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t?&@bs5~g 内容简介 X1wlOE Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _.}1 Y,Q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 WF#3'"I 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +F>9hA cpY'::5.% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ;7/
;4Z 目录 \}:RG^*m Preface 1 &Hl*Eg
f 内容简介 2 40?xu#" 目录 i O\~/J/u
< 1 引言 1
H8lh.K 2 光学薄膜基础 2 fCMFPhF 2.1 一般规则 2 8?yRa{'" 2.2 正交入射规则 3 n8K FP 2.3 斜入射规则 6 _0GM!Cny 2.4 精确计算 7 (Ci{fY6` 2.5 相干性 8 6cQ)*,Q 2.6 参考文献 10 bY@ S[ 3 Essential Macleod的快速预览 10 A vh"(j 4 Essential Macleod的特点 32 5u:{lcC.X 4.1 容量和局限性 33 {.r
jp`39 4.2 程序在哪里? 33 n "J+?~9 4.3 数据文件 35 +KcD Y1[ 4.4 设计规则 35 M94zlW< 4.5 材料数据库和资料库 37 *m>XtBw. 4.5.1材料损失 38 Q$`u=-h| 4.5.1材料数据库和导入材料 39 XT"- 4.5.2 材料库 41 -O~V4004 4.5.3导出材料数据 43 eV"Za.a. 4.6 常用单位 43 U=Hx&g 4.7 插值和外推法 46 i!nPiac 4.8 材料数据的平滑 50 !dcGBj 4.9 更多光学常数模型 54 X:/Y^Xu 4.10 文档的一般编辑规则 55 0b3z(x!O 4.11 撤销和重做 56 3Yb2p!o 4.12 设计文档 57 NA/hs/ ' 4.10.1 公式 58 #Rw9Iy4 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {hRM=f7 4.10.3 沉积密度 59 .[Hv/?L 4.10.4 平行和楔形介质 60 pD@2Mt0|]= 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `@tnEg 4.10.4 性能 61 +G.F' 4.10.5 保存设计和性能 64 H)5V \ 4.10.6 默认设计 64 Nn:>c<[ 4.11 图表 64 {=Y3[ 4.11.1 合并曲线图 67 Shag4-*@hi 4.11.2 自适应绘制 68 I_aSC 4 4.11.3 动态绘图 68 O_~vl m<# 4.11.4 3D绘图 69 3W#f
Fy 4.12 导入和导出 73 &pk&8_=f 4.12.1 剪贴板 73 ;zpSyyp@ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $%GW~|S\C 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 FCp\w1+ 4.13 背景 77 '*d);{D8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ]!mC5Ea 4.15 生成Rugate 84 jn:9Cr,o;g 4.16 参考文献 91 ;Q{~jT 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 F,)\\$=, 5.1 Jobs 92 >P_/a,O8 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^?Y x{r~9 5.3 输入材料 94 ?z/ )Hkw 5.4 设计数据文件夹 95 W&'[Xj 5.5 默认设计 95 \|wUxijJ*, 6 细化和合成 97 p2)563#RS 6.1 优化介绍 97 /t$J<bU 6.2 细化 (Refinement) 98 v "Yo 6.3 合成 (Synthesis) 100 :,~]R,tJQ 6.4 目标和评价函数 101 >I&'Rj&Mc 6.4.1 目标输入 102 -V\$oVS0S 6.4.2 目标 103 %]iE(!>3oy 6.4.3 特殊的评价函数 104 cZFG~n/ 6.5 层锁定和连接 104 .^ o3 6.6 细化技术 104 )_-EeH 6.6.1 单纯形 105 gd=gc<z YP 6.6.1.1 单纯形参数 106 Q[Xh{B 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 y$h.k"x` 6.6.2.1 Optimac参数 108 ji] H| 6.6.3 模拟退火算法 109 8
mFy9{M 6.6.3.1 模拟退火参数 109 nS$_VJ]~ 6.6.4 共轭梯度 111 l+!eC
lM% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =TcT` ](o 6.6.5 拟牛顿法 112 p@Va`:RDW 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 N#!**Q 0 6.6.6 针合成 113 lq[o2\ 6.6.6.1 针合成参数 114 Jp#Onl+d6 6.6.7 差分进化 114 8gK
<xp 6.6.8非局部细化 115 WA1h|:Z 6.6.8.1非局部细化参数 115 [.[|rnil 6.7 我应该使用哪种技术? 116 w /l\p3n 6.7.1 细化 116 9=FqI50{ 6.7.2 合成 117 ;+6TZqklQ 6.8 参考文献 117 u.~`/O 7 导纳图及其他工具 118 E{B8+T:3 7.1 简介 118 KO''B or 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 t7; ^rk* 7.2.1 四分之一波长规则 119 *F)+- BB 7.2.2 导纳图 120 :rcohzfa 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 6{8dv9tK 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )i$:iI
>k 7.5 斜入射导纳图 141 7JL*y\' 7.6 对称周期 141 QH]G>+LI5 7.7 参考文献 142 =|Vm69 8 典型的镀膜实例 143 4n9c 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^U@-Dp,k+ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 |u5Xi5q.f 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Hp}d m93T 8.4 W-膜层 148 Ee0}Xv 8.5 V-膜层 149 x } X1
O) 8.6 V-膜层高折射基底 150 Q}(D^rGP3 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 C#3K.0a 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 1:Dm,d; 8.9 四层抗反射薄膜 153 PS\n0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Ce~
a(J|" 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 898=9`7e 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 "eOFp\vPr 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 pGHn 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 L4) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 M
s5L7S 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;:l>Kac 8.17 1/4波长堆栈 162 WPXLN'w+ 8.18 陷波滤波器 163 *v6 j7<H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %!HBPLk 8.20 褶皱 165 =T3O; i 8.21 消偏振分光器1 169 -NuRf# 8.22 消偏振分光器2 171 PD$@.pib 8.23 消偏振立体分光器 172 V
'e_gH 8.24 消偏振截止滤光片 173 zmdu\:_X9 8.25 立体偏振分束器1 174 ,lUr[xzV 8.26 立方偏振分束器2 177 xTV3U9 v 8.27 相位延迟器 178 [:xpz, 8.28 红外截止器 179 b$O1I[o 8.29 21层长波带通滤波器 180 \Ng|bWR>LQ 8.30 49层长波带通滤波器 181 j$Unw 8.31 55层短波带通滤波器 182 %*Aq%,.={ 8.32 47 红外截止器 183 tLc9- 8.33 宽带通滤波器 184 `^#V1kRmH 8.34 诱导透射滤波器 186 ~P5;k_& 8.35 诱导透射滤波器2 188 <
X&{6xu 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 U|!L{+F 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 \pJBBG 8.35 增益平坦滤波器 193 W2-1oS~ma 8.38 啁啾反射镜 1 196 9EI Oa/* 8.39 啁啾反射镜2 198 g2t'u4> 8.40 啁啾反射镜3 199 b8$(j2B~ 8.41 带保护层的铝膜层 200 L-V+ `![{ 8.42 增加铝反射率膜 201 Th%2pwvER 8.43 参考文献 202 PY{])z3N 9 多层膜 204 T#:n7$M|?A 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 5$;#=WAY 9.2 内部透过率 204 '(o*l 9.3 内部透射率数据 205 #G`UR 9.4 实例 206 /_g-w93
9.5 实例2 210 uFH ]w]X 9.6 圆锥和带宽计算 212 fBZAO 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 a3?D@@Qnw 10 光学薄膜的颜色 216 DuV@^qSbG. 10.1 导言 216 BL?Bl&p( 10.2 色彩 216 a
]~Yi.H 10.3 主波长和纯度 220 6OOdVS3\J 10.4 色相和纯度 221 co-dq\P 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KMo]J1o 10.6 色差 226 H1^m>4ll9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 m.0:R 10.8 颜色渲染指数 234 p.50BcDg 10.9 色差计算 235 #eKg!]4-R 10.10 参考文献 236 .
v
L4@_ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !`$xN~_ 11.1 短脉冲 238 C!%\cy%Xj 11.2 群速度 239 !\RBOdw C 11.3 群速度色散 241 z&x3":@u< 11.4 啁啾(chirped) 245 3|qT.QR`Z 11.5 光学薄膜—相变 245 <{xU.zp'
11.6 群延迟和延迟色散 246 kl/eJN'S 11.7 色度色散 246 WPnw 11.8 色散补偿 249 M,V~oc5 11.9 空间光线偏移 256 =k+nC)e 11.10 参考文献 258 !da[#zK 12 公差与误差 260 x;;
= +)Gg 12.1 蒙特卡罗模型 260 ZQV,gIFys 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 rm"C|T4:V 12.2.1 误差工具 267 <[W41{ 12.2.2 灵敏度工具 271 +T|M U 12.2.2.1 独立灵敏度 271 qzbpLV| 12.2.2.2 灵敏度分布 275 @_
Q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ~0 5p+F) 12.3 参考文献 276 aUVJ\;V 13 Runsheet 与Simulator 277 7F!(60xY 13.1 原理介绍 277 %n7Y5|Uh 13.2 截止滤光片设计 277 F
)|0U~ 14 光学常数提取 289 B<}0r4T} 14.1 介绍 289 |)'6U3 14.2 电介质薄膜 289 %hnv
go:^g 14.3 n 和k 的提取工具 295 ML9nfB^z! 14.4 基底的参数提取 302 45+w)Vf! 14.5 金属的参数提取 306 ) }.<lSw 14.6 不正确的模型 306 H,Ik&{@j 14.7 参考文献 311 g82_KUkB 15 反演工程 313 1B#Z<p 15.1 随机性和系统性 313 o fw0_)!Q 15.2 常见的系统性问题 314 S="teH[ 15.3 单层膜 314 =!pfgE 15.4 多层膜 314 )4@La& 15.5 含义 319 wAn}ic".b 15.6 反演工程实例 319 }g@5%DI] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 1+0DTqWz 15.6.2 反演工程提取折射率 327 pD)$O} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 FdZG%N>Z 16.1 光学性质的热致偏移 329 E/[<} ./ 16.2 应力工具 335 IC[iCrB 16.3 均匀性误差 339 H/Wo~$ 16.3.1 圆锥工具 339 |#x]FNg 16.3.2 波前问题 341 _Vj uQ 16.4 参考文献 343 } eL*gy 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4IEF{"c_8 17.1 引言 345 &Fxw19[G 17.2 操作数 345 [`'[)B 18 如何在Function中编写脚本 351 (w+dB8)X 18.1 简介 351 d
6$,N| 18.2 什么是脚本? 351 (sHvoE^q- 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 UCv9G/$ 18.4 基础 352 M1sR+e$" 18.4.1 Classes(类别) 352 LBs:O*; 18.4.2 对象 352 D. _*p 18.4.3 信息(Messages) 352 R,'`
A.Kk 18.4.4 属性 352 a*fUMhIi 18.4.5 方法 353 E@%X 18.4.6 变量声明 353 9N?BWv} 18.5 创建对象 354 JC[G5$E 18.5.1 创建对象函数 355 ,*Vt53@E 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 m:{ws~ 18.5.3 丢弃对象 356 8&0+Az"{O 18.5.4 总结 356 B
>
sTM 18.6 脚本中的表格 357 k&kx%skz 18.6.1 方法1 357 6,D)o/_ 18.6.2 方法2 357 4z$}e- 18.7 2D Plots in Scripts 358 g/2e Y$6Z 18.8 3D Plots in Scripts 359 acXB
vs 18.9 注释 360 w&F/P]1 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 P<1ZpL 18.11 一个更高级的脚本 362 p?q~.YY 18.12 <esc>键 364 GdxMHnn= 18.13 包含文件 365 k~<b~VcU 18.14 脚本被优化调用 366 GG KD8'j] 18.15 脚本中的对话框 368 0i4X,oHjG 18.15.1 介绍 368 f-!A4eKe 18.15.2 消息框-MsgBox 368 H+VKWGmfG 18.15.3 输入框函数 370 N0:gY]o% 18.15.4 自定义对话框 371 ?3v Oc/2@ 18.15.5 对话框编辑器 371 aeP
6JHj 18.15.6 控制对话框 377 j|N8"8" 18.15.7 更高级的对话框 380
YjV-70' 18.16 Types语句 384 xq.HR_\ 18.17 打开文件 385 |6mDooTy 18.18 Bags 387 w,'"2^Cwy 18.13 进一步研究 388 3O W)% 19 vStack 389 v@8=u4 19.1 vStack基本原理 389 )kq3q5*_ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 %S2^i3 19.3 五棱镜 393 0%9Nf!j 19.4 光束距离 396 )Apg 19.5 误差 399 @y#QHJ.j
19.6 二向分色棱镜 399 .7!n%Ks 19.7 偏振泄漏 404 ^YpA@`n 19.8 波前误差—相位 405 gx*rxid 19.9 其它计算参数 405 )AX0x1I|E 20 报表生成器 406 |#r[{2sS 20.1 入门 406 D`t }V 20.2 指令(Instructions) 406 <NLor55.] 20.3 页面布局指令 406 +:s]>R eDa 20.4 常见的参数图和三维图 407 b0~AN#Es 20.5 表格中的常见参数 408 5g{L
-8XwI 20.6 迭代指令 408 fCA/ 20.7 报表模版 408 yWs_Z6 b 20.8 开始设计一个报表模版 409 HhmC+3w.7 21 一个新的project 413
qrFC4\q} 21.1 创建一个新Job 414 w_gPX0N}3n 21.2 默认设计 415 k#4%d1O} 21.3 薄膜设计 416 Y[A`r0 21.4 误差的灵敏度计算 420 GYx_9"J\5 21.5 显色指数计算 422 (ei;Y~i 21.6 电场分布 424 S<hj6A 后记 426 2 us-s
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