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M ?AX:0 内容简介 _[-W*,xJ) Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 x<' $ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 K]G(u"' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ?u/UV,";y U_j[<.aN) 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 #NYHwO<0- 目录 }L&LtW{X Preface 1 }/,Rp/+7] 内容简介 2 VaGQre 目录 i nc\2A>f` 1 引言 1 G%AO%II 2 光学薄膜基础 2 9I;~P & 2.1 一般规则 2 4*Gv0#dga 2.2 正交入射规则 3 ~G-W|> 2.3 斜入射规则 6 TA2ETvz^ 2.4 精确计算 7 4y?n62N8$ 2.5 相干性 8 &/ED.K 2.6 参考文献 10 )fxn bBz{ 3 Essential Macleod的快速预览 10 `wQs$!a 4 Essential Macleod的特点 32 kS=nH9 4.1 容量和局限性 33 :#35mBe}k 4.2 程序在哪里? 33 6H5o/)Q~ 4.3 数据文件 35 i/H;4#Bz 4.4 设计规则 35 vt^7:!r 4.5 材料数据库和资料库 37 -aS@y.z 4.5.1材料损失 38 @"1Z;.S8V 4.5.1材料数据库和导入材料 39 u'Q82l&Y 4.5.2 材料库 41 v9Sk\9}S 4.5.3导出材料数据 43 ,+4T7 U R 4.6 常用单位 43 JbS[(+o 4.7 插值和外推法 46 aq8./^ 4.8 材料数据的平滑 50 (V\N1T,f 4.9 更多光学常数模型 54 P}UxA! 4.10 文档的一般编辑规则 55 G
&NK 4.11 撤销和重做 56 %7P]:G+Y\ 4.12 设计文档 57 UB~-$\. 4.10.1 公式 58 O(!;7v} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 VltM{-k^ 4.10.3 沉积密度 59 |iX>hJSl 4.10.4 平行和楔形介质 60 dcD#!v\0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Q"nw.FjUG
4.10.4 性能 61 OFyy!r@? 4.10.5 保存设计和性能 64 r@qLG"[\c 4.10.6 默认设计 64 [fV"tf; 4.11 图表 64 j BBl{ 4.11.1 合并曲线图 67 kp* ! 4.11.2 自适应绘制 68 yiI
oqvP 4.11.3 动态绘图 68 czpu^BT;;T 4.11.4 3D绘图 69 *<y9.\zY< 4.12 导入和导出 73 fCF.P"{W" 4.12.1 剪贴板 73 *($,ay$&H 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 vYb4&VV 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Sw,*#98 4.13 背景 77 *fIn<Cc 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4g8o~JI:v 4.15 生成Rugate 84 b @0=&4 4.16 参考文献 91 /.CS6W^z 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;nQ=!
.#Q 5.1 Jobs 92 LjE3|+pJ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;CF:cH* 5.3 输入材料 94 1Q!^*D 5.4 设计数据文件夹 95 xH{-UQ3R 5.5 默认设计 95 -Yh(bS
l 6 细化和合成 97 uax0%~O\ 6.1 优化介绍 97 Z_4%Oi 6.2 细化 (Refinement) 98 9N)I\lcY 6.3 合成 (Synthesis) 100 N{Z+ 6.4 目标和评价函数 101 UhL1Y
NF_ 6.4.1 目标输入 102 tP*Kt'4W 6.4.2 目标 103 z,x
)Xx 6.4.3 特殊的评价函数 104 h
~yTkN] 6.5 层锁定和连接 104 ?HZ^V 6.6 细化技术 104 'uDx$AkY 6.6.1 单纯形 105 {}ADsh@7d' 6.6.1.1 单纯形参数 106 aK;OzB) 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ksOsJ~3) 6.6.2.1 Optimac参数 108 t,JX6ni 6.6.3 模拟退火算法 109 {.AN4 6.6.3.1 模拟退火参数 109 y$]<m+1 6.6.4 共轭梯度 111 2&n6:"u| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ;<Hk Cd 6.6.5 拟牛顿法 112 BA1uo0S `S 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 zQ{bMj<S 6.6.6 针合成 113 k)*apc\W 6.6.6.1 针合成参数 114 M(K7xx+G 6.6.7 差分进化 114 em3+V 6.6.8非局部细化 115 i]?
Eq?k 6.6.8.1非局部细化参数 115 >4Tk#+%Jj 6.7 我应该使用哪种技术? 116 [>54?4{|. 6.7.1 细化 116 TmLCmy! 6.7.2 合成 117 IJ2' 6.8 参考文献 117 @XM*N7 7 导纳图及其他工具 118 y-nv#Ejr 7.1 简介 118 wzju)q S 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6P717[ 7.2.1 四分之一波长规则 119 2p](`Y` 7.2.2 导纳图 120 cpP}NJb0;% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ^O@eyP 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 6wWhM&Wd 7.5 斜入射导纳图 141 =KOi#;1 7.6 对称周期 141 pMHl<HH 7.7 参考文献 142 9]l I?j]o 8 典型的镀膜实例 143 ph6'(, 8.1 单层抗反射薄膜 145 Y=G`~2Pr= 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a<\n$E#q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 EF\OM?R 8.4 W-膜层 148 IS(F_< . 8.5 V-膜层 149 \UZGXk 8.6 V-膜层高折射基底 150 }vU/]0@,E 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 1-?i*C 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 DoQ^caa@ 8.9 四层抗反射薄膜 153 bH/4f93Nb 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 I]W7FZ=o 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 i@?|vu 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 mih}?oi 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 {c_bNYoE 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 sGhw23 8.15十五层宽带抗反射膜 159 -+1O*L! 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0~RD@>] 8.17 1/4波长堆栈 162 hDB(y4/ 8.18 陷波滤波器 163 $%DoLpE> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 2?q>yL! Gz 8.20 褶皱 165 Fy<:iv0>t 8.21 消偏振分光器1 169 NN'pBUR 8.22 消偏振分光器2 171 CqC
)H7A 8.23 消偏振立体分光器 172 W7uX 8.24 消偏振截止滤光片 173 'pIrwA^6N 8.25 立体偏振分束器1 174 pu/5#[MC)^ 8.26 立方偏振分束器2 177 : H;S"D 8.27 相位延迟器 178 ux1(> 8.28 红外截止器 179 {Dl@/fz 8.29 21层长波带通滤波器 180 mm+V*L{x 8.30 49层长波带通滤波器 181 _|12BVq 8.31 55层短波带通滤波器 182 j3-o}6 8.32 47 红外截止器 183 JYw? 8.33 宽带通滤波器 184 :
pUu_ 8.34 诱导透射滤波器 186 &v((tZ 8.35 诱导透射滤波器2 188 uoE+:,P 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 k-n`R)p: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 >v@3]a
i 8.35 增益平坦滤波器 193 kEC^_sO" 8.38 啁啾反射镜 1 196 pp(09y`] 8.39 啁啾反射镜2 198 d"?"(Q_8n 8.40 啁啾反射镜3 199 lBFKfLp& 8.41 带保护层的铝膜层 200 hmkb!) 8.42 增加铝反射率膜 201 D8,8j; 8.43 参考文献 202 H}~K51 9 多层膜 204 80lhhqRC 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 h.#:7d(g 9.2 内部透过率 204 EoPvF`T 9.3 内部透射率数据 205 R_/;U&R 9.4 实例 206 qy pF}Pw 9.5 实例2 210 )-[$m% 9.6 圆锥和带宽计算 212 5[X%17&t 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 | 8mWR=9fs 10 光学薄膜的颜色 216 9FSa=<0wE 10.1 导言 216 -JEPh!oTt 10.2 色彩 216 \K\eq>@6 10.3 主波长和纯度 220 :n13v@q 10.4 色相和纯度 221 sz270k%[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 tL;.vRx 10.6 色差 226 Ey:?! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 `=hCS0F 10.8 颜色渲染指数 234 iYT?6Y|+ 10.9 色差计算 235 0'F/z%SMj 10.10 参考文献 236 PQlA(v+S 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 s) s9Z,HY 11.1 短脉冲 238 qB_s<cpn> 11.2 群速度 239 DjK7_'7(L 11.3 群速度色散 241 dh6kj-^;Cf 11.4 啁啾(chirped) 245 `+< ^Svou 11.5 光学薄膜—相变 245 ?Ybq]J\q 11.6 群延迟和延迟色散 246 h@O\j&# 11.7 色度色散 246 ?m~1b_@A{ 11.8 色散补偿 249 T;B FO5G@ 11.9 空间光线偏移 256 M.dX;iM< 11.10 参考文献 258 }U'9 d#N 12 公差与误差 260 JL#LCU
? 12.1 蒙特卡罗模型 260 +|g*<0T5< 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 S+.>{0!S" 12.2.1 误差工具 267 U5j4iz' 12.2.2 灵敏度工具 271 D`G; C 12.2.2.1 独立灵敏度 271 a_+3, fP 12.2.2.2 灵敏度分布 275 q)?!]|pZ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 |$IL:W6 12.3 参考文献 276 `-U?{U}H 13 Runsheet 与Simulator 277 |(W04Wp"@ 13.1 原理介绍 277 \41/84BA 13.2 截止滤光片设计 277 R%n*wGi_6b 14 光学常数提取 289 HTiLA%%6 14.1 介绍 289 +`"Tn`O 14.2 电介质薄膜 289 .53 M! 14.3 n 和k 的提取工具 295 aKW-(5<JW 14.4 基底的参数提取 302 a8)2I~j 14.5 金属的参数提取 306 'C7R*
P 14.6 不正确的模型 306 -32P}58R 14.7 参考文献 311 Zbre5&aU 15 反演工程 313 uHacu<$= 15.1 随机性和系统性 313 p8j4Tc5tQ> 15.2 常见的系统性问题 314 E7R%G OH 15.3 单层膜 314 LFi{Q{E) 15.4 多层膜 314 40
u
tmC 15.5 含义 319 0s//&'*Q 15.6 反演工程实例 319 ,<P"\W 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Lbrn8,G\ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ))dqC l 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?m5"|f\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 @^ta)Ev 16.2 应力工具 335 qF(i1# 16.3 均匀性误差 339 !jB}}&Ii 16.3.1 圆锥工具 339 W.{+0xx 16.3.2 波前问题 341 ?1r;6 16.4 参考文献 343 7]?y
_%kT 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 MaPhG<? 17.1 引言 345 Xsanc@w)^C 17.2 操作数 345 O251. hXK 18 如何在Function中编写脚本 351 xv147"w'v 18.1 简介 351 y[Dgyt 18.2 什么是脚本? 351 F
]D^e{y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 wpN [0^M-0 18.4 基础 352 jT0iJ?d,! 18.4.1 Classes(类别) 352 \rh+\9( 18.4.2 对象 352 }+`,AC`RM 18.4.3 信息(Messages) 352 ;m|N9' 18.4.4 属性 352 80%"2kG 18.4.5 方法 353 c CZ$TH 18.4.6 变量声明 353 ncUhCp?' 18.5 创建对象 354 5G2ueRVb 18.5.1 创建对象函数 355 v;z8g^L 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 LdiNXyyzet 18.5.3 丢弃对象 356 T,/<'cl" 18.5.4 总结 356 YsCY~e & 18.6 脚本中的表格 357 &'PLOyWw 18.6.1 方法1 357 ]YZ_kc^(V; 18.6.2 方法2 357 ZBU<L+# 18.7 2D Plots in Scripts 358 M/F<W! 18.8 3D Plots in Scripts 359 &'/PEOu&}G 18.9 注释 360 .&b c3cW 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 |Om][z 18.11 一个更高级的脚本 362 uj%]+Llxv 18.12 <esc>键 364 ODpAMt"
18.13 包含文件 365 ]3]B$ 18.14 脚本被优化调用 366 &l`_D?{<# 18.15 脚本中的对话框 368 79
_8Oh 18.15.1 介绍 368 DN*M-o9 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ebL0cK? 18.15.3 输入框函数 370 ia.+<,
$`S 18.15.4 自定义对话框 371 [zP}G?( 18.15.5 对话框编辑器 371 k&K'FaM! 18.15.6 控制对话框 377 4Rp[>}L 18.15.7 更高级的对话框 380 d"3x11| 18.16 Types语句 384 (IHR {m 18.17 打开文件 385 :SMf
(E 5 18.18 Bags 387 %F-yFN" 18.13 进一步研究 388 ?a,`{1m0\ 19 vStack 389 J1M9), 19.1 vStack基本原理 389 P()&?C 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 \q!TI x 19.3 五棱镜 393 "f3mi[ 19.4 光束距离 396 /a}N6KUi 19.5 误差 399 D&N3LH 19.6 二向分色棱镜 399 D7thLqA 19.7 偏振泄漏 404 z+0#H39 & 19.8 波前误差—相位 405 &R<K>i 19.9 其它计算参数 405 r_rdd}=b' 20 报表生成器 406 4/SltWU 20.1 入门 406 r|bGn#^ 20.2 指令(Instructions) 406 #w^Ot*{!N 20.3 页面布局指令 406 _S &6XNV 20.4 常见的参数图和三维图 407 H-m).^ 20.5 表格中的常见参数 408 i3(5
' 20.6 迭代指令 408 b?M. 0{"H 20.7 报表模版 408 7Y4D9pw 20.8 开始设计一个报表模版 409 CRzLyiRvU& 21 一个新的project 413 U~zy;MT 21.1 创建一个新Job 414 5Ktll~+:# 21.2 默认设计 415 H\<PGC"_Y 21.3 薄膜设计 416 8_rd1:t5 21.4 误差的灵敏度计算 420 Z\1`(Pq7` 21.5 显色指数计算 422 I[06R 21.6 电场分布 424 54s90 后记 426 MpJ3*$Dr
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