言 216 D]o=I1O? 10.2 色彩 216 $PG(>1e 10.3 主波长和纯度 220 &gJ1*"$9 10.4 色相和纯度 221 *I!R0;HT 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 up{0ehr 10.6 色差 226 P3 . 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7t+d+sQ-l 10.8 颜色渲染指数 234 4> uN H5 10.9 色差计算 235 _TLspqi 10.10 参考文献 236 +`bnQn]x+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3?K+wg s 11.1 短脉冲 238 uH?dy55Y 11.2 群速度 239 tnAj3wc 11.3 群速度色散 241 #|K{txC
11.4 啁啾(chirped) 245 Tw djBMte 11.5 光学薄膜—相变 245 F?$Vx)HI 11.6 群延迟和延迟色散 246 +oh |r'~ 11.7 色度色散 246 =igTY1|af 11.8 色散补偿 249 udT0`6l; 11.9 空间光线偏移 256 MJh.)kd$ 11.10 参考文献 258 &\I<j\F2/ 12 公差与误差 260 ber&!9 12.1 蒙特卡罗模型 260 sj4\lpZ3h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 \pk9i+t 12.2.1 误差工具 267 pV(k6h 12.2.2 灵敏度工具 271 X1d{7H8A2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 FShUw+y 12.2.2.2 灵敏度分布 275 b}fC'
h 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 LtH
j 12.3 参考文献 276 s>:gL,%c 13 Runsheet 与Simulator 277 Auc&dpW 13.1 原理介绍 277 V@]SKbK}wN 13.2 截止滤光片设计 277 )u+O~Y95&i 14 光学常数提取 289 "f8,9@ 14.1 介绍 289 Rz&`L8Bz 14.2 电介质薄膜 289
&a4FGzR# 14.3 n 和k 的提取工具 295 sBYDo{01 14.4 基底的参数提取 302 \?oT.z5VG& 14.5 金属的参数提取 306 Ux1j +}y 14.6 不正确的模型 306 2Y%7.YX" 14.7 参考文献 311 c0Bqm 15 反演工程 313 |||m5(`S 15.1 随机性和系统性 313 L){V(*K ' 15.2 常见的系统性问题 314 SHs [te[ 15.3 单层膜 314 %19~9Tw 15.4 多层膜 314 %f'=9pit 15.5 含义 319 p6NPWaBR
15.6 反演工程实例 319 tH&eKM4G 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0ETT@/)]z 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?A;RTM 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 k-a1^K3 16.1 光学性质的热致偏移 329 G62;p# 16.2 应力工具 335 rHjDf[5+ 16.3 均匀性误差 339 )5n0P
Zi 16.3.1 圆锥工具 339 M*bsA/Z 16.3.2 波前问题 341 1) K<x 16.4 参考文献 343 X3 1%T" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 +,,dsL 17.1 引言 345 :-#7j}
R& 17.2 操作数 345 cuH5f }oc 18 如何在Function中编写脚本 351 pY-!NoES 18.1 简介 351 50dN~(;p 18.2 什么是脚本? 351 tK[o"?2y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `q\F C[W 18.4 基础 352 ob8}v*s 18.4.1 Classes(类别) 352 7FkiT 18.4.2 对象 352 @67GVPcxl 18.4.3 信息(Messages) 352 bDIhI}P 18.4.4 属性 352 s0]ZE\`H> 18.4.5 方法 353 %]Nm'"Y`U 18.4.6 变量声明 353 m'
S{P:TK 18.5 创建对象 354 wEl7mg ! 18.5.1 创建对象函数 355 ygV_"=+|N 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 WV'u}-v^ 18.5.3 丢弃对象 356 jl}!UG 18.5.4 总结 356 U\ ,N 18.6 脚本中的表格 357 ^V1\boo= 18.6.1 方法1 357 Dq%}({+ 18.6.2 方法2 357 rXzq: 18.7 2D Plots in Scripts 358 J zFR9DEt 18.8 3D Plots in Scripts 359 4YI6& 18.9 注释 360 O-ENFA~E;v 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 sN-u?EiF8 18.11 一个更高级的脚本 362 k&:q|[N 18.12 <esc>键 364 ]mi\Y"RO 18.13 包含文件 365 -O,:~a=*_ 18.14 脚本被优化调用 366 w0@XJH:P 18.15 脚本中的对话框 368 ctHQZ#.[( 18.15.1 介绍 368 L4T\mP7D7* 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >Ik%_:CC` 18.15.3 输入框函数 370 o\ ce|Dzt 18.15.4 自定义对话框 371 TD*AFR3Oz 18.15.5 对话框编辑器 371 -dF (_ %C 18.15.6 控制对话框 377 g$mMH 18.15.7 更高级的对话框 380 Ac{Tq iIv 18.16 Types语句 384 g18zo~LZ 18.17 打开文件 385 6Ad UlPM 18.18 Bags 387 t' J4zV 18.13 进一步研究 388 qhG2j; 19 vStack 389 Z_dL@\#| 19.1 vStack基本原理 389 %-$
:/N 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^8bc<c:P 19.3 五棱镜 393 ]8OmYU%6V 19.4 光束距离 396 As5l36 19.5 误差 399 jTNt!2 :B 19.6 二向分色棱镜 399 hP{+`\&<f 19.7 偏振泄漏 404 6C"zBJcGc 19.8 波前误差—相位 405 ,Xn%0] 19.9 其它计算参数 405 ollVg/z 20 报表生成器 406 AqQ5L>:Gq 20.1 入门 406 kREFh4QO, 20.2 指令(Instructions) 406 Wl=yxJu_( 20.3 页面布局指令 406 6vTnm4 20.4 常见的参数图和三维图 407 8[t*VIXI 20.5 表格中的常见参数 408 (4RtoYWW 20.6 迭代指令 408 uit.r^8l 20.7 报表模版 408 q9VBK(,X 20.8 开始设计一个报表模版 409 G#f3
WpD 21 一个新的project 413 7rbw_m`12- 21.1 创建一个新Job 414 .waj.9&[l 21.2 默认设计 415 })kx#_o]'d 21.3 薄膜设计 416 GV) "[O 21.4 误差的灵敏度计算 420 =_3rc\0 21.5 显色指数计算 422 uTz>I'f 21.6 电场分布 424 )h>dD 后记 426 yKK9b
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