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CsjrQ-#9yn 内容简介 ehZ/J5 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 -\25&m!+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 qu;$I'Ul% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 oE,TA2 T sdgg?# 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 sg4(@> 目录 `4ti?^BNm Preface 1 Zlrbd 内容简介 2 FgMQ=O 2 目录 i Ou+b ce 1 引言 1 7zowvE?# 2 光学薄膜基础 2 I[n|#N 2.1 一般规则 2 Rt@O@oD I 2.2 正交入射规则 3 WwxV}?Cf+ 2.3 斜入射规则 6 6!([Hu#= * 2.4 精确计算 7 <s$Jj>< 2.5 相干性 8 vTC{ 2.6 参考文献 10 z]2lT
IWg 3 Essential Macleod的快速预览 10 1yFIIj:^| 4 Essential Macleod的特点 32 &%u m#XE 4.1 容量和局限性 33 0#~k)>(7lR 4.2 程序在哪里? 33 ZWKvz3Wt 4.3 数据文件 35 `$vf 9'\+ 4.4 设计规则 35 7W>(T8K X\ 4.5 材料数据库和资料库 37 ~Q}!4LH 4.5.1材料损失 38 g@Rs.Zq 4.5.1材料数据库和导入材料 39 a;\a>N4 4.5.2 材料库 41 O,#,` 2Qc 4.5.3导出材料数据 43 #8y"1I=i& 4.6 常用单位 43 JkKbw&65 4.7 插值和外推法 46 E
H|L1g 4.8 材料数据的平滑 50 ?6h~P:n. 4.9 更多光学常数模型 54 0IBQE 4.10 文档的一般编辑规则 55 &}\{qFD; 4.11 撤销和重做 56 }nSu7)3$B 4.12 设计文档 57 ~(:0&w%e 4.10.1 公式 58 w}e_17A 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hDc2T 4.10.3 沉积密度 59 CZ
=]0zB 4.10.4 平行和楔形介质 60 \C{Zqo, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 =)a%,H 4.10.4 性能 61 $'yWg_( 4.10.5 保存设计和性能 64 3ug~m-_ 4.10.6 默认设计 64 >:BgatyPH 4.11 图表 64 Iz>\qC} 4.11.1 合并曲线图 67 QP>F *A
4.11.2 自适应绘制 68 4M+f#b1 4.11.3 动态绘图 68 VKg9^%#b`[ 4.11.4 3D绘图 69 ZvK.X*~s 4.12 导入和导出 73 z0F55<i 4.12.1 剪贴板 73 c{ qTVi5e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 O9N+<sU=X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 2-@t,T 4.13 背景 77 $x#qv1 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 XEN-V-Z%* 4.15 生成Rugate 84 6o*'Q8h 4.16 参考文献 91 'ITZz n* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
YdUcO.V 5.1 Jobs 92 I.`DBI#-f 5.2 创建一个新Job(工作) 93 6X$nZM|g, 5.3 输入材料 94 &%eM 5.4 设计数据文件夹 95 a>+m_]*JZ 5.5 默认设计 95 <N3~X,ch 6 细化和合成 97 wB+F/]]|N 6.1 优化介绍 97 'R99m?" 6.2 细化 (Refinement) 98 fJe5
i6`( 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^ (J%)&_\3 6.4 目标和评价函数 101 q;_?e_ 6.4.1 目标输入 102 ^N`KT 6.4.2 目标 103 ce719n$
6.4.3 特殊的评价函数 104 ]I]G3 e 6.5 层锁定和连接 104 /UaQ2h\ 6.6 细化技术 104 j)Z0K$z= 6.6.1 单纯形 105 K1-RJj\L 6.6.1.1 单纯形参数 106 fgHsg@33N 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "#iO{uMWb 6.6.2.1 Optimac参数 108 ZVit]3hd 6.6.3 模拟退火算法 109 /nEK|.j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 8cRc5X 6.6.4 共轭梯度 111 ?9?o8! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ok}e|b[D 6.6.5 拟牛顿法 112 n7zM;@{7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 "chf\-!$ 6.6.6 针合成 113 gV*4{d` 6.6.6.1 针合成参数 114 x}x )h3e 6.6.7 差分进化 114 ^;?w<9Y 6.6.8非局部细化 115 $}EARW9 6.6.8.1非局部细化参数 115 "cbJ{ G1pk 6.7 我应该使用哪种技术? 116 !"aGo1$$ 6.7.1 细化 116 {96NtR0Z 6.7.2 合成 117 T~4HeEG>uH 6.8 参考文献 117 j
J54<.D 7 导纳图及其他工具 118 7
Rc/<,X 7.1 简介 118 {7v|\6@e3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Z+4Mo*# 7.2.1 四分之一波长规则 119 ZvK3Su)f1 7.2.2 导纳图 120 ?*<1B 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 u/N_62sk5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 U8%IpI; 7.5 斜入射导纳图 141 VRHS 4 7.6 对称周期 141 &?']EcU5h9 7.7 参考文献 142 {yi!vw 8 典型的镀膜实例 143 >z,Y%A 8.1 单层抗反射薄膜 145 Upm#:i|" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 `[ZA#8Ma 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 z_8Bl2tl 8.4 W-膜层 148 'uwq^b_ 8.5 V-膜层 149 -vt6n1A&b 8.6 V-膜层高折射基底 150 [T,Df& 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9>_VU"T 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `eGp.[ffT 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?pA_/wwp 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 #X6=`Xe# 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 j}8^gz] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 /N@NT/.M< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 472'P 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 P)ne^_
8.15十五层宽带抗反射膜 159 C3 m_sv#e 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 JBISA _Y 8.17 1/4波长堆栈 162 9(bbV5} 8.18 陷波滤波器 163 G)""^YB- 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9AD0|,g 8.20 褶皱 165 h5^We"}+ 8.21 消偏振分光器1 169 q@4Cw&AI+ 8.22 消偏振分光器2 171 J.0&gP V 8.23 消偏振立体分光器 172 9 I&[6} 8.24 消偏振截止滤光片 173 =
@FT$GQ 8.25 立体偏振分束器1 174 T8j<\0WW 8.26 立方偏振分束器2 177 +ERuZc$3, 8.27 相位延迟器 178 f1d<xGx 8.28 红外截止器 179 QKoJxjR=^ 8.29 21层长波带通滤波器 180 m^^#3*qa 8.30 49层长波带通滤波器 181 lDs C>L-F 8.31 55层短波带通滤波器 182 `EiL~* 8.32 47 红外截止器 183 W5&KmA 8.33 宽带通滤波器 184 V{rQ@7SE 8.34 诱导透射滤波器 186 5)w;0{X!P 8.35 诱导透射滤波器2 188 :[Ie0[H/M 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2%]#rZ
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Qk^} 8.35 增益平坦滤波器 193 pU u')y 8.38 啁啾反射镜 1 196 FwQGxGZ 8.39 啁啾反射镜2 198 ;47 =x1ji 8.40 啁啾反射镜3 199 YIYuqtnSJ 8.41 带保护层的铝膜层 200 6p14BruV 8.42 增加铝反射率膜 201 wJ7Fnj>u% 8.43 参考文献 202 =e6!U5
f 9 多层膜 204 v/`#Gu^P 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 G2J4N2hu 9.2 内部透过率 204 v\XO?UEJ2 9.3 内部透射率数据 205 L_IvR 4:j~ 9.4 实例 206 YJwffV}nd 9.5 实例2 210 }5?|iUH| 9.6 圆锥和带宽计算 212 wee5Nirw6 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
o7AI 10 光学薄膜的颜色 216 qmnW 10.1 导言 216 P{8<U8E 10.2 色彩 216 v)'Uoe"R% 10.3 主波长和纯度 220 /{Z<!7u;U 10.4 色相和纯度 221 "3?:,$* 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 j!a&l 10.6 色差 226 V_)465g 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 j*_#{niy: 10.8 颜色渲染指数 234 m9Dg%\B 10.9 色差计算 235 <|:$_&( 10.10 参考文献 236 1qwJPM 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 V> Nw2u!! 11.1 短脉冲 238 x2g=%K= 11.2 群速度 239 qp]sVY 11.3 群速度色散 241 P;e@<O 11.4 啁啾(chirped) 245 }i\_`~ 11.5 光学薄膜—相变 245 FFf
~Vmw 11.6 群延迟和延迟色散 246 A@ w9_qo 11.7 色度色散 246 T{ /\q 5 11.8 色散补偿 249 Zg >!5{T 11.9 空间光线偏移 256 sAPYQ 11.10 参考文献 258 JRw)~Tg @ 12 公差与误差 260 46c0;E\9 12.1 蒙特卡罗模型 260 0O?!fd n 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 e\]CZ5hs3 12.2.1 误差工具 267 "3NE%1T 12.2.2 灵敏度工具 271 mmEe@-lE 12.2.2.1 独立灵敏度 271 bw[K^/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 diF2:80o 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ybgw#jv= 12.3 参考文献 276 }h\]0'S~J~ 13 Runsheet 与Simulator 277 XN'<H(G 13.1 原理介绍 277 =,LhMy 13.2 截止滤光片设计 277 kn6X
I* 14 光学常数提取 289 ,j\UZ 14.1 介绍 289 =]sM,E,n 14.2 电介质薄膜 289 /f,*| 14.3 n 和k 的提取工具 295 IQ9Rvnna 14.4 基底的参数提取 302 G~Fjla\?Q 14.5 金属的参数提取 306 a]R1Fi0n 14.6 不正确的模型 306 1?T^jcny:M 14.7 参考文献 311 XO4r rAYvW 15 反演工程 313 D-\z'gS 15.1 随机性和系统性 313 Iy{&T#e" 15.2 常见的系统性问题 314 u-~?ylh 15.3 单层膜 314 2aW"t.[j 15.4 多层膜 314 Qx[
nR/ 15.5 含义 319 &?yVLft 15.6 反演工程实例 319 gz"I=9 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0'^zIL#. 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _gP-$&JC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 BO-=X
78f@ 16.1 光学性质的热致偏移 329 3 e<sNU? 16.2 应力工具 335 OW8"7*irT 16.3 均匀性误差 339 >*[Bq; 16.3.1 圆锥工具 339 Kj*:G!r0.: 16.3.2 波前问题 341 Twr<MXa 16.4 参考文献 343 P 4jg]g 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 /'>#1J|TlK 17.1 引言 345 z8n]6FDiE 17.2 操作数 345 Fu#mMn0c 18 如何在Function中编写脚本 351 nHmi%R7k 18.1 简介 351 ZG)%vB2c 18.2 什么是脚本? 351 a`uHkRX
)U 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 AP_2.V=Sn 18.4 基础 352 F /% 5 r{ 18.4.1 Classes(类别) 352 `Ui|T 18.4.2 对象 352 @K.[;-;g 18.4.3 信息(Messages) 352 iMr/i?`i 18.4.4 属性 352 bZ*J]1y(. 18.4.5 方法 353 A{b?ZT~2] 18.4.6 变量声明 353 3 ~^ }R 18.5 创建对象 354 E;^~} 18.5.1 创建对象函数 355 2x&mJ}o#k 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 uWKc
. 18.5.3 丢弃对象 356 O&u[^s/^ 18.5.4 总结 356 dD0:K3@ 18.6 脚本中的表格 357 ! <xe Ao%8 18.6.1 方法1 357 #97w6,P+ 18.6.2 方法2 357 y9L:2f\ 18.7 2D Plots in Scripts 358 rZv5>aEI 18.8 3D Plots in Scripts 359 ;.P9t`* 18.9 注释 360 uyITUvPg[ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 N!&$fhY) 18.11 一个更高级的脚本 362 l~V^ 18.12 <esc>键 364 s'|^ 6/ 18.13 包含文件 365 U[UjL)U 18.14 脚本被优化调用 366 2,O;<9au< 18.15 脚本中的对话框 368 S+EC!;@Xg 18.15.1 介绍 368 [#emm1k 18.15.2 消息框-MsgBox 368
L5tSS= 18.15.3 输入框函数 370 e$+?l~ 18.15.4 自定义对话框 371 ^s&1,
18.15.5 对话框编辑器 371 Cp2$I<T 18.15.6 控制对话框 377 jP9)utEm6 18.15.7 更高级的对话框 380 n/fMq,<8 18.16 Types语句 384 5ZkMd!$y 18.17 打开文件 385 `:XrpD 18.18 Bags 387 #{8n<sE 18.13 进一步研究 388 Z
^tF 19 vStack 389 3tlA!e 19.1 vStack基本原理 389 h)qapC5z, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 O67.DEu^ 19.3 五棱镜 393 ^Pk-<b4} 19.4 光束距离 396 kU5chltGF 19.5 误差 399 CYZx/r< 19.6 二向分色棱镜 399 ie!ik 19.7 偏振泄漏 404 |-c)OS3#D 19.8 波前误差—相位 405 ^Fr82rJs 19.9 其它计算参数 405 gUoTOA, 20 报表生成器 406 KXP^F6@l 20.1 入门 406 M#Vl{ b 20.2 指令(Instructions) 406 C1@6r%YD 20.3 页面布局指令 406 E}V8+f54S 20.4 常见的参数图和三维图 407 vq~btc.p{& 20.5 表格中的常见参数 408 9
L{JU 20.6 迭代指令 408 i#M$i*H*A 20.7 报表模版 408 =*aun& 20.8 开始设计一个报表模版 409 W^Jh'^E 21 一个新的project 413 6+9inWTT( 21.1 创建一个新Job 414 'W/E*O6BY 21.2 默认设计 415 rQ^$)%uP 21.3 薄膜设计 416 4$oX,Q`# 21.4 误差的灵敏度计算 420 }-:s9Lt 21.5 显色指数计算 422 ZCZY gf@ 21.6 电场分布 424 `4&
GumG 后记 426 IG1+_-H:
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