1、奇数型达曼
光栅设计
: w^:Z$-hf 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
ktU:Uq A ;U c&G 1）标量衍射理论设计
cj>@Jx}]M 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
@[^ 3y C# X_PzK'#m 
*"^X)Y{c+l （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
]TrJ*~ i;HXz`vT7 
N<JI^%HBgP （b）达曼光栅衍射效率
=9&2udV1 dX?j /M- 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
\%r#>8c8 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
6C$+D gc4o
|x 
M>k&Wtq K （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
ir^d7CV, m0G"Aj 
{tVA(&\< （b）达曼光栅衍射效率
(CQ! &Z8 ]Jz=. F sO 3）rsoft仿真
caEIE0H~ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
L' y0$ Yte*$cJ= 
u&y> ' （a）标量衍射结果结构图
8z93ETv7` 2`i &6iz 
X}B] 5 （b）衍射效率
o]0E Xp;'Wa"@ rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
,5 ,r . ;$eY#ypx 
hbXm Ist （a）矢量衍射结果结构图
K%9!1' qLBQ!>lR
:MDFTw~ | （b）衍射效率
^C,rN;mX' Q8TR@0d 2、偶数型达曼光栅设计
Fkv284,LM 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
+ fvVora 
OfLj 4H 6Q （a）结构图
_bh$
t b#709VHm 
C
B;j[. （b）衍射效率
@sR/l; Y}vV.q 
UXa%$gwFw （a）结构图
f`}u9!jVR be6`Sv"H 
eT F s9$ （b）衍射效率
