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S9 VD/ 内容简介 ^hy Y,X Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ba`V`0p- ( 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,z@"pI
b 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 l =`?Im qGK -f4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 +3wVcL 目录 uW{;@ 7N Preface 1 }@Dgr)*+ 内容简介 2 D *Hy 2eZ. 目录 i _X/`7!f 1 引言 1 #[LnDU8>9 2 光学薄膜基础 2 uKF)'gj 2.1 一般规则 2 m]"13E0*x 2.2 正交入射规则 3 'Z{_ws 2.3 斜入射规则 6 $kD;*v= 2.4 精确计算 7 6a MG!_jC 2.5 相干性 8 , b;WCWm 2.6 参考文献 10 WUfPLY_c( 3 Essential Macleod的快速预览 10 W!=X_ 4 Essential Macleod的特点 32 PgMU|O7To 4.1 容量和局限性 33 #=V[vbTY 4.2 程序在哪里? 33 XUK!1} 4.3 数据文件 35 VX{9g#y$j 4.4 设计规则 35 xC}9W6 4.5 材料数据库和资料库 37 zMI_8lNz 4.5.1材料损失 38 2M`:/ shq 4.5.1材料数据库和导入材料 39 JIH6! 4.5.2 材料库 41 HA# 9y;\ 4.5.3导出材料数据 43 S?BI)shmg 4.6 常用单位 43 umJ!j&( 4.7 插值和外推法 46 eWw#
T^ 4.8 材料数据的平滑 50 MUjfqxTT 4.9 更多光学常数模型 54 P;7
Y9} 4.10 文档的一般编辑规则 55 @;1Ym\zc 4.11 撤销和重做 56 Nfo`Q0\[P 4.12 设计文档 57 x<gP5c>zm 4.10.1 公式 58 +B#+' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 0~( f<: 4.10.3 沉积密度 59 24b?6^8~k 4.10.4 平行和楔形介质 60 appWq}db 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 M:/)|fk 4.10.4 性能 61 ih\=mB 4.10.5 保存设计和性能 64 A.wuB 4.10.6 默认设计 64 DYej<T'?3 4.11 图表 64 `"RT(` m 4.11.1 合并曲线图 67 mLb>*xt$b@ 4.11.2 自适应绘制 68 U_.9H
_G 4.11.3 动态绘图 68 FA7q
pc 4.11.4 3D绘图 69 |g1~- 4.12 导入和导出 73 5'%nLW7;O 4.12.1 剪贴板 73 :SJxG&Pm=~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =+
vl+h 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 40$- ]i 4.13 背景 77 QXLHQ_V 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 e4mAKB
s! 4.15 生成Rugate 84 EZb_8<DH 4.16 参考文献 91 yNDplm|9* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 a]4h5kJ'; 5.1 Jobs 92 hcX`X2^ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 J)n^b 5.3 输入材料 94 _|f_%S8a_= 5.4 设计数据文件夹 95 Zog&:]P'F 5.5 默认设计 95 K|V<e[X[V 6 细化和合成 97 tcD DX'S 6.1 优化介绍 97 8H@] v@Z2 6.2 细化 (Refinement) 98 $ts1XIK% 6.3 合成 (Synthesis) 100 SDHJX8Hq 6.4 目标和评价函数 101 Bp9_\4 6.4.1 目标输入 102 O;8 3A 6.4.2 目标 103 ApSzkPv* 6.4.3 特殊的评价函数 104 zkb[u" 6.5 层锁定和连接 104 Mv_-JE9#>o 6.6 细化技术 104 kT1 2 6.6.1 单纯形 105 eFXQ~~gOj 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]}z"H@k 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ,qu7XFYrY 6.6.2.1 Optimac参数 108 e754g(|>b 6.6.3 模拟退火算法 109 >j6"\1E+Dz 6.6.3.1 模拟退火参数 109 C.N#y`g 6.6.4 共轭梯度 111
H_vGa!_ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]@wKm1%v 6.6.5 拟牛顿法 112 +"GBuNh 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9YEE.=]T 6.6.6 针合成 113 hUP?r/B 6.6.6.1 针合成参数 114 3](At%ss 6.6.7 差分进化 114 ?)V|L~/ 6.6.8非局部细化 115 ./i5VBP5 6.6.8.1非局部细化参数 115 tYUg%2G 6.7 我应该使用哪种技术? 116 q5#6PYIq 6.7.1 细化 116 @Pb%dS 6.7.2 合成 117 opv<r*! 6.8 参考文献 117 hn[lhC 7 导纳图及其他工具 118 6R#.AD\
7.1 简介 118 *|({(aZ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .
ytxe!O 7.2.1 四分之一波长规则 119 a%*W(
4=Y 7.2.2 导纳图 120 hEMS 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 kHz?vVE/l 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 5H}d\=z 7.5 斜入射导纳图 141 ,R[<+!RS 7.6 对称周期 141 E>isl" 7.7 参考文献 142 ]Wg&r Y0 8 典型的镀膜实例 143 ',m!L@7M5 8.1 单层抗反射薄膜 145 r<OqI*7 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M~l\rg8 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4L<;z' 8.4 W-膜层 148 7Sl"q=> 8.5 V-膜层 149 }DFZ9,gQ 8.6 V-膜层高折射基底 150 OfPv'rW{x 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <[A;i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 'b:UafV 8.9 四层抗反射薄膜 153 ;MH_pE/m 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ]FEsN6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 fRK=y+gl@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 KMP[Ledr 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 zn#lFPj12 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 *hlinQKs 8.15十五层宽带抗反射膜 159 k2:mIp\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }iRRf_ 8.17 1/4波长堆栈 162 `N;O6
wZ 8.18 陷波滤波器 163 6QePrf 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 4vyJ<b
8.20 褶皱 165 F5
7Kr5X 8.21 消偏振分光器1 169 I/_,24[ 8.22 消偏振分光器2 171 L*zfZ& 8.23 消偏振立体分光器 172 S.|%dz 8.24 消偏振截止滤光片 173 TXbnK"XQ 8.25 立体偏振分束器1 174 6F; |x 8.26 立方偏振分束器2 177 tvOyT6 ] 8.27 相位延迟器 178 ?o`fX
wE 8.28 红外截止器 179 ZO&F15$P 8.29 21层长波带通滤波器 180 $D;-;5[-/r 8.30 49层长波带通滤波器 181 (".WJXB\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 %ZTI ?a 8.32 47 红外截止器 183 n0b{Jg * 8.33 宽带通滤波器 184 :LLz$[c8 8.34 诱导透射滤波器 186 xV.UM8 8.35 诱导透射滤波器2 188 EfqC_,J*3 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^~W s4[Guo 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Y@MFH>* 8.35 增益平坦滤波器 193 UQO?hZ!y/. 8.38 啁啾反射镜 1 196 S4D~`"4$/ 8.39 啁啾反射镜2 198 ;"]?&ri 8.40 啁啾反射镜3 199 kk ZMoK 8.41 带保护层的铝膜层 200
u"-."_ 8.42 增加铝反射率膜 201 9d8U@= 8.43 参考文献 202 (d# W3 9 多层膜 204 /vAA]n8 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Z&5cJk
W 9.2 内部透过率 204 Y0g6zHk7 9.3 内部透射率数据 205 kY#sQz}8 9.4 实例 206 $: qrh66 9.5 实例2 210 FB
n . 4 9.6 圆锥和带宽计算 212 YzYj/,?r 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 8_{XrTw( 10 光学薄膜的颜色 216 e!P]$em|1E 10.1 导言 216 gsVm)mkd 10.2 色彩 216 5](,N^u{): 10.3 主波长和纯度 220 # N'_~:H 10.4 色相和纯度 221
5Eu`1f? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 pXf5/u8& 10.6 色差 226 QA#Jx 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 UB7C,:" 10.8 颜色渲染指数 234 ;_E][m 10.9 色差计算 235 ~"22X`;h[G 10.10 参考文献 236 Vc&xXtm[v 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 FmhN*ZXr# 11.1 短脉冲 238 G`NGt_C 11.2 群速度 239 p1fy)K2{,j 11.3 群速度色散 241 >:P-3#e* 11.4 啁啾(chirped) 245 3`{[T17 11.5 光学薄膜—相变 245 m-R`( 11.6 群延迟和延迟色散 246 `.YMbj#T 11.7 色度色散 246 .2/W.z2 11.8 色散补偿 249 9On(b|mT 11.9 空间光线偏移 256 >qci$ 11.10 参考文献 258 M(.Up 12 公差与误差 260 =EUi|T4: 12.1 蒙特卡罗模型 260 1VB{dgr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :+UahwiRD" 12.2.1 误差工具 267 $-M' 12.2.2 灵敏度工具 271 tV9 K5ON 12.2.2.1 独立灵敏度 271 H)NT2@%{P 12.2.2.2 灵敏度分布 275 yYvv!w+@Q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 y-vQ4G5F| 12.3 参考文献 276 ^spASG-o 13 Runsheet 与Simulator 277 Pql;5
~/
13.1 原理介绍 277 Q9sxI}D )R 13.2 截止滤光片设计 277 N>',[4pJ| 14 光学常数提取 289 @mu=7_$U 14.1 介绍 289 ,{sCI/ 14.2 电介质薄膜 289 tkf^sGgNO 14.3 n 和k 的提取工具 295 RhI>Ak;- 14.4 基底的参数提取 302 zzZK S 14.5 金属的参数提取 306 pLsJa?}R 14.6 不正确的模型 306 5+Hw @CY3 14.7 参考文献 311 Cm[^+.=I 15 反演工程 313 qh/}/Sl; 15.1 随机性和系统性 313 7=pJ)4;ZA 15.2 常见的系统性问题 314 lU% L 15.3 单层膜 314 <9aa@c57 15.4 多层膜 314 |H4f&&Wd 15.5 含义 319 g:fzf>oQ>p 15.6 反演工程实例 319 A9ru]|? 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ;09U*S$eK 15.6.2 反演工程提取折射率 327 7A4_b8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 n]snD1?KX 16.1 光学性质的热致偏移 329 8aa`0X/6 16.2 应力工具 335 fz`\-"f] 16.3 均匀性误差 339 h|XLL|: 16.3.1 圆锥工具 339 .?;"iv+ 16.3.2 波前问题 341 Oh/2$72 16.4 参考文献 343 75RQ\_zDu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 p$zj2W+sN 17.1 引言 345 .dl4f"k 17.2 操作数 345 SMbhJ}\O 18 如何在Function中编写脚本 351 ql%]t~HR0 18.1 简介 351 IjnO2X 18.2 什么是脚本? 351 !&@!:=X, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 mNnt9F3Eq 18.4 基础 352 GB`
G(a 18.4.1 Classes(类别) 352 )L%[(iI,x 18.4.2 对象 352 7N
I~47s|v 18.4.3 信息(Messages) 352 `T~~yM)q 18.4.4 属性 352 qn#f:xltu 18.4.5 方法 353 $+p4X# _ 18.4.6 变量声明 353 (}&O)3) 18.5 创建对象 354 z.] 18.5.1 创建对象函数 355 Zh3hCxXa 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 H<bB@(i 18.5.3 丢弃对象 356 +!)v=NY 18.5.4 总结 356 dEW I8Q] 18.6 脚本中的表格 357 H\@@iK= 18.6.1 方法1 357 oO~LiK> 18.6.2 方法2 357 3Fl!pq] 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~91) DNaE 18.8 3D Plots in Scripts 359 Jevr.& |