[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [复制链接]

机型:OPTORUN1850 T)Y{>wT  
AS膜厚15nm. F$s
Dmk#  
外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗? A+=K<e  
恳求指教!!!

蒸发源抬高试一试？或者增加厚度

蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 (PC)R9r5  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。 fm0]nT   
@~QI3)=s  
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 *.6m,QqJ(  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸

路过学习看看呢

学习看看呢

ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 7?D?s!%\  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 FB:nkUR`  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36)  K { FZ/  

e,r7UtjoxR  
真空度是越低较好，还是越高较好?

联系我   YKWQAZWSX #G_'5{V  

danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08)  ,lStT+A  

U4^c{KWS  
真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。 ."=%]l0  
真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。 z#ki# o  
q*|Alrm  
只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少， 2%L`b"9}V  
还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等

换材料，增加厚度

厚度不够，换材料