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BX0lk 内容简介 Vb`Vp(>AU Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 I"88O4\@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 p|t" 4HQ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !Ud'(iGa DJ, LQj 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 C!*!n^qA 目录 v"o"W[ Preface 1 <J&S[`U! 内容简介 2 ?l/6DT>e 目录 i U.Mfu9}#: 1 引言 1 n?EgC8b9 2 光学薄膜基础 2 ~~OFymQ%?q 2.1 一般规则 2 q5SPyfE[ 2.2 正交入射规则 3 Kq3c Kp4 2.3 斜入射规则 6 &L+uu',M0c 2.4 精确计算 7 t^~vi'bB 2.5 相干性 8 <b zzbR[F 2.6 参考文献 10 ,*XB11P 3 Essential Macleod的快速预览 10 "#r)NYq`"| 4 Essential Macleod的特点 32 CLrX!JV> 4.1 容量和局限性 33 #{q.s[g*+1 4.2 程序在哪里? 33 .C%
28fH 4.3 数据文件 35 \sAaVdZJH( 4.4 设计规则 35 q,, 4.5 材料数据库和资料库 37 90<g=B 4.5.1材料损失 38 MNd\)nX 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ApCU|*r) 4.5.2 材料库 41 eIkKsgr> 4.5.3导出材料数据 43 =b%}x >> 4.6 常用单位 43 Lb/GL\J) 4.7 插值和外推法 46 Jbu2y'zE 4.8 材料数据的平滑 50 4b2d(x)0X 4.9 更多光学常数模型 54 N y'\Q"Y] 4.10 文档的一般编辑规则 55 B}iEhWO6 4.11 撤销和重做 56 %qoS(iO`h 4.12 设计文档 57 |"gL{De 4.10.1 公式 58 0kkDlWkzo 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S\A/*!%~y 4.10.3 沉积密度 59 YExgUE| 4.10.4 平行和楔形介质 60 FDz`U:8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 j,k3]bP 4.10.4 性能 61 .G O0xnm 4.10.5 保存设计和性能 64 dz_S6o ] 4.10.6 默认设计 64 @sXv5kZ: 4.11 图表 64 &?@C^0&QV 4.11.1 合并曲线图 67 cV+?j}"*+ 4.11.2 自适应绘制 68 O(T5 4.11.3 动态绘图 68 n3a.)tcC 4.11.4 3D绘图 69 CxFd/X, 4.12 导入和导出 73 F` U~(>u' 4.12.1 剪贴板 73 4VJUu`[ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 5RP kAC 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 entU+O r 4.13 背景 77 \R#SoOd 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %j7b0pb 4.15 生成Rugate 84 q)k:pQ 4.16 参考文献 91 3z8i0 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _?tpO61g> 5.1 Jobs 92 Y sM*d 5.2 创建一个新Job(工作) 93 <`}P 5.3 输入材料 94 AFrJzh:V[ 5.4 设计数据文件夹 95 r]3-}:vU 5.5 默认设计 95 ^D+J
k8 6 细化和合成 97 K zWo}tT 6.1 优化介绍 97 y)G-6sZ/ 6.2 细化 (Refinement) 98 40t xZFQ0 6.3 合成 (Synthesis) 100 en<~_|J 6.4 目标和评价函数 101 :"%/u9<A 6.4.1 目标输入 102 -YA,Stc- 6.4.2 目标 103 n:5M
E* 6.4.3 特殊的评价函数 104 * ,hhX
psa 6.5 层锁定和连接 104 l(t&<O(m9 6.6 细化技术 104 \9?[|m
z 6.6.1 单纯形 105 R;< q<i_l 6.6.1.1 单纯形参数 106 GcBqe=/B! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 s4|\cY`b- 6.6.2.1 Optimac参数 108 l=~!'1@L} 6.6.3 模拟退火算法 109 Su#0F0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]~TsmR[ 6.6.4 共轭梯度 111 ^ ""edCs 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Tq1\ 6.6.5 拟牛顿法 112 EeuYRyK 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 SVCh!/qe\ 6.6.6 针合成 113 zxyl+tU & 6.6.6.1 针合成参数 114 jZXa
R 6.6.7 差分进化 114 XqTguO' 6.6.8非局部细化 115 $L/`nd 6.6.8.1非局部细化参数 115 yXJhOCa 6.7 我应该使用哪种技术? 116 gaF6j!p 6.7.1 细化 116 WZ CI*' 6.7.2 合成 117 lTx_E#^s 6.8 参考文献 117 &,nv+>D 7 导纳图及其他工具 118 1!#N-^qk 7.1 简介 118 S=UuEmU5N 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &.)=>2 7.2.1 四分之一波长规则 119 &K^0PzWWof 7.2.2 导纳图 120 Rlq7.2cP 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 $RD~,<oEm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 -&Rv=q> 7.5 斜入射导纳图 141 mQ[$U 7.6 对称周期 141 {2\Y%Y'}* 7.7 参考文献 142 f}:C~L! 8 典型的镀膜实例 143 aacy5E 8.1 单层抗反射薄膜 145 qE)FQeN 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 "5hk%T' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _7Y
h[I4 8.4 W-膜层 148 1.3#PdMR, 8.5 V-膜层 149 7)Toj 8.6 V-膜层高折射基底 150 iU)I"#\l'k 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ?@64gdlwq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W`>|OiuF 8.9 四层抗反射薄膜 153 Rh="<'d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k&Pt\- 9on 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 1/DtF 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 '.A!IGsj 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 {U5sRM|I 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (v]%kXy/G 8.15十五层宽带抗反射膜 159 y{<e4{
! 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 :'%6 8.17 1/4波长堆栈 162 G%W9?4_K 8.18 陷波滤波器 163 A7p4M?09 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9CDei~ 8.20 褶皱 165 Eb3 ZM# 8.21 消偏振分光器1 169 I68u%fCv 8.22 消偏振分光器2 171 w\buQ6pR) 8.23 消偏振立体分光器 172 _"8n&=+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 o[C^z7WG0 8.25 立体偏振分束器1 174 te@m#`p9 8.26 立方偏振分束器2 177 ]N>ZOV,> 8.27 相位延迟器 178 Y=S0|!u 8.28 红外截止器 179 IwyA4Ak Ru 8.29 21层长波带通滤波器 180 j7I=2xnTWu 8.30 49层长波带通滤波器 181 @6
he!wW 8.31 55层短波带通滤波器 182 <A3%182 8.32 47 红外截止器 183 4I4m4^ 8.33 宽带通滤波器 184 K@.5
8.34 诱导透射滤波器 186 ~ k*]Z8Z 8.35 诱导透射滤波器2 188 .:S/x{~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 :.:^\Q0 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]kj^T?&n. 8.35 增益平坦滤波器 193 +){^HC\7h 8.38 啁啾反射镜 1 196 JE.$]){ 8.39 啁啾反射镜2 198 P{Nvt/% 8.40 啁啾反射镜3 199 K?.~}82c 8.41 带保护层的铝膜层 200 vs@d)$N 8.42 增加铝反射率膜 201 bZowc {!\ 8.43 参考文献 202 !I7$e&Uz@ 9 多层膜 204 wE
.H:q4& 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 h:Pfiw] 9.2 内部透过率 204 F^dJ{<yX 9.3 内部透射率数据 205 +t!]nE# 9.4 实例 206 y0%@^^-Ru 9.5 实例2 210 }k-V( 9.6 圆锥和带宽计算 212 2?,Jn&i5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 z{XB_j6\= 10 光学薄膜的颜色 216 r)<A YX]J 10.1 导言 216 - H?c4? 5 10.2 色彩 216 /|EdpHx0 10.3 主波长和纯度 220 ] \yIHdcDi 10.4 色相和纯度 221 d`sZ"8}j 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -` ]9o3E7H 10.6 色差 226 ne#dEUD 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 f;E#CjlTL 10.8 颜色渲染指数 234 j0l{Mc5 10.9 色差计算 235 jcCAXk055 10.10 参考文献 236 EX)&|2w
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 L>Y+}]~ 11.1 短脉冲 238 2Zu9?
L ,I 11.2 群速度 239 l*ltS(? 11.3 群速度色散 241 1RAkqw<E 11.4 啁啾(chirped) 245 ]d*9@+Iu 11.5 光学薄膜—相变 245 }dc0ZRKgx 11.6 群延迟和延迟色散 246 Ca-"3aQkc 11.7 色度色散 246 yi$CkG} 11.8 色散补偿 249 Bii'^^I;? 11.9 空间光线偏移 256 `Vvi]>,cg` 11.10 参考文献 258 Ejk;(rxI 12 公差与误差 260 m?S;sew@5 12.1 蒙特卡罗模型 260 fJFNS
y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 rPk|2l,E,3 12.2.1 误差工具 267 OZ`cE5"i 12.2.2 灵敏度工具 271 b9H(w%7ucU 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =~:IiK/# 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <H-Nft>O 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2ZK]}&yC 12.3 参考文献 276 Nd0tR3gi7 13 Runsheet 与Simulator 277 p4T$(]7 13.1 原理介绍 277 Q<sqlh!h 13.2 截止滤光片设计 277 V%-hP~nyBx 14 光学常数提取 289 Jv} 14.1 介绍 289 x?AG*'
h& 14.2 电介质薄膜 289 YZ~MByu 14.3 n 和k 的提取工具 295 M`Y^hDl 6 14.4 基底的参数提取 302 )^:H{1' 14.5 金属的参数提取 306 5]O{tSj 14.6 不正确的模型 306 ::Zo` vP 14.7 参考文献 311 ~[CFs'`(2 15 反演工程 313 z:Am1B 15.1 随机性和系统性 313 #*h\U]=VS 15.2 常见的系统性问题 314 TPp]UG 15.3 单层膜 314 GDLw_usV 15.4 多层膜 314 SVU>q:ab 15.5 含义 319 <8WFaP3, 15.6 反演工程实例 319 UytMnJ88 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 7I3_$uF 15.6.2 反演工程提取折射率 327 JM7mQ'`Ud 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Lc!2'Do; 16.1 光学性质的热致偏移 329 :^7w 16.2 应力工具 335 sVyV|!K 16.3 均匀性误差 339 0F[f%2j 16.3.1 圆锥工具 339 Z],j|rWy6 16.3.2 波前问题 341 LS~at.3zX 16.4 参考文献 343 ]\*^G@HA2 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .n<vhLDQn 17.1 引言 345 x^1udK^re 17.2 操作数 345 tSHW"R 18 如何在Function中编写脚本 351 ~qinCIj 18.1 简介 351 *OLqr/ yb 18.2 什么是脚本? 351 j_JY[sex 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 REW[`MBQ 18.4 基础 352 z +MH co" 18.4.1 Classes(类别) 352 K<P d.: 18.4.2 对象 352 fJS:46 18.4.3 信息(Messages) 352 8c5YX 18.4.4 属性 352 s%:fZ7y 18.4.5 方法 353 T;6M UmyC 18.4.6 变量声明 353 l<6GZ 18.5 创建对象 354 V'vWz`# 18.5.1 创建对象函数 355 XPd mz !,b 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 01r%K@ xX\ 18.5.3 丢弃对象 356 x9YQd69 18.5.4 总结 356 5%}e j)@ 18.6 脚本中的表格 357 $d*9]M4 18.6.1 方法1 357 8w5}9}xF 18.6.2 方法2 357 ]oP1c-GEk 18.7 2D Plots in Scripts 358 ?i _ACKpw 18.8 3D Plots in Scripts 359 </ [.1&S+\ 18.9 注释 360 NW1 Jr/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #RlZxtx.O 18.11 一个更高级的脚本 362 ABCm2$< 18.12 <esc>键 364 (%6fMVp 18.13 包含文件 365 /p
!A:8 18.14 脚本被优化调用 366 4)gG_k 18.15 脚本中的对话框 368 =F+v+zP7P 18.15.1 介绍 368 NWf=mrS8@$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 c_>Gl8J 18.15.3 输入框函数 370 ed6@o4D/kf 18.15.4 自定义对话框 371 ?Bf>G]zx 18.15.5 对话框编辑器 371 s|\)Y*B` 18.15.6 控制对话框 377 wtS*-;W 18.15.7 更高级的对话框 380 RqA>" [L 18.16 Types语句 384 WE\TUENac( 18.17 打开文件 385 t]HY@@0g 18.18 Bags 387 #*g=F4>t 18.13 进一步研究 388 gkr9+ 19 vStack 389 ]y@A=nR 19.1 vStack基本原理 389 rI>x'0Go* 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 $yx\2 19.3 五棱镜 393 eIvZhi 19.4 光束距离 396 ` @ QZK0Ox 19.5 误差 399 :;_
khno 19.6 二向分色棱镜 399 zM0}(5$m 19.7 偏振泄漏 404 |0[Buh[_:c 19.8 波前误差—相位 405 x_Ev2
c'4 19.9 其它计算参数 405 H~FI@Cf$L 20 报表生成器 406 /"X_{3dq? 20.1 入门 406 NsB]f{7>8+ 20.2 指令(Instructions) 406 xSudDhRP 20.3 页面布局指令 406 Wj.t4XG! 20.4 常见的参数图和三维图 407 %5e| 20.5 表格中的常见参数 408 fOi
Rstci 20.6 迭代指令 408 p]kEH\
sh 20.7 报表模版 408 X /c8XLe" 20.8 开始设计一个报表模版 409 ]^ R':YE 21 一个新的project 413 YdhV
a!Y 21.1 创建一个新Job 414 .`IhxE~mN 21.2 默认设计 415 Y:DopKRD 21.3 薄膜设计 416 W]po RTJ: 21.4 误差的灵敏度计算 420 T]\1gs41 21.5 显色指数计算 422 GxhE5f; 21.6 电场分布 424 'maX 后记 426 $5XAS
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