1、奇数型达曼
光栅设计
vHx[:vuq: 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
fnU;DS] W I(:d8SF 1）标量衍射理论设计
eq$.np 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
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Gmh6|Dsg （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
`KmM* _a %8g1h)F"S 
Q)\4 .d （b）达曼光栅衍射效率
E(Y}*.\]#s *TP>)o 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
77p8|63 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
/X97dF)zt S/7?6y~ 
ORo,.#< （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
}:hN}*H '@, M
'H{ 
W(,3j{d2i （b）达曼光栅衍射效率
J`d;I#R%c C7 T}:V](q 3）rsoft仿真
Q}:#H z?U 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
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X_2p C|C （a）标量衍射结果结构图
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aLt2fB1 ) （b）衍射效率
Al pk5o5B K+ @R [ rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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4|Ay;}X \ （a）矢量衍射结果结构图
[e;c)XS[ bOS; 1~~ 
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> n L （b）衍射效率
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42 t 2、偶数型达曼光栅设计
Y2Y)| <FH 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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h3t);}Y}D9 （a）结构图
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#l#8-m8g) （b）衍射效率
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85Red~-M （a）结构图
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Xa 
f v/Nf" （b）衍射效率
