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[5]n,toAh 内容简介 aYM~Ub:x{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 gwr?(:? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Zv(6VVj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 i,t!17M: ^SK!?M 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 F` &W5[ 目录 z[@i=avPG Preface 1 F\^\,hy 内容简介 2 L1f=90 目录 i BkP4.XRI 1 引言 1 $%4<q0- 2 光学薄膜基础 2 KTBtLUH]*F 2.1 一般规则 2 8`6G_:&X 2.2 正交入射规则 3 5H1N]v+ 2.3 斜入射规则 6 @$iZ9x6t 2.4 精确计算 7 m&s>Sn+ 2.5 相干性 8 j+e~
tCcN/ 2.6 参考文献 10 #lc6-K# 3 Essential Macleod的快速预览 10 _%Yi^^ 4 Essential Macleod的特点 32 /pV N1Yt 4.1 容量和局限性 33 3Yo)K 4.2 程序在哪里? 33 ;G[0%z+* 4.3 数据文件 35 \XwC |[%P 4.4 设计规则 35 EM`'=<)V 4.5 材料数据库和资料库 37 I9m9`4BK 4.5.1材料损失 38 [$td:N
* 4.5.1材料数据库和导入材料 39 mn\A)RQ 4.5.2 材料库 41 :@a0h 4.5.3导出材料数据 43 +TX4," 4.6 常用单位 43 KuW>^mF(I 4.7 插值和外推法 46 |3 Iug 4.8 材料数据的平滑 50 =:!>0~ 4.9 更多光学常数模型 54 XE&h&v=> 4.10 文档的一般编辑规则 55 1z0|uc
4.11 撤销和重做 56 ><S(n#EB 4.12 设计文档 57 HA7%8R*.2i 4.10.1 公式 58 hn\d{HP 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .Z#/%y3S 4.10.3 沉积密度 59 qHtIjtt[q 4.10.4 平行和楔形介质 60 R$66F>Jz^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 wX_~H*m? 4.10.4 性能 61 ,LP^v'[V7 4.10.5 保存设计和性能 64 zG8g}FrzG; 4.10.6 默认设计 64 O&&_) 4.11 图表 64 7\[fjCg\w 4.11.1 合并曲线图 67 -Sn'${2 4.11.2 自适应绘制 68 TI\xCIH 4.11.3 动态绘图 68 "RM\<)IF 4.11.4 3D绘图 69 OZd
(~E 4.12 导入和导出 73 dsj}GgG?Z 4.12.1 剪贴板 73 =9W\;xE S 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %n GjP^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :YOo"3.] 4.13 背景 77 k<MQ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ``I[1cC 4.15 生成Rugate 84 ?L0k|7 4.16 参考文献 91 -(>Ch>O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 co1aG,>"q 5.1 Jobs 92 VIN0kRQ# 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >fth
iA 5.3 输入材料 94 FvG?%IFM 5.4 设计数据文件夹 95 0xO*8aKT 5.5 默认设计 95 M_-L#FHX 6 细化和合成 97 eB=&(ZT 6.1 优化介绍 97 gu%i|-} 6.2 细化 (Refinement) 98 -%gEND-AP 6.3 合成 (Synthesis) 100 9thG4T8 6.4 目标和评价函数 101 vC`SD] 6.4.1 目标输入 102 ("r:L<xe& 6.4.2 目标 103 ^Il*`&+?P 6.4.3 特殊的评价函数 104 ,G5[?H;ZN 6.5 层锁定和连接 104 yP>025o't 6.6 细化技术 104 8D,*_p 6.6.1 单纯形 105 &"I csxG 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^]'_Qbi]} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 R dwt4A+ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ^Y+Lf]zz* 6.6.3 模拟退火算法 109 X{Hh^H 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %+Y wzL{ 6.6.4 共轭梯度 111 s,8zj<dUv 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 w=n(2M56C 6.6.5 拟牛顿法 112 2<y9xvp 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9xhc:@B1J 6.6.6 针合成 113 Gyy4zK 6.6.6.1 针合成参数 114 j*Pq<[~ 6.6.7 差分进化 114 Hh*?[-&r~ 6.6.8非局部细化 115 EG|dN(qh 6.6.8.1非局部细化参数 115 pMy:h
6.7 我应该使用哪种技术? 116 5oSp/M 6.7.1 细化 116 0Ci/-3HV! 6.7.2 合成 117 >:> W= 6.8 参考文献 117 GGr82)E 7 导纳图及其他工具 118 e0(aRN{W 7.1 简介 118 +egwZ$5I 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 m%apGp'=1 7.2.1 四分之一波长规则 119 6hv.;n}; 7.2.2 导纳图 120 g#^MO]pY 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Bf;_~1+vLG 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 &KAe+~aPm 7.5 斜入射导纳图 141 6h,!;`8O 7.6 对称周期 141 {GLGDEb 7.7 参考文献 142 H?8'( 8 典型的镀膜实例 143 D9A%8[Yo 8.1 单层抗反射薄膜 145 i,a"5DR8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 |rwY
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %Q0R]
Hg 8.4 W-膜层 148 D\9-/p 8.5 V-膜层 149 &JqaIJh
8.6 V-膜层高折射基底 150 ,xVAJ6_# 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 megTp 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 zU+q03l8Ur 8.9 四层抗反射薄膜 153 '!8-/nlv1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9jqsEd-SW 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /\h*v!: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Zx_^P:rL 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 7[1|(6$ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ec3tfcNhR 8.15十五层宽带抗反射膜 159 9 %4:eTcp 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 z|D*ymz*EY 8.17 1/4波长堆栈 162 =urGs`\ 8.18 陷波滤波器 163 wN4#j}C 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 X_hDU~5{wC 8.20 褶皱 165 (BeJ,K7 8.21 消偏振分光器1 169 -|KZOea 8.22 消偏振分光器2 171 ,r;xH}tbi 8.23 消偏振立体分光器 172 'u;O2$ 8.24 消偏振截止滤光片 173 @;P ;iI 8.25 立体偏振分束器1 174 l[ $bn!_e 8.26 立方偏振分束器2 177 ?`rAO#1 8.27 相位延迟器 178 ">z3i`#C' 8.28 红外截止器 179 N\ ! 8.29 21层长波带通滤波器 180 ChG7>4:\ 8.30 49层长波带通滤波器 181 p\ ;|Z+0= 8.31 55层短波带通滤波器 182 CL4N/[UM 8.32 47 红外截止器 183 %}VH5s9\ 8.33 宽带通滤波器 184 p ZTrh&I] 8.34 诱导透射滤波器 186 ($[+dR 8.35 诱导透射滤波器2 188 ,Q7;(&x~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 @|DQZt 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 e@ZM&iR 8.35 增益平坦滤波器 193 mA+:)?e5~ 8.38 啁啾反射镜 1 196 ud$-A 8.39 啁啾反射镜2 198 3>@VPMi 8.40 啁啾反射镜3 199 yW=+6@A4 8.41 带保护层的铝膜层 200 WXY'%G 8.42 增加铝反射率膜 201 >- \bLr 8.43 参考文献 202 K8&;B)VT> 9 多层膜 204 X&?s:A 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 d9M[]{ 9.2 内部透过率 204 ?e<2'\5v 9.3 内部透射率数据 205 0>N6.itOz 9.4 实例 206 Wq1 jTIQ 9.5 实例2 210 TjEXR$:< 9.6 圆锥和带宽计算 212 SULFAf< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 6D`n^ uoP 10 光学薄膜的颜色 216 j/*1zu8Y 10.1 导言 216 YiDO V) 10.2 色彩 216 bT^dtEr[ 10.3 主波长和纯度 220
-9i7Ja 10.4 色相和纯度 221 *c94'T cl 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 )_=2lu3%{ 10.6 色差 226 c
Rq2 re 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 D![v{0 er 10.8 颜色渲染指数 234 W-n4wIj" 10.9 色差计算 235 Ec@n<KK# 10.10 参考文献 236 p2i?)+z 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 WYUDD_m 11.1 短脉冲 238 @a?7D;+< 11.2 群速度 239 RDp 11.3 群速度色散 241 akzGJ3g 11.4 啁啾(chirped) 245 "+ou!YK+ 11.5 光学薄膜—相变 245 WR"D7{>tw 11.6 群延迟和延迟色散 246 eMJ>gXA] 11.7 色度色散 246 -V|"T+U 11.8 色散补偿 249 w#|L8VAh 11.9 空间光线偏移 256 rR> X< 11.10 参考文献 258 :pqUUZ6x& 12 公差与误差 260 =Xh)34q 12.1 蒙特卡罗模型 260 I4X9RYB6c 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 T$xBH 12.2.1 误差工具 267 l4oyF|oJTH 12.2.2 灵敏度工具 271
J, 9NVw$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 No'?8 +i 12.2.2.2 灵敏度分布 275 6:7[>|okQ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Cku"vVw, 12.3 参考文献 276 N>!:bF 13 Runsheet 与Simulator 277 _qxI9Q}<" 13.1 原理介绍 277 L=4+rshl!_ 13.2 截止滤光片设计 277 cQU;PH] 14 光学常数提取 289 W&?Qs=@ 14.1 介绍 289 lT^su'+bk 14.2 电介质薄膜 289 R-13DVK 14.3 n 和k 的提取工具 295 *|fF;-#v 14.4 基底的参数提取 302 br[iRda@ 14.5 金属的参数提取 306 D(AH3`*|# 14.6 不正确的模型 306 8b2 =n 14.7 参考文献 311 hzqJ! 15 反演工程 313 69g{oo 15.1 随机性和系统性 313 YX0ysE*V:& 15.2 常见的系统性问题 314 5I622d 15.3 单层膜 314 { qNPhi 15.4 多层膜 314 +3)r
szb72 15.5 含义 319 <xOX+D 15.6 反演工程实例 319 cuhp4!! 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Lnr9*dm6q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 d~LoHp 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 FlBhCZ|^ 16.1 光学性质的热致偏移 329 *;o%*: 16.2 应力工具 335
;A*SuFbV 16.3 均匀性误差 339 zw/AZLS 16.3.1 圆锥工具 339 \CL8~ 16.3.2 波前问题 341 Ax;[ Em?I 16.4 参考文献 343 oN7SmP_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 +1ICX 17.1 引言 345 pM?;QG;jA 17.2 操作数 345 r
)F;8( 18 如何在Function中编写脚本 351 mlnF,+s 18.1 简介 351 3
jZMXEG) 18.2 什么是脚本? 351 k?+ 7%A] 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 s,HbW%s 18.4 基础 352 Aqyw 18.4.1 Classes(类别) 352 j/O~8o& 18.4.2 对象 352 :GXF=Df 18.4.3 信息(Messages) 352
=@HS 18.4.4 属性 352 a+w2cN' 18.4.5 方法 353 _fHC+lwN 18.4.6 变量声明 353 #,%bW[L<N 18.5 创建对象 354 (Rw<1q`, 18.5.1 创建对象函数 355 X0lPRk53( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 p['RV 18.5.3 丢弃对象 356 l4bytI{63 18.5.4 总结 356 36"n7 18.6 脚本中的表格 357 ar3L|MN 18.6.1 方法1 357 XUqorE 18.6.2 方法2 357 (bsx|8[ 18.7 2D Plots in Scripts 358 m=dNJF 18.8 3D Plots in Scripts 359 QJ|@Y(KV0 18.9 注释 360 8dGsV5" * 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 -'! J?~ 18.11 一个更高级的脚本 362 sh<Q2X
18.12 <esc>键 364 IDohv[# 18.13 包含文件 365 i?x gV_q; 18.14 脚本被优化调用 366 1[%3kY-h 18.15 脚本中的对话框 368 k# [!; < 18.15.1 介绍 368 q~ H>rC(\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Q_5l.M/9] 18.15.3 输入框函数 370 {w@qFE'b 18.15.4 自定义对话框 371 $R9D
L^iD 18.15.5 对话框编辑器 371 SyWZOE%p 18.15.6 控制对话框 377 3JnpI,By 18.15.7 更高级的对话框 380 ` 2lS@ 18.16 Types语句 384 FY1iY/\Cn 18.17 打开文件 385 st-{xC#N# 18.18 Bags 387 kp m;ohd 18.13 进一步研究 388 ZT0\V
]!B 19 vStack 389 T[oC='I+O 19.1 vStack基本原理 389 v=U<exM6% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ]3KeAJ 19.3 五棱镜 393 BEdCA]T 19.4 光束距离 396 Pvxb6\G&d 19.5 误差 399 =rjU=3!&( 19.6 二向分色棱镜 399 {v?Q9 19.7 偏振泄漏 404
;tOsA # 19.8 波前误差—相位 405 Jj4HJ9 19.9 其它计算参数 405 FuhmLm'p 20 报表生成器 406 jLAEHEs 20.1 入门 406 LrB
0x> 20.2 指令(Instructions) 406 &> sbsx\y 20.3 页面布局指令 406 eg0_ < 20.4 常见的参数图和三维图 407 BoD{fg 20.5 表格中的常见参数 408 jK|n^5\ 20.6 迭代指令 408 LEb$Fd 20.7 报表模版 408 ,}oAc 20.8 开始设计一个报表模版 409 -F 5BJk 21 一个新的project 413 vy<W4 21.1 创建一个新Job 414 q m3\)9C 21.2 默认设计 415 P}R:o 21.3 薄膜设计 416 OVg&?fiP 21.4 误差的灵敏度计算 420 !/FRL<mp 21.5 显色指数计算 422 \J'}CX*aQ 21.6 电场分布 424 R9XU 7_3B 后记 426 BWt`l,nF
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