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&Hb;; Ic( 内容简介 <QlpIgr Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G234UjN% 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 b'!t\m 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _.9):i2<SF Ry@QJn I< 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 [z2XK4\e1T 目录 g[Z$\A?ZbZ Preface 1 p(jY2&g 内容简介 2 "$->nC. 目录 i 66P'87G 1 引言 1 WF)(Q~op0U 2 光学薄膜基础 2 0Jz5i4B 2.1 一般规则 2 n9
LTrhLqp 2.2 正交入射规则 3 JnWG_|m) 2.3 斜入射规则 6 w1aev 2.4 精确计算 7 LH=gNFgzt 2.5 相干性 8 q&/<~RC* 2.6 参考文献 10 ,g.*Mx`- 3 Essential Macleod的快速预览 10 5`TbM 4 Essential Macleod的特点 32 i`m&X6)\j 4.1 容量和局限性 33 !e8OC9_x 4.2 程序在哪里? 33 1ZL91'U 4.3 数据文件 35 'jw?XtG 4.4 设计规则 35 }?KvT$s 4.5 材料数据库和资料库 37 BHVC&F*> 4.5.1材料损失 38 |K|[>[?Z/ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Q[j'FtP% 4.5.2 材料库 41 4LEWOWF} 4.5.3导出材料数据 43 r{cefKJHg 4.6 常用单位 43 /5Od:n 4.7 插值和外推法 46 f9" M^i 4.8 材料数据的平滑 50 6:fHPlqW 4.9 更多光学常数模型 54 8#m,TOp 4.10 文档的一般编辑规则 55 {8TLL@T4 4.11 撤销和重做 56 /|<Pn!}J 4.12 设计文档 57 (yx^zW7 4.10.1 公式 58 `fnU p- 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 K nl`[Nl 4.10.3 沉积密度 59 ', WnT: 4.10.4 平行和楔形介质 60 YiO3.+H 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 h23"< 4.10.4 性能 61 _#UiY
ffa* 4.10.5 保存设计和性能 64 syJLcK+e 4.10.6 默认设计 64 e(=() :4is 4.11 图表 64 x%v[(*F#y 4.11.1 合并曲线图 67 H[S}&l\D4 4.11.2 自适应绘制 68 z4qc)-
{L 4.11.3 动态绘图 68 H;h$k]T 4.11.4 3D绘图 69 <2n5|.:> 4.12 导入和导出 73 ^xyU*A}D 4.12.1 剪贴板 73 rD\)ndPv 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 g"Tb\ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 F@tfbDO? 4.13 背景 77 HBdZE7.x)3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 khc1<BBsT 4.15 生成Rugate 84 1dhuLN%Ce 4.16 参考文献 91 K8=jkU 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 S8j!?$` 5.1 Jobs 92 oH,{'S@q 5.2 创建一个新Job(工作) 93 @*9c2\"k 5.3 输入材料 94
mo?*nO|- 5.4 设计数据文件夹 95 K1+4W=| 5.5 默认设计 95 O#do\:(b 6 细化和合成 97 %/4_|.8u 6.1 优化介绍 97 *)(S}D\94 6.2 细化 (Refinement) 98 = yFOH~_ 6.3 合成 (Synthesis) 100 &7
K= 6.4 目标和评价函数 101 q'Nafa&a) 6.4.1 目标输入 102 f<{f/lU@ 6.4.2 目标 103 U2Tw_ 6.4.3 特殊的评价函数 104 l*$~Y0 6.5 层锁定和连接 104 Zsn@O2 6.6 细化技术 104 iYf)FPET 6.6.1 单纯形 105 9/`3=r@ 6.6.1.1 单纯形参数 106 VaW^;d# 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 SsEpuEn 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?Dl; DE1 6.6.3 模拟退火算法 109 VRZqY7j}g 6.6.3.1 模拟退火参数 109 <L('RgA@X 6.6.4 共轭梯度 111 >V>`}TIH 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 zsLMROo3 6.6.5 拟牛顿法 112 0R,. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 X`(fJ', 6.6.6 针合成 113 ?iZM.$![ 6.6.6.1 针合成参数 114 +c8t~2tuN 6.6.7 差分进化 114 I+F>^4_d 6.6.8非局部细化 115 =A*a9c2
6.6.8.1非局部细化参数 115 g t9(5p 6.7 我应该使用哪种技术? 116 &lgzNC9g% 6.7.1 细化 116 A>8~deZ9 6.7.2 合成 117 BCuoFw) 6.8 参考文献 117 ULhXyItL 7 导纳图及其他工具 118 WD_{bd) 7.1 简介 118 (<
>L fn 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 k 1a?yH)= 7.2.1 四分之一波长规则 119 h;#046-7 7.2.2 导纳图 120 A0Q`Aqs 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 fk9q 3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 6<9}>Wkf 7.5 斜入射导纳图 141 %{7*o5` 7.6 对称周期 141 L/E7xLz 7.7 参考文献 142 wwRPfr[ 8 典型的镀膜实例 143 ~;z]
_`_Va 8.1 单层抗反射薄膜 145 j
sD]v)LB 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 o:&8H>(hn] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 vcCNxIzEG 8.4 W-膜层 148 KLW>O_+ 8.5 V-膜层 149 %wXjP`# 8.6 V-膜层高折射基底 150 spTz}p^\O 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 XdmpfUR,13 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 M7T*J>i 8.9 四层抗反射薄膜 153 aOw#]pB| 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 8#HnV%|N 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6.a5%: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 op/_:#&' 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 MGq\\hLD\- 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 i=*H|) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 m+(g.mvK> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 .jg@UAK 8.17 1/4波长堆栈 162 xY/F)JOeG 8.18 陷波滤波器 163 mr/?w0(C 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 QVJpX;u 8.20 褶皱 165 NMfHrYHbh 8.21 消偏振分光器1 169 6K )K%a,9 8.22 消偏振分光器2 171 #t;]s< 8.23 消偏振立体分光器 172 OjAdY\
]1 8.24 消偏振截止滤光片 173 V?'p E 8.25 立体偏振分束器1 174 {]cr.y]\ 8.26 立方偏振分束器2 177 =+UtAf<n 8.27 相位延迟器 178 S-}c_zbl; 8.28 红外截止器 179 !h4A7KBYG 8.29 21层长波带通滤波器 180 #rF`Hk: 8.30 49层长波带通滤波器 181 3!\h'5{ 8.31 55层短波带通滤波器 182 c-5AI{%bl6 8.32 47 红外截止器 183 %gs?~Xl)] 8.33 宽带通滤波器 184 >e&
L" 8.34 诱导透射滤波器 186 1x=x,lcL 8.35 诱导透射滤波器2 188 d/jP2uuA 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 S9r?= K 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 i}zz!dJTE 8.35 增益平坦滤波器 193 ~c<8;,cjYR 8.38 啁啾反射镜 1 196 NA/`LaJ 8.39 啁啾反射镜2 198 8AFc=Wx 8.40 啁啾反射镜3 199 }eW<P079 8.41 带保护层的铝膜层 200 OJ"./*H 8.42 增加铝反射率膜 201 q^<HG] 8.43 参考文献 202 GS=E6 9 多层膜 204 hSw=Oq82 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ~##FW|N) 9.2 内部透过率 204 1KrJS(. 9.3 内部透射率数据 205 ,mHUo4h1O 9.4 实例 206 f,E7eL@ 9.5 实例2 210 EnlAgL']| 9.6 圆锥和带宽计算 212 vG'#5%,| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ~
z3J4s 10 光学薄膜的颜色 216 q`/J2r+O 10.1 导言 216 KUYwc@si\ 10.2 色彩 216 CEI"p2 10.3 主波长和纯度 220 H7.l)' 10.4 色相和纯度 221 ohqThl 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 aQ$sn<-l 10.6 色差 226 y]+5Y.Cw$ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 d,^ZH 10.8 颜色渲染指数 234 `*B0n>ol, 10.9 色差计算 235 u>.a; BO 10.10 参考文献 236 p*,T~(A6 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zs Q|LwQ 11.1 短脉冲 238 #@OPi6.#!< 11.2 群速度 239 2[Lv_<i| 11.3 群速度色散 241 -$o0P'Vx 11.4 啁啾(chirped) 245
19]19_- 11.5 光学薄膜—相变 245 Pb>/b\&JS 11.6 群延迟和延迟色散 246 3p&T?E% 11.7 色度色散 246 /P@%{y 11.8 色散补偿 249 .!KsF
h,pK 11.9 空间光线偏移 256 P9'`
2c 11.10 参考文献 258 O7
aLW 12 公差与误差 260 s$>n U 12.1 蒙特卡罗模型 260 }}$@Tij19[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 h#O9TB 12.2.1 误差工具 267 $'3xl2T 12.2.2 灵敏度工具 271 9/29>K_ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 pg4pfi^__V 12.2.2.2 灵敏度分布 275 U< Xdhgo? 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 CA0XcLiFt 12.3 参考文献 276 clV^Xg8D 13 Runsheet 与Simulator 277 }' AY#g 13.1 原理介绍 277 F""9O6u 13.2 截止滤光片设计 277 Rv9jLH 14 光学常数提取 289 NT*r7_e 14.1 介绍 289 ]<f(@]R/d 14.2 电介质薄膜 289 6 Ln~b <I 14.3 n 和k 的提取工具 295 x+Xd7N1 14.4 基底的参数提取 302 8]&:' 14.5 金属的参数提取 306 iOURS 14.6 不正确的模型 306 H,L{N'[Xph 14.7 参考文献 311 `e
=IXkt 15 反演工程 313 `L`+`B 15.1 随机性和系统性 313 8^ f: -5 15.2 常见的系统性问题 314 {m>ylE 15.3 单层膜 314 {IV%_y? 15.4 多层膜 314 R\3a Sx L 15.5 含义 319 NUltuM 15.6 反演工程实例 319 ]qv0Y~+`-K 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )ciP6WzzbI 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H/*ol^X7 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 WqNXE)' 16.1 光学性质的热致偏移 329 50N4J 16.2 应力工具 335 +_i{4Iz~p 16.3 均匀性误差 339 "g^i% 16.3.1 圆锥工具 339 f(m,! 16.3.2 波前问题 341 xrg?{*\ 16.4 参考文献 343 P+hcj
p* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Q!1 ;xw~ 17.1 引言 345 }<A.zwB<i 17.2 操作数 345 Re8x!e'> 18 如何在Function中编写脚本 351 c("|xe 18.1 简介 351 El<*) 18.2 什么是脚本? 351 ^)gyKl:E' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 E:pk'G0bZ 18.4 基础 352 `sCaGCp 18.4.1 Classes(类别) 352 4Lt9Dx1 18.4.2 对象 352 <(lA
CH 18.4.3 信息(Messages) 352 v<!S_7h 18.4.4 属性 352 M-"j8:en 18.4.5 方法 353 8~o']B;lJ 18.4.6 变量声明 353 &*<27-x 18.5 创建对象 354 ux&"TkEp 18.5.1 创建对象函数 355 aDNB~CwZZ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 TBBnsj6e 18.5.3 丢弃对象 356 ;AEfU^[
18.5.4 总结 356 0!|d .jZI 18.6 脚本中的表格 357 !RmVb}m 18.6.1 方法1 357 /IUu-/ D 18.6.2 方法2 357 OT])t<TF6 18.7 2D Plots in Scripts 358 ={:a
N) 18.8 3D Plots in Scripts 359 NZq-%bE 18.9 注释 360 s7 "xDDV 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 QF"7.~~2 18.11 一个更高级的脚本 362 sW]^YT>? 18.12 <esc>键 364 >S +} 18.13 包含文件 365 FbE/x$;~O 18.14 脚本被优化调用 366 m;OvOc, 18.15 脚本中的对话框 368 d+JK")$9C 18.15.1 介绍 368 2!/Kt
O)i^ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 N6y9'LGG` 18.15.3 输入框函数 370 EJkHPn 18.15.4 自定义对话框 371 wX"hUu 18.15.5 对话框编辑器 371 Ht
Fr(g\"$ 18.15.6 控制对话框 377 ~$HB}/ 18.15.7 更高级的对话框 380 X1|
+9 18.16 Types语句 384 EU?qLj': 18.17 打开文件 385 2a$.S" ? 18.18 Bags 387 lYx_8x2 18.13 进一步研究 388 03 @aG 19 vStack 389 `>:5[Y 19.1 vStack基本原理 389 A>@#eyB 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 OM\J4"YV$ 19.3 五棱镜 393 t}q
e_c 19.4 光束距离 396 +vh|m5"7I7 19.5 误差 399 S>yi D`v 19.6 二向分色棱镜 399 n$/|r 19.7 偏振泄漏 404 &K9;GZS? 19.8 波前误差—相位 405 v"bWVc~H 19.9 其它计算参数 405 7*5B 20 报表生成器 406 jdxHWkQ 20.1 入门 406 iE~!?N|a3 20.2 指令(Instructions) 406 rQjk
20.3 页面布局指令 406 <>] DcA 20.4 常见的参数图和三维图 407 E`IXBI 20.5 表格中的常见参数 408 ;p(h!4E 20.6 迭代指令 408 oPSPb(. 20.7 报表模版 408 `fBQ?[05. 20.8 开始设计一个报表模版 409 |#TU"$; 21 一个新的project 413 FZe/3sY 21.1 创建一个新Job 414 2@|`Ugjptl 21.2 默认设计 415 uC'-: t# 21.3 薄膜设计 416 gQ+]N*. 21.4 误差的灵敏度计算 420 F5o8@ Ib]: 21.5 显色指数计算 422 ;vH2r~ 21.6 电场分布 424 >G]JwO 后记 426 0@ `]m 详情请扫码咨询 Q"QRF5Ue \((iR>^|
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