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UB|Nx(V s 内容简介 N1\u~%AT" Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 M< *5Y43 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )U>q>< 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 m qPWCFP 1e'-rm
F 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 I= x 目录 /cJ$`
pN Preface 1 _Jj|g9b 内容简介 2 uB
6`e!Q 目录 i 2"'0OQN0\ 1 引言 1 |5F]y"Nb 2 光学薄膜基础 2 RA+Y ./*h 2.1 一般规则 2 AXH4jQw 2.2 正交入射规则 3 xHJ+! 2.3 斜入射规则 6 \hc}xy
0 2.4 精确计算 7 'hVOK(o0 2.5 相干性 8 hK@1
s 2.6 参考文献 10 PP[{c 3 Essential Macleod的快速预览 10 #|A
@ 4 Essential Macleod的特点 32 3+{hO@O 4.1 容量和局限性 33 >Hic
tH 4.2 程序在哪里? 33 ro}plK(<WQ 4.3 数据文件 35 YXg:cXE8e 4.4 设计规则 35 Mn7 y@/1 4.5 材料数据库和资料库 37 s)375jCga 4.5.1材料损失 38 *.Y!ZaK 4.5.1材料数据库和导入材料 39 w<J$12
"p+ 4.5.2 材料库 41 W2%(a0p 4.5.3导出材料数据 43 OB6I8n XW 4.6 常用单位 43 g5V9fnb!d 4.7 插值和外推法 46 bNevHKS 4.8 材料数据的平滑 50 4oT25VH 4.9 更多光学常数模型 54 2~2 4.10 文档的一般编辑规则 55 UB .FX 4.11 撤销和重做 56 |; $fy- 4.12 设计文档 57
iq5h[ 4.10.1 公式 58 fyYv}z 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 >P>.j+o/ 4.10.3 沉积密度 59 cw/g1,p 4.10.4 平行和楔形介质 60 P;MS%32 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 f3y_&I+zl 4.10.4 性能 61 m1]rLeeEt 4.10.5 保存设计和性能 64 @D9c 4.10.6 默认设计 64 ?lR)Hi 4.11 图表 64 _<pG}fmR 4.11.1 合并曲线图 67 }C2I9Cl 4.11.2 自适应绘制 68 > :!faWX 4.11.3 动态绘图 68 WB6g i2 4.11.4 3D绘图 69 7Q0M3m 4.12 导入和导出 73 ,":"Op61 4.12.1 剪贴板 73 Lt@4F 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ]v rpr%K 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 7#MBT-ih 4.13 背景 77 "LaNXZ9 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~<Gs<c}z 4.15 生成Rugate 84 gLl?e8[F 4.16 参考文献 91 0AJ6g@t[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 u\^<V) 5.1 Jobs 92 m ~fqZK 5.2 创建一个新Job(工作) 93 7g 5.3 输入材料 94 u5V<f; 5.4 设计数据文件夹 95 +**H7: bO 5.5 默认设计 95 0Hff/~J 6 细化和合成 97 !ye%A& 6.1 优化介绍 97 ;L(W'+ 6.2 细化 (Refinement) 98 nP 2 rN_:4 6.3 合成 (Synthesis) 100 >^|\wy 6.4 目标和评价函数 101 6}C4 SZ 6.4.1 目标输入 102 Eqp?cKrji 6.4.2 目标 103 ?tqTG2! ( 6.4.3 特殊的评价函数 104 9@QP?=\Y 6.5 层锁定和连接 104 >p\IC 6.6 细化技术 104 >5/dmHPc 6.6.1 单纯形 105 b[GZ sXD- 6.6.1.1 单纯形参数 106 v}xz`]MW<, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 #q==GT7 6.6.2.1 Optimac参数 108 F=iz\O!6 6.6.3 模拟退火算法 109 Y)c9]1qly 6.6.3.1 模拟退火参数 109 "uTzmm$ 6.6.4 共轭梯度 111 j[wGR_EE 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [p}J=1S 6.6.5 拟牛顿法 112 8@6:UR.) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 zoC/Hm 6.6.6 针合成 113 DI!NP;E 6.6.6.1 针合成参数 114 G{+sC2 6.6.7 差分进化 114 Ln[R}qD 6.6.8非局部细化 115 oF]0o`U&a 6.6.8.1非局部细化参数 115 N(t1?R/e, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 3t68cdFlz 6.7.1 细化 116 K`(STvtM 6.7.2 合成 117 l=
~]MSwY 6.8 参考文献 117 egx(N
<
7 导纳图及其他工具 118 KDRIy@[e 7.1 简介 118 f]T#q@|lE 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 lsJ'dS 7.2.1 四分之一波长规则 119 ZN%$k-2 7.2.2 导纳图 120 b=K 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 cQ*:U@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 L)8;96 7.5 斜入射导纳图 141 bi#o1jR 7.6 对称周期 141 :#d$[:r# 7.7 参考文献 142 6dC!&leNi 8 典型的镀膜实例 143 ^tc@bsUF 8.1 单层抗反射薄膜 145 OR1XQij 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 sKn>K/4JZ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 p*#SSR9< 8.4 W-膜层 148 uZm<:d2%) 8.5 V-膜层 149 e3)rF5pp 8.6 V-膜层高折射基底 150 \&@Tq-o 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 [rqq*_eB 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 f7d) 8.9 四层抗反射薄膜 153 9e=F 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 jY87NHg 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 *bmk(%g 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 kl3#&>e 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Yfxc$ub 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 KM< M^l_Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^a<=@0| 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |=jgrm1yj 8.17 1/4波长堆栈 162 VI" ,E} 8.18 陷波滤波器 163 +Nc|cj 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <JF78MD\ 8.20 褶皱 165 sl |S9Ix 8.21 消偏振分光器1 169 t8]u#bx"? 8.22 消偏振分光器2 171 fm&l0 8.23 消偏振立体分光器 172 1m}'Y@I 8.24 消偏振截止滤光片 173 "Q2[A]4E 8.25 立体偏振分束器1 174 6S"bW)O 8.26 立方偏振分束器2 177 U
NQup;#h 8.27 相位延迟器 178 0<!kGL5 8.28 红外截止器 179 gq Z7Pro. 8.29 21层长波带通滤波器 180 4\Y=*X 8.30 49层长波带通滤波器 181 F[RhuNa&'W 8.31 55层短波带通滤波器 182 5A~w_p*} 8.32 47 红外截止器 183 vQu) uml 8.33 宽带通滤波器 184 a^4(7 8.34 诱导透射滤波器 186 (t<i?>p 8.35 诱导透射滤波器2 188 n9cWvy&f 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ;PG'em 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 asPD>j c 8.35 增益平坦滤波器 193 oJyC{G 8.38 啁啾反射镜 1 196
78qf 8.39 啁啾反射镜2 198 8Q#&=]W$ 8.40 啁啾反射镜3 199 uZ<Bfrc 8.41 带保护层的铝膜层 200 OK3B6T5w= 8.42 增加铝反射率膜 201 2kCJqyWy 8.43 参考文献 202 IGu*#>h 9 多层膜 204 n$#^gzU4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 pA+Qb.z5z 9.2 内部透过率 204 >%Y.X38Z[ 9.3 内部透射率数据 205 ^6J*yV% 9.4 实例 206 Pbm;@V 9.5 实例2 210 bTHJb pt*- 9.6 圆锥和带宽计算 212 -W+dsZ Sv8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 g6
7* Bs 10 光学薄膜的颜色 216 g.F{yX] 10.1 导言 216 (z^2LaM `8 10.2 色彩 216 b$rBxe\ 10.3 主波长和纯度 220 "TN}=^A\F 10.4 色相和纯度 221 M 80U s. 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2HQHC] 10.6 色差 226 e|+uLbN&;c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 K{q(/>: 10.8 颜色渲染指数 234 Br-y`s~cP 10.9 色差计算 235 My)}oN7\z 10.10 参考文献 236 %\:.rs^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 M7jDV|Go 11.1 短脉冲 238 sI*( MhU 11.2 群速度 239 Ij#%Qu 11.3 群速度色散 241 ~a/yLI"'g 11.4 啁啾(chirped) 245 2Q1* Xq{ 11.5 光学薄膜—相变 245 <@;e N& 11.6 群延迟和延迟色散 246 H26j]kY 11.7 色度色散 246 N_/&xHw 11.8 色散补偿 249 QbOmJQ 11.9 空间光线偏移 256 RsTpjY*Xb 11.10 参考文献 258 )I!l:!Ij*D 12 公差与误差 260 p9l&K/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 H3`%#wQ0j 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 m#%5H 12.2.1 误差工具 267 cC4*4bMm 12.2.2 灵敏度工具 271 `@Kh>K 12.2.2.1 独立灵敏度 271 zZ;tSKL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 i 3(bg, 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ce+\D'q[ 12.3 参考文献 276 {d^&$~ 13 Runsheet 与Simulator 277 *pI3"_ 13.1 原理介绍 277 I:mJWe 13.2 截止滤光片设计 277 FA4bv9:hi 14 光学常数提取 289 yVh]hL#4+w 14.1 介绍 289 7cvbYP\<lv 14.2 电介质薄膜 289 N15{7,
14.3 n 和k 的提取工具 295 = @ph 14.4 基底的参数提取 302 3R4-MK 14.5 金属的参数提取 306 +TUtVG 14.6 不正确的模型 306 4(B,aU>y 14.7 参考文献 311 /6L\`\g 15 反演工程 313 u!{P{C 15.1 随机性和系统性 313 ZH&%D*a& 15.2 常见的系统性问题 314 fyQAQZT 15.3 单层膜 314 V3I&0P k 15.4 多层膜 314 >@TZYdl 15.5 含义 319 #( X4M{I 15.6 反演工程实例 319 ,Sz*]X 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 c*1B*_08 15.6.2 反演工程提取折射率 327 v\\Z[,dK 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9^Wj< 16.1 光学性质的热致偏移 329 M[TgNWl/[ 16.2 应力工具 335 O \lt!p3F 16.3 均匀性误差 339 ,gkxZ{Eh 16.3.1 圆锥工具 339 JrCm >0g 16.3.2 波前问题 341 hnG'L*HooE 16.4 参考文献 343 (h`||48d 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 zL)m!:_ 17.1 引言 345 'SOp!h$ 17.2 操作数 345 ze,HNFg@> 18 如何在Function中编写脚本 351 `wk#5[Y_ 18.1 简介 351 W@pVP4F0xM 18.2 什么是脚本? 351 Y
Xn)? 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 A")B<BK 18.4 基础 352 {\lu; b! 18.4.1 Classes(类别) 352 KY4|C05, 18.4.2 对象 352 #^Sd r- 18.4.3 信息(Messages) 352 )v
['p 18.4.4 属性 352 -Z6ot{% 18.4.5 方法 353 HjV83S; 18.4.6 变量声明 353 }$iH3#E8 18.5 创建对象 354 8 +uOYNXsA 18.5.1 创建对象函数 355 Ybd){Je"z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 -
n11L 18.5.3 丢弃对象 356 3haY{CEr 18.5.4 总结 356 HOu<,9?>Q 18.6 脚本中的表格 357 \JN< |