1、奇数型达曼
光栅设计
7Cy<m S 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
ne*#+Q{E @5E,:)T*wR 1）标量衍射理论设计
% O%xpSYr 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
41yOXy ;~l ,r`UBQ}? 
){ gAj （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
PsbG| ~ k ZxW"2 
.S7:;%qL6 （b）达曼光栅衍射效率
8+&JQ"UaB opD-vDa h 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
V!& P(YO: 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
si(cOC j/ g5Td("& n 
r~>,$[|n}) （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
WYszk ,E bfdVED 
!d8 A （b）达曼光栅衍射效率
Js{= i>D mCdgKr|n 3）rsoft仿真
au$" B/ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
$iPP|Rw &{z<kmc$6 
B4Lx{u no （a）标量衍射结果结构图
W&C-/O,m
Cj^{9'0 
2d`c! （b）衍射效率
3Aj*\e0t c!wtf,F rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
O+"ac /r {rXs:N@ 
z<&m*0WYA （a）矢量衍射结果结构图
T)SbHp Y FS@A8Bb 
-^SA8y （b）衍射效率
WG5W0T_ s bS~N*{E 2、偶数型达曼光栅设计
\#6Fm_b] u 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
Yc;ec9~ 
XU mR{ A （a）结构图
d,9`<1{ 9 >EP(~G3u 
XsL# ;a C （b）衍射效率
=SBBvnPLI GEe`ZhG,
VKW|kU7Cs$ （a）结构图
>oJkJ$|wU FxRXPt
FK 
zoZH[a`H （b）衍射效率
