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{i~8 : 内容简介 H4-qB Z' Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 hqSJ(gs{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]uL+&(cr 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 C_fY %O O;Y:uHf 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 I8Vb-YeS 目录 &<'n^n Preface 1 7Du1RuxP 内容简介 2 9a$56GnW1 目录 i g&/p*c_ 1 引言 1 " K* 2 光学薄膜基础 2 XJ0{
2.1 一般规则 2 +?D6T!) 2.2 正交入射规则 3 lG<hlYckv 2.3 斜入射规则 6 [ee%c Xo 2.4 精确计算 7 $K~LM8_CKy 2.5 相干性 8 ,hxkk` 2.6 参考文献 10 HG>j5 3 Essential Macleod的快速预览 10 ,"}Rg1\4t 4 Essential Macleod的特点 32 Rs& @4_D 4.1 容量和局限性 33 F9q8SA#" 4.2 程序在哪里? 33 w2(guL($ 4.3 数据文件 35 ^,Ydr~|T 4.4 设计规则 35 s Wjy6; 4.5 材料数据库和资料库 37 cF T 9Lnz 4.5.1材料损失 38 $WQq?1.9 4.5.1材料数据库和导入材料 39 !hxIlVd{ 4.5.2 材料库 41 E9!N>0 4.5.3导出材料数据 43 9X<OJT;3J 4.6 常用单位 43
Y]aW)u 4.7 插值和外推法 46 {[Q0qi = 4.8 材料数据的平滑 50 hmbj*8 4.9 更多光学常数模型 54 \6|/RFT 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^
?hA@{T/1 4.11 撤销和重做 56 CENVp"C/` 4.12 设计文档 57 v]:=K-1n 4.10.1 公式 58 *y[PNqyd 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ']6VB,c` 4.10.3 沉积密度 59 ?@6b>='! 4.10.4 平行和楔形介质 60 )4Q?aMm 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 0Rxe~n1o 4.10.4 性能 61 RWq{Ff}Hk 4.10.5 保存设计和性能 64 pe0x""K 4.10.6 默认设计 64 dpZ;l 9 4.11 图表 64 DLPUqKL] 4.11.1 合并曲线图 67 n;XWMY 4.11.2 自适应绘制 68 r4_eTrC, 4.11.3 动态绘图 68 m8]?hJY3l 4.11.4 3D绘图 69 6&v?)o 4.12 导入和导出 73 t/i5,le 4.12.1 剪贴板 73 o(A|)c4k 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .?C%1a&_l 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 5R MS( 4.13 背景 77 }b3/b 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 lw%?z/HDf 4.15 生成Rugate 84 [}mA`5 4.16 参考文献 91 PnT)LqEF 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Z*{]
, 5.1 Jobs 92 beY=g7| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \@a$' 5.3 输入材料 94 nHFrG
=o, 5.4 设计数据文件夹 95 RH)EB<PV 5.5 默认设计 95 VUU]Pu &
6 细化和合成 97 pI`?(5iK6| 6.1 优化介绍 97 fCAiLkT,C[ 6.2 细化 (Refinement) 98 eZhPu'id\s 6.3 合成 (Synthesis) 100 D?jk$^p~m# 6.4 目标和评价函数 101 1a0kfM$ 6.4.1 目标输入 102 AtS;IRN@ 6.4.2 目标 103 >r5P3G1 6.4.3 特殊的评价函数 104 mbl]>JsQD 6.5 层锁定和连接 104 F#|O@.tDG 6.6 细化技术 104 z1OFcqm 6.6.1 单纯形 105 W3W'oo 6.6.1.1 单纯形参数 106 fr6^nDY 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;d.K_P 6.6.2.1 Optimac参数 108 !#ri5{od 6.6.3 模拟退火算法 109 q*jNH\| 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4fV3Ear=j 6.6.4 共轭梯度 111 CLD-mx|? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 EC&@I+'8Q 6.6.5 拟牛顿法 112 0x2!<z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 G%p~m%zIK 6.6.6 针合成 113 S&nxok`e^ 6.6.6.1 针合成参数 114 /h2b;" 6.6.7 差分进化 114 !4"sX+z9 6.6.8非局部细化 115 UUo;`rkT 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]-o"}"3Ef 6.7 我应该使用哪种技术? 116 I<b?vR 'F 6.7.1 细化 116 R$kpiqK 6.7.2 合成 117 2],_^XBvB 6.8 参考文献 117 u),Qa=Wp 7 导纳图及其他工具 118 ivgpS5 M`Y 7.1 简介 118 BDY}*cX 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 gCd`pi
8 7.2.1 四分之一波长规则 119 |xr%6 [Ff 7.2.2 导纳图 120 yj6@7@l>A 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 u]^N&2UW 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Nb2Qp
K 7.5 斜入射导纳图 141 UnDgu4#R`A 7.6 对称周期 141 (oK^c-x 7.7 参考文献 142 5M]z5}n/ 8 典型的镀膜实例 143 C.:=lo B 8.1 单层抗反射薄膜 145 _zxLwU1(x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 pb60R|k 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 C9n}6Er=, 8.4 W-膜层 148 8?t"C_>*e 8.5 V-膜层 149 `+lHeLz': 8.6 V-膜层高折射基底 150 g3@Rl2yQJ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 a>4uiFiv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 nm$Dd~mxW1 8.9 四层抗反射薄膜 153 7fp(R&)1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ln*icaDqf 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 x)rlyjFM 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 y<R= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 C`rLj5E% 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 @Fv=u 8.15十五层宽带抗反射膜 159 YIt9M,5/Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 #yseiVm; 8.17 1/4波长堆栈 162 Y-piL8Xc 8.18 陷波滤波器 163 gMWBu~;! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 {cK^,?x 8.20 褶皱 165 h)lPi 8.21 消偏振分光器1 169 ,7Y-k'7Kop 8.22 消偏振分光器2 171 Ph&urxH@ 8.23 消偏振立体分光器 172 T&Xl'=/ 8.24 消偏振截止滤光片 173 |XYEn7^r 8.25 立体偏振分束器1 174 {C`GW}s{4 8.26 立方偏振分束器2 177 |9xI_(+{kP 8.27 相位延迟器 178 ~jU/<~s 8.28 红外截止器 179 $FH18 8.29 21层长波带通滤波器 180 }g+;y 8.30 49层长波带通滤波器 181 o 6 {\Zzp 8.31 55层短波带通滤波器 182 +@9gkPQQ-@ 8.32 47 红外截止器 183 TjWE_Bq]g 8.33 宽带通滤波器 184 @YvOoTyb 8.34 诱导透射滤波器 186 }F6<w{| 8.35 诱导透射滤波器2 188 hjZ}C+=O 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ]e:/" 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 {
kSf{>Ia
8.35 增益平坦滤波器 193 (w( 8.38 啁啾反射镜 1 196 _R|Ify#J 8.39 啁啾反射镜2 198 MmPU7Nl%X 8.40 啁啾反射镜3 199 }/dRU${! 8.41 带保护层的铝膜层 200 xVB;s.'! 8.42 增加铝反射率膜 201 EqiFy"H 8.43 参考文献 202 )O+}T5c= 9 多层膜 204 S 6,4PP 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 r'LVa6e"N 9.2 内部透过率 204 rj]F87" 9.3 内部透射率数据 205 x} /,yaWZ 9.4 实例 206 Zv]x'3J#Y 9.5 实例2 210 qL$a
c}` 9.6 圆锥和带宽计算 212 'z@ 0 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 d9*hBm 10 光学薄膜的颜色 216 IH48|sa 10.1 导言 216 Tl]e%A`| 10.2 色彩 216 }uHrto3M 10.3 主波长和纯度 220 S>G?Q_&}?D 10.4 色相和纯度 221 E9\vA*a 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 %t=kdc0=_ 10.6 色差 226 2=0DCF;Bv 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 M$4k; 10.8 颜色渲染指数 234 !1T\cS#1% 10.9 色差计算 235 A,CW_ 10.10 参考文献 236 'X).y1' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 4EI7W,y 11.1 短脉冲 238 )C(>H93 11.2 群速度 239 I3 =#@2 11.3 群速度色散 241 ?SQE5Z 11.4 啁啾(chirped) 245 [AH6~-\ x 11.5 光学薄膜—相变 245 JTqDr 11.6 群延迟和延迟色散 246 7qO a
;^T 11.7 色度色散 246 rt3qdk5U 11.8 色散补偿 249 .LVQx 11.9 空间光线偏移 256 wHZW ` 11.10 参考文献 258 2n><RZ/9 12 公差与误差 260 eg<bi@C1| 12.1 蒙特卡罗模型 260 fy@avo9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 V6$xcAE"</ 12.2.1 误差工具 267 "q}FPJ^l_N 12.2.2 灵敏度工具 271 (Q[fS:U 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g,`A[z2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 %:>3n8n 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 h'J|K^na 12.3 参考文献 276 :(dHY 13 Runsheet 与Simulator 277 -aRU]kIf 13.1 原理介绍 277 }7fZ[J3 13.2 截止滤光片设计 277 EcIE~qs 14 光学常数提取 289 h1 WT 14.1 介绍 289 { pu85'DV 14.2 电介质薄膜 289 =U[3PC-N@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 c,so`I3rI 14.4 基底的参数提取 302 T@}|zDC# 14.5 金属的参数提取 306 UT~a&u 14.6 不正确的模型 306 Qjx?ri// 14.7 参考文献 311 YDC mI@ 15 反演工程 313 wIkN9
f 15.1 随机性和系统性 313 (%iRaw7hp 15.2 常见的系统性问题 314 AE: Z+rM* 15.3 单层膜 314 7\_o.(g#- 15.4 多层膜 314 b[z]CP 15.5 含义 319 f)]%.> 15.6 反演工程实例 319 ,F&g5' 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5<I 15.6.2 反演工程提取折射率 327 wB'zuPAK6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 *5tO0_L 16.1 光学性质的热致偏移 329 xI,2LGO 16.2 应力工具 335 '65LKD 16.3 均匀性误差 339 YV=QF
J' 16.3.1 圆锥工具 339 pEECHk 16.3.2 波前问题 341 f= >OJ!: 16.4 参考文献 343 <Q|d&vDVfV 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ,mRyQS'F 17.1 引言 345 '=][J_ 17.2 操作数 345 XC{eX&,2x 18 如何在Function中编写脚本 351 zf3v5Hk 18.1 简介 351 1[_mEtM:]B 18.2 什么是脚本? 351 <2C7<7{7 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 |t$Ma'P 18.4 基础 352 Zmbfq8K 18.4.1 Classes(类别) 352 .q+0pj 18.4.2 对象 352 </uOe.l>Q 18.4.3 信息(Messages) 352 t1E[uu ,V8 18.4.4 属性 352 .^J2.>. 18.4.5 方法 353 T843": 18.4.6 变量声明 353 f#ri'&}c
: 18.5 创建对象 354 9@Cv5L?p\ 18.5.1 创建对象函数 355 3D?sL!W 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 +r3IN){jz 18.5.3 丢弃对象 356 w+1Gs
; 18.5.4 总结 356 2Sm}On 18.6 脚本中的表格 357 (8_\^jJ 18.6.1 方法1 357 "
RxP^l 18.6.2 方法2 357 TLehdZ>^ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ">?vir^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 <nEi<iAY>U 18.9 注释 360 hY`\&@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 phO;c;y} 18.11 一个更高级的脚本 362 tHLrhH<w 18.12 <esc>键 364 +iOKb c' 18.13 包含文件 365 e<r,&U$ 18.14 脚本被优化调用 366 dz Zb 18.15 脚本中的对话框 368 9mZ 18.15.1 介绍 368 U`hY{E; 18.15.2 消息框-MsgBox 368 N&@}/wzZ 18.15.3 输入框函数 370 36US5ef 18.15.4 自定义对话框 371 \d::l{VB 18.15.5 对话框编辑器 371 J90v!p- 18.15.6 控制对话框 377 a22XDes= 18.15.7 更高级的对话框 380 3_A
*$ 18.16 Types语句 384 ! VjFW5'{ 18.17 打开文件 385 f 2l{^E#h 18.18 Bags 387 +^;JS3p@\ 18.13 进一步研究 388 $AHQmyg< 19 vStack 389 (XoH,K?{z 19.1 vStack基本原理 389 y(K"
-? 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 P;4w*((} ~ 19.3 五棱镜 393 Jaz?Ys|S 19.4 光束距离 396 Y3Q9=u*5 19.5 误差 399 utr:J 19.6 二向分色棱镜 399 o.I6ulY8 19.7 偏振泄漏 404 s.8{5jVG 19.8 波前误差—相位 405 :%IoM E 19.9 其它计算参数 405 %D * OO{ 20 报表生成器 406 5h; +Ky!I 20.1 入门 406 _YRE (YZ/ 20.2 指令(Instructions) 406 ;J7F J3n 20.3 页面布局指令 406 orb_"Qw 20.4 常见的参数图和三维图 407 )p*}e8L 20.5 表格中的常见参数 408 Y".RPiTL 20.6 迭代指令 408 y|wc,n%L> 20.7 报表模版 408 {s;U~!3aY 20.8 开始设计一个报表模版 409 *g^x*|f6 21 一个新的project 413 Z(Jt~a3o 21.1 创建一个新Job 414 @V!r"Bkg. 21.2 默认设计 415 _o8?E&d 21.3 薄膜设计 416 1@$Ko5 21.4 误差的灵敏度计算 420 ZRYEqSm 21.5 显色指数计算 422 ++E3]X| 21.6 电场分布 424 Pi|o` d 后记 426 9?k_y ZV
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