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`8 内容简介 lpi"@3 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 7i5B=y7b 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ?NE/}?a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4U2{1aN` FNGa4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Om.%K>V 目录 5OM#_.p Preface 1 DG&'x;K"$ 内容简介 2 pq*e0uW 目录 i AA\)BNM 1 引言 1 3f=ZNJ> 2 光学薄膜基础 2 .2I?^w&j+ 2.1 一般规则 2 #-|fdcb 2.2 正交入射规则 3 |E~c#lV 2.3 斜入射规则 6 ?N4FB*x 2.4 精确计算 7 *eg0^ByeD 2.5 相干性 8 Xg~9<BGsi 2.6 参考文献 10 Jp jHbG 3 Essential Macleod的快速预览 10 w|dfl * 4 Essential Macleod的特点 32 j_C"O,WS 4.1 容量和局限性 33 y;o - @] 4.2 程序在哪里? 33 e5mu- 4.3 数据文件 35 y\v#qFVOZ 4.4 设计规则 35 R*GBxJaw 4.5 材料数据库和资料库 37 I<}% L
V 4.5.1材料损失 38 ~vTwuc\(H 4.5.1材料数据库和导入材料 39 l/k-`LeW 4.5.2 材料库 41 Cm;cmPPl 4.5.3导出材料数据 43 %OoH<\w
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4.6 常用单位 43 ;*?>w|t}w 4.7 插值和外推法 46 ##mZ97>$ 4.8 材料数据的平滑 50 yjT>bu]
4.9 更多光学常数模型 54 aiPm.h> 4.10 文档的一般编辑规则 55 ti61&)( 4.11 撤销和重做 56 2]kGDeSr 4.12 设计文档 57 n1%2sV)> 4.10.1 公式 58 NL]_;\ h 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 J4+WF#xI2 4.10.3 沉积密度 59 x[mz`0 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;PaU"z+Je~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 qu^g~"s 4.10.4 性能 61 `h'+4 4.10.5 保存设计和性能 64 RB4n>&Y 4.10.6 默认设计 64 ;6 @sC[ 4.11 图表 64 brp3xgQ`] 4.11.1 合并曲线图 67 he(K 4.11.2 自适应绘制 68 S ,F[74K 4.11.3 动态绘图 68 z5gVP8*z5 4.11.4 3D绘图 69 wa<k%_# M 4.12 导入和导出 73 -]wEk%j 4.12.1 剪贴板 73 xHt7/8wF 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Jqb~RP~ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 e-*@R#x8+ 4.13 背景 77 {9(0s| pr 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 gcnX^[`S 4.15 生成Rugate 84 .@): Uh 4.16 参考文献 91 %GTFub0F 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 PVg<Ovi^d 5.1 Jobs 92 LEM%B??&5z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 'IY?=#xr'` 5.3 输入材料 94 aX1b(h2 5.4 设计数据文件夹 95 oeg
Bk 5.5 默认设计 95 fY^CIb$Y 6 细化和合成 97 +D5gbxZX 6.1 优化介绍 97 cFc(HADM`r 6.2 细化 (Refinement) 98 e".=E;o` 6.3 合成 (Synthesis) 100 ,c"J[$i$ 6.4 目标和评价函数 101 bN-!&Td 6.4.1 目标输入 102 !Ew
ff|v" 6.4.2 目标 103 f I=G>[ 6.4.3 特殊的评价函数 104 S?CT6moXA 6.5 层锁定和连接 104 Iuz_u2"C 6.6 细化技术 104 (o*YGYC 6.6.1 单纯形 105 PP{9Y Vr 6.6.1.1 单纯形参数 106 7tWC<# 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 S3/%;=| 6.6.2.1 Optimac参数 108 :!MEBqcU 6.6.3 模拟退火算法 109 PS"rXaY 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ntLEk fK{ 6.6.4 共轭梯度 111 T#Q7L~?zY 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .;g kV-] 6.6.5 拟牛顿法 112 ATqblU>D 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 6 eryf? 6.6.6 针合成 113 |'-aR@xJ 6.6.6.1 针合成参数 114 ]+Lr'HF 6.6.7 差分进化 114 `E1G9BbU 6.6.8非局部细化 115 QL8C!&= 6.6.8.1非局部细化参数 115 n
6pJ]Ce 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ;4!H- qZ 6.7.1 细化 116 {[#)Q.2 6.7.2 合成 117 R& t*x 6.8 参考文献 117 zYV{ |Z 7 导纳图及其他工具 118 )YgntI@ 7.1 简介 118 Xuu&`U~% 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 "LlQl3"= 7.2.1 四分之一波长规则 119 WYb}SI(E 7.2.2 导纳图 120 .KKecdd?= 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 QTBc_Z 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 AuK$KGCI= 7.5 斜入射导纳图 141 ?:3hp2k< 7.6 对称周期 141 {!D(3~MI 7.7 参考文献 142 4_5f4%S 8 典型的镀膜实例 143 M>Q ZN 8.1 单层抗反射薄膜 145 +Kb 7N, " 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 !O%!A<3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 UB5H8&Rf! 8.4 W-膜层 148 MoN0w.V 8.5 V-膜层 149 o3`U;@ &u 8.6 V-膜层高折射基底 150 r<fcZ)jt| 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ;>mM9^Jaf 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 l#enbQ`-~ 8.9 四层抗反射薄膜 153 H2%Qu<Kg2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 HghdTs 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?'0!>EjY" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <4.Exha;= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 qr4 lr!#t 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 vY_[@y 8.15十五层宽带抗反射膜 159 h_?`ESI~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;ZUj2WxE 8.17 1/4波长堆栈 162 s>o#Ob@4' 8.18 陷波滤波器 163 SbGdcCB 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 T='uqKW\ 8.20 褶皱 165 tnobqL' 8.21 消偏振分光器1 169 =tD*,2] 8.22 消偏振分光器2 171 }},0#Ap 8.23 消偏振立体分光器 172 rs?Dn6:;B 8.24 消偏振截止滤光片 173 >\[]z^J 8.25 立体偏振分束器1 174 r|UJJ9i 8.26 立方偏振分束器2 177 WGn=3(4 8.27 相位延迟器 178 E>s+"y 8.28 红外截止器 179 U4=l`{5on 8.29 21层长波带通滤波器 180 k5E2{&wZ 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,i6E L 8.31 55层短波带通滤波器 182 Op-z"inw 8.32 47 红外截止器 183 ^%,{R},s 8.33 宽带通滤波器 184 Oe;#q 8.34 诱导透射滤波器 186 R ?iCJ5 m 8.35 诱导透射滤波器2 188 ,:PMS8pS 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |:5O|m ' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 TiI /I`A 8.35 增益平坦滤波器 193 s0dP3tz> 8.38 啁啾反射镜 1 196 ~BuzI9~7P 8.39 啁啾反射镜2 198 N_bgW QY 8.40 啁啾反射镜3 199 QUW`Yc 8.41 带保护层的铝膜层 200 }
doAeTZ 8.42 增加铝反射率膜 201 *|Vf1R] 8.43 参考文献 202 **%&|9He 9 多层膜 204 .4\I?
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 b_RO%L:"yL 9.2 内部透过率 204 BS fmS(. 9.3 内部透射率数据 205 FzX ;~CA 9.4 实例 206 IOZw[9](+ 9.5 实例2 210 jKmjZz8L]% 9.6 圆锥和带宽计算 212 LH(P<k& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ybiTWM 10 光学薄膜的颜色 216 x9>$197 10.1 导言 216 bUS:c
2" 10.2 色彩 216 ^(^P#EEG 10.3 主波长和纯度 220 nrKAK^ 10.4 色相和纯度 221 [@lK[7 u 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]]:K
l 10.6 色差 226 ij0I!ilG4 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 v_5qE 10.8 颜色渲染指数 234 sPi 10.9 色差计算 235 UUDUda 10.10 参考文献 236 z)hK 2JD 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [<f2h-V$ 11.1 短脉冲 238 [T_[QU:A 11.2 群速度 239 }d}gb`Du 11.3 群速度色散 241 qI9j=4s. 11.4 啁啾(chirped) 245 G,!j P2S 11.5 光学薄膜—相变 245 >u>
E !5O 11.6 群延迟和延迟色散 246 dPu27 " 11.7 色度色散 246 9f0`HvHC 11.8 色散补偿 249 ]Ik~TW& 11.9 空间光线偏移 256 %U{sn\V 11.10 参考文献 258 M}o.= Iqa 12 公差与误差 260 m+'1c}n^7 12.1 蒙特卡罗模型 260 o4p5`jOG@ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [Ix6ArY 12.2.1 误差工具 267 HDKF>S_S 12.2.2 灵敏度工具 271 Jn{)CZ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9ia&/BT7"z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 -Ct+W;2 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 t RU/[?! 12.3 参考文献 276 dY}5Kmt 13 Runsheet 与Simulator 277 A x8 > 13.1 原理介绍 277 0J'^<GTL 13.2 截止滤光片设计 277 |.Vgk8oTl 14 光学常数提取 289 OE(y$+L3_I 14.1 介绍 289 @@\qso 14.2 电介质薄膜 289 }Q: CZ 14.3 n 和k 的提取工具 295 aQ(P#n>a2 14.4 基底的参数提取 302 Se!w(Y& 14.5 金属的参数提取 306 m#BXxS#B<_ 14.6 不正确的模型 306 E|9`J00 14.7 参考文献 311 #WG}"[ ,c 15 反演工程 313 _qPKdGoM 15.1 随机性和系统性 313 @lDnD%vZ` 15.2 常见的系统性问题 314 |Jx:#OM 15.3 单层膜 314 S Yi !% 15.4 多层膜 314 0"e["q{| 15.5 含义 319 MMrN#&r 15.6 反演工程实例 319 k^d]E F 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 VvIUAn 15.6.2 反演工程提取折射率 327 %TI3Eb 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 fB<Qs.T 16.1 光学性质的热致偏移 329 %G(VYCeK 16.2 应力工具 335 FFZ?-sE 16.3 均匀性误差 339 ^E/6vG 16.3.1 圆锥工具 339 SVVE b6& 16.3.2 波前问题 341 8OOAPp$%| 16.4 参考文献 343 6P@K]jy& n 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 A\S=>[ar- 17.1 引言 345 VM5'd 17.2 操作数 345 U0-RG 18 如何在Function中编写脚本 351 4PD5i 18.1 简介 351 <[ dt2)%L> 18.2 什么是脚本? 351 '['%b 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ih)\P0wed 18.4 基础 352 =,it`8; 18.4.1 Classes(类别) 352 r
ts2Jk7f 18.4.2 对象 352 x$jLB&+ICz 18.4.3 信息(Messages) 352 DW,ERQ^ 18.4.4 属性 352 F\&wFA'J 18.4.5 方法 353 z4D)Xy"/ 18.4.6 变量声明 353 `&x>2FJ 18.5 创建对象 354 ABoB=0.l 18.5.1 创建对象函数 355 GTbV5{Ss 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 U= GJuixy 18.5.3 丢弃对象 356 5I[:.o0 18.5.4 总结 356 b&E"r*i| 18.6 脚本中的表格 357 l@w\
Vxr 18.6.1 方法1 357 PSAEW.L 18.6.2 方法2 357 N68]r3/K 18.7 2D Plots in Scripts 358 p5rq>&" 18.8 3D Plots in Scripts 359 7>zUT0SS 18.9 注释 360 x2fqfrr_] 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 z+oy#p6+F. 18.11 一个更高级的脚本 362 19R~&E's 18.12 <esc>键 364 z{BgAI, 18.13 包含文件 365 aW_Y 18.14 脚本被优化调用 366 fif'ptK 18.15 脚本中的对话框 368 7?g({] 18.15.1 介绍 368 ]srL>29_b 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ^3vI
NF 18.15.3 输入框函数 370 ,b^jAzow 18.15.4 自定义对话框 371 Cs"ivET 18.15.5 对话框编辑器 371 J s33S) 18.15.6 控制对话框 377 '%e@7Cs 18.15.7 更高级的对话框 380 PY4">~6\i 18.16 Types语句 384 'Kmf6iK>[ 18.17 打开文件 385 KJ&I4CU]^ 18.18 Bags 387 mK7SEH; 18.13 进一步研究 388 Q>X1 :Zn3 19 vStack 389 o4a@{nt^, 19.1 vStack基本原理 389 =v|$dDz 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 DI-&P3iGx 19.3 五棱镜 393 ?^:5` 19.4 光束距离 396 ^Hf?["m^@ 19.5 误差 399 /!5cf;kl*l 19.6 二向分色棱镜 399 `:ZaT('h 19.7 偏振泄漏 404 F{ 4k2Izr 19.8 波前误差—相位 405
StNA(+rT 19.9 其它计算参数 405 =<(6yu_ 20 报表生成器 406
qOD^P 20.1 入门 406 (@BB@G 20.2 指令(Instructions) 406 2b\h@VJt 20.3 页面布局指令 406 s 64@<oU<" 20.4 常见的参数图和三维图 407 6L~5qbQ 20.5 表格中的常见参数 408 vfDX~_N 20.6 迭代指令 408 LCIe1P2 20.7 报表模版 408 NU.4_cixb 20.8 开始设计一个报表模版 409 ae0Mf0<#) 21 一个新的project 413 ] -C*d$z 21.1 创建一个新Job 414 OWr\$lm@z$ 21.2 默认设计 415 R%t6sbsNv 21.3 薄膜设计 416 #Wl9[W/4 21.4 误差的灵敏度计算 420 k'"R;^~xg 21.5 显色指数计算 422 q2Sc{E>[ 21.6 电场分布 424 `}
'o2oZnG 后记 426 6~!7?FK 详情请扫码咨询 R4[|f0l}s =`MQKh,
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