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5.LfN{gE) 内容简介 R2A#2{+H Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 9&bJ] 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 '!F'B: 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 NRT@"3,1YP P*]hXm85[K 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 e^}@X[*'# 目录 @1A.$: Preface 1 `B~zB=} 内容简介 2 :Y|[?; 目录 i W9QVfe#s 1 引言 1 [a_o3 2 光学薄膜基础 2 S%jW}v'; 2.1 一般规则 2 Jflm-Hhsf 2.2 正交入射规则 3 -\7_^8 am 2.3 斜入射规则 6 @)C.IQ~ 2.4 精确计算 7 p<<dj% 2.5 相干性 8 ]v]tBVO$ 2.6 参考文献 10 c#f@v45 3 Essential Macleod的快速预览 10 cua ( w 4 Essential Macleod的特点 32 lPD&Doa 4.1 容量和局限性 33 a 2[rY 4.2 程序在哪里? 33 \mL]xE- 4.3 数据文件 35 =Qf{ 4.4 设计规则 35 T!I3. 4.5 材料数据库和资料库 37 xE{slDl 4.5.1材料损失 38 -Iis/Xw: 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ];'7~",Y 4.5.2 材料库 41 tXuf ! 4.5.3导出材料数据 43 1aZGt2; 4.6 常用单位 43 9o4h~Imu 4.7 插值和外推法 46 k?rJGc G 4.8 材料数据的平滑 50 1Ko4O)L]& 4.9 更多光学常数模型 54 G)q;)n;*= 4.10 文档的一般编辑规则 55 cwOa"]t} 4.11 撤销和重做 56 FU(2,Vl 4.12 设计文档 57 eL<jA9cJ9 4.10.1 公式 58 !b=W>5h 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 X:lStO#5 4.10.3 沉积密度 59 dai+" 4.10.4 平行和楔形介质 60 NTEN 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 7xFZJ# 4.10.4 性能 61 Cg|\UKfy$ 4.10.5 保存设计和性能 64 [$F*R@,& 4.10.6 默认设计 64 +&dkJ 4g[ 4.11 图表 64 ddN G: 4.11.1 合并曲线图 67 do*aE 4.11.2 自适应绘制 68 :[CEHRc7x 4.11.3 动态绘图 68 *U}ztH-+/ 4.11.4 3D绘图 69 VkO*+"cGv 4.12 导入和导出 73 (L1F],Au 4.12.1 剪贴板 73 $}'(%\7" 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !iq|sXs 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 V/:2xT 4.13 背景 77 nW}
s 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 $$uMu{?0i 4.15 生成Rugate 84 2[;~@n1P
4.16 参考文献 91 <s7cCpUFP 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 oh@Ha? 5.1 Jobs 92 !Qf*d;wxn( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 =6+99<G|%M 5.3 输入材料 94 4UUbX 5.4 设计数据文件夹 95 y=.bn!u}z 5.5 默认设计 95 u:f.;? 6 细化和合成 97 MTN*{ug2: 6.1 优化介绍 97 rL&Mq}7QK 6.2 细化 (Refinement) 98 ktS^^!,l% 6.3 合成 (Synthesis) 100 9UVT]acq 6.4 目标和评价函数 101 ~@)s)K 6.4.1 目标输入 102 2Y<]X7Ch: 6.4.2 目标 103 B^]PKjLNZ 6.4.3 特殊的评价函数 104 YRCs&tgs 6.5 层锁定和连接 104 Dx`-h# 6.6 细化技术 104 Nd+1r|e' 6.6.1 单纯形 105 89;@#9 6.6.1.1 单纯形参数 106 [3I|MZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 =*I|z+ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,p OGT71 6.6.3 模拟退火算法 109 dGi
HO 6.6.3.1 模拟退火参数 109 )TKn5[<4 6.6.4 共轭梯度 111 ~%C F3?e6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Yb4ku7} 6.6.5 拟牛顿法 112 dgIH`<U$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Aq*?Q/pV 6.6.6 针合成 113 ,i??}Wm5G 6.6.6.1 针合成参数 114 ?Pp*BB,*y 6.6.7 差分进化 114 D/~1?p 6.6.8非局部细化 115 xb<|m2<)H 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,[t?$Cy; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 $B_%MfI 6.7.1 细化 116 ajtH1Z# 6.7.2 合成 117 9cUa@;*1 6.8 参考文献 117 qT !lq 7 导纳图及其他工具 118 # =tw
,S 7.1 简介 118 gBi3^GxjM? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 mJ=V<_ 7.2.1 四分之一波长规则 119 y(MB_B7j 7.2.2 导纳图 120 xOAq!,|V 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zSQy
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 V-@4s}zX 7.5 斜入射导纳图 141 DU$#tg}{ 7.6 对称周期 141 $Seh4 7.7 参考文献 142 -{k8^o7$ 8 典型的镀膜实例 143 E:ci/09wD 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~/9RSdv7 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 e\cyiW0 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 oKCy,Ot< 8.4 W-膜层 148 r A(A$VR 8.5 V-膜层 149 ]W14'Z 8.6 V-膜层高折射基底 150 1(dKb 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !CcDA/0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 MO0NNVVi%U 8.9 四层抗反射薄膜 153 WV.hQX9P 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %" 7UYLX 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 bTmhz 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 )!\6 "{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 VOM@x% 6#c 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ?z#*eoPr 8.15十五层宽带抗反射膜 159 "q+Z* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Vjv6d&Q 8.17 1/4波长堆栈 162 q%e'WM G~n 8.18 陷波滤波器 163 _^#eO`4" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 *2->>"kh 8.20 褶皱 165 JJ
?'<)EF 8.21 消偏振分光器1 169 W/xPVmnV 8.22 消偏振分光器2 171 T+@i;M 8.23 消偏振立体分光器 172 un_NBv} 8.24 消偏振截止滤光片 173 m^!j)\sM5 8.25 立体偏振分束器1 174 qb=2J5su 8.26 立方偏振分束器2 177 Ih|4ISI 8.27 相位延迟器 178 /go[}X5QR[ 8.28 红外截止器 179 5rB>)p05[ 8.29 21层长波带通滤波器 180 6h)_{|
L ) 8.30 49层长波带通滤波器 181 X5[vQ3^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 4Ii5V
c 8.32 47 红外截止器 183 P>iZgv 8.33 宽带通滤波器 184 hE5?G; 8.34 诱导透射滤波器 186 ]zaTX?F: 8.35 诱导透射滤波器2 188 )MF@'zRK 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <3BGW?=WP 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3kC|y[.& 8.35 增益平坦滤波器 193 cMZy~> 8.38 啁啾反射镜 1 196 ;9mRumLG" 8.39 啁啾反射镜2 198 ah,f~.X_| 8.40 啁啾反射镜3 199 ;Y;r%DJ 8.41 带保护层的铝膜层 200 f0sLe 3 8.42 增加铝反射率膜 201 /qy6YF8;y 8.43 参考文献 202
+] ;WN 9 多层膜 204 sIf]e'@AC 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 M' z.d 9.2 内部透过率 204 %'s_=r` 9.3 内部透射率数据 205 y!P!Fif' 9.4 实例 206 C0N}B1-MU 9.5 实例2 210 tt?`,G.(] 9.6 圆锥和带宽计算 212 )~=8Ssu 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 X/2GTU7? 10 光学薄膜的颜色 216 5["3[h 10.1 导言 216 2A~o)7JaZ 10.2 色彩 216 uq s
10.3 主波长和纯度 220 4h|*r ! 10.4 色相和纯度 221 TU^ZvAO& 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 6R<+_e+v 10.6 色差 226 y*+8Z&i.: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 /Q(boY{ 10.8 颜色渲染指数 234 #z.n?d2Gd 10.9 色差计算 235 06^/zr 10.10 参考文献 236 l $\2|D 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 PB$beQ 11.1 短脉冲 238 G)I`
M4}*n 11.2 群速度 239 igA?E56? 11.3 群速度色散 241 L5I!YP#v 11.4 啁啾(chirped) 245 Pb?v i<ug+ 11.5 光学薄膜—相变 245 F*@2 ) 11.6 群延迟和延迟色散 246 U~?VN!<x[ 11.7 色度色散 246 Q&r.wV| 11.8 色散补偿 249 V /2NIh 11.9 空间光线偏移 256 ,Kj>F2{ 11.10 参考文献 258 JH]S'5X8K 12 公差与误差 260 6WZffB{-TK 12.1 蒙特卡罗模型 260 bl
a`B=r 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 x6R M)rr 12.2.1 误差工具 267 e`g+Jf`AT 12.2.2 灵敏度工具 271 ?j/FYi 12.2.2.1 独立灵敏度 271 qA!p7"m| 12.2.2.2 灵敏度分布 275 W..*!UGl 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 LEPLoF3, 12.3 参考文献 276 2kVZlt'y 13 Runsheet 与Simulator 277 "JSIn"/ 13.1 原理介绍 277 v[ML=pL 13.2 截止滤光片设计 277 P*iC#w]m 14 光学常数提取 289 xA7~"q&u 14.1 介绍 289 rIFW1`N}i 14.2 电介质薄膜 289 lH=|Qu 14.3 n 和k 的提取工具 295 oFP8s[B 14.4 基底的参数提取 302 K9Mz4K_ 14.5 金属的参数提取 306 C\5G43` 14.6 不正确的模型 306 6ScB:8M 14.7 参考文献 311 } uS0N$4 15 反演工程 313 ]m1p<*0I$ 15.1 随机性和系统性 313 1!.-/ 15.2 常见的系统性问题 314 $L0sBW& 15.3 单层膜 314 7BU7sQjs 15.4 多层膜 314 tWy.Gz\ 15.5 含义 319 X$6NJ(2G 15.6 反演工程实例 319 Rmmu#-{Y 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 e&ysj:W5
" 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ]Pe>T& 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7!cLTq 16.1 光学性质的热致偏移 329 #&kj> 16.2 应力工具 335 wl]3g 16.3 均匀性误差 339 E} XmZxHV 16.3.1 圆锥工具 339 .8s-)I 16.3.2 波前问题 341 ]P wS3:x 16.4 参考文献 343 3E;@.jD 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 !i-t6f 17.1 引言 345 8&8!(\xv 17.2 操作数 345 (CIcM3|9C 18 如何在Function中编写脚本 351 f:+/=MW 18.1 简介 351 8_4!Ar>2 18.2 什么是脚本? 351 .kFO@: 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 G!$~'o%/ 18.4 基础 352 Z}!'fX." 18.4.1 Classes(类别) 352 _2G _Io 18.4.2 对象 352 %:`v.AG 18.4.3 信息(Messages) 352 1Zc=QJw@ 18.4.4 属性 352 'u v=D 18.4.5 方法 353 <!RkkU&
6 18.4.6 变量声明 353 R&(OWF;~, 18.5 创建对象 354 ZH\t0YhrVe 18.5.1 创建对象函数 355 td7(444] 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 &Iy5@8 18.5.3 丢弃对象 356 N8Rq7i3F?a 18.5.4 总结 356 rZdOU?U 18.6 脚本中的表格 357 2LUsqL\m}. 18.6.1 方法1 357 {H[N|\ 18.6.2 方法2 357 lfDd%.:q4S 18.7 2D Plots in Scripts 358 J'
uaZI>' 18.8 3D Plots in Scripts 359 "|Q.{(|kO1 18.9 注释 360 1z7+:~;l 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 k"cMAu. 18.11 一个更高级的脚本 362 +'gO%^{l 18.12 <esc>键 364 ,zx{ RDI 18.13 包含文件 365 ?[ )}N
_o# 18.14 脚本被优化调用 366 {rMf/ RAE 18.15 脚本中的对话框 368 $,by!w'e:l 18.15.1 介绍 368 !Q|a R 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;6PU 18.15.3 输入框函数 370 %OgK{h 18.15.4 自定义对话框 371 JR]elRR 18.15.5 对话框编辑器 371 Jkj7ty.J 18.15.6 控制对话框 377 neM)(` gp 18.15.7 更高级的对话框 380 <jJ'T?,
18.16 Types语句 384 >gzM-d 18.17 打开文件 385 udUc&pX 18.18 Bags 387 (Z$7;OAI 18.13 进一步研究 388 ?1\I/'E9 19 vStack 389 ZPw4S2yw3. 19.1 vStack基本原理 389 wnd
#J ` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 .B~yI3D`M 19.3 五棱镜 393 p3 5)K5V 19.4 光束距离 396 ":+d7xR?o 19.5 误差 399 xwsl$Rj 19.6 二向分色棱镜 399 gBV4IQ 19.7 偏振泄漏 404 V.`hk^V, 19.8 波前误差—相位 405 wT!?.Y)aj 19.9 其它计算参数 405 3HtM<su*h 20 报表生成器 406 ^}$t(t 20.1 入门 406 m,+PYq 20.2 指令(Instructions) 406 E8kD#tL 20.3 页面布局指令 406 9{fP.ifdv7 20.4 常见的参数图和三维图 407 m33&obSP 20.5 表格中的常见参数 408 iSf%N>y'K 20.6 迭代指令 408 W gyRK2#! 20.7 报表模版 408 d>F7i~W 20.8 开始设计一个报表模版 409 mr}o0@5av 21 一个新的project 413 KB~[nZs7 21.1 创建一个新Job 414 -'miM ~kG[ 21.2 默认设计 415 kXhd]7ru 21.3 薄膜设计 416 Y_n/rD> 21.4 误差的灵敏度计算 420 cu}(\a 21.5 显色指数计算 422 gKTCfD~ 21.6 电场分布 424 2&S^\kf 后记 426 0);5cbV7i
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